JPS63186067A - ネジ軸とナツトが回転する直線移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く接衝分野〉 本発明は、ネジ軸とナツトが回転数を僅かに相違して同
一・方向回転して微速移動を生ずるようになっていて、
高精密位置決め接衝に採用されるネジ軸とナツトが回転
する直線移動装置に関する。

〈従来技術及びその問題点〉 従来のネジ軸とナツトが回転する直線移動９置として第
５図に示すものがある。

構成を説明すると、ナツト１が螺合するネジ軸２と、ス
ライド筒３が被嵌していて該スライド筒３を回転させか
つ軸方向に案内するスプライン軸等の回転伝達軸４があ
る。ネジ軸２と回転伝達軸４が、ブラケット５によりそ
れぞれ回転自在に平行に両端支持され、ネジ軸２が油圧
モータ６により直結回転駆動されるようになイている。

可動体（テーブル）７は、ナツト１とスライド筒３をそ
れぞれ回転自在に収容支持している。

ネジ軸２が油圧モータ６により矢印ａの方向へ回転駆動
されると、ネジ軸２に設けられた第−歯車８が回転伝達
軸４に設けられた第二歯車９に対して回転を噛合い伝達
し、回転伝達軸４が矢印すの方向へ回転する。すなわち
、ネジ軸２と回転伝達軸４は■いに反対回転となる。さ
らに、回転伝達軸４が矢印すの方向へ回転されると、ス
ライド筒３の外周に設けられた第三歯車ｌＯも矢印すの
方向へ回転し、第三歯車１０がナツト１の外周に設けら
れた第四歯車１１に対して回転を噛合い伝達するので、
ナツト１がネジ軸２と同方向に回転することになる。

この場合、第一歯車８は第二歯車９よりも歯数が少いの
で、第一歯車８と第二歯車９の１１合い伝達において減
速が行われ、回転伝達軸４はネジ軸２よりも低回転とな
りスライド筒３に回転を伝達する。そして、第三歯車１
０と第四歯車１１は歯数が等しいのでナツト１の回転数
は、モータ回転数をＮ　（ｒ、ｐ、ｍ）、歯車８．９の
歯数２８　、Ｚ！３で表せば、Ｎ　−２８／　Ｚ９　　
（ｒ、ｐ、ｍ）である。

ナラ）１の移動量Ｓ　Ｃｒａ／ｍ／ｓ　）は、ネジピン
チ（＝　Ｐ　（ｍ／ｍ））にナツトｌとネジ軸２の相対
回転数（＝Ｎ・　（Ｚ９−２８）／Ｚ９　）を掛は算し
た値となる。すなわち、 Ｓ　＝　Ｐ　−Ｎ　−（Ｚ９−２８）／Ｚ９（ＩＩＩ／
ｆｆｌ／ｓ）・・・（ａ）式なお、油圧モータ６は低速
で逆回転するようになっており、逆回転させたときには
、回転伝達軸４と第二歯車９の間に設けられているワン
ウェイクラッチベアリング１２の作用で回転伝達軸４に
回転が伝達されないとともに、ナツト１と可動体７との
間に設けられているワンウェイクラッチベアリング１３
の作用によりナツトｌが回転しないようにロックされる
ことになり、その結果、ネジ軸２の１回転でナツトｌが
１ピツチ移動する早戻りが行われることになる。

以上で、−通り構成と作用について説明を終えたので、
ざらにヒ記した（ａ）式に基いて、この直線移動装置の
Ｊｌｉｔ４Ｉｉの特性を探究した結果を説明する。

先ず、本発明者は、この直線移動装置の四つの歯車の歯
数として、大きな減速比を得んとして、例えば以下のよ
うな試行錯誤を行った。

ケース１ 第５図において、歯車８と９の歯数として、例えば９８
と１００を与えると、ネジ軸２とスプライン４は１００
対９９の割合いで回転し、スプライン４はネジ軸２に対
して微小に減速された回転となる。

続いて、＠重１０と１１の歯数として１００と１００を
与えると、スプライン４とナツト１は同一回転すること
になり、ナツトｌはネジ軸２の一回転尚４１、　　Ｉ／
１００だけ回転Ｈれをノドすることが解りた。

ケース２ 第５図において、歯車８と９の歯数として、例えばθＢ
と１００を与えると、ネジ軸２とスプライン４は１００
対８９の割合いで回転し、歯車１０と１１の歯数として
１００と８８を与えると、スプライン４とナツトｌは８
９対１００の割合いで回転し、ネジ軸２とす・シト１に
相対回転が生じないことが解った。

ケース３ 第５図において、歯車８と９の歯数として、例えばＳ８
とＩＧＯを与えると、ネジ軸２とスプライン４は１００
対８８の割合いで回転し、またｆｉｔ　車１０と１１の
歯数として９９と１００を与えると、スプライン４とナ
ツト１は１００対８９の割合いで回転することになる。

二つの微小な減速が徂畳された結果、ネジ軸２とナツト
ｌは１対９９Ｘ　９９／　１０．０００となり、およそ
　２／　１００の減速比がイ！ｔられる。つまり、この
直線移動装置では、減速を二段虱ねるとネジ軸２とナツ
ト１の相対回転が大きくなり、減速機の複斂段減速の場
合とは全く逆に、減速が小さく行われることが解った。

次に、　１／　１００の減速が行われる状態を別の角度
からり、ると、ネジ軸２を１回転させることにより、第
−歯車８が１回転し、第二歯車９と第三歯車１０と第四
歯車１１は９９／　１００回転し、従って、ネジ軸２の
１回転に対してナツトｌが１／　１００回転だけ遅れる
ことが解る。

これは、この直線移動装置の位置決め精度に大きな影響
を与える機構上の特性である。すなわち、この直線移動
装置において、　　１／１００の減速比はネジピッチを
回転数として刻むものである。

それ故に、ネジ軸２を反転させたときに生ずる歯車のバ
ックラッシ分のネジ軸方向の移動量は極小となる。これ
に対し、　１／　１００の減速機をモータに後付けして
）戚速機の出力軸をネジ軸と接続し、モータの回転を減
速比で１／　１００に減速してネジ軸を回転させ、ネジ
軸に螺合しておりかつテーブルに固定されているナツト
ランナーを移動しようとするときは、歯車のバツクラツ
シがネジ軸の回転量の誤差として大きく現れることが免
れない。

