JPS63186981A - フレキシブルポンプ - Google Patents
フレキシブルポンプInfo
- Publication number
- JPS63186981A JPS63186981A JP1888587A JP1888587A JPS63186981A JP S63186981 A JPS63186981 A JP S63186981A JP 1888587 A JP1888587 A JP 1888587A JP 1888587 A JP1888587 A JP 1888587A JP S63186981 A JPS63186981 A JP S63186981A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible
- rotor
- flexible blade
- blades
- stress concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 13
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 230000002485 urinary effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はロータ紬の一方向回転と共にケーシングの内周
壁により屈曲及び伸長を繰返すフレキシブル羽根を備え
るフレキシブル・ポンプに係るものである。
壁により屈曲及び伸長を繰返すフレキシブル羽根を備え
るフレキシブル・ポンプに係るものである。
（従来の技術）
第５図のようにロータ軸ａの一方向回転と共ｌこ吸込口
ｄと吐出口ｅの間にお−て、ゴム、合成樹脂等からなる
弾性材料のフレキシブル羽根をケーシングＣの内周壁に
より屈曲し、その他の内周壁により伸長を繰返えしてポ
ンプ作用を生ずるフレキシブルポンプは周知であって、
ロータ軸ａをケーシングＣの偏心位置に通し又は図示の
ようにロータ軸ａをケーシングＣの中心に通し、ケーシ
ングＣには吸込口ｄと吐出口Ｃとの間にケーシングＣと
は曲率が異なるカム部材ｆを固定しでし）る。
ｄと吐出口ｅの間にお−て、ゴム、合成樹脂等からなる
弾性材料のフレキシブル羽根をケーシングＣの内周壁に
より屈曲し、その他の内周壁により伸長を繰返えしてポ
ンプ作用を生ずるフレキシブルポンプは周知であって、
ロータ軸ａをケーシングＣの偏心位置に通し又は図示の
ようにロータ軸ａをケーシングＣの中心に通し、ケーシ
ングＣには吸込口ｄと吐出口Ｃとの間にケーシングＣと
は曲率が異なるカム部材ｆを固定しでし）る。
この構成をもつフレキシブルポンプにおいては、ケーシ
ングＣの吐出口ｅと吸込口ｄとの間で７レキシブル羽根
すを回転方向の後方に屈曲させて、７レキシプル羽根ｂ
−，、ｂ−、間の流体を圧縮し吐出口ｅに圧送するポン
プ機能を持つものであるが、各フレキシブル羽根すの屈
曲は、図示のように大きな倒れ角度θ−４をもち、その
角度はフレキシブルポンプの機種によって多少異なるが
、約７０゜±１０であって、応力集中、αＺにおいで千
切れる欠点があり、千切れないで折れた当該の羽根すが
遠心力によって、見掛は上はケーシングＣの内周壁に接
するものもあるが吐出口ｅにおいて液体が圧縮されると
、その圧力により回転方向後方に折れて圧縮を不能又は
不充分にするおそれがある。
ングＣの吐出口ｅと吸込口ｄとの間で７レキシブル羽根
すを回転方向の後方に屈曲させて、７レキシプル羽根ｂ
−，、ｂ−、間の流体を圧縮し吐出口ｅに圧送するポン
プ機能を持つものであるが、各フレキシブル羽根すの屈
曲は、図示のように大きな倒れ角度θ−４をもち、その
角度はフレキシブルポンプの機種によって多少異なるが
、約７０゜±１０であって、応力集中、αＺにおいで千
切れる欠点があり、千切れないで折れた当該の羽根すが
遠心力によって、見掛は上はケーシングＣの内周壁に接
するものもあるが吐出口ｅにおいて液体が圧縮されると
、その圧力により回転方向後方に折れて圧縮を不能又は
不充分にするおそれがある。
このためフレキシブル羽根すの突出の長さ、回転方向の
厚さ、材質、硬度を変更する試みはあるが、艮すぎれば
耐圧力が低くなり、厚すぎたり、硬すぎれば回転の所要
動力が大きくなる６（発明が解決しようとする間ｍ点） 本発明は従来の７レキシプルポンプが技術的に行詰り、
特に従来上り高速度でロータ軸を回転できなくなってい
るのを改善することを解決するもので、すでに出願した
特願昭６１−３０６０２２号発明について、特にゴム、
合成樹脂等の弾性材料からなる中心環から多数のフレキ
シブル羽根を放射方向に一体突出する構成について間に
点を解決するものである。
厚さ、材質、硬度を変更する試みはあるが、艮すぎれば
耐圧力が低くなり、厚すぎたり、硬すぎれば回転の所要
動力が大きくなる６（発明が解決しようとする間ｍ点） 本発明は従来の７レキシプルポンプが技術的に行詰り、
