JPH0241165Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、例えば、鏡、レンズや集積回路に使
用される半導体のウエハやレコードデイスク等の
被蒸着材（ワーク）を真空筐体内で真空蒸着して
蒸着膜を形成する真空蒸着装置に係り、特に、こ
の真空蒸着装置における真空蒸着用発熱体に関す
る。

考案の技術的背景 従来の真空蒸着装置は、第１図に示されるよう
に、基板ａ上に真空キヤビンｂを形成する真空筐
体ｃを設け、この真空筐体ｃに付設されたパイプ
に開閉弁ｄを介して真空ポンプｅを設け、他方、
上記真空キヤビンｂの位置する基板ａ上にワーク
保持体ｆを立設し、このワーク保持体ｆに、例え
ば、レンズのような多数の被蒸着体（ワーク）ｇ
を添設し、この被蒸着体ｇの下位の上記基板ａ上
に導電性の一対の電極支持体ｈを電源ｉに導通す
るようにして植設し、この両電極支持体ｈにタン
グステンによる電極ｊを架装して接続し、さら
に、この電極ｊに、例えばチタンやアルミ等の金
属による蒸着材ｋを付設したものである。

従つて、上述した真空蒸着装置は、予め、上記
真空ポンプｅを駆動すると共に、開閉弁ｄを開弁
することにより、真空筐体ｃに真空度の高いキヤ
ビンｃを形成し、しかる後、上記開閉弁ｄを閉弁
する。

次に、上記電極ｊに通電することにより、この
電極ｊが高温度（タングステンの場合、約1700
℃）に加熱されることにより、上記電極ｊに付設
された蒸着材ｋがタングステンと共に合金状態と
なつて蒸発して霧化し、これらが真空中の被蒸着
体ｇの表面に蒸着するようになつている。

即ち、上記蒸着材ｋは、電極ｊによるタングス
テンと合金状態となつて蒸発して霧化粒子を生成
し、これらが真空中の被蒸着体ｇに蒸着するよう
になつている。

背景技術の問題点 しかしながら、上述した真空蒸着装置に組込ま
れるタングステンによる電極ｊは、蒸着材ｋと共
に合金状態になつて蒸発して被蒸着体ｇに蒸着す
る関係上、この被蒸着体ｇに生成される金属薄膜
が、純粋な蒸着材ｋによるものではなく、タング
ステンを混合した合金質の金属薄膜となり、しか
も、タングステンによる微細粒子が、再結晶して
蒸着むらを生成し、良質の真空蒸着をすることが
困難であるばかりでなく、直線状にして架装され
る電極ｊは、加熱して再結晶温度に達すると粗大
粒子化してもろくなり、しかも、発熱時の熱応力
や振動によつて断線し易く、真空蒸着作業中の電
極Ｊの断線は、品質の低下をもたらすばかりでな
く、量産による省力化を困難にしている。

考案の目的 本考案は、上述した事情に鑑みてなされたもの
であつて、真空蒸着時に蒸着材を収納する発熱体
の中程に蒸発材収納部を形成して、蒸発材を均等
に蒸発して均一に拡散しながら被蒸着材に純粋な
蒸着膜を均一に生成して品質の向上を図るように
したことを目的とする真空蒸着装置を提供するも
のである。

考案の概要 本考案は、導電性をなす一対の電極支持体にカ
ーボンを主材とする発熱体を架装し、この発熱体
の中程に蒸着材収納部を形成し、この蒸着材収納
部に蒸着材を挿入して真空中で加熱蒸着するよう
に構成したものである。

考案の実施例 以下、本考案を図示の一実施例について説明す
る。

第２図乃至第４図において、符号１は、篇平な
基板であつて、この基板１上には、真空キヤビン
２を形成する真空筐体３が設けられており、この
真空筐体３の一部には、真空ポンプ４が開閉弁５
を介して付設されている。又、上記真空キヤビン
２の位置する上記基板１上には、ワーク保持体６
が立設されており、このワーク保持体６の上板６
ａには、多数の被蒸着体（ワーク）７が着脱自在
に添設されている。さらに、この被蒸着体７の直
下の上記基板１の各絶縁体１ａには、導電性をな
す一対の電極支持体８が電源９及び可変抵抗器１
０を介して導通するようにして植設されており、
この両電極支持体８には、カーボンを主材料とす
る発熱体１１が架設されている。特に、この発熱
体１１の中程には、第３図及び第４図に示される
ように、円錐形をなす蒸発材収納部１１ａが形成
されており、この蒸発材収納部１１ａ内には、例
えば、アルミ、チタン、金、銀等による金属粒子
による蒸着材１２が挿入されている。