このことから、この直線移動装置において歯車のバック
ラッシ分のネジ軸方向の移動量は極小となる機構［−の
特性は、精密位置決め技術に利用できる非常に大きな利
点である。しかし反面において、モータとネジ軸が直結
されているのでモータを高速回転させると、歯車の噛合
いによる振動が発生し、精密位置決め技術の利用Ｌ、大
きな妨げとなるので、モータを低速回転させて使用する
。

モータを低速回転させると、高速送りが問題となるが、
この点については、ヒ記したようにワンウェイクラッチ
を設ける等によりナツトを回転不能にすることにより高
速送りが可能であり、このときはモータを一層低速回転
させる必要がある。

しかして、歯車のバックラッシが極小となる特性をこの
直線移動装置が有するが故に、この直線移動装置は一部
において精密位置決めテーブルの移動手段として採用さ
れてきた。

しかし、この直線移動装置による精密位置決めは、歯車
伝達による減速が行われるものである以ヒ、ネジ軸２の
一回転を均等に角度分割する最小割出し角度を歯車のバ
ックラッシの影響が現れない限度で行う必要がある。

この直線移動＠置の精度について、文献によれば、 一方向精度及び繰返し精度・会・±０／１０　　ｍ／ｍ
位置決め精度　・ψ・±０．５１Ｌｍ／ｍ　／　０．１
　ｍ／ｍ総合的精度　　ｓｅｅ±０．００１　ｍ／ｍ　
／　３００　ｍ／ｍが得られるとなっている。

しかしながら、現在の精密位置決め技術は、超精密位置
決めが求められており、　ｌ／１０〜１／　１００　ｇ
　ｍａｔｓの高精度、さらには　１／　１００ルｍ／ｍ
よりも微細な高精度が求められており、この直線移動装
置についても一層、精度を高める１夫が求められている
。

そこで考えられることは、この直線移動装置は、北述し
た説明から解るように、歯数を多くすることにより減速
比を小さくすることができ、さらに−回転当りの角度分
割も細分化でき、この方法が一層の精度を高めることに
なりはしないか注目されるところである。しかしながら
、このことについては、報告が見当らない。

本発明者は、直線移動装置において、歯車の歯数を多く
するためには、歯車の尚の大きさく＝モジュール）を小
さくするとともに、軸間距離を装置構成Ｉ−最大限に許
される範囲で大きくとることを考えてみた０例えば、ネ
ジ軸２と回転伝達軸４の軸間距離を１００　ａ＋／ｍに
とり、モジュールを０．５Ｉｌ／Ｉｌとして四つの歯車
の尚斂を２００　、２００　。

２００　、１Ｈにとると、減速比を１／２００にとるこ
とができる６減速比が１／２００ということは、屯純に
考えても減速比が１１５０の場合の位置決め精度を四倍
向丘させることになり、ピッチ　４　ｍ／ｍのポールネ
ジを使用した場合、ネジ軸２を一回転させると、ナツト
１が２／　１００　ｍ／ｍ移動することになる。これは
、差動ネジに比べて極めて大きい分解能である。しかし
、やはり歯車を用いているので、ネジ軸２の一回転を角
度分割したときの微動分解能は、おのずと歯車のバック
ラッシを位置快め誤差として拾わない範囲内に抑えなけ
ればならない限界があり、大きく角度分割することはで
きない。これがために究極は、上記した精度を多少高め
ることができるに留り、　Ｉ／　１０〜　］／　１００
ｕ、ｍ／Ｉ１１の高精度、さらには１／１００　ｇｍ／
ｍよりも微細な高精度が得られるものではないと考えら
れる。

これに対し、ピッチ４．０００　ｍ／ｍの右ネジとピ、
。

千３．９００　ｍ／ｍの左ネジを一軸にに形成した差動
ボールネジを使用した超精密テーブルによれば、ネジ軸
を一回転させると、ナツト１が　１／ｌｏｗ／ｍ移動す
ることになり、これは、上記の直線移動装置に比べて分
解能が小さい、しかしながら、歯車を用いていないので
、歯車のバックラッシの問題がなく、ネジ軸の一回転を
角度分割した微動分解能は、上記の直線移動装置に比べ
てはるかに大きくとることができ、サブミクロン（１／
１０Ｂｍ／ｍ）の位置決め精度が実現されている。

こうして検討してくると、上記の直線移動装置は、ネジ
軸を一回転当りの微動送りが差動ネジの場合よりもはる
かに小さいので、微動分解能を３〜５ｕ、ｍ／ｍを限度
とするテーブル等の位置決めに採用でき、特に駆動源に
サーボモータを用いて負荷が太きいテーブル等の位置快
めに採用することが好尚と考えられる。そして、上記の
直線移動装置は、減速比を従来と比較にならない程飛曜
的に大きくとることができない限り１例えば、１／　５
０００とか、　ｌ／　１００００の減速比が得られもの
でない限り、　　１／１０〜１／　１００μｓ／ｍの微
動分解能、さらには　Ｉ／　１００　μｍ／ｍよりも微
細な微動分解能が得られる超精密テーブルの移動装置と
して採用の可能性がないことが解った。

なお、微動送りができる従来の移動装置は、いずれも、
１回転を殻千以トに角度分割しかつ、パルスモータが一
般的に用いられて微小角度回転制御しており、負荷を大
きく採ることはできなかった。そして、パルスモータの
回転はゆるやかな回転ではなかった。従って、他方では
、例えば、ピッチ５　ｍ／＋の精富ポールネジを１回転
させると１ミクロン送りができるように、１１５０００
の減速比を有するノンバシクラー、シ減速機の開発１強
く要望されている。

く本発明の目的〉 本発明は、ト述した点に鑑み、歯車のバックラッシが直
動方向に大きく影響しない特性を有する従来の「ネジ軸
とナツトが回転する直線移動装置」に関して鋭意に研究
した結果案出したもので、微動送りの原理を従来と異に
することなく、かつ歯車の歯数を従来に比べて特別に増
すことなく、従来では全く考えられなかった飛躍的に大
きな減速が得られるようにした、例えば、従来において
　１／１００の減速比が得られていたものであれば１／
　１００００の減速比が得られるようにし、これによっ
てネジ軸の一回転当りの微動送りを飛躍的に小さくでき
、例えば、１ミクロン送りをネジ軸を１回転させること
によって得ることができ、ひいては、　１／１０〜１／
　ｔｏｏ抜ｍ／ｗの微動分解能、さらには１／　１００
μｓ／ｍよりも微細な微動分解能が得られる可能性を十
分に有する。ネジ軸とナツトが回転する直線移動装置を
提供することを゛目的としている。

