JPS63190564A - Ｒｆ発生装置 - Google Patents
Ｒｆ発生装置Info
- Publication number
- JPS63190564A JPS63190564A JP62019858A JP1985887A JPS63190564A JP S63190564 A JPS63190564 A JP S63190564A JP 62019858 A JP62019858 A JP 62019858A JP 1985887 A JP1985887 A JP 1985887A JP S63190564 A JPS63190564 A JP S63190564A
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- Japan
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- power
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- Pending
Links
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、種々のプラズマ発生装置及び加熱装置等の電
源部に使用されるＲＦ （Ｒａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎ
ｃｙ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ、）発生装置に関するもので
ある。
源部に使用されるＲＦ （Ｒａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎ
ｃｙ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ、）発生装置に関するもので
ある。
従来この種の装置は第１図の様に構成されている。即ち
、Ｔ１は商用の降圧トランス、ＤＲｌは整流ダイオード
、Ｃ１は平滑用コンデンサ、ＡＦｉＲＦ発生部の発生−
アンプ部、Ｂは該アンプ部Ａを駆動するためのドライブ
部及び発振部、Ｃは制御回路部ＦＤはアンプ部Ａの進行
波電力Ｐｆ及び反射電力Ｐｒを検出する検出回路、Ｅｆ
は該パワーアンプ部の進行波電力Ｐｆを設定するための
基準信号電圧、Ｖｃｃはパワーアンプ部Ａ及びドライブ
部Ｂに供給する電源電圧でアンプ部人の最大出力と該ア
ンプ部Ａに使用される半導体デバイス（トランジスタ、
ＦＥＴ等）により決定される。従来の装置に於て反射電
力Ｐｒ＝Ｏの場合、アンプ部Ａの電源電圧Ｖｃｃ は常
に一定電圧で駆動されるため該パワーアンプ部Ａの電力
変換効率ηは出力電圧をＶｏｓｉｎωｔＶ。
、Ｔ１は商用の降圧トランス、ＤＲｌは整流ダイオード
、Ｃ１は平滑用コンデンサ、ＡＦｉＲＦ発生部の発生−
アンプ部、Ｂは該アンプ部Ａを駆動するためのドライブ
部及び発振部、Ｃは制御回路部ＦＤはアンプ部Ａの進行
波電力Ｐｆ及び反射電力Ｐｒを検出する検出回路、Ｅｆ
は該パワーアンプ部の進行波電力Ｐｆを設定するための
基準信号電圧、Ｖｃｃはパワーアンプ部Ａ及びドライブ
部Ｂに供給する電源電圧でアンプ部人の最大出力と該ア
ンプ部Ａに使用される半導体デバイス（トランジスタ、
ＦＥＴ等）により決定される。従来の装置に於て反射電
力Ｐｒ＝Ｏの場合、アンプ部Ａの電源電圧Ｖｃｃ は常
に一定電圧で駆動されるため該パワーアンプ部Ａの電力
変換効率ηは出力電圧をＶｏｓｉｎωｔＶ。
とした場合、η＝０．７８５■７（但し動作モードはＢ
ｉとする）で表す事が出来る。従って上式よｔ）Ｖｏ＝
Ｖｃｃの時が最大効率で理論的には７８．５％になるが
Ｖｃｃ）Ｖｏつまり進行波電力Ｐｆが最大進行波電力Ｐ
ｆｍａｘよりも低い点で使用すると該パワーアンプ部Ａ
に使用される半導体デバイスの損失ＰｃＦｉＰ→＝Ｐｆ
（−Ｌ−１）で表わされるため、第３図に示す様な特性
図（イ）になり最大損失Ｐｃｍａｘは、電源電圧Ｖｃｃ
ｉＪ：常に一定電圧で駆動される。パワーアンプ部Ａの
場合は最大進行波電力Ｐｆｍａｘより低い点（ａｌでデ
バイスの最大損失がある。このため出力容量の割にはデ
バイスが増えたり、負荷初期運転時或は軽負荷時等に損
失方法となる欠点がある。本発明は係る欠截を解消した
装置を提供するものである。
ｉとする）で表す事が出来る。従って上式よｔ）Ｖｏ＝
Ｖｃｃの時が最大効率で理論的には７８．５％になるが
Ｖｃｃ）Ｖｏつまり進行波電力Ｐｆが最大進行波電力Ｐ
ｆｍａｘよりも低い点で使用すると該パワーアンプ部Ａ
に使用される半導体デバイスの損失ＰｃＦｉＰ→＝Ｐｆ
（−Ｌ−１）で表わされるため、第３図に示す様な特性
図（イ）になり最大損失Ｐｃｍａｘは、電源電圧Ｖｃｃ
