JPS6317484B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発は被洗滌固体物品の表面に付着する水を除
去する方法に関する。

電子回路に使用されるケイ素ウエハーとか金メ
ツキ製品、各種光学レンズなどにあつてはその製
造工程の間に高度の洗滌、迅速な乾燥が要求さ
れ、また製品そのものも最終洗滌工程で水洗され
たのち、熱風乾燥、トリクロロエチレン沸騰
浴での浸漬乾燥、水溶性有機溶剤による浸漬乾
燥、有機溶剤と界面活性剤との混合液への浸漬
法などが行なわれている。の方法は熱風または
除湿された空気を物品に吹きつけ、物品に付着し
ている水を蒸発させて乾燥する方法であるが、水
に蒸発潜熱を与えるための多量の熱エネルギーを
必要とすること、および物品表面に残存している
付着水中の不揮発性電解質やコロイド分が乾燥後
物品表面にシミとなつて現われる。の方法にお
けるトリクロルエチレンの沸点は約87℃であつ
て、この沸騰浴中に浸漬された物品の付着水は、
この高温下に直接物品表面で乾燥するので同様
シミを生ずるほか浴に携らされる不溶性不純物は
次第に浴中に濃縮されて物品表面を汚染する。
の場合、それに用いる水溶性有機溶剤、例えばア
セトン、エタノール、イソプロピルアルコールな
どは水と相溶性であるから、物品に付着して来た
水はこれら溶剤に溶解し、溶剤自体は稀釈され、
それに伴つて付着水中の不純物も溶剤中に移行す
るから、溶剤も亦汚染し、約80％溶剤濃度のとき
に新溶剤と入れ替えても物品表面にシミを生じ易
い。の方法は界面活性剤を添加した水よりも比
重が高く、水が溶解しない有機溶剤を使用するも
のであつてこの場合有機溶剤と物品の付着水に由
来した汚染水との分離は比較的容易にできるが、、
界面活性剤が不揮発性であることに起因して、そ
れが物品表面に残存し易い。またこの方法は水の
表面の自由エネルギーを低下し、比重差で付着水
を分離するため、物品に存在する微細な亀裂や小
孔の内部の水までは除去出来ず、これら僅かな水
は洗滌された物品を空気中に放冷したとき容易に
乾燥してしまうが、その水の中に溶解していた水
溶性不純物はそのまま亀裂や小孔内に残留してし
まうので、製品がとくに電子部品などの場合には
性能上の問題となることが多い。さらにまたこの
方法で乾燥部分を有する物品を浸漬洗滌するよう
な場合、この部分に付着していた水溶性不純物は
溶剤が水にほとんど不溶であるから除去できない
という難がある。

かかる欠点を解消するために界面活性剤を添加
することなくハロゲン化炭火水素を主体とする溶
剤のみによつて水を除去する方法も従来より提案
されている。たとえば特公昭49−36867号公報に
はトリクロロトリフルオロエタンとイソプロピル
アルコール等の水溶性有機溶剤との共沸混合溶剤
を用い、この溶剤中に被処理物品を静かに浸漬す
ることによつて水を固体表面から脱離除去せしめ
るための方法および装置が開示されている。しか
し、この方法では水に溶解して水溶性溶剤が持去
られるため、浴組成はたえず変化するという問題
がある。また、特開昭52−137756号公報にはハロ
ゲン化炭化水素溶剤を使用し、被処理物品を該溶
剤の飽和蒸気浸漬浴ついで飽和蒸気中に順次通加
させることによつて固体表面から水を除去、乾燥
せしめる方法および装置が開示されている。しか
しながら、これらの方法においては、界面活性剤
の除去工程を要しない利点があるものの脱水性能
が一般に充分でなく、被処理物品の形状や表面状
態によつては、脱水のために時間がかかりすぎる
という欠点がある。

さらにまた、前記従来法の欠点を改良する方法
として、特開昭49−101955号公報において被処理
物品をハロゲン化炭化水素溶剤のスプレーで処理
する方法および装置が提案されている。