く本発明の構成〉 本発明のネジ軸とナツトが回転する直線移動装置は、 ナツトが螺合するネジ軸と、スライド筒が被嵌していて
該スライド筒を回転させかつ直線案内するスプライン軸
等の回転伝達軸とが、それぞれ回転自在に平行に両端支
持され少なくとも一方の軸が回転駆動されるようになっ
ており、可動体がナツトとスライド筒をそれぞれ回転自
在に収容交合しており、 ナツトとネジ軸を同方向回転させるために、ネジ軸に第
一の転がり回転輪が設けられているとともに、回転伝達
軸に第二の転がり回転輪が設けられていて、中間車であ
る転がり回転輪を介して回転伝達できるようになってお
り、 また、スライド筒とナツトが同方向回転させるために、
スライド筒に第三の転がり回転輪が設けられているとと
もに、ナツトに第四の転がり回転輪が設けられていて、
中間車である転がり回転輪を介して回転伝達できるよう
になっており。

第−の転がり回転輪と第二の転がり回転輪の転がり接触
内径の差が、第四の転がり回転輪と第三の転がり回転輪
の転がり接触円径の量に等しく。

第一の転がり回転輪と第四の転がり回転輪、並びに第二
の転がり回転輪と第三の転がり回転輪は、転がり接触円
の大きさが穴なるものであることにより、ナ・ントとネ
ジ軸が回転数を相違して同一方向回転して微速移動する
。ことを特徴とするものである。

１−記の転がり回転輪とは歯車とコロを含む主旨である
。

転がり回転輪を歯車とした場合、北記の文言の中、 「第一の転がり回転輪と第二の転がり回転輪の転がり接
触円径の差が、第四の転がり回転輪と第三の転がり回転
輪の転がり接触円径の量に等しく、第一の転がり回転輪
と第四の転がり回転輪、並びに第二の転がり回転輪と第
三の転がり回転輪は、転がり接触円の大きさが異なるも
のであること１とは。

ｒ第一歯車と第二歯車のピッチ円径の差が、第四歯車と
第三歯車のピンチ円径の量に等しく、第一歯車と第四歯
車、並びに第二山車と第三山車は、ピッチ円の大きさが
蹟なっていること」と言い直すことができ、 さらに、ｒ第−山車と第二歯車の歯数の差が、第四歯！
１（と第三山車の歯数の量に等しく、第一・歯車と第四
歯車、並びに第二歯車と第三歯車は、歯数が胃なってい
ることｊ、！：言い直すことができる。

かかるｒ第一歯車と第二歯車の歯数の差が、第四歯車と
第三山車の歯数の量に等しい場合」として、 第−山車が第二歯車の歯数より一つもしくは二つ多いと
き、これに対応して第三山車の歯数が第四歯車より一つ
もしくは二つ少ない場合と、第一歯車が第二歯車の歯数
より一つもしくは二つ少ないとき、これに対応して第三
山車の歯数が第四歯車より一つもしくは二つ多い場合と
がある。

以下、図面を参照して説明する。

第１図と第２図は、本発明者が概略構造として考えたネ
ジ軸とナツトが回転する直線移動装置の異なる実施例を
示し、転がり回転輪として歯車を用いている。

第１図の直線移動装置では、モータ６が第５図の従来例
と同様にネジ軸２に接続されている。

ナツトｌが螺合するネジ軸２と、スライド筒３が被嵌し
ていて該スライド筒３を回転させかつ直線案内する回転
伝達軸としてのスプライン軸４とが、ブラケット５によ
りそれぞれ回転自在に平行に両端支持されており、可動
体７がナツト１とスライド筒３をそれぞれ回転自在に収
容支持している。なお、図面ではナツトｌとネジ軸２は
右ネジのポールネジが使用されている。

そして、ナツト１とネジ軸２を同方向回転させるために
、ネジ軸２に第一歯車８が設けられているとともに、回
転伝達軸としてのスプライン軸４に第二歯車９が設けら
れていて、中間歯車１４を介して回転伝達できるように
なっている。

また、スライド筒３とナツト１を同方向回転させるため
に、スライド筒３に第三歯車１０が設けられているとと
もに、ナツトｌに第四歯車１１が設けられていて、中間
歯車１５を介して回転伝達できるようになっている。

符号１６はワンウェイクラッチ継手、符号１７は電磁ブ
レーキ、符号１８は′テーブル、符号１９はガイドレー
ル、符号２０は可動体７を案内するガイドロッドである
。

モータ６によって右ネジのネジ軸２が矢印Ｃの方向へ回
転されるときワンウェイクラッチ継手１６はロック状態
となり、モータの回転は、歯車８と中間歯車１４と歯車
９の１−合いを介してスプライン軸４に伝達され、さら
に、第三山車１０と中間歯車１５と第四山車１１の噛合
いを介してナツト１に伝達される。従って、ナツト１と
ネジ軸２は同方向回転となる。この場合、四つの山車８
．９．１０．１１の歯数いかんにより、ナツト１の回転
がネジ軸２の回転よりも遅い場合と、速い場合とがあり
、遅ければナツトｌが左方向に移動し、速ければナツト
１が右方向に移動し、それに応じてテーブル１８は左ま
たは右方向に微速移動することになる。

他方、モータ６は反転時には低速で駆動される。このと
き、ワンウェイクラッチ継手１６はアンロック状態にな
り、電磁ブレーキ１７はオンに′なる。このため、ナラ
）ｌは、回転不能となるがネジ軸２の回転により１回転
ｌピッチ送りで左方向に移動し、テーブル１８は高速移
動することになる。

なお、歯車８と９及び１０と１１の噛合いに対して、バ
ックラッシ除去機構を付けるのが良い。

第２図の直線移動装置では、モータ６が回転伝達軸とし
てのスプライン軸４に接続されている。

ナツト１、ネジ軸２、スライド筒３．スプライン軸４、
ブラケット５、可動体７、六つの歯車８．９．１０．１
１．１４．１５は、第１図と同一構造に設けられている
。符号２１は電磁クラッチ、符号２２は電磁ブレーキで
ある。

従って、電磁クラッチ２１がオン、電磁ブレーキ２２が
オフの状態で、モータ６が回転駆動されると、スプライ
ン軸４によりスライド筒３が回転され、第三歯車１０と
中間歯車１５と第四歯車１１の噛合いを介してナツト１
が回転される。また、スプライン軸４の回転は、電磁フ
ランチｚ１を経由し、第二歯車９と中間歯車１４と第一
歯車８の噛合いを介しざらに′心磁ブレーキ２２を経由
してネジ軸２に伝達される。

