JPS63162858A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザーディスク（ＬＤ）、コンパクトディ
スク（ＣＤ＞等の光ディスクの表面に金属薄膜を形成す
るための真空蒸着装置に関するもので、特に、ターンテ
ーブル上に複数個取付けられる多面状のディスクホルダ
ー上から、蒸着処理の完了したディスクを迅速に取出す
ことができるようにした真空蓋＠装置に係る。

（従来の技術） 現在、情報記録媒体として録音用テープ、ビデオテープ
、ビデオディスク等が市販され普及しているが、近年、
レーザー光を用いて記録再生が可能な光ディスクが高密
度情報記録媒体として注目されている。この光ディスク
は、画像、音声の情報以外にもコンピューターのデータ
メモリ媒体としての利用が拡大されていることから、記
録、再生時にエラーのない高品質な光ディスクが要求さ
れている。そのため、光デイスク表面にレーザー光の反
射膜となる金属薄膜を均一に形成するための真空蒸着装
置が注目されている。

第３図に従来から用いられている真空蒸着装置の概略的
な平面図を示した。

即ち、この真空蒸着装置は、架台１の中央部に設けた真
空槽４のレール２ａと架台１上に設けたレール２ｂ上に
、第１、第２のターンテーブル３ａ、３ｂを走行自在に
配設したものである。また、真空槽４を挟んで架台１と
平行に、ターンテーブル３ａ、３ｂに設けられた各ディ
スクホルダーに対して、ディスクを装着したり取り外し
たりする着脱装置５ａ、５ｂが配置されている。各ター
ンテーブル３ａ、３ｂ上には、それぞれ複数本のディス
クホルダー６がその支軸７を中心として回転自在（自転
可能）に支持されている。各ディスクホルダー６は、側
面に・複数枚のディスクＤを装着できるように多面体（
−例として三面）になっている。

ターンテーブル３ａ、３ｂは、第４図の縦断面図に示す
通り、レール２ａ上を走行する台車８上に軸受９及びガ
イドローラ１０によって支持されたリング状の部材で、
その外周に形成されたギヤ１１の部分で、モータ１２に
よって回転する駆動ギヤ１３と噛合っている。ターンテ
ーブル３ａ。

３ｂには、支１ｉ１１７が貫通する軸孔１７が形成され
ている。支ＩＦＩＩＩ７には自転ギヤ１４が固定され、
この自転ギヤ１４がターンテーブル３ａ、３ｂに一体に
設けられたホルダー駆動ギヤ１５と噛合っている。また
、支軸７の自転ギヤ１４とディスクホルダー６との間に
は、支軸７とディスクホルダー６とを接続する継手１６
が設けられている。

このような構成の真空蒸着装置においては、一方のター
ンテーブル３ａを脱着装置５ａが配置されている方の架
台より真空槽４内に搬入して蒸着作業を行っている間に
、もう一方のターンテーブル３ｂに対してディスクを着
脱することで、作業を連続して行うことができるように
なっている。

即ち、真空槽４内においては、外部に設けられたモータ
１２によって真空槽４内の駆動ギヤ１３が回転すると、
これに外周のギヤ１１の部分で噛合っているターンテー
ブル３ａが回転する。ターンテーブル３ａが回転すると
、このターンテーブル３ａに一体に形成したホルダー駆
動ギヤ１５が、支軸７に固定された自転ギヤ１４を回転
させるので、ディスクホルダー６は自転しながら公転す
る。

その結果、どの位置のホルダーであっても、また各ホル
ダーのどの面に装着したディスクであっても、均等に真
空槽内の蒸気と接触することになり、各ディスクに均等
な蒸着層が形成されることになる。