本発明者らは、ハロゲン化炭化水素を主体とす
る溶剤のみを使用することによつて、界面活性剤
の使用をまつたく必要とせず、しかも被処理物品
の形状、表面状態のいかんにかかわらず、より短
時間で脱水処理が可能な乾燥法およびそれに適す
る装置を開発すべく種種研究を重ねた結果、本発
明に到達した。即ち本発明は表面に付着水を有す
る物品を溶剤中に浸漬し、洗滌乾燥する方法にお
いて、溶剤としてトリクロロトリフルオロエタン
と沸点が100℃以下の水溶性有機液体との共沸混
合物を使用し、前記共沸混合物は不燃性であり、
沸点が20〜70℃、水の溶解度が0.1〜10％の範囲
のものであり、予じめ純水で洗滌した前記物品を
前記溶剤の沸騰浴である脱水域に浸漬して水を除
去するとともに、分離された遊離水を含む溶剤を
水分離域に送り、相分離により浮上する水を水溶
性有機液体水溶液として溶剤と分離し、ここに分
離された溶剤は、これを前記脱水域に循環し、前
記脱水域と水分離域との液面上に連通した空間を
設けて、脱水域で生じた溶剤蒸気がつねに水分離
域の液面上を覆うようになし、前記空間を大気に
開放させその開放経路に設けた冷却手段により溶
剤蒸気を凝縮させ、凝縮した溶剤を脱水域または
水分離域に返戻することを特徴とする物品の洗滌
乾燥方法である。

本発明に使用する共沸混合物の一方の組成であ
るトリクロロトリフルオロエタン（以下フロン
113と略化する）は比重が1.6、水に対する溶解度
が0.01重量％、沸点が47.6℃なる物性を具えた液
体であり、他方これと共沸する上記沸点100℃以
下の水溶性有機液体はメタノール、エタノール、
イソプロパノールのような低級アルコール、アセ
トンのようなケトン類が例示される。本発明に使
用される好ましい共沸混合物を例示すると、 (イ) フロン113―エタノール（重量比96：４）：共
沸点44.7℃、比重1.5、水の溶解度0.26重量％、
引火点なし。

(ロ) フロン113―アセトン（重量比87.5：12.5）：
共沸点43.9℃、比重1.39水の溶解度0.16重量％、
引火点なし。

である。これら混合溶剤は必ずしも厳密な共沸
組成でなく、多少それよりずれた組成で使用され
ることは何らさしつかえない。このような共沸混
合物の共沸温度を20〜70℃の範囲に規制する理由
は、20℃以下では揮散しやすく冷凍設備等高価な
設備を要し、また70℃以上では物品表面で一部の
水が直接蒸発し汚点を生じやすい。また、水の溶
解度を0.1〜10％、好ましくは0.15〜３％に規制
する理由は0.1％以下では電解質の溶解分離が十
分でなく、10％以上では溶剤が汚染しやすいとい
う理由による。

このような共沸混合物の沸騰浴中に被乾燥物品
を浸漬すると、物品の付着水には当然水溶性有機
液体が溶解し、それによつて第６図にに例示した
通り、表面張力を低下し、自由エネルギーを低下
することにより比重差で水が浮上し、これとフロ
ン113とを容易に分離することができることにな
るのである。さらに云えば、物品に存在していた
微小や亀裂や細孔中の水分も該水溶性有機液体の
浸透によつて追出されることになる。その際物品
に付着していた電解質も、共沸混合物中に若干含
まれる水分と、水溶性溶剤中に拡散により溶解分
離して、洗滌と乾燥効果が挙げられるものであ
る。このことは本発明の特に重要な効果である。
そのような効果を挙げるためには物品の洗滌乾燥
剤は物品から分離した水が余り溶解することな
く、小量の水の溶解度を有することが必要で、そ
のような意味から本発明にあつては共沸混合物の
水の溶解度を0.1〜10重量％、好ましくは0.15〜
３重量％の範囲にあるものとして選用したのであ
る。

本発明にあつては物品の浸漬に共沸混合物の沸
騰浴を使用するが、それは物品に存在する細孔部
への水溶性液体の浸透は拡散によつて行なわれ、
この拡散は温度が高い程早くなるからである。沸
騰浴への浸漬と同時に物品を超音波の影響下に置
くような補助的手段を併用すれば、より有効に拡
散を助長させることができる。