従って、ネジ軸２とナツトｌはモータ６と同方向回転と
なる。この場合も第１図と同様に、四つのｍ屯８，９．
１０．１１の歯数いかんにより。

ナツト１の回転がネジ軸２の回転よりも遅い場合と、速
い場合があり、スプライン軸４を矢印ｄの方向に回転さ
せると、ナツトｌとネジ軸２は矢印ｅの方向に回転する
ことになる。従って、ナツト１の回転がネジ軸２の回転
よりも遅ければナツトｌが右方向に移動し、速ければナ
ツトｌが左方向に移動し、それに応じてテーブル１８は
右または左方向に微速移動することになる。そして、モ
ータ６を一旦停止トさせ、電磁クラッチ２１をオフ、電
磁ブレーキ２２をオンの状態にし、再び同方向に低回転
駆動すると、ナツトｌのみが矢印ｅの方向に回転するこ
とになり、該ナツト１は１回転１ピッチ送りで左方向に
移動し、テーブル１８は高速移動することになる。

モータ６を反転駆動させる場合は、各回転が逆になると
ともに、テーブルの移動も逆になる。

なお、第２図の装置では、電磁クラッチ２１と電磁ブレ
ーキ２２があるので、第１図と同じようにネジ軸２にも
モータを付け、かつ二つのモータのいずれも電磁クラッ
チを介して軸と接続し、一方は高速モータ、他方は低速
モータとして、高速送りと低速送りの必要に応じて切変
え駆動することが可能である。

以上、要するに、第１図と第２図は、モータの接続が異
なることにより、ナラ）ｌとネジ軸２に回転させる方法
が異っている。すなわち、第１図では、ネジ軸２はダイ
レクトドライブであり、ナラ）ｌは六つの歯車を経由し
て駆動されるのに対し、第２図ではナツト１もネジ軸２
もダイレクトドライブではなくそれぞれ三つの歯車を介
して駆動されるようになっている。しかし、モータの接
続が蹟なることにより、このような相違があるが、それ
以外は、ナツトｌとネジ軸２を同方向に回転させかつ歯
車によりナツト１とネジ軸２の回転数をＷならせるとい
う機構の木質について相違するものではない。

この直線移動装置では、ナツトｌとネジ軸２の相対回転
数を小さくすればする程大きな減速が起きる。ナツトｌ
とネジ軸２の相対回転数を小さくには、ネジ軸２とスプ
ライン軸４の相対回転数を小さくしなければならない。

しかして５本発明装置にかかる第１図と第２図において
示すように、ネジ軸２とスプライン軸４の相対回転数を
極めて小さく得る手段として、ネジ軸２とスプライン軸
４を連結する六つの歯車８．９．１０．１１．１４．１
５を設けているのである。なお、中間歯車１４．１５は
減速機能に直接関与しない。本発明装置は、歯車８と９
及び歯車１０と１１の噛合いから、従来において得られ
なかった極めて大きな減速を得るものである。

未発明者は、互いに接近する一定の関係にある四つの自
然数について、一定の力走式に当てはめると演算値が極
めて小さくなることを数学にの知識としてひらめくとと
もに、該力走式の条件を満たす四つの数字を四つの歯車
の歯数として一定の当てはめ方をすることにより、減速
比計算における分数式の分子が該力走式に一致する結果
になるのではないかとひらめいた。

かかる力走式とは、以下の如き一群の力走式である。な
お、ｎは自然数である。

（ｎ＋　　１）　　Ｘ　　（ｎ＋１）　　−（ｎ）　　
Ｘ　　（ｎ＋２）　　＝　　１　　・　拳　・　■（ｎ
＋　１）Ｘ　（ｎ＋２）−（ｎ）Ｘ　（ｎ＋３）＝　２
・・φ（０（ｎ＋１）　Ｘ　（ｎ＋３）　−（ｎ）　Ｘ
　（ｎ＋４）　＝３　＃　ｅ　＊■（ｎ＋　ｌ）Ｘ　（
ｎ＋４）−（ｎ）Ｘ　（ｎ＋５）＝４−　・−■（ｎ＋
１）Ｘ　（ｎ＋５）　＝（ｎ）Ｘ　（ｎ＋６）＝５ｓ　
拳ｅｃｊ）Ｅ記いずれも四つの（）で示された力走式で
あることが解るであろう。これらの方程式はそれぞれ以
下のようなことを意味している。

式ｒ’ｉｉ）は、連続する三つの自然数を選択しかつ中
間の数をコロ選択して四つの数を考えた場合、一番小さ
い数と一番大きい数の乗算値は、中間の二つの数の乗算
値よりも常に１だけ少いことを示している。例えば、９
９と　１００と　１００と　１０１の四つの数字を選択
した場合、　１００Ｘ　１００−９９Ｘ　１０１−１で
ある。

式（句は、連続する四つの自然数を選択した場合、一番
小さい数と一番大きい数の乗算値は、残りの二つの数の
乗算値よりも常に２だけ少いことを示している。例えば
、９９と　１００と　１０１と　１０２の四つの数字を
選択した場合。

１００　ＸＩＱｌ−９１ａＸＩＱ２　＝２である。

式°＠は、連続する二つの数と、数を一つ飛ばしてさら
に連続する二つの数を合せた四つの数を選択した場合、
一番小さい数と一番大きい数の乗算値は、残りの二つの
数の乗算値よりも常に３だけ少いことを示している０例
えば、３９と　１００と　１０２と　１０３の四つの数
字を選択した場合、１００　Ｘ１０２−９９Ｘ１０３　
＝３である。

同様に、弐〇は、連続する二つの数と、数を二つ飛ばし
てさらに連続する二つの数を合せた四つの数を選択した
場合、一番小さい数と一番大きい数の乗算値は、残りの
二つの数の乗算値よりも常に４だけ少いことを示してい
る０例えば、８８と１００と　１０３と　１０４の四つ
の数字を選択した場合。

１００　Ｘ１０３−９９Ｘ１０４　＝４である。

さらに１式（りは、連続する二つの数と、数を三つ飛ば
してさらに連続する二つの数を合せた四つの数を選択し
た場合、一番小さい数と一番大きい粒の乗算値は、残り
の二つの数の乗算値よりも常に５だけ少いことを示して
いる０例えば、９９と１００と　１０４と　１０５の四
つの数字を選択した場合、１００　Ｘ１０４−９９Ｘ１
０５　＝５である。

