JPS6318068A - 連続イオンプレ−テイング方法 - Google Patents
連続イオンプレ−テイング方法Info
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- JPS6318068A JPS6318068A JP15975186A JP15975186A JPS6318068A JP S6318068 A JPS6318068 A JP S6318068A JP 15975186 A JP15975186 A JP 15975186A JP 15975186 A JP15975186 A JP 15975186A JP S6318068 A JPS6318068 A JP S6318068A
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- Japan
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- evaporation source
- electrode
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、帯鋼等の帯状基材を連続的にイオンプレーテ
ィングする方法の改良に関する。
ィングする方法の改良に関する。
（従来技術）
従来帯鋼を連続的にイオンプレーティングするには、蒸
着槽内を走行する帯鋼と蒸発源との間に電位をかけて蒸
発源からの蒸発原子をイオン化させて、これを帯鋼表面
に被着させている。しかしこの場合、走行する帯鋼に電
位を付加しなければならないため、その機構が複雑にな
る欠点がある。
着槽内を走行する帯鋼と蒸発源との間に電位をかけて蒸
発源からの蒸発原子をイオン化させて、これを帯鋼表面
に被着させている。しかしこの場合、走行する帯鋼に電
位を付加しなければならないため、その機構が複雑にな
る欠点がある。
（発明が解決しようとする技頓的課題）本発明は、帯状
基材をアース電位として蒸発原子をイオン化しつるよう
にして、その機構を簡素化できる方法を提供することを
目的とする。
基材をアース電位として蒸発原子をイオン化しつるよう
にして、その機構を簡素化できる方法を提供することを
目的とする。
（技術的課題を解決する手段）
本発明は、アース電位とした帯状基材が走行する蒸着槽
内に、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材
と蒸発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極と
を備え、電極の電位を蒸発源の電位より高くし、蒸発源
の電位を、イオン化した蒸発原子を加速するための電界
を上記基材との間に発生させうる電位として、イオン化
した蒸発原子を上記基材に被着する連続プレーティング
方法、及びアース電位とした帯状基材が走行する蒸着槽
内に、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材
と蒸発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極と
、イオン化蒸発原子を加速する電界を上記基材との間に
発生させる電界発生手段とを備え、電極に正電位を印加
し、蒸発源の電位をアース電位として、イオン化した蒸
発原子を上記基材に被着する連続イオンプレーティング
方法である。
内に、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材
と蒸発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極と
を備え、電極の電位を蒸発源の電位より高くし、蒸発源
の電位を、イオン化した蒸発原子を加速するための電界
を上記基材との間に発生させうる電位として、イオン化
した蒸発原子を上記基材に被着する連続プレーティング
方法、及びアース電位とした帯状基材が走行する蒸着槽
内に、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材
と蒸発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極と
、イオン化蒸発原子を加速する電界を上記基材との間に
発生させる電界発生手段とを備え、電極に正電位を印加
し、蒸発源の電位をアース電位として、イオン化した蒸
発原子を上記基材に被着する連続イオンプレーティング
方法である。
（発明の詳細な説明）
第１図は、本発明方法を行なうためのｌｉｔの１実施例
を示す。図示する装置は、帯状基材１が走行する蒸着横
２内に蒸発源３と電極４とを配置していている。蒸発源
３は、帯状基材１の下方に対向して配置され、また電極
４は、帯状基材１と蒸発源３との間に配置されている。
を示す。図示する装置は、帯状基材１が走行する蒸着横
２内に蒸発源３と電極４とを配置していている。蒸発源
３は、帯状基材１の下方に対向して配置され、また電極
４は、帯状基材１と蒸発源３との間に配置されている。
上記帯状基材１は、アース電位である。また蒸発源３は
、ＩＫＶ以下程度の電位を直流電源により与えられてお
り、この電位により帯状基材１との間にイオン加速用の
電界を発生するようになっている。一方上記電極４は、
直流型ｆｆ１６により蒸発源３の電位よりも高い電位、
例えば２０〜１００■程度高い電位としており、蒸発源
から蒸発した原子をイオン化するようになっている。な
お図中７はシールロールである。
、ＩＫＶ以下程度の電位を直流電源により与えられてお
り、この電位により帯状基材１との間にイオン加速用の
電界を発生するようになっている。一方上記電極４は、
直流型ｆｆ１６により蒸発源３の電位よりも高い電位、
例えば２０〜１００■程度高い電位としており、蒸発源
から蒸発した原子をイオン化するようになっている。な
お図中７はシールロールである。
このように構成された装置において、蒸発源３及び電極
４に上記電位を印加した状態で帯状基材１を蒸着槽２内
に走行させると、蒸発源３内の被膜形成物質がイオン化
されかつ加速されて帯状基材にイオンプレーティングさ
れる。