本発明においてはこのように脱水浴の溶剤を沸
騰させることにより物品からの脱水効果をより高
め、同時に脱水浴上面につねに飽和蒸気を供給
し、ここを溶剤蒸気で満たすことができ、この蒸
気は水分離浴の上面を覆うから後述する安全対策
の上で有効である。

物品から分離した水を溶解させた水溶性有機液
体は、静置される限り当然比重の大きなフロン
113を主成分とした共沸混合物の上層に層別でき
るから、これを水分離域において層別分離する。

以下本発明方法は、プロセス的であるのでこれ
を実施するに適した装置の説明図である添付第１
図および第２図によつて説明するを便とする。図
中１は脱水域である脱水槽であつて加熱器１８ａ
により、該槽中に収容した共沸混合物である溶剤
が沸騰させられている。被乾燥物品は、県吊具に
県吊されて符４で示される上方から該沸騰浴中に
浸漬されたのち、引き上げられ自然乾燥されるこ
とによつて洗滌乾燥される。脱水槽１には、これ
に隣接して水分離域である水分離槽２が設けられ
ていて、後述するところにより循環する溶剤は、
脱水槽の槽壁１ａを溢流して分離槽２内に入る。
分離槽の中央部には、槽底２ａとの間に間隔をお
いて分液筒２１が内装されていて、脱水槽から溢
流して分離槽に入る溶剤は、槽壁１ａと分液筒壁
間を矢印方向に流下して、前記間隔から分液筒２
１内に入る。その筒壁は、当然溢流や循環など溶
剤の運動に対しては、これを鎮静化する役目を果
すので、筒内において水溶性有機液体を含んだ水
が浮上して上層に、また共沸混合物が下層に分液
される。この浮上した水溶性有機液体を含む水の
層は該層に開口７ａしている排水管７を通つて、
水溶性液体回収器５に導かれる。層別されて下層
となつている共沸混合物は、水分離槽の槽壁２ｂ
から溢流して、隣接した溶剤貯槽１１に入りその
底部に設けた管路１７ａから抜き取られて、ポン
プ１６により管路１７ｂを経て脱水槽１へ循環さ
れる。

上の説明から判るように水分離槽２の上面は水
溶性有機液体の水溶液の層であつて、本来的には
可燃性となつていて、頗る危険である。これを避
ける為本発明にあつては、脱水槽１と水分離槽２
との液面上を連通させ、つまり脱水域と水分離域
とを共通の空間たらしめることによつて、不燃性
である脱水域に生じている溶剤蒸気を水分離域に
導いて、これら両域の空間を総体として不燃化し
たのである。その不燃性蒸気が大気中に逸散しな
いよう少くとも脱水槽および水分離槽の液面外周
上を器壁で囲繞する必要がある。図ではかかる器
壁として溶剤貯槽１１を含め脱水槽および水分離
槽の槽壁の上方への延長部が示される。しかし
て、溶剤蒸気はその比重が大きいので、前記囲繞
する器壁内下部に停滞した領域として存在する。
このような不燃化領域を効果的に形成させるた
め、第１図では脱水槽と水分離槽の上方に、溶剤
蒸気を凝縮させる為に、冷却管６を設けて、この
冷却管と溶剤液面との間に形成された不燃性蒸気
層の領域を連通路２２により水分離層上面に及ぼ
さしめた場合を示す。かかる不燃性溶剤蒸気上限
界線は符２３に示される。

脱水槽内の共沸混合物は、物品の浸漬洗滌とい
う操作の反覆間に若干汚染されて来ることはまぬ
がれ難い。そのような場合を顧慮して図示はしな
いが、第１図装置に蒸発再生装置を付設して連続
再生したり、沸騰槽を多数設置し、そこで蒸発さ
れ、ついで凝縮されることによつて得られる清浄
な溶剤が最終浴に入り、次々に溢流して脱水槽に
戻るようにしてもよく、また脱水槽の後でスプレ
イ式の蒸気洗滌槽を設けてもよい。このように溶
剤を蒸発させた場合に、本発明におけるように共
沸混合物を用いていると、液組成と蒸発ガス組成
とが等しいので、液の濃度に変動がないので、洗
滌脱水操作およびその装置を著しく容易かつ簡易
にすることができるのである。

