JPS6316251A - 板状物表面斑点の自動検査方法 - Google Patents

板状物表面斑点の自動検査方法

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JPS6316251A
JPS6316251A JP12782986A JP12782986A JPS6316251A JP S6316251 A JPS6316251 A JP S6316251A JP 12782986 A JP12782986 A JP 12782986A JP 12782986 A JP12782986 A JP 12782986A JP S6316251 A JPS6316251 A JP S6316251A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tile
scratch
dust
plate
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12782986A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichi Fujii
純一 藤井
Takahiro Tsuchida
土田 高広
Masaharu Kaminaga
神長 正治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inax Corp
Original Assignee
Inax Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Inax Corp filed Critical Inax Corp
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Publication of JPS6316251A publication Critical patent/JPS6316251A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光反射性表面を有する板状物表面の擦傷の自
動検査方法に関する。
〔従来の技術およびその問題点〕
従来、タイル表面の表面欠陥を検査するには。
主に人の月夜検査に頼っていた。しかし目視による検査
では■選別槽度のバラツキ、および(の寸法的に大きい
重大欠陥の人為的な見逃し等の欠点がある。従って、目
視等の感覚に依存しない機械的自動検査方法が検査精度
および能率等の観点から望ましい。
本発明者等は先に光反射性表面を有する板状物の反射光
を利用する総合的表面検査方法を開発しであった。
本発明者等は、擦傷の特徴である溝の連続性に着目して
、擦傷を点せに散在する埃と区別して検出する方法を開
発した。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によって、一定方向に搬送中の光反射性表面を有
する板状物の表面に斜め上方から検査光を照射し、該表
面からの反射光を、該板状物の上万且つ該検査光の照射
方向から角度をもって設置された反射光検出装置の走査
線を該板状物の搬送方向と実質、的に直交する方向に走
査することによV順次検出しそして信号化し、得られた
信号を統合し、そして欠点信号が線状に連続する場合を
擦傷と判定する。板状物表面上の擦傷の検査方法が提供
される。
上記の方法において、各用語について以下に記述する。
(1)5検査光は、非点減光または点滅周期が極めて短
かい高周波光であればよく、一般に高周波螢光灯を使用
するのが好ましい。
(11)反射光検出装置とは9反射光の位置変化および
光量変化を側光する固体撮像素子もしくは光電素子(ホ
トダイオード等)を有するカメラ装置を一般に意味し9
代表的には電荷転送デバイス(CTD)、例えば位置セ
ンサーデバイス(P S D)。
電荷結合デバイス(CCD)等のカメラ装置が好ましく
使用される。
(釦 本発明の方法が適用される光反射性表面を有する
板状物とは、CCDカメラ、PSDカメラ等の光検出装
置により検出し得る程度の光反射性検査表面を有する板
状物を意味する。該板状物は通常、実質的に平坦な上表
面を有するものであるがゆるく湾曲した上表面を有する
ものであってもよい。
〔実施態様〕
本発明の検査方法について、単色ブライト釉のタイルの
検査を例として、添付図面を参照しながら以下に具体的
に説明する。
本方法の一具体例装置の構成図を第1図に示す。
タイル1表面の垂直方向から45°の傾き(θ2=45
°)をもって搬送路の上方の位置に一次元CCDカメラ
3が設置され、一方タイル1表面の垂直方向から搬送方
向Xに向って45°(θ、=45°)の傾きをもって高
周波螢光灯2が設置されている。該カメラ3の走査線掃
引方向は搬送方向Xと直交する方向(タイル幅方向)で
ワク、タイル1の表面を幅方向に輪切りする如く、順次
検出する。
タイル10表面上に擦傷fがある場合(第2図輛)参照
)、該擦傷に対応するCODカメラ出力信号5t1(n
=1.2e 3t 4t −)の擦傷信号5fn(t+
=1、2.3.・・・)は仮想線E上に連続する(第2
