JPS631914A - パルス信号光電流抜取回路 - Google Patents
パルス信号光電流抜取回路Info
- Publication number
- JPS631914A JPS631914A JP14577186A JP14577186A JPS631914A JP S631914 A JPS631914 A JP S631914A JP 14577186 A JP14577186 A JP 14577186A JP 14577186 A JP14577186 A JP 14577186A JP S631914 A JPS631914 A JP S631914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- transistor
- npn transistor
- base
- collector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005070 sampling Methods 0.000 title abstract description 8
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000003503 early effect Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 101710154508 Purine nucleoside phosphorylase 1 Proteins 0.000 description 1
- 101710084347 Purine nucleoside phosphorylase DeoD-type 1 Proteins 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Focusing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体装置検出装置PSD
(Position 5ensitive Dete
ctor)からの背景光等の直流あるいは低周波電流成
分の光電流に重畳されるパルス信号光電流を抜きとるパ
ルス信号光電流抜取回路に関する。
ctor)からの背景光等の直流あるいは低周波電流成
分の光電流に重畳されるパルス信号光電流を抜きとるパ
ルス信号光電流抜取回路に関する。
(従来の技術)
光源より赤外線をパルス光の形で被測定物に照射し、反
射光を半導体装置検出装置PSDを用い検出し、三角測
量の原理により被測定物までの距離を測定する距離検出
装置が知られている。
射光を半導体装置検出装置PSDを用い検出し、三角測
量の原理により被測定物までの距離を測定する距離検出
装置が知られている。
第2図はPSDを用いた距%IIt検出装置の光学系を
示す略図である。
示す略図である。
投光用のL E Dから放出されたパルス光は投光レン
ズL1により前方の被測定物obに投射され、その反射
光は受光レンズL2を介してPSDに入射する。
ズL1により前方の被測定物obに投射され、その反射
光は受光レンズL2を介してPSDに入射する。
PSDは背景光または外来光とパルス光を、背景光また
は外来光のレベルとパルス光の入射位置情報を含む電流
に変換して出力する。
は外来光のレベルとパルス光の入射位置情報を含む電流
に変換して出力する。
したがって、PSDから前記背景光または外来光に原因
する電流(以下外来光電流)に重畳された必要なパルス
信号電流のゐを抜き取り、距離演算を実行する必要があ
る。
する電流(以下外来光電流)に重畳された必要なパルス
信号電流のゐを抜き取り、距離演算を実行する必要があ
る。
第3図は前記距離検出装置の信号処理回路のブロック図
である。
である。
PSDの出力端子はそれぞれ同一の構成のパルス信号抜
取り回路1.Hに接続されている。
取り回路1.Hに接続されている。
パルス信号抜取り回路1.Hにより、パルス光電流が対
数圧縮して取り出され、差動回路により距離情報が取り
出される。
数圧縮して取り出され、差動回路により距離情報が取り
出される。
第4図は、従来のパルス信号光電流抜取回路を示す回路
図である。
図である。
PSDからの電流と定電流源からの電流は比較器の一方
の入力端子とFETのソースに接続されている。
の入力端子とFETのソースに接続されている。
