JPS63155207A - 速度制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分！ｉ’ｆ］ この発明は、Ｘ−Ｙテーブルなどの速度制御方式に関す
る。

［従来の技術］ 従来のＸ−Ｙテーブルの速度制御方式は、速度データを
記憶したメモリと、ｘ７Ｙテーブルのエンコーダからの
帰還パルスを計数するカウンタとを備え、このカウンタ
の値に対応したメモリのアドレスから速度データを読み
出し、その速度データに従ってＸ−Ｙテーブルの駆動モ
ータの駆動速度を制御する構成であった。

［解決しようとする問題点］ さて、精密加工装置、高精度自動化機器などにおけるＸ
−Ｙテーブルの速度制御方式は、Ｘ−Ｙテーブルをスム
ーズに移動させかつ高精度に停市させるために、高分解
能の速度制御ができること、汎用性を持たせるために加
減速カーブおよび分解能を自在に設定できること、さら
に高精度になるほどＸ−Ｙテーブルの位置検出単位が小
さくなるため、低精度の場合と同等以上の速度を実現す
るために高速追従性を有すること、などの条件を満足す
ることが要求される。

しかし、従来の単純な構成の速度制御方式は、そのよう
な条件を同時に満足することは困難であった。

［発明の目的］ したがって、この発明の目的は、そのような条件を容易
に満足させることができる、Ｘ−Ｙテーブルなどの速度
制御方式を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するために、この発明による速度制御方
式は、モータによって駆動されるＸ−Ｙテーブルなどの
速度制御対象物の位置を検出するための位置検出手段と
、速度切り換え位置データを記憶している第１記憶手段
と、速度データを記憶している第２記憶手段と、前記第
１記憶手段から出力される速度切り換え位置データと前
記位置検出手段によって検出された位置のデータとの比
較を杼い一致した場合に一致信号を出力する比較手段と
、前記一致信号を計数し、その計数値を前記第１記憶手
段および前記第２記憶手段にアドレス情報として９．え
る計数手段とを有し、前記第２記憶手段から出力される
速度データに従って前記モータの駆動速度を制御する構
成とされるものである。

［作用］ 第１記憶手段から出力された速度切り換えデータに対応
する位置までＸ−Ｙテーブルなどが移動すると、比較手
段から一致信号が発生して計数手段の値が増加し、その
位置に対応した速度データが第２記憶手段から出力され
、その速度データに従ってＸ−Ｙテーブルなどの駆動速
度が制御される。

このように速度切り換え位置と速度とをそれぞれ別々に
設定する構成であるから、速度制御の分解能を高分解能
から低分解能まで自在に設定することができ、また、加
減速カーブも自在に設定することができる。

また、計数手段、記憶手段および比較手段としての高速
のカウンタ、メモリ、比較器を容易に得られるから、そ
のようなデバイスを用いることにより高速追従性も実現
できる。

［実施例］ 以ド、図面を参照し、この発明の一実施例について詳細
に説明する。

第１図は、この発明によるＸ−Ｙテーブルの速度制御方
式の一実施例を示すブロック図である。

この図において、１は速度制御の対象としてのＸ−Ｙテ
ーブルである。２はこのＸ−Ｙテーブル１を駆動するた
めのサーボモータである。３はＸ−Ｙテーブル１が単位
距離移動するたびに帰還パルスＰを発生するロータリ型
またはリニア型のエンコーダである。

４は帰還パルス３を計数するカウンタであり、その値は
Ｘ−Ｙテーブル１の位置を示すデータである。つまり、
このカウンタ４はエンコーダ３と協動して、ｘ−Ｙテー
ブル１の位置検出手段を実現している。

５および６はメモリであり、それぞれ前記第１および第
２の記憶手段として用いられるものである。

一方のメモリ５には、各速度切り換え位置のデータが連
続したアドレスに記憶されている。他方のメモリ６には
、各速度切り換え位置から次の速度位置切り換え位置ま
での間の速度を指定する速度データが連続したアドレス
に記憶されている。

なお、各メモリ５．６の記憶データは任意に書き変える
ことができる。

７は比較器であり、メモリ５から出力された切り換え位
置データとカウンタ４の値（Ｘ−Ｙテーブルｌの現在位
置のデータ）とを比較するための比較手段として設けら
れている。その両方のデータが一致した場合、つまりＸ
−Ｙテーブル１がメモリ５に設定されたある速度切り換
え位置まで移動した場合、一致信号Ｃが比較器７から出
力される。

８は一致信号Ｃを計数するカウンタである。このカウン
タ８の値は、Ｘ−Ｙテーブルが何番目の速度切り換え位
置まで通過したかを示すが、これは前記各メモリ５，６
にアドレス情報として与えられる。このアドレス情報に
より、前記メモリ５゜６の読み出しアドレスが決定され
る。