４に上記電位を印加した状態で帯状基材１を蒸着槽２内
に走行させると、蒸発源３内の被膜形成物質がイオン化
されかつ加速されて帯状基材にイオンプレーティングさ
れる。
第２図は本発明方法を行なうための別の装置を示す。
第２図の装置は、第１図の装置と異なる点は蒸発源３に
印加せずアース電位とし、この蒸発？１３の周囲にリン
グ状の電界発生手段８を配置し、これに直流電源９によ
り電圧、例えば＋ＩＫＶ以下程度印加している点である
。
印加せずアース電位とし、この蒸発？１３の周囲にリン
グ状の電界発生手段８を配置し、これに直流電源９によ
り電圧、例えば＋ＩＫＶ以下程度印加している点である
。
第３図は、第２図と同様に電界を形成するための電界発
生手段８−を設けたものである。この電界発生手段８−
は、蒸発源３の周囲に複数個設けである。また第３図の
装置は、ＲＦ電源９に接続したＲＦコイル１０を蒸発電
源３上に配置してプラズマを発生するようにしている。
生手段８−を設けたものである。この電界発生手段８−
は、蒸発源３の周囲に複数個設けである。また第３図の
装置は、ＲＦ電源９に接続したＲＦコイル１０を蒸発電
源３上に配置してプラズマを発生するようにしている。
これら電界発生手段８．８−は、蒸発源との間で放電し
ない程度に離間し、かつ蒸発面よりも下方に配置するこ
とが必要である。
ない程度に離間し、かつ蒸発面よりも下方に配置するこ
とが必要である。
これら装置によっても第１図のものと同様に帯状基材の
表面にイオンプレーティングを行なうことができる。
表面にイオンプレーティングを行なうことができる。
（発明の効果）
本発明によれば、帯状基材に電位をかけることなく、こ
れをアース電位とした状態で、この基材にイオンプレー
ティングを行なうことができ、機構を簡素化できる。
れをアース電位とした状態で、この基材にイオンプレー
ティングを行なうことができ、機構を簡素化できる。
第１図ないし第３図はそれぞれ本発明を行なう装置をし
めず概略説明図である。 １・・・帯状基材、２・・・蒸着槽、３・・・蒸発源、
４・・・電極、５．６．９・・・直流電源、７・・・シ
ールロール、８．８−・・・電界発生手段、９・・・Ｒ
Ｆ電源、１０・・・ＲＦコイル。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 −〇−
めず概略説明図である。 １・・・帯状基材、２・・・蒸着槽、３・・・蒸発源、
４・・・電極、５．６．９・・・直流電源、７・・・シ
ールロール、８．８−・・・電界発生手段、９・・・Ｒ
Ｆ電源、１０・・・ＲＦコイル。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 −〇−
Claims (2)
- （１）アース電位とした帯状基材が走行する蒸着槽内に
、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材と蒸
発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極とを備
え、電極の電位を蒸発源の電位より高くし、蒸発源の電
位を、イオン化した蒸発原子を加速するための電界を上
記基材との間に発生させうる電位として、イオン化した
蒸発原子を上記基材に被着する連続プレーティング方法
。 - （２）アース電位とした帯状基材が走行する蒸着槽内に
、この基材に対向した被膜形成物質蒸発源と、基材と蒸
発源との間に配置された蒸発原子イオン化用電極と、イ
オン化蒸発原子を加速する電界を上記基材との間に発生
させる電界発生手段とを備え、電極に正電位を印加し、
蒸発源の電位をアース電位として、イオン化した蒸発原
子を上記基材に被着する連続イオンプレーティング方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15975186A JPS6318068A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 連続イオンプレ−テイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15975186A JPS6318068A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 連続イオンプレ−テイング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318068A true JPS6318068A (ja) | 1988-01-25 |
Family
ID=15700464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15975186A Pending JPS6318068A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 連続イオンプレ−テイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318068A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5175952A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-05 | Shimano Industrial Co., Ltd. | Fishing rod and method of manufacturing same |
-
1986
- 1986-07-09 JP JP15975186A patent/JPS6318068A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5175952A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-05 | Shimano Industrial Co., Ltd. | Fishing rod and method of manufacturing same |
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