ｉＪ：常に一定電圧で駆動される。パワーアンプ部Ａの
場合は最大進行波電力Ｐｆｍａｘより低い点（ａｌでデ
バイスの最大損失がある。このため出力容量の割にはデ
バイスが増えたり、負荷初期運転時或は軽負荷時等に損
失方法となる欠点がある。本発明は係る欠截を解消した
装置を提供するものである。
第２図は、本発明の実施例であって、Ａはパワーアンプ
部で部Ｅの出力Ｆは制御部、Ｐ−Ｄは進行波電力Ｐｆと
反射電力Ｐｒを検出する検出回路、なふ・ｐｆ、 Ｐｒ
、はそれぞれモニター信号電圧となっており出力に直線
的に比例する。ＥｆＶｉ進行波電力Ｐｆを設定する基準
信号電圧、Ｇはアンプ部Ａ及びドライブ部Ｂに電源電圧
（Ｖｃｃ ）を供給するためのコンバータ部でＡＣ−Ｄ
Ｃ−ＡＣ−ＤＣ変換になっており、入力は商用ＡＣ１０
０Ｖ又は２００Ｖになっている。進行波電力Ｐｆを定電
力化し尚かつ、パワーアンプ部Ａに使用されるデバイス
を効率良く動作させる番こは、コンバータ部Ｇの出力電
圧Ｖｃｃが進行波電力Ｐｆ□を設定する基準信号Ｅｆと
進行波電力検出信号Ｐｆ、の一致信号に応じた信号電圧
Ｖｒｅｆで動作する様になっておれば常に最大効率で動
作する。
部で部Ｅの出力Ｆは制御部、Ｐ−Ｄは進行波電力Ｐｆと
反射電力Ｐｒを検出する検出回路、なふ・ｐｆ、 Ｐｒ
、はそれぞれモニター信号電圧となっており出力に直線
的に比例する。ＥｆＶｉ進行波電力Ｐｆを設定する基準
信号電圧、Ｇはアンプ部Ａ及びドライブ部Ｂに電源電圧
（Ｖｃｃ ）を供給するためのコンバータ部でＡＣ−Ｄ
Ｃ−ＡＣ−ＤＣ変換になっており、入力は商用ＡＣ１０
０Ｖ又は２００Ｖになっている。進行波電力Ｐｆを定電
力化し尚かつ、パワーアンプ部Ａに使用されるデバイス
を効率良く動作させる番こは、コンバータ部Ｇの出力電
圧Ｖｃｃが進行波電力Ｐｆ□を設定する基準信号Ｅｆと
進行波電力検出信号Ｐｆ、の一致信号に応じた信号電圧
Ｖｒｅｆで動作する様になっておれば常に最大効率で動
作する。
係る装置に於て、パワーアンプＡの最大進行波電力Ｐｆ
を例え様に構成してふ・く。次にコンバータ部Ｇの最大
出力電圧Ｖｃｃはパワーアンプ部Ａ及びドライブ部りに
使用されているデバイス等の耐圧及びパワーアンプ部の
出力インピーダンス比より決定する。（この場合５０Ｖ
とする）又出力設定基準信号電圧、Ｅｆ及び進行波電力
モニターＰｆ、及び反射電力モニターＰｒｌの検出信号
をそれぞれ０〜ＩＯＶとすると、仮に最大出力設定信号
ＥｆをＩＯＶとした場合、コンバータＧの出力電圧Ｖｃ
ｃは進行波電力モニター信号電圧Ｐｆ、がＩＯＶになる
までコンバータ制御信号Ｖｒｅｆが動作するため上昇す
る。（最終的には５０Ｖに安定し進行波電力Ｉ Ｋｗを
出力する）（当然ながら、Ｅｆ＝５Ｖの場合、Ｐｆ＝５
Ｖ になるまでコンバータの出力電圧Ｖｃｃは上昇又は
下降する。）因みに第３図中特性（ロ）は、本発明装置
による主変換デバイスの損失の関係を示すもので、該コ
ンバータＧの基準電圧（Ｖｒｅｆ）を電力設定信号Ｅｆ
と検出信号Ｐｆｌの一致により設定することにより理論
的効率は、全出力範囲で理論値に近い（η−７８％）状
態で動作する。
を例え様に構成してふ・く。次にコンバータ部Ｇの最大
出力電圧Ｖｃｃはパワーアンプ部Ａ及びドライブ部りに
使用されているデバイス等の耐圧及びパワーアンプ部の
出力インピーダンス比より決定する。（この場合５０Ｖ
とする）又出力設定基準信号電圧、Ｅｆ及び進行波電力
モニターＰｆ、及び反射電力モニターＰｒｌの検出信号
をそれぞれ０〜ＩＯＶとすると、仮に最大出力設定信号
ＥｆをＩＯＶとした場合、コンバータＧの出力電圧Ｖｃ
ｃは進行波電力モニター信号電圧Ｐｆ、がＩＯＶになる
までコンバータ制御信号Ｖｒｅｆが動作するため上昇す
る。（最終的には５０Ｖに安定し進行波電力Ｉ Ｋｗを
出力する）（当然ながら、Ｅｆ＝５Ｖの場合、Ｐｆ＝５
Ｖ になるまでコンバータの出力電圧Ｖｃｃは上昇又は
下降する。）因みに第３図中特性（ロ）は、本発明装置
による主変換デバイスの損失の関係を示すもので、該コ
ンバータＧの基準電圧（Ｖｒｅｆ）を電力設定信号Ｅｆ
と検出信号Ｐｆｌの一致により設定することにより理論
的効率は、全出力範囲で理論値に近い（η−７８％）状
態で動作する。
第４図は、従来例と比較した本発明の特性図で、特性（
０）は、電源電圧を可変して供給した時（本発明）の効
率と又、特性イ）は一定電源電圧で供給した時の効率を
示す。
０）は、電源電圧を可変して供給した時（本発明）の効
率と又、特性イ）は一定電源電圧で供給した時の効率を
示す。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、コンバ
ータＧの出力電圧Ｖｃｃは、進行数電力Ｐｆ、設定信号
Ｅｆに応じた電圧で動作するため、パワーアンプ部Ａは