９はサーボモータ２の駆動部である。この駆動部９は、
メモリ６から出力された速度データに対応したレートの
パルスを発生する部分と、そのパルスに同期してサーボ
モータ２の回転速度を切り換える部分とからなる一般的
なものである。

次に動作を説明する。カウンタ４，８がクリアされると
、メモリ５のアドレスｒＯＪに記憶されている速度切り
換え位置データが出力され、また、メモリ６のアドレス
ｒＯＪに記憶されている速度データが出力される。

この速度データに従った速度で駆動部９によりサーボモ
ータ２が駆動され、Ｘ−Ｙテーブル１の移動が始まる。

Ｘ−Ｙテーブル１の移動に従ってカウンタ４の値が増加
し、最初の速度切り換え位置まで移動すると、カウンタ
４の値と速度切り換え位置データとが一致し、比較器７
から一致信号Ｃが出力される。

この一致信号Ｃに応答してカウンタ８の値が「１」とな
るので、メモリ５のアドレス「１」に記憶されている速
度切り換え位置データが出力される。同時に、メモリ６
のアドレス「１」に記憶されている速度データが出力さ
れ、この速度データに従った速度でサーボモータ２が駆
動されるようになる。

同様に、メモリ７から順次出力される速度切り換え位置
データに対応した位置にＸ−Ｙテーブル１が移動する度
に一致信号Ｃが発生して、カウンタ８がカウントアツプ
し、速度切り換え位置データおよび速度データの更新が
行われる。

以上の動作により、メモリ５，６の記憶データによって
決定される分解能および加減速カーブに従うて、サーボ
モータ２を介しＸ−Ｙテーブル１の速度制御がなされる
。

また、メモリ５，６の記憶データを書き換えることによ
って、分解能および加減速カーブを柔軟に変えることが
できる。

さらに、カウンタ４，８、比較器７、メモリ５゜６とし
て高速のものを用いれば、それらの動作遅れ時間を極め
て短（することができるため、高速追従性を実現できる
。

以Ｌ１この発明の一実施例について説明したが、この発
明はそれだけに限定されるものではなく、適宜変形して
実施し得るものである。

例えば、エンコーダ３として位置データそのもを出力す
るアブソリュート型のものを用い、カウンタ４を省くこ
ともできる。

メモリ５，６は必ずしも物理的に独立したものである必
要はなく、同一のメモリ素子の別々の記憶領域をメモリ
５．６としてそれぞれ用いることも可能である。

また、前記実施例はＸ−Ｙステージの速度制御の場合で
あったが、この発明は他の移動物の速度制御にも同様に
適用できるものである。

［発明の効果コ 以−Ｌ説明したように、この発明は、モータによっで駆
動されるＸ−Ｙテーブルなどの速度制御対象物の位置を
検出するための位ｒｌｔ検出手段と、速度切り換え位置
データを記憶している第１記憶手段と、速度データを記
憶している第２記憶手段と、前記第１記憶手段から出力
される速度切り換え位置データと前記位置検出手段によ
って検出された位置のデータとの比較を行い一致した場
合に一致信号を出力する比較手段と、前記一致信号を計
数し、その計数値を前記第１および前記第２の記憶手段
にアドレス情報として与える計数手段とを有し、前記第
２記憶手段から出力される速度データに従って前記モー
タの駆動速度を制御する構成であるから、速度制御の分
解能を高分解能から低分解能まで自在に設定することが
でき、また、加減速カーブも自在に設定することができ
、さらに高速追従性を容易に実現できる、などの効果を
達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるＸ−Ｙステージの速度制御方
式の一実施例を示すブロック図である。 １・・・Ｘ−Ｙステージ、２・・・サーボモータ、３・
・・エンコーダ、４，８・・・カウンタ、５．６・・・
メモリ、７・・・比較器、９・・・モータ駆動部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）モータによって駆動されるＸ−Ｙテーブルなどの
   速度制御対象物の位置を検出するための位置検出手段と
   、速度切り換え位置データを記憶している第１記憶手段
   と、速度データを記憶している第２記憶手段と、前記第
   １記憶手段から出力される速度切り換え位置データと前
   記位置検出手段によって検出された位置のデータとの比
   較を行い一致した場合に一致信号を出力する比較手段と
   、前記一致信号を計数し、その計数値を前記第１記憶手
   段および前記第２記憶手段にアドレス情報として与える
   計数手段とを有し、前記第２記憶手段から出力される速
   度データに従って前記モータの駆動速度を制御すること
   を特徴とする速度制御方式。
2. （２）速度検出手段は速度制御対象物の移動量に比例し
   たパルスを出力するエンコーダと、このパルスを計数す
   るカウンタとからなることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載の速度制御方式。