今、ターンテーブル３ａ上のディスクの蒸着作業がター
ンテーブル３ａのディスクより早く終わったとすれば、
台車８をレールに沿って走行させることにより、ターン
テーブル３ｂごと真空槽４より取出し、各ディスクホル
ダー６にＨａされたディスクＤを、架台１の側方に平行
に配置されたディスク脱着装置５ｂによって、ディスク
ホルダー６より順次取外す。即ち、まず予め設定された
基準ディスクホルダー６ａ上の例えば第１面（ポールポ
ジション）に装着されたディスクＤ−１ａを脱着装置５
ｂを使用して取り外し、次いで、ターンテーブル３ｂを
公転させながら、隣接するディスクホルダー６ｂの第１
面上に装着されているディスクＤ−１ｂを取出す。この
様にしてターンテーブル３ｂを回転させながら、順次隣
接するディスクホルダー６ａ〜６ｎ（図ではｎ＝８）上
の第１而のディスクＤ−１８−Ｄ−１ｎを外して行くと
、ターンテーブル３ｂが１回転すると、各ディスクホル
ダー６ａ〜６ｎの第１面上に装着されていたディスクＤ
−１８−、−Ｄ−１ｎがすべて取外され、基準ディスク
ホルダー６ａの第２面がディスク脱着装置５ｂに対向す
る位置にくる。以下、同様にしてターンテーブル３ｂを
回転させることにより、各ディスクホルダーの第２面に
装着されているディスクＤ−２８−Ｄ−２ｎ、第３面に
装着されているディスクＤ−３８〜Ｄ−３ｒｌを順次取
外していた。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、上記のような各ディスクホルダーからのディ
スクの取り出し作業は、ある一定の順序で行う必要がお
る。即ち、蒸着を行う各ディスクには予め製造ロット等
を示す番号を付しであるため、その番号順にディスクを
取り出して包装したり次工程に送る場合や、一度の真空
蒸着作業で複数種類のディスクの蒸着を行う場合に、ホ
ルダーに装着した順序で取り外さないと、番号が乱れた
り種類の異なったディスクが入り混じってしまう問題が
生じる。

そのため、この種の真空蒸着装置においては、前記のＪ
：うに予め決められた基準ディスクホルダー５ａの第１
面から必ずディスクを取り外すようにしていた。

しかしながら、従来の真空蒸着装置においては、一定時
間蒸着作業を行なった後、適当にターンテーブル３ａ、
３ｂを停止させていたので、蒸着作業完了時に、基準デ
ィスクホルダー６ａの第１面が、ディスク脱着装置５ａ
、５ｂの近傍にあるとは限らなかった。そのため、従来
では、蒸着作業完了後に基準ディスクホルダー６ａの第
１面をディスク脱着位置に配置するために、ターンテー
ブル３ａ、３ｂを公転させると共に基準ディスクホルダ
ー６ａを自転させて、その第１面をディスク脱着装置５
ａ、５ｂの位置にまで移動させる必要があった。

しかし、この場合、多面体のディスクホルダーを用いて
いるので、前記の様にディスクホルダーの次の面を着脱
装置に対向させるにはターンデープルを１回転させる必
要があるため、基準ディスクホルダー６ａの第１面がデ
ィスク脱着装置５ａ。

５ｂとの対向位置を通過していると、次に基準ディスク
ホルダー６ａの第１面が着脱装置５ａ、５ｂに対向する
には、最高、ディスクホルダーの面の数だけターンテー
ブル３ａ、３ｂを回転させる必要があった。そのため、
ディスク脱着作業に多大な時間がかかり、蒸着作業のサ
イクルタイムの短縮化がはかれず作業効率が非常に悪い
ものとなっていた。

本発明は上記のような従来技術の問題点を解決するため
に提案されたもので、その目的は、蒸着作業完了時に最
初にディスクの脱着を行なう基準ディスクホルダーのど
の面がディスク脱着装置と対向する位置にあるかを判定
し、脱着を行っても良い第１面以外の面がディスク脱着
装置に対向していることをセンサーにより検出した場合
には、突き上げ装置でターンテーブルからそのディスク
ホルダーを切り離して自転させることにより、ターンテ
ーブルを回転させることなく、ディスクの第１面をディ
スク脱着装置に迅速に対向させることのできる真空蒸着
装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために、本発明の真空蒸着作業は
、ターンテーブル上のすべてのディスクホルダーの第１
面上にセンサー検出板を配設し、また、ディスク脱着装
置のターンテーブル回転方向前方及び手前側にそれぞれ
センサーを配設し、前記２つのセンサーからの信号で、
ディスクホルダーをターンテーブルから切り離して所定
角度回転させる突き上げ装置により、ディスクの第１面
をディスク脱着装置に迅速に対向させるものである。

（作用） 上記のような構成を有する本発明の真空蒸着装置におい
ては、ディスク脱着装置の近傍の架台にターンテーブル
回転方向前方及び手前側にセンサーを配設し、このセン
サーによってディスクホルダーの第１面がディスク脱着
装置に対向しているかを検出する。そして、この検出結
果が、基準ディスクホルダーの第１面以外が着脱装置に
対向している場合には、突き上げ装置で基準ディスクホ
ルダーをターンテーブルから切り離して第１面が着脱装
置に対向するまで回動させることで、基準ディスクホル
ダーの第１面からのディスクの脱着を行えるようにした
ものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により具体
的に説明する。なお、第３図及び第４図に示した従来型
と同一の部材については同一の符号を付し、説明は省略
する。