今、第１図において、上記力走弐〇に当てはまる四つの
数をこの直線移動装置に使用してみる。

歯車８と９の歯数として、例えば差が１になるように９
９と１００を与えると、歯車８と９は１００対５９９の
割合いで回転し、９９／　１００という微小な減速が生
じる。続いて、歯車１０と１１のｔＭＩ数として差が１
になるように１００と１０１を与えると、歯車ＩＯと１
１１±１０１対１００の割春いで回動１゜１０１　／１
００の割合いの微小な増速か生じる。しかるに、微小な
減速と増速は、値が微小に異っているため完全な相殺が
行われず、値が大きい方の影響として減速が残ることに
なる。すなわち、モー　′り６が１回転すると、ネジ軸
２が１回転する。ネジ軸２の１回転は、先ず歯車８と１
４と９の噛合いにおいて９９／　１００回転となり、こ
の９９７１００回転はスプライン軸４の回転となり、次
いで、歯車１０と１５と１１の噛合いにおいて、 （９１１／１００　）　Ｘ　（１０１／＋００　）　＝
９９Ｘ　１０１　／　１００　Ｘ　ｔｏｏ　＝　９１３
９９／１００００回転となる。この９９Ｈ／　１０００
０回転はナラ）１の回転となる。

従って、ネジ軸２の１回転当りにおけるナツト１とネジ
軸２の相対回転数は、 １−　（９９ｘｌＯ１／ｌｏｏ　ｘｔｏｏ　）　＝（１
００Ｘ１００−９ｉ３Ｘ１０１　）　／１００　Ｘ１０
０　＝１７１００００となる。つまり、ネジ軸２を１０
０００回転させるとナツトｌは９９９８９９８回転とに
なり。

従って、ネジ軸２を１００００回転させたときに初めて
ナツト１がネジ軸２に対してｌビシチだけ螺動すること
になる。−ヒの式の中の（１００Ｘ　１００−９９×１
０１）に注目すると、１００と１００と９９と１０１の
四つの数は、四つの歯車の歯数に与えた数であり、　　
（１００Ｘ１００−９９Ｘ１０１　）はヒ配力定式■に
当てはまる。

また、減速と増速か上記とは逆に生ずるように、ヒ配力
定弐〇に当てはまる四つの数、９９゜１００　、１００
　、１０１を使用してみる。

歯車８と９の歯数として、１００　と９８を与えると、
歯車８と９は９９対１００の割合いで回転し、微小な増
速か生じ、また歯車１０と１１の歯数としテ１０１　ト
１００　ヲ与えると、歯車１０とｌｌは１００対１０１
の割合いで回転し、微小な減速が生じる。

この微小な増速と減速は、値が微小に異っているため完
全な相殺が行われず、値が大きい方の＃饗として増速か
残り、ナツト１はネジ軸２の１回転に対してｒｏｏ　ｘ
ｔｏｏ　／９９Ｘ１０１　＝ｉｏｏｏｏ　／９９９９と
いう極端に微小な増速を伴って回転することになる。し
かし、この増速はナツトの移動方向が逆になることを意
味しているに過ぎず、ネジ軸２の１回転当りにおけるナ
ツトｌとネジ軸２の相対回転数＝　１　／９９９９は、
結局のところ減速比である。

さらにまた、歯車８と９の歯数として、例えば差が２に
なるように９８と１００を与えると、歯車８と９は１０
０対９８の割合いで回転し、９８／　１００という微小
な減速が生じる。続いて、歯車１０と１１のｍｌとして
差が２になるように９８と１０１を与えると、歯車１０
と１１は１０１対８８の割合いで回転し、１０１　／９
９の割合いの微小な増速が生じる。しかるに、微小な減
速と増速は、値が微小に異っているため完全な相殺が行
われず、値が大きい方の影響として減速が残ることにな
る。すなわち、モータ６が１回転すると、ネジ軸２が１
回転する。他方、ネジ軸２の１回転は、先ず歯車８とＩ
１４と９の噛合いにおいて９８／　１００回転となり、
この９８／　１００回転はスプライン軸４の回転となり
、次いで、歯車１０と１５と１１の噛合いにおいて。

（９８／１００　　）　　Ｘ　　（１０１／Ｈ）　　＝
９８Ｘ　１０１　／９９Ｘ　１００　＝９８９８／９９
００回転となる。

この９８９８／　９９００９００回転トｌの回転となる
。

従って、減速比２／　９９００が得られる。

上記のような結果から、上記力走式（ゐに当てはまる四
つの数、例えば９９，１００　、１０１　、１０２をこ
の直線移動装置に使用した場合も極めて微小な減速比が
得られる。すなわち、歯車８と９の歯数として、９９と
１００を与え、また歯車ｌＯと１１の歯数として１０１
　と１０２を与えると、ナツト１とネジ軸２の相対回転
数は２　／１０１００　＝　１１５０５０となり、これ
が減速比であり、ナツト１の方が遅く回転する。

また、歯車８と９の歯数として、１００　と９８を与え
、また歯車ｌＯと１１の歯数として１０２と１０１を与
えると、ナツトｌとネジ軸２の相対回転数は２　／１０
０９Ｂ　＝　１１５０４８となり、これが減速比であり
、ナツト１の方が速く回転する。さらに、歯車８．９、
ｉｏ、ｉｔに８９．１０１　、１００　、１０２を与え
ると、減速比　２　／１００Ｈが得られる。

同様に、Ｌ配力定弐〇に当てはまる四つの数、例えば９
８，１００．１０２　、１０３をこの直線移動装置に使
用した場合も極めて微小な減速比が得られる。すなわち
、歯車８と９の歯数として、ａ８と１００を与え、また
歯車１０と１１の歯数として１０１と１０２を与えると
、ナツトｌとネジ軸２の相対回転数は３　／１０２００
　＝　１　／３４００となり、これが減速比であり、ナ
ツト１の方が遅く回転する。

また、歯車８と９の歯数として、１００　と９８を与え
、また歯車１０と１１の歯数として１０３と１０２を与
えると、ナツト１とネジ軸２の相対回転数は３　／１０
１９７　＝　１　／３３９９となり、これが減速比であ
り、ナツト１の方が速く回転する。さらに、歯車８．９
，１０．１１に９９．１０２　、１００　、１０３を与
えると、減速比　３　／１０１９７が得られる。

ヒ記車８．９．１Ｏ１１１に力走式Ｉａに当てはまる四
つの数、例えば８８．１００　、１０３　、１０４を使
用した場合、４　／１０３００　＝１　／２５７５の減
速比が得られ、車８．９．１０．１１にｌ−配力定式（
舅に当てはまる四つの数１例えば９９．１００　、１０
４　、１０５を使用した場合、　５　／　１０３９５　
＝　１　／２０７９の減速比が得られる。