この比較器の他方の入力端子にはリファレンス電圧Vr
ef2が接続されている。
ef2が接続されている。
NPN l・ランジスタ1のコレクタはN P N ト
ランジスタ2のベースと前記FETに接続されている。
ランジスタ2のベースと前記FETに接続されている。
比較器4はこのNPNLランジスタ2のベース電圧とリ
ファレンス電圧Vrefを比較し、MO3FETスイッ
チ3を通じNPNトランジスタ1のベースを制御してい
る。
ファレンス電圧Vrefを比較し、MO3FETスイッ
チ3を通じNPNトランジスタ1のベースを制御してい
る。
この時メモリコンデンサ10はこの時のベース電圧を記
憶しておくので、常に一定電流がNPN トランジスタ
lに流れることになる。
憶しておくので、常に一定電流がNPN トランジスタ
lに流れることになる。
この状態で信号発生に同期して前記MOSトランジスタ
3をオフにすると、信号成分電流はNPNトランジスタ
2で増幅される。
3をオフにすると、信号成分電流はNPNトランジスタ
2で増幅される。
パルス信号光電流は、PNP トランジスタ5,6゜7
を通じダイオード8.9で対数圧縮されて、出力される
ことになる。
を通じダイオード8.9で対数圧縮されて、出力される
ことになる。
第5図は、従来のパルス信号光電流抜取回路の他の例を
示す回路図である。
示す回路図である。
NPN トランジスタ11のベースにPSDの一方の出
力端子と定電流源■が接続されている。
力端子と定電流源■が接続されている。
NPN トランジスタ11のベースはNPN トランジ
スタ12のコレクタが接続されており、このトランジス
タのベースにはメモリコンデンサ21が接続されている
。
スタ12のコレクタが接続されており、このトランジス
タのベースにはメモリコンデンサ21が接続されている
。
NPN トランジスタ11のエミッタとNPN トラン
ジスタ12のベースを接続し、NPNトランジスタ11
のコレクタをミラー回路と接続し、エミッタに定電流を
流すNPNトランジスタ16を接続する。
ジスタ12のベースを接続し、NPNトランジスタ11
のコレクタをミラー回路と接続し、エミッタに定電流を
流すNPNトランジスタ16を接続する。
NPNトランジスタ16で流す電流は電流源20で出力
端子から流す電流を相殺している。
端子から流す電流を相殺している。
定常状態(信号が発生していない状態)では出力電圧が
一定となるよう比較器17のVrefと比較する。
一定となるよう比較器17のVrefと比較する。
この出力がNPNトランジスタ16を制御し、この結果
としてNPN トランジスタ12のベースを制御する。
としてNPN トランジスタ12のベースを制御する。
このNPNトランジスタ12のベース電圧はメモリコン
デンサ21に記憶される。
デンサ21に記憶される。
信号電流がNPN I−ランジスタ11のベースに入る
と、この電流はPNP トランジスタ13.14゜15
で作られたミラー回路に接続されダイオード18.19
で対数圧縮されて出力される。
と、この電流はPNP トランジスタ13.14゜15
で作られたミラー回路に接続されダイオード18.19
で対数圧縮されて出力される。
(発明が解決しようとする問題点)
第4図に示した従来の回路で、定常電流(信号が入力さ
れない状態でのPSDからの背景光光電流と定電流源の
電流との和)が大きくなると、NPNトランジスタ1の
アーリー効果の影響が大きくなる。
れない状態でのPSDからの背景光光電流と定電流源の
電流との和)が大きくなると、NPNトランジスタ1の
アーリー効果の影響が大きくなる。
アーリー効果によりNPN トランジスタ1に流れ込む
電流△■は次の式で与えられる。
電流△■は次の式で与えられる。
△I= [I、o−VTIn (βI n / l B
ias) )/ V a ・・・
(1)ただし IO;定常電流 In;信号電流 IBias;バイアス電流 β ;電流増幅率 VT;kT/q va;アーリー電圧 この電流△I分だけ信号電流成分が少なくなる。
ias) )/ V a ・・・
(1)ただし IO;定常電流 In;信号電流 IBias;バイアス電流 β ;電流増幅率 VT;kT/q va;アーリー電圧 この電流△I分だけ信号電流成分が少なくなる。
第5図の回路の問題点は、入力電圧がNPNhランジス
タ11と12のVBHの和で決定されることである。
タ11と12のVBHの和で決定されることである。
