JPS63193588U - - Google Patents
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- JPS63193588U JPS63193588U JP8092987U JP8092987U JPS63193588U JP S63193588 U JPS63193588 U JP S63193588U JP 8092987 U JP8092987 U JP 8092987U JP 8092987 U JP8092987 U JP 8092987U JP S63193588 U JPS63193588 U JP S63193588U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- tank
- cleaning
- device characterized
- evaporation tank
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
第1図は実施例の系統図である。
各部分は、1…気密洗浄槽、2…真空ポンプ、
3…蒸発槽(オイルバス加熱付)、4…循環ポン
プ、5…エゼクター受槽、6…作動ポンプ、7…
エゼクター、8…吹込管。
3…蒸発槽(オイルバス加熱付)、4…循環ポン
プ、5…エゼクター受槽、6…作動ポンプ、7…
エゼクター、8…吹込管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 洗浄槽に被洗物を入れて、槽内の空気を真
空ポンプで排除した後、洗浄部品の蒸気洗浄を行
い、液化した溶剤を蒸発槽に移送するために、エ
ゼクター又は真空ポンプで蒸発槽を減圧して、溶
剤の流下排出を容易にする事を特徴とする溶剤気
密洗浄装置。 (2) 蒸発槽は洗浄用溶剤蒸気の発生に使用する
と共に、エゼクター又は真空ポンプを使用して、
溶剤の真空蒸留を行ない得るようにしたことを特
徴とする溶剤気密洗浄装置。 (3) 蒸発槽の底部に循環ポンプによつて槽内の
溶剤を循環させ、吹込む事を特徴とした溶剤気密
洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8092987U JPH0529113Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8092987U JPH0529113Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63193588U true JPS63193588U (ja) | 1988-12-13 |
JPH0529113Y2 JPH0529113Y2 (ja) | 1993-07-26 |
Family
ID=30932191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8092987U Expired - Lifetime JPH0529113Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0529113Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05123658A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-05-21 | Japan Field Kk | 被洗浄物の洗浄方法およびその装置 |
DE19515566A1 (de) * | 1995-03-16 | 1996-10-31 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | Reinigungsgerät |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108325915A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-07-27 | 安徽尼古拉电子科技有限公司 | 一种电子元器件表面氧化膜清洗装置及方法 |
CN108687016A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-10-23 | 安徽尼古拉电子科技有限公司 | 一种微电子机械清洗装置 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP8092987U patent/JPH0529113Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05123658A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-05-21 | Japan Field Kk | 被洗浄物の洗浄方法およびその装置 |
DE19515566A1 (de) * | 1995-03-16 | 1996-10-31 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | Reinigungsgerät |
DE19515566C2 (de) * | 1995-03-16 | 1998-10-08 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | Reinigungsgerät |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0529113Y2 (ja) | 1993-07-26 |
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