本実施例の構成 本実施例において、第１図（Ａ）〜（Ｃ）に示した様に
、すべてのディスクホルダー６ａ〜６ｎの第１面上に、
センサー検出板２０が取付けられている。一方、架台１
に平行に配置されたディスク脱着装置５ａ、５ｂの近傍
の架台１にターンテーブル回転方向前方及び手前側には
、前記センサー検出板２０を検出するセンサーＡ、Ｂが
配設されている。

これらのセンサーＡ、Ｂの信号は、架台１に設けられた
突き上げ装置３０ａ、３０ｂの制御回路（図示せず）に
入力される。即ち、この突き上げ装置３０ａ、３０ｂは
、第２図（Ａ＞に示す通り、着脱装置５ａ、５ｂの正面
のターンテーブル下方に設けられ、その位置に停止した
ディスクホルダーの支軸７を下方から押し上げ、支軸７
に固定された自転ギヤ１４とターンテーブル側のホルダ
ー駆動ギヤ１５との噛合いを解除するシリンダ３１を備
えている。このシリンダ３１上には、・シリンダ３１に
よる突き上げ状態においてディスクホルダー６の支軸７
を所定角度回動させるためのモータ３２が設けられてい
る。

更に、突き上げ装置３０ａ、３０ｂの近傍には、基準デ
ィスクホルダー６ａの第１面がディスク脱着装置５ａ、
、５ｂに正確に対向した状態でモータ１を停止させる位
置補正装置２１が設けられている。この位置補正装置２
１は、−例として、フォトセンサーを使用したもので、
ターンテーブル３ａ、３ｂの周縁部に、各ディスクホル
ダーの位置に合せて設Ｃプられた孔１８と、この孔１８
の位置を検出する発行体２２と受光体２３とから成るフ
ォトセンサーより構成され、発行体２２からの光が孔１
８を通過して受光体２３で検出された場合にモータの回
転を停止させ、ターンテーブル３ａ。

３ｂの回転を停止させるものである。

突き上げ装置３０ａ、３０ｂは、前記各センサーＡ、Ｂ
からの信号と位置補正装置２１からの信号によりに制御
されるもので、その検出信号に応じてモータ３２を駆動
し、第１面が脱着装置５ａ。

５ｂに対向するまでディスクホルダー６を回動させるも
のである。

本実施例の作用 上記の様な構成を有する本実施例の真空蒸＠装置におい
ては、蒸着作業完了後に、例えばターンテーブル３ａを
真空槽４より取出し、基準ディスクホルダー６８が脱着
装置５ａの正面で停止する位置でターンテーブル３ａの
回転を停止させる。

この場合、基準ディスクホルダー６ａのどの面が脱着装
置５ａに対向していても構わない。この状態で、脱着装
置５ａの両側に配設した２つのセン’Ｊ−−Ａ、Ｂによ
って、各センサーＡ、Ｂの正面に位置する各ディスクホ
ルダー５ｎ、５ｂの第１面に設けたセンサー検出板２０
が、センサーＡ、　Ｂに対向しているか否かを検出し、
これらセンサーの検出結果より基準ディスクホルダー６
ａのどの面が脱着装置５ａに対向しているかを判別する
。

第１図（Ａ＞に示す通り、基準ディスクホルダー５ａの
第１面が着脱装置５８対向している場合は、センサーＡ
に対向する位置に、ディスクホルダー６ｎの第３面が位
置しているので、センサーＡの信号がオフになり、セン
サーＢに対向する位置にはディスクホルダー６ｂの第２
面が位置しているので、センサーＢの信号がオフになっ
ている。

次に、第１図（Ｂ）に示した様に、基準ディスクホルダ
ー６ａの第３面が着脱装＠５ａに対向している場合は、
センサーＡはディスクホルダー６ｎの第２而が対向して
いるのでオフになり、センサーＢはディスクホルダー６
ｂの第１面が対向しているのでオンとなる。

更に、第１図（Ｃ）のように基準ディスクホルダ６ａの
第２面が着脱装置５ａに対向している場合は、センサー
Ａはディスクホルダー６ｎの第１面に対向しているので
オンとなり、センサーＢはディスクホルダー６ｂの第３
面に対向しているで、オフとなる。

この点を表にすると下記の通りである。

このように脱着装置５ａの前後に設けたセンサーＡ、Ｂ
によって、各ディスクホルダー６ｎ、６ｂの第１面に設
けた検出板２０を検出することにより、脱着装置５ａの
正面に停止している基準ディスクホルダー６ａのどの面
が、脱着装置５ａに対向しているかを判別することが可
能となる。