ずなわら
VIN=VT ffn (Io /I s) +VT
ffn (I。
ffn (I。
/β ト 1+)/Is) ・・・ (2)た
だし +1 i電流源の電流 IS;飽和電流 で与えられる。
だし +1 i電流源の電流 IS;飽和電流 で与えられる。
したがって入力電圧がVBH分だけ高くなりこの結果P
SD等を使用した場合、バンドギャップリファレンスを
用いてバイアス回路を作った場合、PSDに逆バイアス
することができなくなっζしまう。
SD等を使用した場合、バンドギャップリファレンスを
用いてバイアス回路を作った場合、PSDに逆バイアス
することができなくなっζしまう。
本発明の目的は、前述した各先行例の問題点を解決する
ことができるパルス信号光電流抜取回路を提供すること
にある。
ことができるパルス信号光電流抜取回路を提供すること
にある。
(問題点を解決するための手段)
前記目的を達成するために、本発明によるパルス信号光
電流抜取回路において、ベースにPSDからの光電流と
定電流が接続されておりエミッタが接地されている第1
のNPNトランジスタと、Mi7 E第1のNPN ト
ランジスタのベースにコレクタが接続されておりエミッ
タが抵抗を介して接地されている第2のN P N h
ランジスタと、前記第1のN l) N トランジスタ
のコレクタに第jのPNPトランジスタが接続されてい
るミラー回路と、前記ミラー回路の第2のPNP トラ
ンジスタのコレクタと前記第2のNPN トランジスタ
のベースの接続点にコレクタが接続されエミッタが接地
されている定電流設定用の第3のNPN トランジスタ
と、前記第3のトランジスタのコレクタと接地点間に接
続されたメモリコンデンサとからなり、前記第2のトラ
ンジスタによりあらかじめ設定した電流源の電流と低周
波成分電流を抜き取り、前記第1のトランジスタから信
号成分を抽出するように構成されている。
電流抜取回路において、ベースにPSDからの光電流と
定電流が接続されておりエミッタが接地されている第1
のNPNトランジスタと、Mi7 E第1のNPN ト
ランジスタのベースにコレクタが接続されておりエミッ
タが抵抗を介して接地されている第2のN P N h
ランジスタと、前記第1のN l) N トランジスタ
のコレクタに第jのPNPトランジスタが接続されてい
るミラー回路と、前記ミラー回路の第2のPNP トラ
ンジスタのコレクタと前記第2のNPN トランジスタ
のベースの接続点にコレクタが接続されエミッタが接地
されている定電流設定用の第3のNPN トランジスタ
と、前記第3のトランジスタのコレクタと接地点間に接
続されたメモリコンデンサとからなり、前記第2のトラ
ンジスタによりあらかじめ設定した電流源の電流と低周
波成分電流を抜き取り、前記第1のトランジスタから信
号成分を抽出するように構成されている。
(実施例)
以下図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
第1図は本発明によるパルス信号光電流抜取回路の実施
例を示す回路図である。
例を示す回路図である。
第1のN P N +−ランジスタ23のベースには、
PSDからの光電流と定電流源38からの定電流が比較
器37およびFET36を介して接続されておりエミッ
タは接地されている。
PSDからの光電流と定電流源38からの定電流が比較
器37およびFET36を介して接続されておりエミッ
タは接地されている。
第2のN P N トランジスタ22は前記第1のNP
Nトランジスタ23のベースにコレクタが接続されてお
りエミッタが抵抗39を介して接地されている。
Nトランジスタ23のベースにコレクタが接続されてお
りエミッタが抵抗39を介して接地されている。
PNPI−ランジスタ25.2.6,27.28からな
るミラー回路のトランジスタ26のコレクタは、前記第
1のNPN トランジスタ23のコレクタに接続されて
いる。
るミラー回路のトランジスタ26のコレクタは、前記第
1のNPN トランジスタ23のコレクタに接続されて
いる。
第3のNPN トランジスタ24ば、前記ミラー回路の
第2のPNI)トランジスタ27のコレクタと前記第2
のNPN トランジスタ22のベースの接続点にコレク
タが接続されており、エミッタは接地されている。
第2のPNI)トランジスタ27のコレクタと前記第2
のNPN トランジスタ22のベースの接続点にコレク