続いて今度は、第２図において、−ヒ配力定弐〇に当て
はまる四つの数をこの直線移動装置に使用してみる。

歯車１１と１０の歯数として、例えばｌｏｔと１００を
与えると、歯車１１と１０は１００対１０１の割合いで
回転し、１０１　／１００の割合いの微小な増速か生じ
る。また、歯車８と９の歯数として、９８と１００を与
えると、歯車８と９は１００対９９の割合いで回転し、
１００／９９の割合いの微小な増速か生じる。

この二つの微小な増速は、パラレルに行われしかも値が
微小に異っているために完全な相殺が行われず、値が大
きい方の影響として減速が残ることになる。すなわち、
モータ６が１回転すると、スプライン軸４が１回転する
。スプライン軸４の１回転は、歯車１１と１５と１０の
１−合いにおいてナツト１を１０１　／１００回転させ
ることになり、また、歯車９と１４と８の噛合いネジ軸
２をｔｏｏ／９９回転させることになる。従って、モー
タ６の一回転当り、ネジ軸２がナツトｌよりも（＋００
　Ｘ　１００−１０１　Ｘ９９）　／９９Ｘ１００　＝
　１　／９９００回転速く、これが減速比である。

ヒ記とは逆に、歯車１１と１０の歯数として、例えば１
００と１０１をｉｐえると、歯車１１．！＝１０は１０
１対１００の割合いで回転し、１００　／１０１の割合
いの微小な減速が生じる。また、歯車８と９の歯数とし
て、１００と９９を与えると、歯車８と９は９８対１０
０の割合いで回転し、９９／　ｌｏｏの割合いの微小な
減速が生じ、値が大きい方の減速の影響が僅かに残るこ
とになる。すなわち、スプライン軸４の１回転は、先ず
二つの歯車１１と１５と１０の噛合いにおいてナツトｌ
が１００　／１０１回転することになり、またこれと並
行して、南東９と１４と８の１埴合いにおいてネジ軸２
が９９／　１００回転となる。従って、モータ６の一回
転当り、ネジ軸２がナツトｌよりも （＋００　Ｘ　１００−１０１’　Ｘ　９９）　／１０
０　Ｘ　１００　＝１　／１００００回転遅く、これが
減速比である。

同様に、Ｌ配力定弐〇、■、■及び■に当てはまる四つ
の数を第２図の直線移動装置に使用してみた場合も、第
１図の直線移動装置に使用してみた場合と同様に極めて
大きな減速比が得られることが理解できるであろう。

第１図の直線移動装置と第２図の直線移動装置とを比べ
た場合、モータの取付けがネジ軸かスプライン軸かの違
いであり、四つの歯車における増速と減速が不完全に相
殺される結果、二軸間に極めて小さな回転数の相違が生
じ、この回転数の相違はナツトｌとネジ軸２の相対回転
数となり、極めて大きな減速が得られることになる点に
おいて相違はない。

そうして、七配力定弐〇、■、■、■及び■のいずれか
により選択される四つの数を、第１図または第２図の装
置における四つの歯車８．９．１０．１１にどのように
当てはめているかについて注目するならば、第１図と第
２園は全く同じであって既に述べたように、一定の当て
はめ方をしているものである。

すなわち、第一歯車８の歯数が第二歯車９の歯数より一
つもしくは二つ多いとき、その数に応じて第三歯ＩＪｆ
ｌＯのｔＩｉｌ斂が第四歯車１１の歯数より一つもしく
は二つ少なくなるように、これら四つの歯車８．９，１
Ｏ５１１の歯数は」いに接近している数を選択するとと
もに、第一歯車８の歯数と第四歯車１１の歯数及び第二
歯車９の歯数と第三歯車１０の歯数はそれぞれ同数でな
いように選択する場合と、 または、第一歯車８の歯数が第二歯車９の歯数より一つ
もしくは二つ少ないとき、その数に応じて第三歯車１０
の歯数が第四歯車１１の歯数より一つもしくは二つ多い
ように、これら四つの歯車８．９．１０．１１の歯数は
互いに接近している数を選択するとともに、第一歯車８
の歯数と第四歯車１１の歯数及び第二歯車９の歯数と第
三歯車１０の歯数はそれぞれ同数でないように選択する
場合とがある。なお、歯数の差が三つ以Ｆになる場合を
排除するものではない。

いずれの場合も、ヒ述したように、ｆ第一歯車と第二歯
車の歯数の差が、第四歯車と第三歯車の歯数の量に等し
くかつ第一歯車と第四歯車、並びに第二歯車と第三歯車
は、歯数が異なっていること１に該当するのが理解され
るであろう。

もしも、四つの歯車８．９．１０．１１の歯数は互いに
接近している数を選択しないときは１次のような不都合
が生じる。

例えば、第−歯車８と第二歯車９は歯数が３９と１００
でありモジュール１．第三歯車ｌＯと第四歯車１１は歯
数が４３と５０であり、モジュールが０．５である場合
を含むことになり、これは力走弐〇で該当する四ツノ数
であり、５０Ｘ　９９−４９Ｘ　１００　＝　５０であ
り、値が極めて大きいものとなり、従来の減速に比べて
数十倍も大きな減速を得ることはできない、これは、歯
数９９，１００と歯数４９．５０は大きく離れた数であ
ることの結果である。従って、四つの歯車８．９．１０
．１１の歯数は互いに接近している数が選択されなけれ
ばならない。

また、第−歯車８の歯数と第四歯車１１の歯数、または
第手歯車９の歯数と第三歯車１０の歯数が、同数となる
ように選択する場合には以下のような不都合が生じる。

例えば、第−歯車８の歯数が９９、第二歯車９の歯数が
１００．第三歯車１０の歯数が８９、第四歯車１１の歯
数が１００という場合を含むことになり、従来例の項に
おいて説明したように、重畳的な減速と増速は完全に相
殺され、ネジ軸２とナツト１に相対回転が生じず、テー
ブル１８が移動しない。

具体的な歯数を第−表に例示する。この表におい−Ｃ，
Ｚｌ　、Ｚ２　、Ｚ３　、Ｚ４はツレツレ第一、第二、
第三、第四歯車の歯数であり、減速比は、第１図の直線
移動装置の場合を示す。そして、この表では、歯数が１
００付近と、７５伺近と、５０付近と、２５付近の四つ
のレンゾについて方程式■〜■のそれぞれに当てはまる
例を採った。