本発明方法においても、むろん付着水中へ共沸
混合物中の水溶性有機液体が溶け込み共沸混合物
の組成が変ること、また管路７から排出される排
水中の水溶性有機液体は可燃性であるから火災に
対する危険があること、ならびに該排水に起因す
るCODの増加を来すことの３点に対して対策を
必要とする。これが為、本発明にあつては前記水
溶性有機液体を排水より回収して、これを洗滌脱
水系に返却するという手段によつて解決した。即
ち、第１〜２図に示したように、水分離域におい
て上層として分液した水溶性有機液体含有水溶液
である排水を管路７を経て加熱器１８ｂによつて
加熱される一種の加熱浴である水溶性有機液体回
収器５の任意位置に導入し、共沸混合物の共沸温
度よりも少くとも10℃以上、100℃未満に加熱し、
ここに発生する蒸気を脱水域ないし水分離域液面
上部空間に返戻するのである。図では該蒸気が前
記回収器５の上部に装した蒸気輸送管８を経て、
後述する水分離域上の消火用液留１０に戻される
よう、輸送管の出口が液留の溶剤液面に開口した
場合が示される。消火用液留は、第２図の通り、
水分離槽液面上方の溶剤蒸気室間内に位置した上
部の開口した容器であつて、後述する凝縮設備に
由来する溶剤を一旦貯留すると共に、蒸気輸送管
８から戻されて来る水溶性有機液体をも受け入れ
る。その受け入れ方は、前記一旦貯留する溶剤の
液面上でも、第２図に示したようにその液面下で
もよい。いずれにせよ、消火用液留は不燃性であ
る共沸混合物蒸気中に位置しているので、管路８
から入つて来る可燃性蒸気である水溶性有機液体
蒸気も、該混合物蒸気中に混合せられて不燃化さ
れてしまうのである。

ところで、前述した蒸発と凝縮とによる水溶性
有機液体の濃縮は公知の手段であつて、第７図に
はアセトン―水系の組成対平衡温度との関係図
を、また第８図にはエタノール水系の組成と平衡
温度との関係図を例示しておいた。例えば第８図
において、水／エタノールのモル比が80／20のも
のは約83℃で蒸発し、ここに生じた蒸気を凝縮さ
せれば、即ち一回の蒸気と凝縮でモル比約44／56
に濃縮されることが了解せられよう。このような
蒸発と凝縮が反覆せられれば遂に水と水溶性有機
液体とは完全に分離でき、その操作がいわゆる精
溜である。図中符１５で示した部分は精溜部であ
つて、ラツシヒリング充填層とか多段泡鐘塔が一
般的である。かくして蒸発ないし精溜によつて回
収器５の器底部に残存することになる水は該回収
器５の下部に装した立上り部９ａを有する水取出
管９から連続的もしくは非連続的に抜き取られ
る。この立上り部９ａは常法通り、この部分の液
高により回収器の液面を制御するものである。む
ろん回収器５には器内温度調節用の温度制御装置
を組み込み、蒸発ないし精溜に必要な温度コント
ロールを行うがよい。

さきに述べた共沸混合物蒸気を収容する器壁に
よつて囲繞された空間３は、その上部が大気に開
放する開放経路４となつている。この経路は他方
から云えば被処理物品の出入経路でもあつて、そ
の四周が凝縮器である冷却管によつて共沸混合物
蒸気を凝縮させ、装置外に逸散せしめない役割即
ち復液の役割を果す。第１図では凝縮した共沸混
合物は冷却管下端に設けた樋２８に捕集され、復
液管１９を経て消火用液留１０に導入されついで
返戻管２０を介して、管路８を経て輸送されて来
た水溶性有機液体と共に水分離槽２に戻される場
合を示しているが、脱水域１へ戻して差支えな
い。

なお、第１図中、符１２で示したのは、水分離
槽中に設けた電極であつて、微小な水滴を溶剤と
分離するのを促進するためのものである。電源１
３により、50〜1000V／cm好ましくは400〜
500V／cmの電界電圧を印加して使用されるが、
本発明に必須の要件ではない。