タが接続されており、エミッタは接地されている。
また前記第3の1−ランジスタ24の二ルクタと接地点
間にメモリコンデンサ35が接続されている。
間にメモリコンデンサ35が接続されている。
そして前記第2のトランジスタ22によりあらがしめ設
定した電流源の電流と低周波成分電流を抜き取り、前記
第1のトランジスタ23から信号成分を抽出する。
定した電流源の電流と低周波成分電流を抜き取り、前記
第1のトランジスタ23から信号成分を抽出する。
前記実施例において、比較器37とFET36はPSD
の出力端子を一定電圧に保ち、FET36は電流を取り
出す。
の出力端子を一定電圧に保ち、FET36は電流を取り
出す。
NPN トランジスタ22は定常電流(定電流と信号入
力前のPSDの出力電流の和の電流)抜取用トランジス
タである。
力前のPSDの出力電流の和の電流)抜取用トランジス
タである。
NPN I−ランジスタ23は信号増幅用トランジスタ
である。
である。
I−ランジスタ25,26.27.28はミラー回路を
形成しており、ダイオード’29.30は信号の対数圧
縮用ダイオードを形成している。このダイオード29.
30に並列に定電流源31が接続されている。
形成しており、ダイオード’29.30は信号の対数圧
縮用ダイオードを形成している。このダイオード29.
30に並列に定電流源31が接続されている。
比較器32.33はサンプルホールド回路を形成してお
り、トランジスタ24はキャリヤ電流抜取用NPNトラ
ンジスタを形成している。
り、トランジスタ24はキャリヤ電流抜取用NPNトラ
ンジスタを形成している。
コンデンサ34はサンプルホールドコンデンサである。
比較器32はスイッチSWを介して電源に接続されてい
るときに帰還ループが形成され、メモリコンデンサ35
.サンプルホールドコンデンサ34の電位はこの帰還ル
ープ形成の際に決定され、光信号の入力に同期して前記
スイッチSWをオフにしたときに、スイッチSWをオフ
にする直前の電位を保持する。
るときに帰還ループが形成され、メモリコンデンサ35
.サンプルホールドコンデンサ34の電位はこの帰還ル
ープ形成の際に決定され、光信号の入力に同期して前記
スイッチSWをオフにしたときに、スイッチSWをオフ
にする直前の電位を保持する。
この電位により定常電流(光信号以外の電流)はNPN
トランジスタ22で抜き取られる。
トランジスタ22で抜き取られる。
このときトランジスタ22のベース電圧は、V&E”=
IoR1+VTJnIo/Is ・=(31で与えら
れる。
IoR1+VTJnIo/Is ・=(31で与えら
れる。
この電圧は電流源38及び定常電流の一部がNPNトラ
ンジスタ23のベースへ入り増幅され、ミラー回路のP
NP トランジスタ27を通り、−部はNPNトランジ
スタ24へ入り、−部がメモリコンデンサ35へ蓄えら
れて電圧を与える。
ンジスタ23のベースへ入り増幅され、ミラー回路のP
NP トランジスタ27を通り、−部はNPNトランジ
スタ24へ入り、−部がメモリコンデンサ35へ蓄えら
れて電圧を与える。
この結果NPN)ランラスタ2305ベース電圧はVI
N=VT 7!n ((I o/β+1+)/Is)・
・・(4) で与えられる。
N=VT 7!n ((I o/β+1+)/Is)・
・・(4) で与えられる。
そして、これは(2)式と比較してVT#n(Io/I
s)分入力電圧が上がったことになる。
s)分入力電圧が上がったことになる。
このため入力端子の電圧設定にはFET36.比
“較器37で作られた定電圧回路を用いることが可能
となる。
“較器37で作られた定電圧回路を用いることが可能
となる。
(発明の効果)
以上詳しく説明したように、本発明によるパルス信号光
電流抜取回路において、ベースにPSDからの光電流と
定電流が接続されておりエミッタが接地されている第1
のNPNトランジスタと、前記第1のNPN トランジ
スタのベースにコレクタが接続されておりエミッタが抵
抗を介して接地されている第2のNPN トランジスタ
と、前記第1のNPN トランジスタのコレクタに第1
のPNPトランジスタが接続されているミラー回路と、
前記ミラー回路の第2のPNP トランジスタのコレク
タと前記第2のNPN トランジスタのベースの接続点
にコレクタが接続されエミッタが接地されている定電流
設定用の第3のNPNトランジスタと、前記第3のトラ
