JPS63178526A - 終点検出器 - Google Patents
終点検出器Info
- Publication number
- JPS63178526A JPS63178526A JP1057687A JP1057687A JPS63178526A JP S63178526 A JPS63178526 A JP S63178526A JP 1057687 A JP1057687 A JP 1057687A JP 1057687 A JP1057687 A JP 1057687A JP S63178526 A JPS63178526 A JP S63178526A
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- Japan
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Links
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はドライエツチング等のようにプラズマ放電を利
用する半導体製膜装置の終点検出器に関するものである
。
用する半導体製膜装置の終点検出器に関するものである
。
従来の技術
発光分光分析法によυ発光スペクトル強度の変化からド
ライエツチングの終点を検出する方式の終点検出器は、
第４図に示すように、まず発光スペクトル強度を光−電
圧変換回路３によって電圧に変換し、それを増幅器４に
よって増幅し、第６図に示すような電圧出力波形を得る
。第５図洗示すよう【出力波形の平衡点がエツチングの
終点となる。
ライエツチングの終点を検出する方式の終点検出器は、
第４図に示すように、まず発光スペクトル強度を光−電
圧変換回路３によって電圧に変換し、それを増幅器４に
よって増幅し、第６図に示すような電圧出力波形を得る
。第５図洗示すよう【出力波形の平衡点がエツチングの
終点となる。
従来の終点検出器では、まず最初に第６図ａに示すよう
な電圧出力波形を記録する。次に電圧出力波形の読み取
り精度が最も高くなるように、平衡点の電圧ａを第４図
のオフセット調整用ポテンショメーター１により調整す
る。さらに電圧出力波形の読み取り精度が最も高くなる
ように、ピーク電圧を第４図のゲイン調整用ポテンショ
メーター２によって調整する。
な電圧出力波形を記録する。次に電圧出力波形の読み取
り精度が最も高くなるように、平衡点の電圧ａを第４図
のオフセット調整用ポテンショメーター１により調整す
る。さらに電圧出力波形の読み取り精度が最も高くなる
ように、ピーク電圧を第４図のゲイン調整用ポテンショ
メーター２によって調整する。
以上のような調整により、発光スペクトル強度の読み取
り精度をできるだけ高くし、エツチングの終点を精度良
く検出できるようにしていた。
り精度をできるだけ高くし、エツチングの終点を精度良
く検出できるようにしていた。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の終点検出器では、放電条件を変更する
たびに発光スペクトル強度の波形の形状や大きさが変化
するので、第４図のオフセット調整用ポテンショメータ
ー１及びゲイン調整用ポテンショメーター２を再調整し
なければならない。
たびに発光スペクトル強度の波形の形状や大きさが変化
するので、第４図のオフセット調整用ポテンショメータ
ー１及びゲイン調整用ポテンショメーター２を再調整し
なければならない。
また、アンプゲインが固定されているために、何らかの
原因で第７図に示すように発光スペクトル強度のレベル
が変化した場合、分解能が低くなり終点検出が不可能に
なる。
原因で第７図に示すように発光スペクトル強度のレベル
が変化した場合、分解能が低くなり終点検出が不可能に
なる。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明では、発光スペクト
ル強度を電圧に変換し、その電圧を増幅器により増幅し
て得られる電圧出力を観察することによって、放電開始
後の前記電圧出力の立上シ状態から、その最大値を予測
し、前記増幅器のアンプゲインを調整する自動ゲイン制
御機能により、終点検出が不可能になるような発光スペ
クトル強度のレベル変化に対しても検出可能なレベルに
まで自動補正がなされるようにしたことを特徴とする０ 作 用 本発明は上記した構成により、発光スペクトル強度の立
上シ状態からそのピーク値を予測し、Ａ／Ｄ変換器がフ
ルスケール化されるようなアンプゲインをＣＰＵによっ
て計算し、アンプ系にフィードバックするため、発光ス
ペクトル強度の突発的レベル変化に対しても、自動的に
アンプゲインの補正がなされ、発光スペクトル強度を高
い分解能で検出できるので確実な終点検出が行なえるＣ
