JPS63186863A - チユ−ブ内面の金属真空蒸着方法 - Google Patents
チユ−ブ内面の金属真空蒸着方法Info
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- JPS63186863A JPS63186863A JP1858787A JP1858787A JPS63186863A JP S63186863 A JPS63186863 A JP S63186863A JP 1858787 A JP1858787 A JP 1858787A JP 1858787 A JP1858787 A JP 1858787A JP S63186863 A JPS63186863 A JP S63186863A
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- tube
- vacuum
- deposited
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はチューブ内面に金属を真空蒸着させる方法に関
し、特に宇宙用展開収納型ラジェータの冷媒移送用フＶ
キシプ〜ホースの製作に有用な方法に関する。
し、特に宇宙用展開収納型ラジェータの冷媒移送用フＶ
キシプ〜ホースの製作に有用な方法に関する。
従来、内面に金属を蒸着させたチューブは、先ずチュー
ブとなる材料のシートに金属を真空蒸着し、該シートの
端部の蒸着金属を剥離した後、蒸着金属面が内側になる
ように該シートをチューブ状に成形し、端部を熱融着し
てチューブを製作していた。
ブとなる材料のシートに金属を真空蒸着し、該シートの
端部の蒸着金属を剥離した後、蒸着金属面が内側になる
ように該シートをチューブ状に成形し、端部を熱融着し
てチューブを製作していた。
従来方法は工程数が多く複雑であるばがヤでなく、作成
したチューブは＃！Ｗ着部の金属蒸着面がはがれやすく
、熱融着部よりの洩れが起る可能性がある。これはシー
ト状で片面蒸着を行いその後でチューブ状成形を行うた
めである。
したチューブは＃！Ｗ着部の金属蒸着面がはがれやすく
、熱融着部よりの洩れが起る可能性がある。これはシー
ト状で片面蒸着を行いその後でチューブ状成形を行うた
めである。
本発明は上記した従来の技術水準に鑑み、工程で簡単で
、しかも従来法で製作したチューブのような欠点のない
チューブが製作できる内面金属蒸着チューブの製作方法
を提供しようとするものである。
、しかも従来法で製作したチューブのような欠点のない
チューブが製作できる内面金属蒸着チューブの製作方法
を提供しようとするものである。
本発明は真空雰囲気内に置かれた被蒸着体であるチュー
ブ内に、蒸着材を貫挿設置し、その両端に電圧を印加し
て溶着材にジュール熱を発生させ、このジュー／Ｌ／＠
により蒸着材を蒸発させてチューブ内面に蒸着させるこ
とを特徴とするチューブ内面の金属真空蒸着方法である
。
ブ内に、蒸着材を貫挿設置し、その両端に電圧を印加し
て溶着材にジュール熱を発生させ、このジュー／Ｌ／＠
により蒸着材を蒸発させてチューブ内面に蒸着させるこ
とを特徴とするチューブ内面の金属真空蒸着方法である
。
すなわち本発明ではまずガラスクロス（テフロン含浸）
などの材料のシートを最初からチューブ状に作っておき
、真空雰囲気内で該チューブのセンターに蒸着材自体よ
シなるワイヤ状物を貫挿設置しておき、その両端に電極
を接続し電圧をかけ、発生したジュール熱にょシ蒸着材
を蒸発させてチューブ内面に蒸着させるものである。
などの材料のシートを最初からチューブ状に作っておき
、真空雰囲気内で該チューブのセンターに蒸着材自体よ
シなるワイヤ状物を貫挿設置しておき、その両端に電極
を接続し電圧をかけ、発生したジュール熱にょシ蒸着材
を蒸発させてチューブ内面に蒸着させるものである。
チューブ状（パイプ）にして、蒸着材自体をｉ！！、極
と直接接続しジューＡ／熱を利用して蒸着するものであ
るので、蒸着面の膜厚のむらもなくなシシームレスのた
め、蒸着面の剥離性も良くなシそして洩れも解消される
。
と直接接続しジューＡ／熱を利用して蒸着するものであ
るので、蒸着面の膜厚のむらもなくなシシームレスのた
め、蒸着面の剥離性も良くなシそして洩れも解消される
。
本発明の一突施例を第１図によって説明する。
第１図において１はチューブ（パイプ）、２はワイヤ（
蒸着材）、５は電源結線、４は電圧調整装置を含む電源
である。
蒸着材）、５は電源結線、４は電圧調整装置を含む電源
である。
蒸着材であるワイヤ２の端部よシミ流を印加すると、ワ
イヤ２はジュール熱によって加熱され、矢印で示すよう
蒸発し、チューブ１内面に蒸着する。
イヤ２はジュール熱によって加熱され、矢印で示すよう
蒸発し、チューブ１内面に蒸着する。
また本発明の他の実施例を第２図によって説明する。
第２図はチューブ１を治具５で固定しギヤ６で回転させ
ている図を示す。この実施例では、チューブ１が回転す
るため、チューブ１内面に均一な膜厚の蒸着金属膜が得
られる。
ている図を示す。この実施例では、チューブ１が回転す
るため、チューブ１内面に均一な膜厚の蒸着金属膜が得
られる。
本発明方法によれば加熱源として蒸着材を加熱蒸発させ
るヒータは不要であシ蒸着材自体に電極を付けることに
よシ蒸着に要する時間も短縮できる。又従来の真空排気
系、蒸着室の装置もそのままで使用できる。そしてチュ
ーブをシームレスタイプにすることにより円周方向の強
度が増し蒸着面の剥離性も向上し、もれの可能性も解消
される。
るヒータは不要であシ蒸着材自体に電極を付けることに
よシ蒸着に要する時間も短縮できる。又従来の真空排気
系、蒸着室の装置もそのままで使用できる。そしてチュ
ーブをシームレスタイプにすることにより円周方向の強
度が増し蒸着面の剥離性も向上し、もれの可能性も解消
される。
第１図及び第２図は本発明の詳細な説明するための図で
ある。
ある。
Claims (1)
- 真空雰囲気内に置かれた被蒸着体であるチューブ内に、
蒸着材を貫挿設置し、その両端に電圧を印加して溶着材
にジュール熱を発生させ、このジュール熱により蒸着材
を蒸発させてチューブ内面に蒸着させることを特徴とす
るチューブ内面の金属真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1858787A JPS63186863A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | チユ−ブ内面の金属真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1858787A JPS63186863A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | チユ−ブ内面の金属真空蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63186863A true JPS63186863A (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=11975761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1858787A Pending JPS63186863A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | チユ−ブ内面の金属真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63186863A (ja) |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP1858787A patent/JPS63186863A/ja active Pending
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