ンジスタのコレクタと接地点間に接続されたメモリコン
デンサとからなり、前記第2のトランジスタによりあら
かじめ設定した電流源の電流と低周波成分電流を抜き取
り、前記第1のトランジスタから信号成分を抽出するよ
うに構成されている。
電流抜取回路において、ベースにPSDからの光電流と
定電流が接続されておりエミッタが接地されている第1
のNPNトランジスタと、前記第1のNPN トランジ
スタのベースにコレクタが接続されておりエミッタが抵
抗を介して接地されている第2のNPN トランジスタ
と、前記第1のNPN トランジスタのコレクタに第1
のPNPトランジスタが接続されているミラー回路と、
前記ミラー回路の第2のPNP トランジスタのコレク
タと前記第2のNPN トランジスタのベースの接続点
にコレクタが接続されエミッタが接地されている定電流
設定用の第3のNPNトランジスタと、前記第3のトラ
ンジスタのコレクタと接地点間に接続されたメモリコン
デンサとからなり、前記第2のトランジスタによりあら
かじめ設定した電流源の電流と低周波成分電流を抜き取
り、前記第1のトランジスタから信号成分を抽出するよ
うに構成されている。
このような本発明によるパルス信号光電流抜取回路は、
距離センサのプリアンプとして用いるこきができる。
距離センサのプリアンプとして用いるこきができる。
そして先に第4図に示した従来例の回路よりも、距離精
度の高い測定が可能になる。
度の高い測定が可能になる。
第5図に示した回路ではクロストークタイプのPSDL
か使えない。
か使えない。
クロストークタイプのPSDはSi中のデパ゛イ長でサ
イズ制限を受けるため基線長の選択が自由にならない。
イズ制限を受けるため基線長の選択が自由にならない。
本発明の回路は抵抗層形のPSDに使用することができ
基線長の選択の自由度が大きい。
基線長の選択の自由度が大きい。
第1図は、本発明による充電流抜取回路の実施例を示す
回路図である。 第2図は、PSDを用いた距離針の原理を示す略図であ
る。 第3図は、前記距離針の基本回路構成を示すブロック図
である。 第4図は、従来のパルス信号光電流抜取回路の第1の例
を示す回路図である。 第5図は、従来のパルス信号光電流抜取回路の第2の例
を示す回路図である。 PSD・・・半導体装置検出装置 22.23.24・・・NPNトランジスタ25.26
,27.28・・・PNP 1ランジスタ29.30・
・・対数圧縮ダイオード 31.38・・・定電流源 32.33.37・・・比較器 34・・・サンプルホールドコンデンサ35・・・メモ
リコンデンサ 36・・・FET 39・・・抵抗 特許出願人 浜松ホl−ニクス株式会社チノン株式会社 代理人 弁理士 井 ノ 11 壽手続補正書 昭和61年 8月 1日 印61年特 許 廓第14577]号 2、発明の名称 パルス信号光電流抜取回路 3、補正をする考 事件との関係 特許出願人 4、代 理 人 6、補正の対象 図面の第1図7、補正の内
容 別紙のとおり 。
回路図である。 第2図は、PSDを用いた距離針の原理を示す略図であ
る。 第3図は、前記距離針の基本回路構成を示すブロック図
である。 第4図は、従来のパルス信号光電流抜取回路の第1の例
を示す回路図である。 第5図は、従来のパルス信号光電流抜取回路の第2の例
を示す回路図である。 PSD・・・半導体装置検出装置 22.23.24・・・NPNトランジスタ25.26
,27.28・・・PNP 1ランジスタ29.30・
・・対数圧縮ダイオード 31.38・・・定電流源 32.33.37・・・比較器 34・・・サンプルホールドコンデンサ35・・・メモ
リコンデンサ 36・・・FET 39・・・抵抗 特許出願人 浜松ホl−ニクス株式会社チノン株式会社 代理人 弁理士 井 ノ 11 壽手続補正書 昭和61年 8月 1日 印61年特 許 廓第14577]号 2、発明の名称 パルス信号光電流抜取回路 3、補正をする考 事件との関係 特許出願人 4、代 理 人 6、補正の対象 図面の第1図7、補正の内
容 別紙のとおり 。
Claims (1)
- ベースにPSDからの光電流と定電流が接続されており
エミッタが接地されている第1のNPNトランジスタと
、前記第1のNPNトランジスタのベースにコレクタが
接続されておりエミッタが抵抗を介して接地されている
第2のNPNトランジスタと、前記第1のNPNトラン
ジスタのコレクタに第1のPNPトランジスタが接続さ