つぎにまた、脱水槽内の溶剤の汚染につき若干
補足説明する。該槽内の溶剤は主としてその組成
分である水溶性有機液体に起因して電解質物質な
どによる汚染が伴うことがある。そのような場合
には、既述した再生設備を付設してもよいが、そ
れでは電力消耗が大きいので、被処理物品を脱水
槽内の溶剤に浸漬するに先立つて純水によつて洗
滌することがすすめられる。一般に水洗滌には市
水、工業用水が使用されるけれども、これら水の
中には通常50〜200ppm程度の電解質やコロイド
物質が含まれている。したがつて、この水質以上
の洗滌浄化は不可能である。そこで純水を用いて
洗滌すればよいけれども、純水は高価であつて特
別な場合以外、経済的に使用され難い。ところ
で、洗滌除去さるべき不純物である電解質は、水
中では拡散によつて移動するが、この拡散は当然
水の粘度と電解質の濃度差によつて大きく影響を
受ける。したがつて、多量の純水で洗滌すること
は濃度差が大となつて洗滌度が高くなり、若干の
水溶性溶剤例えばアセトンを混入した水溶性を用
いれば粘度が下るので効果的に拡散が行われう
る。

第３図は、このような意味から脱水槽に前置さ
るべき前置洗滌設備の説明図であつて、該設備で
は前置洗滌槽２４とイオン交換樹脂塔２５との間
が管路２６ポンプ２７で結ばれ、符（２４―２６
ａ―２７―２６ｂ―２５―２６ｃ―２４）なる１
つの閉回路を形成していて、純水もしくは上記し
た水溶性溶剤水溶液が循環できるようにしてあ
る。この前置洗滌槽２４に浸漬した物品に由来す
るイオンを含有した水は、管路２６ａ、ポンプ２
７、管路２６ｂを経てイオン交換塔２５でイオン
交換によつて純粋にされ、管路２７ｃを通つて前
置洗滌槽２４に戻り、再び洗滌用に供される。

イオン交換樹脂としては、商品名アンバライ
ト、ダイヤイオン等として市販されているものが
使用できる。例えばアンバライトではカチオン用
として1R―120B、アニオン用として1RA―400
などが、またダイヤイオンではＳ・1B、SA・
10Aなどが適当とされる。上記の通り閉回路で循
環する手段をとれば純水のロスは殆んどない。も
ともと物品に付着してくる電解質の絶対量は微小
なものであるが、イオン交換樹脂の再生頻度は少
くてすみ、ランニング費は循環のためのポンプの
動力費程度となる。したがつて循環量を多くして
も安価に操業できこの装置で、高度の洗滌がで
き、次工程の脱水槽１内の汚染が少くなり、従つ
て再生装置を小型化することも場合によつては省
略することもできる。水溶性溶剤としてのメタノ
ールはイオン交換樹脂を劣化するが、アセトン等
はこれを劣化させない。アセトン水溶性は50〜20
％では不燃性であり、著しく水溶液の粘度を低下
させ、洗滌効果に著しく寄与する。また加温して
用いれば拡散速度が大となり、イオン交換樹脂の
耐熱性より30〜50℃で洗滌した方がよく、また洗
滌槽内に超音波を併用すれば効果的となる。

第４図は第１図に示した装置とは別態様である
本発明装置の模式的な縦断面図であつて、消火用
液留１０の上に凝縮器である冷却管３１を設け、
ここで溶剤蒸気を液化して、上記消火用液留へ供
給する場合が示される。したがつて第１図にある
凝縮装置で液化した溶剤の復液管１９は必要なく
なるが、この凝縮液には、脱水槽から沸騰する溶
剤が共沸成分として少量の水を含むことと、大気
中の水蒸気から混入したものが溶剤といつしよに
凝縮して入つて来た水が含まれるので、脱水槽へ
直接戻すことは好ましくなく、小型の水分離器２
９を通して脱水槽１へ戻すのであつて、本図で
は、その戻す経路にゆすぎ槽３０を設けた場合を
示している。ゆすぎ槽には脱水槽と同様に加熱器
１８ｃが装されていて、沸騰浴として使用され
る。また、第１図装置と異る点として、電極が金
網電極１２′となつているので液が通り抜けるこ
とができるものであることを指摘しておく。