特に従来上り高速度でロータ軸を回転できなくなってい
るのを改善することを解決するもので、すでに出願した
特願昭６１−３０６０２２号発明について、特にゴム、
合成樹脂等の弾性材料からなる中心環から多数のフレキ
シブル羽根を放射方向に一体突出する構成について間に
点を解決するものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は前項に述べた問題点を解決することを口約とす
るものであって、ロータ軸に嵌合固定するゴム、合成樹
脂などの弾性材料からなる中心環から多数のフレキシブ
ル羽根を一体成形により突出してなるロータ部材に、各
フレキシブル羽根の回転方向後部に該フレキシブル羽根
の応力集中点２を最大湾曲まで湾曲に従って順次に支承
する曲線案内面をもつ突起部を、前記中心環と同じ材料
によって一体的に突出成形してなるフレキシブルポンプ
に係り、フレキシブル羽根を補強する若干の実施想様を
含むものである。
るものであって、ロータ軸に嵌合固定するゴム、合成樹
脂などの弾性材料からなる中心環から多数のフレキシブ
ル羽根を一体成形により突出してなるロータ部材に、各
フレキシブル羽根の回転方向後部に該フレキシブル羽根
の応力集中点２を最大湾曲まで湾曲に従って順次に支承
する曲線案内面をもつ突起部を、前記中心環と同じ材料
によって一体的に突出成形してなるフレキシブルポンプ
に係り、フレキシブル羽根を補強する若干の実施想様を
含むものである。
本発明の実施例を添付図面について説明する。
（実施例）
第１図において、１は吸込口２と吐出口３とを備えるケ
ーシングであって、吸込口２と吐出口３とは鎖線に示す
側壁部に設けることができる。
ーシングであって、吸込口２と吐出口３とは鎖線に示す
側壁部に設けることができる。
４はケーシング１の偏心部に通したロータ軸、５はロー
タ軸４に回転方向で自由回転を生ヒないように嵌めるア
ッセンブリであって、中心にロータ軸４に嵌合するリン
グ状のロータ芯金６を有し、その周りにゴム、合成樹脂
等の弾性材料からなるリング形のロータ環７を焼付など
で固定し、ロータ環７から放射方向に突出するフレキシ
ブル羽根８を多数はぼ等角度間隔で一体状に突出し、各
先端に円形断面からなる拡大突部９を設ける。また各フ
レキシブル羽Ｍｉ８の回転方向後側に断面を半円状にす
ると共に、周面を曲線案内面１１とした突起部１０を各
７レキシブル羽根８と平行にしてロータ環７と一体成形
する。突起部１０は各７レキシプル羽根８の中間に設け
ているもので、フレキシブル羽根８をどの方向に倒して
も応力集中点２を中心にして３０°士の倒れ角度θ−盲
の角度で曲線案内面１１に接して支承され、フレキシブ
ル羽根８からさらに倒れるに従って曲線案内面１１の各
項線方向に支承を順次に移す形状にする。フレキシブル
羽根８がケーシング１の内面に接して最大に倒れるとき
、曲線案内面１１の頂線か、或は頂点より回転方向の少
し前で支承する断面形状にする。
タ軸４に回転方向で自由回転を生ヒないように嵌めるア
ッセンブリであって、中心にロータ軸４に嵌合するリン
グ状のロータ芯金６を有し、その周りにゴム、合成樹脂
等の弾性材料からなるリング形のロータ環７を焼付など
で固定し、ロータ環７から放射方向に突出するフレキシ
ブル羽根８を多数はぼ等角度間隔で一体状に突出し、各
先端に円形断面からなる拡大突部９を設ける。また各フ
レキシブル羽Ｍｉ８の回転方向後側に断面を半円状にす
ると共に、周面を曲線案内面１１とした突起部１０を各
７レキシブル羽根８と平行にしてロータ環７と一体成形
する。突起部１０は各７レキシプル羽根８の中間に設け
ているもので、フレキシブル羽根８をどの方向に倒して
も応力集中点２を中心にして３０°士の倒れ角度θ−盲
の角度で曲線案内面１１に接して支承され、フレキシブ
ル羽根８からさらに倒れるに従って曲線案内面１１の各
項線方向に支承を順次に移す形状にする。フレキシブル
羽根８がケーシング１の内面に接して最大に倒れるとき
、曲線案内面１１の頂線か、或は頂点より回転方向の少
し前で支承する断面形状にする。
第２図は第１実施例のフレキシブルポンプの側面図であ
って、１２はロータ紬４を通して軸封するハウジング、
１はケーシング、１３１土エンドカバー、１４はエンド
カバー１３をケーシング１の側面に固定するボルトであ
って、第１図はｔ５２図Ａ−Ａｉで切断して示したもの
である。
って、１２はロータ紬４を通して軸封するハウジング、
１はケーシング、１３１土エンドカバー、１４はエンド
カバー１３をケーシング１の側面に固定するボルトであ
って、第１図はｔ５２図Ａ−Ａｉで切断して示したもの
である。
本実施例はｖＪＳ図に示したようにロータ紬をケーシン
グの中心に通し、そのケーシングの内面にカム部材を固
定して歪面を形成するフレキシブルポンプにおいても使