このようにして脱着装置５ａの正面に停止している基準
ディスクホルダー６ａのどの面が脱着装置５ａに対向し
ているか及び位置補正装置２１により支軸７の位置を検
出した後は、突き上げ装置３０ａを作動させて、ディス
クホルダー６ａをターンテーブル３ａから切り離し、そ
の第１面が脱着装置５ａに対向するまで回動させる。即
ち、センサーＡ、Ｂが共にオフの時はディスクホルダー
６ａの第１面が脱着装置５ａに対向しているので、突き
上げ装置３０ａ、３０ｂを作動させることなく、そのま
まディスクの脱着を行う。一方、センサーＢのみがオン
の時はディスクホルダー６ａの第３面が脱着装置５ａに
対向しているので、まずモータ１２を駆動してギヤ１１
を回転させ、位置検出装置２１が作動したところでモー
タ１２を停止させ、支軸７とモータ３２の軸を係合可能
とし、その後文ぎ上げ装置３０のシリンダ３１を作動さ
せて、モータ３２の軸でディスクホルダー６ａの支軸７
を押し上げ、その自転ギヤ１４をターンテーブル３ａか
ら切離し、更にモータ３２を回転させることで、ディス
クホルダー６ａを２／３回転（逆転可能のモータの場合
は１／３回転）自転させる。更に、センサーＡのみがオ
ンの時は、ディスクホルダー６ａの第２面が脱＠装置５
ａに対向しているので、上述の様に突き上げ装置３０ａ
を作動させてディスクホルダー６ａを１／３回転自転さ
せることにより、第１面を脱＠装置５ａに対向させた後
、第１面からディスクの取り外しを行う。

［発明の効果］ 以上の通り、本発明によれば、各ディスクホルダーの第
１面上にセンサー検出板を配設し、また、ディスク脱着
装置のターンテーブル回転方向前方及び手前側に、その
正面に停止し工いるディスクホルダーの前記センサー検
出板を検出するセンサーを設けるという簡単な手段によ
り、゛脱着装置正面に停止しているディスクホルダーの
どの面が脱着装置に対向しているかを容易に判別できる
。そして、その判別結果に基づいて突き上げ装置を制御
し、第１面が脱着装置に対向するようにディスクホルダ
ーをターンテーブルから切り離して自転させることで、
改めてターンテーブルを公転させることなく、ターンテ
ーブルはそのままの位置でディスクの脱着作業を行うこ
とができる。

その結果、本発明によれば、ディスクをホルダー上から
順序正しくしかも迅速に脱着することが可能となり、作
業効率の良い真空蒸＠装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明における各センサー及び
脱着装置とディスクホルダーの面との関係を示す平面図
、第２図（Ａ＞は本発明の真空蒸＠装置の一実施例の左
半分を示す縦断面図、第２図（Ｂ）は位置補正装置を示
す要部断面図である。 第３図は従来の真空蒸着装置の構成を示す平面図、第４
図はその左半分を示す縦断面図である。 Ｄ・・・ディスク、１・・・固定台、２ａ、２ｂ・・・
レール、３ａ、３ｂ・・・ターンテーブル、４・・・真
空槽、５ａ、５ｂ・・・ディスク脱＠装置、６ａ、６ｂ
・・・ディスクホルダー、７・・・支軸、８・・・台車
、９・・・軸受、１０・・・ガイドローラ、１１・・・
ギヤ、１２・・・モータ、１３・・・駆動ギヤ、１４・
・・自転ギヤ、１５・・・ホルダー駆動ギヤ、１６・・
・継手、Ａ、Ｂ・・・センナ−１２０・・・センサー検
出板、２１・・・位置補正装置、３０ａ、３Ｑｂ・・・
突き上げ装置、３１・・・シリンダ１、３２・・・モー
タ。 第　２　図（Ａ） 第　２　図（Ｂ） 第　３　閏 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）多面体のディスクホルダーの側面に複数個のディス
   クを装着し、前記ディスクホルダーを複数本同一のター
   ンテーブル上に回転自在に取付け、前記ターンテーブル
   を真空槽内に搬送して蒸着作業を行ない、蒸着作業完了
   時に前記ターンテーブルを真空槽内より取出し、ディス
   ク脱着装置によってディスクホルダー側面よりディスク
   を脱着する真空蒸着装置において、 ターンテーブル上のすべてのディスクホルダーの第１面
   上にセンサー検出板を配設し、また、ディスク脱着装置
   のターンテーブル回転方向前方及び手前側にそれぞれセ
   ンサーを配設し、前記２つのセンサー検出信号に応じて
   、前記脱着装置に対向するディスクホルダーをターンテ
   ーブルから切り離して自転可能にすると共に、ターンテ
   ーブルから切り離したディスクホルダーを所定角度回転
   させる突き上げ装置より成ることを特徴とする真空蒸着
   装置。