JPS63153416A - 位置信号発生方式 - Google Patents

位置信号発生方式

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JPS63153416A
JPS63153416A JP30224886A JP30224886A JPS63153416A JP S63153416 A JPS63153416 A JP S63153416A JP 30224886 A JP30224886 A JP 30224886A JP 30224886 A JP30224886 A JP 30224886A JP S63153416 A JPS63153416 A JP S63153416A
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JP
Japan
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position signal
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generating
count value
counting means
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JP30224886A
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Hiroyuki Aoki
弘幸 青木
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Hitachi High Tech Corp
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、X−Yテーブルなどの移動物の位置信号の
発生方式に関する。
[従来の技術] 従来のX−Yテーブルにおける位置信号発生方式は、位
置信号を発生すべき位置にフォトセンサなどのセンサを
配置しておき、特定の位置にX−Yテーブルが移動した
時に、その位置に設けられたセンサから位置信号を発生
させるというものであった。
[解決しようとする問題点] このような従来の位置信号発生方式には、次のような問
題点がある。
■位置信号の発生位置を変えるためには、センサの取り
付は位置を変えなければならないため、位置信号発生位
置の変更が面倒である。
■発生すべき位置信号数に対応した個数のセンサが必要
であり、また個々のセンサ毎にセンサ回路が必要である
ため、位置信号数が多い場合にセンサ関連のコストが嵩
む。
■センサの反応遅れによって位置信号の発生遅れが大き
くなりやすい。
■センサの対象検出寸法により不感帯が生じる(テーブ
ルの動作方向により、信号発生位置に幅がある)。
[発明の目的コ したがって、この発明の目的は、そのような従来の問題
点を解決した、x−Yテーブルなどの位置信号発生方式
を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] この目的を達成するために、この発明による位置信号発
生方式は、X−Yテーブルなどの移動物に設けられたエ
ンコーダの出力パルスを計数する第1計数手段と、各位
置信号に対応した計数値を記憶している記憶手段と、こ
の記憶手段から出力される計数値と前記第1計数手段の
計数値との比較を行い一致した場合に一致信号を出力す
る比較手段と、前記一致信号を計数し、その計数値を前
記記憶手段にアドレス情報として与える第2計数手段と
、この第2計数手段の計数値に従って複数の位置信号の
一つを選択的に出力する位置信号選択出力手段とを有す
る構成とされるものである。
[作用] 第1計数手段の計数値は、移動物の移動量に比例して増
加するものであり、移動物の位置に対応している。つま
り、この第1計数手段はエンコーダと協動して移動物の
位置を検出する手段を構成している。
第1計数手段の計数値が記憶手段から出力された計数値
と一致すると、つまり、ある位置信号発生位置に移動物
が移動すると、比較出力から一致信号が出力されるため
、第2計数手段の計数値が増加する。つまり、記憶手段
のアドレス情報が更新され、次のアドレスに記憶されて
いる計数値が出力される。
移動物が次の位置信号発生位置に移動すると、第1計数
手段の計数値と記憶手段の手段計数値とが一致し、再び
第2計数手段の計数値が増加する。
このように、移動物が記憶手段に格納されている計数値
に対応した位置信号発生位置に移動すたびに、第2計数
手段の計数値が増加する。つまり、第2計数手段の計数
値は、移動物が何番目の位置信号発生位置を通過したか
を示している。
そして、第2計数手段の計数値に対応した一つの位置信
号が、前記位置信号選択出力手段から出力される。
このように、記憶手段の記憶情報よって位置信号を発生
させる位置が指定され、また、移動物が通過した位置信
号発生位置の番号に対応する第2計数手段の計数値に基
づき対応の位置信号を選択して発生させる構成である。
また、第1計数手段とエンコーダにより、任意位置の位
置検出センサの役割を果たす構成である。
したがって、記憶手段の記憶情報を変更するだけで、位
置信号の発生位置を自在に変更することができる。また
、記憶手段の記憶容量、第2計数手段の計数値の最大値
などで決まる範囲内で、位置信号の発生位置を自由に増
減することができる。
さらに、位置信号数が増加しても、従来のようにセンサ
およびセンサ回路の個数が増加するというような問題も
ない。
またさらに、応答遅れの原因になるセンサ類がないため
、位置信号の発生遅れを減少することができ、また不感
帯も発生しない。
[実施例コ 以下、図面を参照し、この発明の一実施例について詳細
に説明する。
第1図は、この発明による位置信号発生方式の一実施例
を示すブロック図である。
この図において、1は位置信号発生の対象としての移動
物であるX−Yテーブルである。2はこのX−Yテーブ
ル1が単位距離移動するたびに帰還パルスPを発生する
ロータリ型またはリニア型のエンコーダである。
3は帰還パルス3を計数するカウンタであり、その値は
X−Yテーブル1の位置を示すデータである。つまり、
このカウンタ3はエンコーダ2と協動して、X−Yテー
ブル1の位置検出手段を実現している。
4はメモリである。このメモリ4には、各位置信号の発
生位置に対応した計数値が連続したアドレスに記憶され
ている。なお、各メモリ4の記憶データは任意に書き変
えることができる。
5は比較器であり、メモリ4から出力された計数値とカ
ウンタ3の値(X−Yテーブル1の現在位置に対応した
値)とを比較する。そして、その両方の計数値が一致し
た場合、つまりX−Yテーブル1がメモリ4から出力さ
れている計数値に対応した位置信号発生位置まで移動し
た場合に、一致信号Cを出力する。