図(b))。一方、タイル1表面上の埃dは散在的に存
在するため(第3図参照)、埃信号Sdnもランダムと
なり仮想線上に連続することはない。従ってCCD出力
信号Snを統合することにより、擦傷は埃と区別して検
出される。
本発明で検出可能なのは搬送方向に約15°以上傾いた
擦傷(θ、≧約15°)である。タイルの幅方向に沿っ
た擦傷(θ3<15°)の場合はタイル1を90’回転
して本方法に付すことKより検出できる。しかし一般的
には、一方向に搬送する検査だけで。
実用的には充分であるが、直交する二方向Kll送して
それぞれ検査を実施すると、あらゆる方向の擦傷を検出
できる。
上記の具体例においては反射光検出装置を搬送路の後方
そして光源を搬送路の前方に設置したが、該検出装置を
前方にセして光源を後方に設置してもよい。該検出装置
および光源の傾斜角度θ、およびθ、はそれぞれ約45
°が検出感度上特に好ましくそして通常45u±10°
でおる。
〔作用および効果〕
擦傷は浅い線状の溝でろるため9通常の凹凸欠陥の検出
と比して検出感度を良くしないと検出されない。検出感
度を良くすると、被検査体表面上の埃も誤って検出され
るおそれがある。本発明は擦傷の特徴でろる連続性(線
状)を利用し、搬送方向に直交する方向に光検出装置の
走査線を掃引して、各走査線による信号を統合すること
Kより。
埃による信号と区別して検出する。即ち、擦傷の場合、
各走査線による信号を統合すると欠点信号は仮想線上に
並ぶが、埃の場合は欠点信号は散在して、仮想線上に並
ぶことはない。
本発明によると1通常の検出方法では検出し得ない微細
な擦傷を、埃と区別して精度良く検出できる。
なお2本発明の検査方法は、単独にて実施することが可
能でおるが2種々の他の個別欠陥(例えば凹凸、側部カ
ケ、斑点等)の検査方法および/または総合的欠陥検査
方法と組合せて完全自動検査ラインの一工穆として採用
することもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、Wt傷検査装置の一具体例の構成図;第2図
は、(&)擦傷を有するタイルの平面図、およびfb)
該タイル表面に対するCODカメラの出力信号のフロー
チャート;そして第3図は、(a)表面に埃を有するタ
イルの平面図、および(b)該タイル表面に対するCO
Dカメラの出力信号のフローチャートである。 1・・・被検査体(タイル)、2・・・光源(高周波螢
光灯)、3・・・反射光検出装置(CODカメラ)。 f・・・擦傷。 特許出願人  株式会社 イナックス n     コ45t1

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一定方向に搬送中の光反射性表面を有する板状物
    の表面に斜め上方から検査光を照射し、該表面からの反
    射光を、該板状物の上方且つ該検査光の照射方向から角
    度をもって設置された反射光検出装置の走査線を該板状
    物の搬送方向と実質的に直交する方向に走査することに
    より順次検出しそして信号化し、得られた信号を統合し
    、そして欠点信号が線状に連続する場合を擦傷と判定す
    ることを特徴とする、擦傷検査方法。
  2. (2)上記の板状物を水平面内で90°回転して再度上
    記の擦傷検査を実施する、特許請求の範囲第1項の方法
JP12782986A 1986-06-02 1986-06-02 板状物表面斑点の自動検査方法 Pending JPS6316251A (ja)

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JP12782986A JPS6316251A (ja) 1986-06-02 1986-06-02 板状物表面斑点の自動検査方法

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Publications (1)

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JPS6316251A true JPS6316251A (ja) 1988-01-23

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ID=14969692

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JP12782986A Pending JPS6316251A (ja) 1986-06-02 1986-06-02 板状物表面斑点の自動検査方法

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS512287B2 (ja) * 1972-12-20 1976-01-24

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS512287B2 (ja) * 1972-12-20 1976-01-24

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