第５図は、第４図同様第１図装置の別態様であ
るが、この場合には消火用の液留は設けられてい
ない。これに代つて、凝縮した溶剤は小型の水分
離器２９を通じて直接脱水槽１へ戻される。水溶
性液体の蒸気は空間３へ直接導入されるものであ
るほか、水溶性液体回収器に温度計と温度制御装
置がついていて、これにより加熱器の加熱水準を
調節するものである。

実施例 第１図の装置を用いて水洗滌後のフインつき小
型熱換器の洗滌脱水を行つた。

この装置において、脱水槽１は、縦横250×250
mm、高さ250mmで、その底部に200Wの電気ヒータ
が設置されている。水分離槽２は、縦横250×
100、高さ150mmの円筒状で、上部に3/8インチの
水取出管７が結合されており、この水取出管は水
溶性液体回収器５の下から75mmの高さまでの立上
り部９ａを有する。この水溶性液体回収器５に
は、内部の高さで中半以下の位置に、500Wの電
気ヒータ１８ｂと図示しない温度調節計とが挿入
されていて、この温度調節計とヒータとは図示し
ない温度制御部に結合されている。水分離槽２に
は電極１２が設置され、この電極に400Vの交流
電源１３を接続する。

溶剤として、トリクロロトリフルオロエタンと
エタノールとの共沸混合物（重量比96：４）を使
用し、脱水槽へ被洗滌物としての水洗滌後のフイ
ンつき小型熱交換器を、次々に浸漬して洗滌脱水
処理する。被洗滌物とともに脱水槽に入る水の量
は１／hrであり、ここで同量の水が除去され、
被洗滌物は完全に乾燥する。水分離槽２で水が浮
上して分離され、この水は53％のエタノールを含
んでいる。水を分離した溶剤は20／minの速度
で貯槽１１から脱水槽１へ循環させる。また前記
エタノールを含む水は90℃に温度調節した水溶性
液体回収器５へ送入し、ここから出るエタノール
蒸気は水分離槽の上に設けられた消火用液留１０
の液面へ戻す。水溶性液体回収器から水取出管９
を経て連続的に水が取り出され、この水は約３モ
ル％のエタノールを含む。

次に、上と同じ実施において、水溶性液体回収
器の上側に、直径30mm、長さ200mmの精溜部１５
を直結し、中に直径３mm、長さ３mmのガラス製ラ
シヒリングを充填する。この場合取出管９から取
出される水中のエタノールは１モル％である。