実施例 第３図は本発明の終点検出器の実施例を示すブロック図
である。第３図に示すように光→電圧変換回路３によっ
て電圧に変換された発光スペクトル強度を増幅器４によ
って増幅し、Ａ／Ｄ変換器７によってディジタル化した
後ＣＰＵ５でＡ／Ｄ変換器７をフルスケール化して使用
できるようなアンプゲインを計算し、アンプ系にフィー
ドバックしてそのゲイン制御を行なう。
ル強度を電圧に変換し、その電圧を増幅器により増幅し
て得られる電圧出力を観察することによって、放電開始
後の前記電圧出力の立上シ状態から、その最大値を予測
し、前記増幅器のアンプゲインを調整する自動ゲイン制
御機能により、終点検出が不可能になるような発光スペ
クトル強度のレベル変化に対しても検出可能なレベルに
まで自動補正がなされるようにしたことを特徴とする０ 作 用 本発明は上記した構成により、発光スペクトル強度の立
上シ状態からそのピーク値を予測し、Ａ／Ｄ変換器がフ
ルスケール化されるようなアンプゲインをＣＰＵによっ
て計算し、アンプ系にフィードバックするため、発光ス
ペクトル強度の突発的レベル変化に対しても、自動的に
アンプゲインの補正がなされ、発光スペクトル強度を高
い分解能で検出できるので確実な終点検出が行なえるＣ
実施例 第３図は本発明の終点検出器の実施例を示すブロック図
である。第３図に示すように光→電圧変換回路３によっ
て電圧に変換された発光スペクトル強度を増幅器４によ
って増幅し、Ａ／Ｄ変換器７によってディジタル化した
後ＣＰＵ５でＡ／Ｄ変換器７をフルスケール化して使用
できるようなアンプゲインを計算し、アンプ系にフィー
ドバックしてそのゲイン制御を行なう。
同じ放電条件で終点検出を行なう場合、発光スペクトル
強度のレベル変化があっても、波形としては第５図に示
すものと近似の波形が得られるので、下記のような手順
で発光スペクトル強度のレベル変化に対する自動補正を
行なう。
強度のレベル変化があっても、波形としては第５図に示
すものと近似の波形が得られるので、下記のような手順
で発光スペクトル強度のレベル変化に対する自動補正を
行なう。
まず最初に、第２図ａに示すように、放電特性を観察し
、立上りの電圧ａ（放電状態が安定した後の電圧）とピ
ーク電圧すを検出する。このときに、ピーク電圧がＡ／
Ｄ変換器のフルスケール値ｐになるようにアンプゲイン
ｑ２を計算する。最初に設定したアンプゲインを９１
とすると、ｑ２＝＝ｑ１ｘｐ／ｂとなる。そして、実際
に終点検出を行なう時には、第２図すに示すようにまず
放電特性検出モードで計算したアンプゲインｑ２を設定
しておき、出力の立上りの電圧Ｃを測定する。
、立上りの電圧ａ（放電状態が安定した後の電圧）とピ
ーク電圧すを検出する。このときに、ピーク電圧がＡ／
Ｄ変換器のフルスケール値ｐになるようにアンプゲイン
ｑ２を計算する。最初に設定したアンプゲインを９１
とすると、ｑ２＝＝ｑ１ｘｐ／ｂとなる。そして、実際
に終点検出を行なう時には、第２図すに示すようにまず
放電特性検出モードで計算したアンプゲインｑ２を設定
しておき、出力の立上りの電圧Ｃを測定する。
その立上シの電圧Ｃと放電特性検出モードで検出した立
上シの電圧ことピーク電圧すからピーク電圧を予想する
。その予想されたピーク電圧ｄ ＝ ｃ ｘ ｂ ／
ａから、Ａ／Ｄ変換器がフルスケール化されるようにア
ンプゲインを調整する。すなわち、アンプゲインｑはｑ
−ｑ２ｘｐ／ｄ となる。
上シの電圧ことピーク電圧すからピーク電圧を予想する
。その予想されたピーク電圧ｄ ＝ ｃ ｘ ｂ ／
ａから、Ａ／Ｄ変換器がフルスケール化されるようにア
ンプゲインを調整する。すなわち、アンプゲインｑはｑ
−ｑ２ｘｐ／ｄ となる。
第１図は本発明の終点検出器の実施例を示すブロック図
である。第１図において、３は発光スペクトル強度を電
圧に変換する回路である。３によって電圧に変換された
発光スペクトル強度信号は、４の増幅器によって増幅さ
れ、８の乗算型Ｄ／Ａ変換器に入力される。８の乗算型
Ｄ／Ａ変換器の出力は、７のＡ／Ｄ変換器によってディ
ジタル信号に変換されて、６のＣＰＵに入力される。発
光スペクトル強度の立上９からピーク値を予測し、ピー
ク値が７のＡ／Ｄ変換器のフルスケール近くになるよう
に６のＣＰＵでアンプゲイン全計算し、８の乗算型Ｄ／
Ａ変換器にフィードバックする。
である。第１図において、３は発光スペクトル強度を電
圧に変換する回路である。３によって電圧に変換された
発光スペクトル強度信号は、４の増幅器によって増幅さ
れ、８の乗算型Ｄ／Ａ変換器に入力される。８の乗算型
Ｄ／Ａ変換器の出力は、７のＡ／Ｄ変換器によってディ
ジタル信号に変換されて、６のＣＰＵに入力される。発
光スペクトル強度の立上９からピーク値を予測し、ピー
ク値が７のＡ／Ｄ変換器のフルスケール近くになるよう