用で島る。また、ゴム、合成樹脂等の弾性材料を、すで
に公知な成形技術によって７レキシプル羽根８がロータ
環７に比してやや弾力性のある軟質物により一体成形を
施すこともできる。
グの中心に通し、そのケーシングの内面にカム部材を固
定して歪面を形成するフレキシブルポンプにおいても使
用で島る。また、ゴム、合成樹脂等の弾性材料を、すで
に公知な成形技術によって７レキシプル羽根８がロータ
環７に比してやや弾力性のある軟質物により一体成形を
施すこともできる。
第１．２図の実施例にお１１％て、ロータ紬４を矢線方
向に高速回転するとき、各７レキシプル羽根８は吐出口
３と吸込口２間でケーシング１の内周の相対的偏心部に
より回転方向後側に倒れ、曲線案内面１１に接するまで
の応力集中点２はロータ環からの突出部であるが、その
あとは曲線案内面によって順次移行状に支持点を施すか
ら、応力集中点はＺ−、、Ｚ−２のように移動し、第５
図の従来のフレキシブルポンプの７レキシブル羽根すの
ように急角度の倒れを生じないため、欠落、折損を極く
有効に防止できる。
向に高速回転するとき、各７レキシプル羽根８は吐出口
３と吸込口２間でケーシング１の内周の相対的偏心部に
より回転方向後側に倒れ、曲線案内面１１に接するまで
の応力集中点２はロータ環からの突出部であるが、その
あとは曲線案内面によって順次移行状に支持点を施すか
ら、応力集中点はＺ−、、Ｚ−２のように移動し、第５
図の従来のフレキシブルポンプの７レキシブル羽根すの
ように急角度の倒れを生じないため、欠落、折損を極く
有効に防止できる。
第３図は本発明の前記とは別の実施態様を示し、各７レ
キシブル羽根８にスプリング板からなる芯金１５をイン
サートして被覆したもので、その芯金１５はロータ芯／
に６に形成した溝に嵌めて固着した上、ロータ環７に通
して放射方向に突出する。
キシブル羽根８にスプリング板からなる芯金１５をイン
サートして被覆したもので、その芯金１５はロータ芯／
に６に形成した溝に嵌めて固着した上、ロータ環７に通
して放射方向に突出する。
その芯金１５には多数に小さい透孔を設けで７レキシプ
ル羽根８の材料を通して連結することもできる。
ル羽根８の材料を通して連結することもできる。
第４図は第３図とはさらに別の実施態様を示したもので
あって、各フレキシブル羽根８と突起部１０に、キャン
バス等の繊維材料からなる補強芯材１６をインサートし
て被覆する。補強芯材１６はロータ環の内部に巻きつけ
てインサートを施し、その巻付部から各フレキシブル羽
根８については偏平形で突出させてインサートを施し、
突起部１０につい゛ては断面を前記巻付部からリング形
に突出させてインサートを施す。
あって、各フレキシブル羽根８と突起部１０に、キャン
バス等の繊維材料からなる補強芯材１６をインサートし
て被覆する。補強芯材１６はロータ環の内部に巻きつけ
てインサートを施し、その巻付部から各フレキシブル羽
根８については偏平形で突出させてインサートを施し、
突起部１０につい゛ては断面を前記巻付部からリング形
に突出させてインサートを施す。
（作用）
本発明の作用は＄１．２図の第１実施例に記載したとお
りであって、各７レキシブル羽根８のケーシング１の内
周面の吐出口３と吸込口２の間との倒れが一挙に極端な
角度にならないように順次に支承して、応力集中点Ｚを
突起部１０の曲線案内面１１により移動させる。
りであって、各７レキシブル羽根８のケーシング１の内
周面の吐出口３と吸込口２の間との倒れが一挙に極端な
角度にならないように順次に支承して、応力集中点Ｚを
突起部１０の曲線案内面１１により移動させる。
（効果）
本発明は前記により明らかにしたように、ゴム、合成υ
Ｕｒなとの弾性材料からなるロータ環７がら多数のフレ
キシブル羽根を一体成形により突出してなるロータ部材
に、各フレキシブル羽根の回転方向後部に該フレキシブ
ル羽根の応力集中点２を最大湾曲まで、湾曲に従って順
次に支承する曲線案内面１１をもつ突起部１０を、前記
ロータ環７と同じ材料によって一体的に突出成形してな
る構成をもつから、フレキシブル羽根の高速回転中にお
ける湾曲と伸長の繰返しについて、その湾曲の応力集中
点２を、突起部の曲線案内面によって一１克に集中させ
ず、折損を防止して耐久性を向上できる効果をもつ。
Ｕｒなとの弾性材料からなるロータ環７がら多数のフレ
キシブル羽根を一体成形により突出してなるロータ部材
に、各フレキシブル羽根の回転方向後部に該フレキシブ
ル羽根の応力集中点２を最大湾曲まで、湾曲に従って順
次に支承する曲線案内面１１をもつ突起部１０を、前記
ロータ環７と同じ材料によって一体的に突出成形してな
る構成をもつから、フレキシブル羽根の高速回転中にお
ける湾曲と伸長の繰返しについて、その湾曲の応力集中
点２を、突起部の曲線案内面によって一１克に集中させ
ず、折損を防止して耐久性を向上できる効果をもつ。
又、フレキシブル羽根８にスプリング性の芯金をインサ