6は一致信号Cを計数するカウンタである。このカウン
タ6の値は、x−Yテーブルが何番目の位置信号の発生
位置を通過したかを示すが、これは前記メモリ4にアド
レス情報として与えられる。
このアドレス情報により、メモリ4の読み出しアドレス
が指定される。
7は前記位置信号選択出力手段としての復号回路テある
。この復号回路7は、カウンタ6の計数値をデコードし
、複数の位置信号S7”Snの中の対応する一つの位置
信号を出力(発生)する。
次に動作を説明する。X−Yテーブル1の作動直前にカ
ウンタ3,6がクリアされると、メモリ4のアドレス「
0」に記憶されている計数値が出力される。
X−Yテーブル1の移動に従ってカウンタ3の計数値が
増加し、最初の位置信号Slの発生位置にX−Yテーブ
ル1が移動すると、カウンタ3の値とメモリ4からの出
力計数値とが一致し、比較器5から一致信号Cが出力さ
れる。
この一致信号Cに応答してカウンタ6の値が「1」とな
るので、メモリ4のアドレス「1」に記憶されている2
番目の位置信号S2に対応した計数値が出力される。ま
た、復号回路7から1番目の位置信号Slが出力される
同様に、メモリ4から順次出力される計数値とカウンタ
3の計数値とが一致する度に、カウンタ6の計数値が順
次増加し、2番目以降の位置信号Sが順次発生する。
以上の説明から明らかなように、メモリ4の記憶情報よ
って位置信号を発生させる位置が指定され、また、X−
Yテーブル1(移動物)が通過した位置信号発生位置の
番号に対応するカウンタ6(第2計数手段)の計数値に
基づき対応の位置信号を選択して発生させる構成である
。また、カウンタ3(第1計数手段)とエンコーダ2に
より、任意位置の位置検出センサの役割を果たす構成で
ある。
したがって、メモリ4の記憶情報を変更するたけで、位
置信号の発生位置を自在に変更することができる。また
、メモリ4の記憶容量、カウンタ6の計数値の最大値な
どで決まる範囲内で、位置信号の発生位置を自由に増減
することができる。
さらに、位置信号数が増加しても、従来のようにセンサ
およびセンサ回路の個数か増加するというような問題も
ない。
またさらに、応答遅れの原因になるセンサ類がないため
、位置信号の発生遅れを減少することができ、また不感
帯も発生しない。
以上、この発明の一実施例について説明したが、この発
明はそれだけに限定されるものではなく、適宜変形して
実施し得るものである。
例えば、応答速度の而で問題とならない場合であれば、
比較器5、カウンタ6および復号回路7をプログラム制
御によって実現することも可能である。
前記実施例はX−Yステージに関連した位置信号発生に
適用した例であったが、この発明は他の移動物に関連し
た位置信号発生にも同様に適用できるものである。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明はX−Yテーブルなどの
移動物に設けられたエンコーダの出力パルスを計数する
第1計数手段と、各位置信号に対応した計数値を記憶し
ている記憶手段と、この記憶手段から出力される計数値
と前記第1計数手段の計数値との比較を行い一致した場
合に一致信号を出力する比較手段と、前記一致信号を計
数し、その計数値を前記記憶手段にアドレス情報として
与える第2計数手段と、この第2計数手段の計数値に従
って複数の位置信号の一つを選択的に出力する位置信号
選択出力手段とを有する構成であるから、位置信号の発
生位置の変更および位置信号数の増減が容易となり、位
置信号数が増加しても従来のようにセンサおよびセンサ
回路の個数が増加するというような問題もなくなり、ま
た、応答遅れの原因になるセンサ類がないため位置信号
の発生遅れを減少することができ、さらに不感帯も発生
しなくなる、などの効果を達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明による位置信号発生方式の一実施例
を示すブロック図である。 1・・・X−Yステージ、 2・・・エンコーダ、3.
6・・・カウンタ、4・・・メモリ、  5・・・比較
器、7・・・復号回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)X−Yテーブルなどの移動物に設けられたエンコ
    ーダの出力パルスを計数する第1計数手段と、各位置信
    号発生位置に対応した計数値を記憶している記憶手段と
    、この記憶手段から出力される計数値と前記第1計数手
    段の計数値との比較を行い一致した場合に一致信号を出
    力する比較手段と、前記一致信号を計数し、その計数値
    を前記記憶手段にアドレス情報として与える第2計数手
    段と、この第2計数手段の計数値に従って複数の位置信
    号の一つを選択的に出力する位置信号選択出力手段とを
    有することを特徴とする位置信号発生方式。
JP61302248A 1986-12-18 1986-12-18 位置信号発生装置 Expired - Lifetime JP2544607B2 (ja)

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JP61302248A JP2544607B2 (ja) 1986-12-18 1986-12-18 位置信号発生装置

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JP61302248A JP2544607B2 (ja) 1986-12-18 1986-12-18 位置信号発生装置

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JPS63153416A true JPS63153416A (ja) 1988-06-25
JP2544607B2 JP2544607B2 (ja) 1996-10-16

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ID=17906731

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02253190A (ja) * 1989-03-27 1990-10-11 Jeol Ltd 移動位置検出機構

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH02253190A (ja) * 1989-03-27 1990-10-11 Jeol Ltd 移動位置検出機構

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JP2544607B2 (ja) 1996-10-16

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