に６のＣＰＵでアンプゲイン全計算し、８の乗算型Ｄ／
Ａ変換器にフィードバックする。
このような構成により、発光スペクトル強度のレベル変
化に対しても、Ａ／Ｄ変換器がフルスケール化されるよ
うにアンプゲインが自動的に補正されるため、発光スペ
クトル強度を常に高い分解能で検出することができる。
化に対しても、Ａ／Ｄ変換器がフルスケール化されるよ
うにアンプゲインが自動的に補正されるため、発光スペ
クトル強度を常に高い分解能で検出することができる。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば、発光スペクト
ル強度の突発的レベル変化に対しても自動的補正が行な
われ、発光スペクトル強度が高い分解能で検出されるた
め確実に終点検出が行なえる０
ル強度の突発的レベル変化に対しても自動的補正が行な
われ、発光スペクトル強度が高い分解能で検出されるた
め確実に終点検出が行なえる０
第１図は本発明の実施例を示すプ（１ツク図、第出器の
調整手順を説明するための出力波暦計第７図は出力波形
のレベル変化を表わす図である。 １・・・・・・オフセット調整用ポテンショメーター、
２・・・・・・ゲ・イン調整用ポテンショメーター、３
・・・・・・光→電圧変換回路、４・・・・・・増幅器
、５・・・・・・ＣＰＵ、６・・・・・・ゲイン調整、
７・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・・・・乗算型Ｄ
／Ａ変換器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名派
味 ←彰ν〈免μ）蜜〈 −袈田 ヌ Ｕ） 転 べ 一豐興 −誉田 区 ２ 、 綜
調整手順を説明するための出力波暦計第７図は出力波形
のレベル変化を表わす図である。 １・・・・・・オフセット調整用ポテンショメーター、
２・・・・・・ゲ・イン調整用ポテンショメーター、３
・・・・・・光→電圧変換回路、４・・・・・・増幅器
、５・・・・・・ＣＰＵ、６・・・・・・ゲイン調整、
７・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・・・・乗算型Ｄ
／Ａ変換器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名派
味 ←彰ν〈免μ）蜜〈 −袈田 ヌ Ｕ） 転 べ 一豐興 −誉田 区 ２ 、 綜
Claims (1)
- 発光分光分析法により発光スペクトル強度の変化からド
ライエッチングの終点を検出する方式の終点検出器にお
いて、発光スペクトル強度を電圧に変換し、その電圧を
増幅器により増幅して得られる電圧出力を観察すること
によって、放電開始後の前記電圧出力の立上り状態から
、その最大値を予測し、前記増幅器のゲインを調整する
自動ゲイン制御機能により、終点検出が不可能になるよ
うな発光スペクトル強度のレベル変化に対しても、検出
可能なレベルにまで自動補正がなされるようにしたこと
を特徴とする終点検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1057687A JPS63178526A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 終点検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1057687A JPS63178526A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 終点検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178526A true JPS63178526A (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=11754062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1057687A Pending JPS63178526A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 終点検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178526A (ja) |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP1057687A patent/JPS63178526A/ja active Pending
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