れているミラー回路と、前記ミラー回路の第2のPNP
トランジスタのコレクタと前記第2のNPNトランジス
タのベースの接続点にコレクタが接続されエミッタが接
地されている定電流設定用の第3のNPNトランジスタ
と、前記第3のトランジスタのコレクタと接地点間に接
続されたメモリコンデンサとからなり、前記第2のトラ
ンジスタによりあらかじめ設定した電流源の電流と低周
波成分電流を抜き取り、前記第1のトランジスタから信
号成分を抽出するように構成したパルス信号光電流抜取
回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14577186A JPS631914A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | パルス信号光電流抜取回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14577186A JPS631914A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | パルス信号光電流抜取回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS631914A true JPS631914A (ja) | 1988-01-06 |
JPH0588762B2 JPH0588762B2 (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15392784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14577186A Granted JPS631914A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | パルス信号光電流抜取回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS631914A (ja) |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14577186A patent/JPS631914A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0588762B2 (ja) | 1993-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0679869B1 (en) | Distance measuring device | |
JPS5895210A (ja) | 距離検出装置 | |
JPS631914A (ja) | パルス信号光電流抜取回路 | |
JPS60158309A (ja) | 距離検出装置 | |
JPS631918A (ja) | 距離検出装置 | |
JPH0588763B2 (ja) | ||
JPH061190B2 (ja) | パルス信号光電流抜取回路 | |
JPH0588764B2 (ja) | ||
JP2767507B2 (ja) | 測距回路 | |
JPS636480A (ja) | トラツキングホ−ルド回路をもつパルス光電流増幅回路 | |
JPS6222016A (ja) | 距離検出装置 | |
JP3193481B2 (ja) | 測距装置 | |
JPH0457962B2 (ja) | ||
JPS62232571A (ja) | スピ−ド検出装置 | |
JPH02195203A (ja) | 距離検出装置 | |
JPS62220872A (ja) | 電流変化分の検出回路 | |
JPH0326408Y2 (ja) | ||
JPH0654230B2 (ja) | 測距演算回路 | |
JPH0545926Y2 (ja) | ||
JPH0212008A (ja) | 非接触変位測定装置 | |
JPH05203731A (ja) | 距離検出装置と距離検出方法 | |
JPH0467606B2 (ja) | ||
JPS6227614A (ja) | 距離検出用測光回路 | |
JPH0226726B2 (ja) | ||
JPH0334037B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |