SU1335337A1 - Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени - Google Patents
Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1335337A1 SU1335337A1 SU853864491A SU3864491A SU1335337A1 SU 1335337 A1 SU1335337 A1 SU 1335337A1 SU 853864491 A SU853864491 A SU 853864491A SU 3864491 A SU3864491 A SU 3864491A SU 1335337 A1 SU1335337 A1 SU 1335337A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- condensate
- cleaning
- time
- washing
- water
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N isopropyl alcohol Natural products CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 12
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 claims abstract description 4
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 8
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 claims abstract 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims abstract 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 8
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 8
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 8
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000003599 detergent Substances 0.000 claims 2
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 claims 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims 2
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims 1
- 244000309465 heifer Species 0.000 claims 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229960004592 isopropanol Drugs 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000007762 w/o emulsion Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области полупроводниковой электроники и позвол ет повысить качество очистки.Образцы оптических деталей обрабатывают в пол рном растворителе - изопро- пиловом спирте, а затем в моющем растворе состава, мас.%; карбоксиме- тилцеллюлоза 0,1-0,6; аммиак 2,5- 10,0; ацетон 30,0-60,0; вода остальное .. Затем детали обрабатывают сначала в конденсате изопр опилового спирта при их нагреве до 75-78 С, а затем в конденсате фреона-113 при 44-45 С. После этого детали промывают в деионизованной воде и сушат. 2 с.п. ф-лы, 2 табл., 1 ил. о 9 сл с: 00 СО О1 00 00
Description
Изобретение относитс к способу очистки оптических деталей и устройству дл его осуществлени и может быть использовано в полупроводниковой электронике,например,при очистке оптического и электронного оборудовани .
Целью изобретени вл етс повышение качества очистки .
Примеры 1-10.Моющий раствор представл ет собой водно-масл ную эмульсию,содержащую мас.%:
Карбоксиметилцеллюлоза 0,1-0,6
Аммиак2,5-10,0
Ацетон30,0-60,0
ВодаОстальное
Образцы оптических заготовок обрабатывают сначала в изопропиловом спирте, затем в указанном водно-масл ном составе с последующей обработкой деионизованной водой.Режимы обработки , а также сравнительные данные с известным способом представлены в табл. 1 и 2.
При этом П ть образцов оптических заготовок (стекло. Kg) готов т по услови м известного способа и 5 образцов (стекло Kg) по услови м предложенного способа. До и после очистки все образцы подвергают контролю на наличие остаточных загр знений (по свет щимс точкам).
На чертеже изображено устройство дл очистки оптических деталей.
Устройство содержит рабочую камеру 1 с крышкой 2, блок 3 регенерации изопропилового спирта,блок 4 регенерации фреона-113, выполненный аналогично блоку 3 и включающий испаритель 5, электронагреватель 6, термометр 7, манометр 8, заливной 9 и сливной 10 штуцера. Кроме того, блоки 3 и 4 включают разделительную колонку 11, заполненную, насадкой 12 типа колец Рашига и снабженную в верхней и нижней част х распределительными решетками 13, и конденсационную камеру 14, оборудованную термометром 15 и манометром 16.На дне конденсационной камеры 14, на рещетчатой подставке 17, установле сборник 18 конденсата,а в верхней части конденсационной камеры 14 смотирована азотна ловушка 19, сообщенна с атмосферой через вентиль 20. Рабоча камера 1 через вентили 21-25 подсоединена трубопроводами системы подачи и отвода растворителей к испарител м 5 и сборникам 18 конденсата блоков 3 и 4 регенерации изопропилового спирта и фреона-113 и расположена между ними так, что ее положение обеспечивает подачу конденсатов изопропилового спирта и фреона-113 в рабочую.камеру 1 и их слив из нее в испарители 5 самотеком. При этом рабоча камера 1 через вентиль 26, сосуд 27 с силикагелем,механический фильтр 28 и вентиль 29 сообщена с атмосферой,а через вентиль 30, азотную ловушку 19 и вентиль 31
соединена с водоструйным вакуумным насосом (не показан).Слив конденсата фреона-113 из ловушки 19 осуществл ют после продувки рабочей камеры 1 сухим обеспыпенным воздухом через
вентиль 32 в испаритель 5 фреона-113 блока 4 регенерации.
Устройство работает следуюш 1м образом .
В азотные ловушки 19 заливают
жидкий азот и открывают вентили 20 на лини х сообщени с атмосферой.Изо- пропиловый спирт и фреон-113 через заливные штуцера 9 заливают в испарители 5 блоков 3 и 4 регенерации на
75% их объема.Включают электронагреватели 6 регулируемого напр жени . Растворитель в испарителе 5 нагреваетс , испар етс и в виде пара поднимаетс по разделительной колонке 11,
частично конденсируетс на поверхности насадки 12 и в виде жидкости стекает в испаритель 5. В результате массообмена между противотоками пара и жидкости по высоте разделительной колонки 11 осуществл етс глубока очистка растворител от примесей. Чистый растворитель (изопропиловый спирт) в виде пара через конденсационную камеру 14 попадает в азотную
ловушку 19 полностью .конденсируетс и стекает в сборник 18 конденсата, в котором нагреваютс до температуры пара, выход щего из разделительной колонки 11 в
РУ т.е.
растворители поочередно подают через вентили 24 или 25 в рабочую камеру 1 .. После обработки изопропиловым спиртом заготовок,помещенных предварительно в рабочую камеру 1, они нагреваютс до 75 - 78 С, поэтому при подаче конденсата фреона-113 с температурой 44 - 45 С на границе раздела поверхность заготовок-раствоконденсационную каме- до 75-78 С. После этого
ритель происходит бурное его кипение что обеспечивает глубокую очистку поверхности заготовок.
Через 2 - 3 мин. вентили 22 и 23 от- крывают,конденсат фреона-113 сливают в испаритель 5 блока 4. Вентили 22,23 и 26 закрывают. Открывают вентили 31, 30, 26 и рабочую камеру 1 через вентиль 26, сосуд 27 с сели- кагелем,механический фильтр 28 и ловушку 19 с помощью водоструйного насоса продувают сухим очищенным воздухом в течение 1,5-2 мин. Сконденсировавшийс в ловущке 19 фреон- 113 через вентиль 32 сливают в испаритель 5 блока 4. Воздушную систему перекрывают, вынимают заготовки из рабочей камеры 1 и передают их на участок вакуумно-технологических процессов.
Конструктивные особенности устройства обеспечивают высококачественное проведение операций финишной очистки и сушки деталей с одновре- менной регенерацией и глубокой очисткой растворителей без существенных потерь в окружающую среду.
Claims (1)
1. Способ очистки оптических деталей , включающий их обработку в по- л рном растворителе и в моющем растворе на основе поверхностно-активного вещества, аммиака и воды,промывку и сушку, отличающийс
Органический растворитель диметилсульфоксид, С, врем промывки 2 мин, УЗ 22 кГц
Органический раствори- тель-лимегилсульфоксид, С,врем лромывки 2 мин. УЗ 22 кГц
Проточна в6да,подс;елочен- 10 нал аммиаком до рН 10-11, t , врем промывки 2 мин
Паста моюща дл меха,телки и синтетики 1 г/л,аммиак (25%-ный водный раствор) 5 г/л, вода остальное до 1;. С,врем промывки 2 мин, УЗ 22 кГц
5 0
5
0
5
тем,что, с целью повышени качества очистки, перед сушкой оптические детали дополнительно обрабатывают сначала в конденсате изопропилового спирта при нагреве деталей до 75- 78 С,а затем в конденсате фреона- 113 при 44-45 С,при этом в моющий раствор дополнительно ввод т ацетон, в качестве поверхностно-активного вещества используют карбоксиметил- целлюлозу и обработку им осуществл ют при следующем соотношении компонентов моющего раствора,мас.%: Карбоксиметилцеллюлоза 0,1-0,6 Аммиак2,5-10,0
Ацетон30,0-60,0
ВодаОстальное
а в качестве пол рного растворител используют изопропиловый спирт.
2, Устройство дл очистки оптических деталей, содержащее рабочую камеру с крышкой,сиетему подачи и отвода растворителей и блоки регенерации , включающие испарители с нагревател ми, конденсационные камеры , сборники конденсата и азотные ловушки, отличающеес тем,что, с целью повышени качества очистки, оно снабжено разделительными колоннами,установленными между испарител ми и конденсационными камерами , при этом сборники конденсата . расположены внутри конденсационных камер и соединены через рабочую камеру с испарител ми блоков регенерации .
Таблица 1
-
Проточна деиоки- зованна вода, С,врем промывки 5 мин
Конценсат изо-
- пропилового
спнрТа,75-7В С,
врем обработки 2,5 мин
Проточна деиони- зованна вода, С,врем промывки 5 мин
Конденсат изопро- пилового спирта, 1 75-78 с,врем обработки 2,5 мин
Проточна вода,подщелоченна аммиаком др рН 10-11, С, врем промывки 2 мин
Дистиллированна вода t 2CrC, врем промывки 0,5 Mw, УЗ 22 кГц
Рабо- Конденсат фрео-Конденсат фрео-Конденсат фреона- ча Ha-113,t 44-45 Cна-113, t 44-45 C113, t 44-45 C, каме- врем обработкиврем обработкиврем обработки ра 2,5 мин2,5 мин2,5 мин
0,003%-ный раствор алкил- бензилдиметил-аммонийхло- рида в дистиллированной воде , С, врем обезвоживани 2 мин
Примечание. 1 I , количество свет щихс точек на оптической поверхности заготовок перед очисткой; то же, после очистки.
Продолжение табл.1
Таблица 2
f( водоструйном у ум- насосу I
4 I
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853864491A SU1335337A1 (ru) | 1985-01-02 | 1985-01-02 | Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853864491A SU1335337A1 (ru) | 1985-01-02 | 1985-01-02 | Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1335337A1 true SU1335337A1 (ru) | 1987-09-07 |
Family
ID=21166006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853864491A SU1335337A1 (ru) | 1985-01-02 | 1985-01-02 | Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1335337A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009099A1 (fr) * | 1988-03-29 | 1989-10-05 | Institut Khimii Nefti Sibirskogo Otdelenia Akademi | Procede et installation de nettoyage de pieces |
-
1985
- 1985-01-02 SU SU853864491A patent/SU1335337A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 966973, кл. В 08 В 3/12, 1980. Авторское свидетельство СССР № 710674, кл. С 23 G 5/04, 1977. Глассман Л.И. и др. Аппарат очистки хрупких подложек в парах органических растворителей. - Электронна техника, сер. 7. 1978, вьт. 1(86), с. 14. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009099A1 (fr) * | 1988-03-29 | 1989-10-05 | Institut Khimii Nefti Sibirskogo Otdelenia Akademi | Procede et installation de nettoyage de pieces |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900015826A (ko) | 유기용제를 이용하는 세척방법 및 장치 | |
| KR930010232A (ko) | 철제부품의 세정방법 및 세정장치 | |
| KR20160102884A (ko) | 증기 공급 장치, 증기 건조 장치, 증기 공급 방법 및 증기 건조 방법 | |
| SU1335337A1 (ru) | Способ очистки оптических деталей и устройство дл его осуществлени | |
| KR100617984B1 (ko) | 진공세척 건조장치 | |
| US4090307A (en) | Method for removing water from workpieces and apparatus therefor | |
| RU93029614A (ru) | Способ и устройство для очистки смеси паров и воздуха, загрязненной серосодержащими газами и образовавшейся при получении гранулята шлака от доменной печи | |
| JP3349650B2 (ja) | 水切り乾燥装置 | |
| JP5129911B2 (ja) | 水分除去装置 | |
| JPS5835108B2 (ja) | 物品の洗滌乾燥方法 | |
| JPS6317484B2 (ru) | ||
| US1146014A (en) | Method for concentrating nicotin solutions. | |
| JPH0780240A (ja) | 有機溶剤の回収方法及び装置 | |
| US1512909A (en) | Process and apparatus for separation of solids from liquids containing the same | |
| SU1058645A1 (ru) | Способ отмывки поверхностей образцов от органических загр знений и устройство дл его осуществлени | |
| RU2114705C1 (ru) | Способ удаления остатков металлической ртути из труб и емкостей | |
| SU747486A1 (ru) | Способ кристаллизации солей из растворов | |
| RU2064532C1 (ru) | Способ обезжиривания изделий в хлорорганических растворителях | |
| JP2880549B2 (ja) | ワークの乾燥方法及び装置 | |
| JPH03242205A (ja) | 水切り乾燥装置 | |
| SU1715449A1 (ru) | Способ очистки изделий и устройство дл его осуществлени | |
| JPH054155B2 (ru) | ||
| SU1742356A1 (ru) | Способ химической обработки металлических изделий | |
| JPS5939162B2 (ja) | 洗滌乾燥装置 | |
| SU1428428A1 (ru) | Способ очистки сетчатых фильтрующих элементов и устройство дл его осуществлени |