ートした構成によって、折損とが折曲がりをさらに強化
できる効果をもつ。
ートした構成によって、折損とが折曲がりをさらに強化
できる効果をもつ。
又、７にキシプル羽根８と突起８′ｌＳ１． Ｏとにキ
ャンバス等のａｍ材料からは補強芯材１６をインサート
シて被覆する構成によって、フレキシブル羽根及び突起
部の復元性、弾力の保持及び耐久性をさらに補強でさる
効果をもつ。
ャンバス等のａｍ材料からは補強芯材１６をインサート
シて被覆する構成によって、フレキシブル羽根及び突起
部の復元性、弾力の保持及び耐久性をさらに補強でさる
効果をもつ。
第１〜４図は本発明の実施例を示し、ＰｔＳｉ図は第１
実施例の第２図Ａ−Ａ線切画工面図、第２図は同側面図
である。第３図は別の実施例の切断正面図、第４図はさ
らに別の実施例のり画工面図である。第５図は従来の７
レキシブルボンプの切断正面図である。 １→ケーシング ３→吐出口 ４→ロータ１ｄ１５→アツセンブリ ６→ロータ芯金 ７→ロータ環 ８→フレキシブル羽根 ９→拡大突部 １０→突起部 １１→曲線案内面 １２→ハウジング １３→エンドカバー１４→ボルト
１５→芯金 出願人 株式会社ア ン し ッ ト 第２図 第３図 第４図 第５図
実施例の第２図Ａ−Ａ線切画工面図、第２図は同側面図
である。第３図は別の実施例の切断正面図、第４図はさ
らに別の実施例のり画工面図である。第５図は従来の７
レキシブルボンプの切断正面図である。 １→ケーシング ３→吐出口 ４→ロータ１ｄ１５→アツセンブリ ６→ロータ芯金 ７→ロータ環 ８→フレキシブル羽根 ９→拡大突部 １０→突起部 １１→曲線案内面 １２→ハウジング １３→エンドカバー１４→ボルト
１５→芯金 出願人 株式会社ア ン し ッ ト 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ロータ軸に嵌合固定するゴム、合成樹脂などの弾性
材料からなる中心環から多数のフレキシブル羽根を一体
成形により突出してなるロータ部材に、各フレキシブル
羽根の回転方向後部に該フレキシブル羽根の応力集中点
ｚを最大湾曲まで湾曲に従って順次に支承する曲線案内
面をもつ突起部を、前記中心環と同じ材料によって一体
的に突出成形してなるフレキシブルポンプ。 ２）フレキシブル羽根及び突起部をゴム、合成樹脂など
の弾性材料からなる中心環と一体に成形すると共に、各
フレキシブル羽根にスプリング性の芯金をインサートし
て被覆したことを特徴とする特許請求の範囲１）のフレ
キシブルポンプ。 ３）フレキシブル羽根及び突起部をゴム、合成樹脂など
の弾性材料からなる中心環と一体成形すると共に、フレ
キシブル羽根及び突起部にキャンバス等の繊維材料から
なる補強芯材をインサートして被覆したことを特徴とす
る特許請求の範囲１）のフレキシブルポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1888587A JPS63186981A (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 | フレキシブルポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1888587A JPS63186981A (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 | フレキシブルポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63186981A true JPS63186981A (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=11984019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1888587A Pending JPS63186981A (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 | フレキシブルポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63186981A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140301833A1 (en) * | 2013-04-05 | 2014-10-09 | Automatic Bar Controls, Inc. | Flexible Impeller Pump |
| CN109804163A (zh) * | 2016-11-08 | 2019-05-24 | Nok株式会社 | 叶轮 |