従つて、予め、上記ワーク保持体６の上板６ａ
に多数の被蒸着体７を添設すると共に、他方、開
閉弁５を開弁し、真空ポンプ４を駆動することに
より、上記真空筐体３に真空度の高い真空キヤビ
ン２を形成し、しかる後、上記開閉弁５を閉弁し
て真空蒸着の準備を終了する。

次に、上記発熱体１１２に可変抵抗器１０を通
して通電することにより、約1800℃程度の高温度
に加熱することにより、予め、上記発熱体１１の
蒸着材収納部１１ａ内に挿入された蒸着材１２が
蒸発して霧化して上昇し、上記真空中の被蒸着材
７の表面に蒸着むらなく蒸着するようになつてい
る。

特に、上記発熱体１１の蒸着材収納部１１ａ
は、通電時、あたかも火球のように発熱するか
ら、この蒸着材収納部１１ａ内の蒸着材１２は、
均等に蒸発して均一に拡散しながら上昇して被蒸
着材に均一に蒸着して蒸着膜を生成するようにな
つている。

次に、第５図に示される本考案の他の実施例
は、円錐形をなす蒸着材収納部を皿形に形成した
ものであつて、上述した実施例と実質的に同一構
成のものである。

又一方、第６図に示される本考案の他の実施例
は、カーボンを主材料とする発熱体１１の中程に
アルミと被覆した円錐状をなす蒸着材収納部１１
ａをコイルで巻回して形成し、このコイルで巻回
された蒸着材収納部１１ａに蒸着材１２を挿入し
たものであり、これによつて蒸着材の“ねれ性”
を良くしながら、蒸発を均一に施すようにしたも
のである。

さらに又、第６図の鎖線で示すように、蒸着材
収納部１１ａを二重コイル１３で巻回して形成
し、発熱温度を高めるように構成することは自由
である。

考案の効果 以上述べたように本考案によれば、導電性をな
す一対の電極支持体８にカーボンを主材とする発
熱体１１を架装し、この発熱体１１の中程に蒸着
材収納部１１ａを形成し、この蒸着材収納部１１
ａに蒸着材１２を挿入するようにしてあるので、
真空蒸着時、蒸着材収納部１１ａが火球のように
発熱して蒸着材１２を蒸発するようになり、これ
によつて均等に蒸発雰囲気を形成して均一に拡散
しながら上昇して被蒸着材に均一に蒸着して蒸着
膜を生成して品質の向上を図ることができるばか
りでなく、例えば、金、銀等による貴金属の蒸着
材を無駄なく経済的に使用することができると共
に、蒸着むらを解消することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の真空蒸着装置を線図的に示す
断面図、第２図は、本考案による真空蒸着装置を
線図的に示す断面図、第３図は、本考案の要部を
取出して示す拡大断面図、第４図は、同上斜面
図、第５図及び第６図は、本考案の実施例を示す
各図である。 １……基板、２……真空キヤビン、３……真空
筐体、４……真空ポンプ、６……ワーク保持体、
６ａ……上板、７……被蒸着材、８……電極支持
体、１１……発熱体、１１ａ……蒸着材収納部、
１２……蒸着材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 導電性をなす一対の電極支持体にカーボンを
   主材料とする発熱体を架装し、この発熱体の中
   程に蒸着材収納部を形成し、この蒸着材収納部
   に蒸着材を挿入するようにしたことを特徴とす
   る真空蒸着装置。 ２ 蒸着材収納部を円錐形若しくは皿形に形成し
   たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の真空蒸着装置。 ３ 発熱体の蒸着材収納部にチタン若しくはアル
   ミナを付設したことを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項又は第２項記載の真空蒸着装
   置。