今までの説明は、極めて大きな減速比を得るために、四
つの歯車８．９．１０．１１の歯数に注目したものであ
った。中間歯車１４．１５は、平行する二軸間に取付け
られている四つの歯車８．９．１０．１１を上記のよう
な歯数の組合わせを実現するために設けられている。も
しも、中間歯車がない場合には、歯車８と９または１０
と１１を転移ｍ−ＩＺにすることにより、初めてＩ−記
の如きＩＪ７１数の組合わせが実現されるものである。

しかるに、四つの歯車８．９，１０．１１は、歯数とピ
ッチ円径（転がり接触円径）は比例する。

徒って、歯車のピッチ円径に注目するときは、次のよう
なことが言える。

すなわち、極めて大きな減速比を得るための必要かつ十
分な条件は、第一歯車８と第二歯車９のピッチ円径の差
と、第四歯車１１と第三歯車１０のピッチ円径の差が等
しくて、この差は、ピッチ円形に対して十分に小さいも
のでなければならず、しかも、第−歯車８と第四歯車１
１、並びに第二歯車９と第三歯車１０は、ピッチ円径の
大きさが異なっていなければならないことである。この
場合、ピッチ円径の差とは上記第１表から見て減速比を
表す分数の分子数が５程度に抑えるため、歯数量にして
４または５までとするのが適当である。

このようにして考えると、本発明は、歯車に変えてコロ
としても差支えないことが理解されるであろう。

すなわち、本発明によれば、二つのコロを接触回転させ
て微小な増速を得て、別の二つのコロを接触回転させて
微小な減速を得て、不完全に相殺させることによっても
極めて大きな減速を得られるものである。

例えば、第１図において、歯車８．９．１０゜１１を、
直径がそれぞれ９８ｍ／ｍ　、　１００　ｍ／ｍ　、　
１０１ｆｆｌ／Ｉｍ、９８ｆｆｉ／ＩＩｌであるコロに
起き変えるものとすれば、ねじ軸２が１回転すると、 ２　／９９００＝　１　／４９５０の減速比が得られる
。

また、歯車８．９．１Ｏ１１１を、直径がそれぞれ９７
ｍ／ｍ　、１００　ｍ／ｍ　、　　１０１．５　ａ＋／
ｍ　、９８．５　ｍ／ｍであるコロに起き変えるものと
すれば、約１　／２１８９の減速比が得られる。さらに
また、歯車８．９．１０．１１を、直径がそれぞれ９９
ｍ／ｍ　、　１００ｍ１ｍ　、　　１００．５　ｍ／ｍ
　、　９９．５　ｍ／ｍであるコロに起き変えるものと
すれば、１　／１９０００の減速比が得られる。

これに対して、一方のコロの直径を１００．０００は、
該二つのコロの間には１／１０００の相対回転が理論り
生ずるが、現実には１／１０００の相対回転を確実に得
ることは困難である。

以ヒのように、本発明においては、歯車に変えてコロを
用いても、極めて大きな減速が得られるので、歯車とコ
ロを含む主旨で１転がり回転輪Ｊと総称し、発明を特定
しているものである。なお、歯車に変えてコロとする場
合には中間車とな第３図及び第４は、本発明のネジ軸と
ナツトが回転する直線移動装置を採用して実用機として
設計したリニアテーブルである。これを二つ直交させて
重ねると、リニアテーブルとなる。このリニアテーブル
の基本構成・作用は、上記説明と全く変らない。

モータ６はサーボモータが使用され、第一歯車８はモー
タ出力軸及びネジ軸２を嵌入接続するボス付きタイプで
あり、第二歯車９もボス付きタイプで、スプライン軸４
を嵌入接続している。中間歯車１４は、第４図に示すよ
うに軸２３に被嵌され一体回転するようになっている。

ナツト１とスライド筒３はフランジを有していて、可動
体７に回転自在に支持されたハウジング２４．２５に嵌
入されフランジがボルト締めされている。なお、ナツト
１とネジ軸２はポールネジが使用され、スプライン軸４
はボールスプラインが使用され、スライド筒３はポール
スライドが使用される。そして、第四歯車１１と第三歯
車１０が、それぞれナツト１のフランジ外周面またはス
ライド筒３のフランジ外周面と嵌合されかつナツト１ま
たはスライド筒３とともにハウジング２４．２５に対し
てボルト締めされている。テーブル１８は二本の直線ガ
イドレール２６．２７に案内される四つのポールスライ
ダー２８．２９．３０．３１の北に載せられボルトによ
り固定されている。符号３２はベースプレートであり、
超低熱膨ツレ鋳物が使用されており、直線ガイドレール
２６．２７の台座３２ａ、３２ｂを有している。軸受３
３．３４はスラスト軸受とラジアル軸受を組合わせた規
格品が使用され、ネジ軸２とスプライン軸４を軸方向に
全く移動しないように軸支している。キアポツクス３５
は二つ割りに形成され四つの１ｍ　ＩＩＥを密閉収容し
てリーマポルト３６とポルト３７により締め合わされて
おり、内部に１１滑油を溜られるようになっている。

そうして、モータ６が矢印ｅの方向に回転すると、ネジ
軸２がダイレクトドライブされるとともに、歯車８と１
４と９を介してスプライン軸４がネジ軸２と同方向に回
転され、さらに歯ｄＴ、　１０と１５と１１を介してナ
ツト１が矢印ｅの方向に回転するようになっている。

もしもこのとき、ネジピッチ５　ｍ１ｍ　、　歯車８゜
９．１０．１１の歯数を４８．５０．５１．５０とすれ
ば、減速比は１　／２５００となり、サーボモータ６の
一回転光り５　／２５００　ｍ／ｍ　＝　２ミクロン送
りができる。

モータ６が矢印ｅと反対方向に回転されるときは、歯車
１１の内側に設けられたワンウェイクラッチベアリング
３已によって該歯車１１の回転がスプライン軸４に伝達
されないようになっているとともに、ハウジング２５の
外側のワンウェイクラッチベアリング３９が該ハウジン
グ２５の回転をロックするようになっているので、ナツ
トｌが回転不能となり、従ってこのときはピッチ送りが
行われるようになっている。