| US11852138B2 (en) | 2020-11-11 | 2023-12-26 | Server Products, Inc. | Flexible impeller pump for flowable food product |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS45848Y1 (ja) * | 1967-01-28 | 1970-01-14 | ||
| JPS5617385B2 (ja) * | 1973-04-12 | 1981-04-22 |
-
1987
- 1987-01-29 JP JP1888587A patent/JPS63186981A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS45848Y1 (ja) * | 1967-01-28 | 1970-01-14 | ||
| JPS5617385B2 (ja) * | 1973-04-12 | 1981-04-22 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140301833A1 (en) * | 2013-04-05 | 2014-10-09 | Automatic Bar Controls, Inc. | Flexible Impeller Pump |
| US9719508B2 (en) * | 2013-04-05 | 2017-08-01 | Automatic Bar Control, Inc. | Flexible impeller pump |
| CN109804163A (zh) * | 2016-11-08 | 2019-05-24 | Nok株式会社 | 叶轮 |
| CN109804163B (zh) * | 2016-11-08 | 2020-05-05 | Nok株式会社 | 泵 |
| US11053937B2 (en) | 2016-11-08 | 2021-07-06 | Nok Corporation | Curved flexible impeller |
| US11852138B2 (en) | 2020-11-11 | 2023-12-26 | Server Products, Inc. | Flexible impeller pump for flowable food product |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4543041A (en) | Impellor for centrifugal compressor | |
| US6113363A (en) | Turbine fuel pump | |
| JP2004068770A (ja) | 軸流圧縮機 | |
| GB1495708A (en) | Blade for a centrifugal pump impeller | |
| JP5001493B2 (ja) | タービン式燃料ポンプ | |
| JPS5911759B2 (ja) | 回転方向と直径方向とに自由に全体が浮遊的変位可能に組立てられたピニオンの歯を有するグロボイドウオ−ム型圧縮機及び膨張機 | |
| JPS63186981A (ja) | フレキシブルポンプ | |
| JPS6228568A (ja) | 水ポンプのメカニカル・シ−ル | |
| CA2076994C (en) | Impeller for a propeller pump | |
| WO2006013316A1 (en) | Peristaltic pump and rotor | |
| US20180291897A1 (en) | Impeller Pump | |
| CN216618002U (zh) | 动叶轮、电风机及吸尘器 | |
| JP2004536989A (ja) | ロータ羽根とステータ羽根とを備えたターボ分子真空ポンプ | |
| CN2213877Y (zh) | 一种后弯叶轮 | |
| JPS636477Y2 (ja) | ||
| JPS636478Y2 (ja) | ||
| CN113738695B (zh) | 一种具有抛物线型前缘叶片的高性能呼吸机离心叶轮 | |
| JPS5965586A (ja) | スクロ−ル式ポンプ | |
| JPH0637880B2 (ja) | 軸流ファン | |
| JP2529222Y2 (ja) | 水封式真空ポンプのインペラ | |
| JPS648195B2 (ja) | ||
| JPH0687691U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| KR100559871B1 (ko) | 베인식 진공펌프의 구조 | |
| JPS6357635B2 (ja) | ||
| TW202346717A (zh) | 轉子及真空泵 |