常【こ最大効率（Ｖｏ＝Ｖｃｃ ）で動作を行うことと
なり、パワーアンプ部Ａに使用されるデバイスの削減及
び装置の小型化が計れる等、実用上の効果は大きい。父
、パワーアンプ部を９級増巾器で使用した場合にも、コ
ンバータＧの出力電圧を可変する事によりパルス振巾変
調方式に依る定電力制御方式にも利用出来るため効果は
大き、い。
ータＧの出力電圧Ｖｃｃは、進行数電力Ｐｆ、設定信号
Ｅｆに応じた電圧で動作するため、パワーアンプ部Ａは
常【こ最大効率（Ｖｏ＝Ｖｃｃ ）で動作を行うことと
なり、パワーアンプ部Ａに使用されるデバイスの削減及
び装置の小型化が計れる等、実用上の効果は大きい。父
、パワーアンプ部を９級増巾器で使用した場合にも、コ
ンバータＧの出力電圧を可変する事によりパルス振巾変
調方式に依る定電力制御方式にも利用出来るため効果は
大き、い。
第１図は、従来回路図、第２図は、本発明の実施例の回
路図、第３図、第４図は従来方式と本発明セた方式の比
較特性図である。図に於てＡはパワーアンプ部、Ｖｃｃ
はその電源電圧Ｂ、 Ｄドラ４１部Ｅは発振部Ｐ、は、
発振部Ｅの出力、Ｃ，Ｆは制御部Ｇはコンバータ部Ｅｆ
は進行波出力設定用信号電圧、Ｖｒｅｆはコンバータ出
力（Ｖｃｃ）設定用信号電圧ＰＤは進行波反射電力検出
回路でＰｆ、、Ｐｆユは進行波電力モニター信号及び反
射波電力モニター信号電圧である。 第１ｍ
路図、第３図、第４図は従来方式と本発明セた方式の比
較特性図である。図に於てＡはパワーアンプ部、Ｖｃｃ
はその電源電圧Ｂ、 Ｄドラ４１部Ｅは発振部Ｐ、は、
発振部Ｅの出力、Ｃ，Ｆは制御部Ｇはコンバータ部Ｅｆ
は進行波出力設定用信号電圧、Ｖｒｅｆはコンバータ出
力（Ｖｃｃ）設定用信号電圧ＰＤは進行波反射電力検出
回路でＰｆ、、Ｐｆユは進行波電力モニター信号及び反
射波電力モニター信号電圧である。 第１ｍ
Claims (1)
- 高周波電力を発生せしめるパワーアンプ部と該パワーア
ンプ部に電源電圧を供給するコンバータ部と、該パワー
アンプ部の制御部及び進行波電力検出回路を備え、且つ
コンバータ部は該パワーアンプ部の出力（進行波）電力
設定信号と進行波電力検出信号の一致信号に応じて前記
電源電圧を可変せしめる機能を備えたことを特徴とする
ＲＦ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62019858A JPS63190564A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Ｒｆ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62019858A JPS63190564A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Ｒｆ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190564A true JPS63190564A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12010927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62019858A Pending JPS63190564A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Ｒｆ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63190564A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552261B1 (ja) * | 1971-05-28 | 1980-01-19 | ||
| JPS6116314A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波電源装置 |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62019858A patent/JPS63190564A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552261B1 (ja) * | 1971-05-28 | 1980-01-19 | ||
| JPS6116314A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波電源装置 |
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