く本発明の効果〉 以上説明してきたように、本発明のネジ軸とナツトが回
転する直線移動装置は、 ネジ軸と回転伝達軸の少くとも一方が回転駆動されるよ
うになっており、可動体によってそれぞ６れ回転自在に
支持されるネジ軸に螺合するナツトと、回転伝達軸に被
嵌するスライド筒とが、第四の転がり回転輪と第三の転
がり回転輪及び中間車である転がり回転輪の三つにより
１回転を伝達できるように連結されており、またネジ軸
と回転伝達軸が、第一の転がり回転輪と第二の転がり回
転輪及び中間車である転がり回転輪の三つにより、回転
を伝達できるように連結されており、第一の転がり回転
輪と第二の転がり回転輪の転がり接触円径（ピッチ円径
）の差と、第四の転がり回転輪と第三の転がり回転輪の
転がり接触円径（ピッチ内径）の差が等しくて、しかも
、第一の転がり回転輪と第四の転がり回転輪、並びに第
二の転がり回転輪と第三の転がり回転輪は、転がり接触
円径（ピッチ日経）の大きさが異なっているものとした
６績構成であるので、 これら四つの転がり回転輪において、微小な増速と減速
とを重畳的に、または微小な二つの増速もしくは減速を
パラレルに確実に生じさせることはパラレルに生ずる微
小な二つの増速もしくは減速は比率が僅かに相違してい
ているので、不完全な相殺が行われ、ネジ軸と回転伝達
軸との間に極めて微小な回転数の相違がもたらされ、こ
れが、ナツトとネジ軸の相対回転となるから、従来にお
いて得られた大きな減速比に比べて数十倍ないし百数十
倍の大きな減速比が第−表の如く得られる。

この直線移動装置における減速比とは、従来例の項で説
°明したように、減速機とは異なり、ネジ軸の一回転光
りのナツトの回転ずれの割合いであり、ネジ軸を何回転
させることによりナツトを１ピツチを移動させられるか
を示すものであり、四つの歯車の歯数を従来に比べて特
別に増すことなくして、最大で歯数の二乗倍分の−の超
特大な減速比が四つの転がり回転輪により生み出される
ことは、驚異であるとともに従来の減速機や他の減速移
動機構における類例が絶無であり、この直線移動装置が
もともと有している歯車のバックランシの直動方向の１
１が極小であることと結び付いて、高精密位置決め技術
にとって他に秀でた有用技術となる。

例えば、ピッチ５　ｍ／ｍのポールネジを使用した場合
、従来において　１／　１００の減速比が得られていた
ものであれば１／　１００００の減速比が得られるので
、ネジ軸の一回転当り０．５　ｐ−ｍ／ｒｔｒのＢｉ微
動送りが理論的に得られる。従って、静圧空気案内や静
圧空気軸受あるいは磁気軸受、超低熱膨張鋳鉄製のベー
ス、振動吸収カップリング等の採用と合わせることによ
り、　１／　１０〜１／　１００　ｇ　ｍ／＋の微動分
解能、さらには　１／　１００　ｐ、ｍ／ｍよりも微細
な微動分解能が得られる超精密テーブルの移動装置とし
て採用の可能性が十分に期待できる。

他方、本発明は、従来の直線移動装置において付加され
ていた早戻り機構も全く障害なく付加することができる
。このため、超精密位置決めと高速位置決めが要望され
ている精密工作機械や精密Ｘ１ｌｌ定機や半導体製造装
置等の分野において有用な技術となる。

また、本発明の直線移動装置によれば、ネジ軸の一回転
当り１〜２ｇｍ／ｍの超微動送りの移動が容易にできる
ので、制御が難しいモータの微動駆動が回避できる。こ
れに対し従来ではこの直線移動装置を含めて、ネジ軸の
一回転当りＩＬＬｍ／ｍの超微動送りができるものは存
在していない。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明のネジ軸とナツトが回転す
る直線移動装置を概念的に装置構成した異なる実施例に
かかる縦断正面図である。 第３図は、本発明のネジ軸とナツトが回転する直線移動
装置を採用して実用機として設計したリニアテーブルの
乎面図であり、第４図は、第四図における１７−ＩＴ断
面図である。第５図は、従来のネジ軸とナツトが回転す
る直線移動装置の縦断正面図である。 １・・・ナツト、 ２参・・ネジ軸、 ３・＊＊スライド筒。 ４・・・回転伝達軸としてのスプライン軸、５・ｌブラ
ケット、 ６１・モータ、 ７Φ壷・可動体、 ８・Φ書第−歯車、 ９・Φ・第二山車、 １０争・・第三歯車、 １１・・・第四歯車、 １２．１３、・・ワンウェイクラッチベアリング１４．
１５−・・中間歯車、 １６・・−ワンウェイクラ・ソチ継手、１７Φ・・電磁
ブレーキ、 １８＠・・テーブル、 １９−・・ガイドレール、 ２０・・φガイドロッド、 ２１・壷・電磁ブレーキ、 ２２・・・電磁フランチ、 ２３・・・軸、 ２４．２５・・ｅハウジング。 ２６．２７・・・直線ガイドレール、 ２８．２９，３０．３１・・・ポールスライダー３２１
１・・ベースプレート、 ３２ａ、３２ｂ−−一台座、 ３３．３４・・番軸受、 ３５・・・ギアボックス、 ３６・・・リーマポルト。 ３７−・・ポルト、 ３８．３９０曇・ワンウェイクラッチベアリング第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ナットが螺合するネジ軸と、スライド筒が被嵌していて
   該スライド筒を回転させかつ直線案内するスプライン軸
   等の回転伝達軸とが、それぞれ回転自在に平行に両端支
   持され少なくとも一方の軸が回転駆動されるようになっ
   ており、可動体がナットとスライド筒をそれぞれ回転自
   在に収容支持しており、 ナットとネジ軸を同方向回転させるために、ネジ軸に第
   一の転がり回転輪が設けられているとともに、回転伝達
   軸に第二の転がり回転輪が設けられていて、中間車であ
   る転がり回転輪を介して回転伝達できるようになってお
   り、 また、スライド筒とナットが同方向回転させるために、
   スライド筒に第三の転がり回転輪が設けられているとと
   もに、ナットに第四の転がり回転輪が設けられていて、
   中間車である転がり回転輪を介して回転伝達できるよう
   になっており、第一の転がり回転輪と第二の転がり回転
   輪の転がり接触円径の差が、第四の転がり回転輪と第三
   の転がり回転輪の転がり接触円径の量に等しく、第一の
   転がり回転輪と第四の転がり回転輪、並びに第二の転が
   り回転輪と第三の転がり回転輪は、転がり接触円の大き
   さが異なるものであることにより、ナットとネジ軸が回
   転数を相違して同一方向回転して微速移動する、ことを
   特徴とするネジ軸とナットが回転する直線移動装置。