以上、詳述したように、本発明によれば イ 装置内蒸気相は不燃性で、従来の水溶性有機
溶剤浸漬法（上述）における火災のおそれが
ない。

ロ 脱水洗滌に用いる溶剤が従来のトリクロロエ
チレン浸漬法や、水溶性有機溶剤浸漬法に
比して著しく汚染され難い。

ハ 熱風乾燥法に比して電力または燃料消費が
遥かに少い。

ニ 熱風乾燥法、トリクロロエチレン浸漬法
、浸漬法およ界面活性剤添加有機溶剤浸漬
法の何れよりも物品に汚点を生じ難い。

ホ 熱風乾燥法よりも迅速な乾燥が可能であ
る。

ヘ 界面活性剤添加有機溶剤浸漬法よりもすぐ
れて物品の細孔内の水の除去が行われうる。

ト 熱風乾燥、トリクロルエチレン浸漬およ
び界面活性剤添有機溶剤浸漬法の欠点である
物品表面の水溶性不純物の除去不十分が改善さ
れる。

チ トリクロルエチレン浸漬法と異り、物品の
表面からの直接乾燥は殆んどない等の長所が数
えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の模式的な縦断面図、第２
図は第１図点円部分の拡大図、第３図は前置洗滌
設備の説明図、第４図および第５図は第１図と別
態様である本発明装置の模式的な縦断面図、第６
図はエタノールおよびアセトン水溶液の温度と表
面張力との関係図、第７図はアセトン―水系組成
と平衡温度関係図、第８図はエタノール―水系組
成と平衡温度関係図である。 １……脱水槽、２……水分離槽、３……器壁に
よつて囲繞された空間、４……開放経路、５……
水溶性有機液体回収器、６……凝縮器たる冷却
管、７……排水管、８……蒸気輸送管、９……水
取出管、１０……消火用液留、１１…溶剤貯槽、
１２……電極、１３……電源、１４……絶縁体、
１５……精溜部、１６，２７……ポンプ、１７…
…（ａ〜ｂ）管路、１８……（ａ〜ｃ）加熱器、
１９……復液管、２０……返戻管、２１……分液
筒、２２…脱水域水分離域連通路、２３……溶剤
蒸気上限界線、２４……前置洗滌槽、２５……イ
オン交換樹脂塔、２８……樋、２９……小型水分
離器、３０……ゆすぎ槽、３１……冷却管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 表面に付着水を有する物品を溶剤中に浸漬し
   洗滌乾燥する方法において、 (a) 溶剤としてトリクロロトリフルオロエタンと
   沸点が100℃以下の水溶性有機液体との共沸混
   合物を使用し、 (b) 前記共沸混合物は不燃性であり、沸点が20〜
   70℃、水の溶解度が0.1〜10％の範囲のもので
   あり、 (c) 予め水で洗滌した前記物品を、前記溶剤の沸
   騰浴である脱水域に浸漬して水を除去するとと
   もに、分離された遊離水を含む溶剤を水分離域
   に送り、相分離により浮上する水を水溶性有機
   液体水溶液として溶剤と分離し、 (d) 水分離域で分離した水溶性有機液体水溶液
   を、共沸混合物の沸点より10℃以上高いが100
   ℃よりも低い温度に加熱した回収帯域に導入
   し、ここに発生する蒸気は、これを脱水域また
   水分離域に返戻し、 (e) 前記(c)で分離された溶剤は、これを前記脱水
   域に循環し、 (f) 前記脱水域と水分離域との液面上に連通した
   空間を設けて、脱水域で生じた溶剤蒸気がつね
   に水分離域の液面上を覆うようになし、 (g) 前記空間を大気に開放させ、その開放経路に
   設けた冷却手段により、溶剤蒸気を凝縮させ、
   凝縮した溶剤を脱水域または水分離域に返戻す
   ることを特徴とする物品の洗滌乾燥方法。 ２ 加熱器１８ａを備えた脱水槽１、水分離槽
   ２、水分離槽中に開口した排水口７ａ、水分離槽
   から脱水槽へ溶剤を循環させる溶剤循環路１７ａ
   ―１６―１７ｂ、脱水槽及び水分離槽における両
   液面に連通し、且つ両液面外周上で器壁によつて
   囲繞された空間３、この空間を大気に開放する開
   放経路４、該開放経路に装した溶剤蒸気の凝縮設
   備、及びここに凝縮した溶剤を脱水槽１または水
   分離槽２に返戻する復液設備を備えていて、蒸気
   輸送管８を上部に、立上り部９ａを有する水取出
   管９を下部に、排水管７を任意位置に開口し、か
   つ加熱器１８ｂを具備した水溶性液体回収器５
   が、その排水管７を前記水分離槽の排水口７ａに
   接続し、前記蒸気輸送管８を、前記脱水槽１また
   は水分離槽に開口して成る物品の洗滌脱水装置。 ３ 水分離槽２の液面上方の溶剤蒸気空間３に溶
   剤溶液を収容し、上部が開口した消火用液溜１０
   を装した特許請求の範囲第２項記載の装置。 ４ 蒸気輸送管８の出口が、消火用液溜１０の溶
   剤液面に開口したものである特許請求の範囲第３
   項記載の装置。 ５ 凝縮設備で凝縮した溶剤を消火用液溜１０に
   戻す復液管１９を有する特許請求の範囲第３項ま
   たは第４項記載の装置。 ６ 消火用液溜１０から溶剤を水分離槽２へ送る
   返戻管２０を有する特許請求の範囲第３項記載の
   装置。 ７ 消火用液溜１０の溶剤液面上方に凝縮器６を
   位置せしめた特許請求の範囲第３項または第５項
   記載の装置。 ８ 水溶性液体回収器５に取付けた水取出管９に
   立上り部９ａを設けた特許請求の範囲第２項記載
   の装置。 ９ 水溶性液体回収器５は精溜部１５を有するも
   のである特許請求の範囲第３項記載の装置。 １０ 水分離槽２には少なくとも一対の電極１４
   が設けられている特許請求の範囲第２項記載の装
   置。