JP2544607B2 - 位置信号発生装置 - Google Patents

位置信号発生装置

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JP2544607B2
JP2544607B2 JP61302248A JP30224886A JP2544607B2 JP 2544607 B2 JP2544607 B2 JP 2544607B2 JP 61302248 A JP61302248 A JP 61302248A JP 30224886 A JP30224886 A JP 30224886A JP 2544607 B2 JP2544607 B2 JP 2544607B2
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弘幸 青木
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、X−Yテーブルなどの移動物の位置信号
の発生装置に関する。
[従来の技術] 従来のX−Yテーブルにおける位置信号発生方式は、
位置信号を発生すべき位置にフォトセンサなどのセンサ
を配置しておき、特定の位置にX−Yテーブルが移動し
た時に、その位置に設けられたセンサから位置信号を発
生させるというものであった。
[解決しようとする問題点] このような従来の位置信号発生方式には、次のような
問題点がある。
位置信号の発生位置を変えるためには、センサの取り
付け位置を変えなければならないため、位置信号発生位
置の変更が面倒である。
発生すべき位置信号数に対応した個数のセンサが必要
であり、また個々のセンサ毎にセンサ回路が必要である
ため、位置信号数が多い場合にセンサ関連のコストが嵩
む。
センサの反応遅れによって位置信号の発生遅れが大き
くなりやすい。
センサの対象検出寸法により不感帯が生じる(テーブ
ルの動作方向により、信号発生位置に幅がある)。
[発明の目的] したがって、この発明の目的は、そのような従来の問
題点を解決した、X−Yテーブルなどの位置信号発生装
置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] このような目的を達成するめのこの発明の位置信号発
生装置の構成は、X−Yテーブルなどの移動物に設けら
れたエンコーダの出力パルスを順次計数する第1計数手
段と、移動物の所定の移動方向における複数の位置信号
発生位置について移動方向に沿ってその1つが到来する
順にそれに対応する計数値を各アドレスに記憶している
記憶手段と、この記憶手段から出力される計数値と第1
計数手段の計数値との比較を行い一致した場合に一致信
号を出力する比較手段と、一致信号を順次計数し、その
計数値を記憶手段にアドレス情報として与える第2計数
手段と、この第2計数手段の計数値を受けて位置信号を
出力する出力手段とを有し、アドレス情報が、次の位置
信号発生位置についての計数値を発生するアドレスにな
っているものである。
[作用] 第1計数手段の計数値は、移動物の移動量に比例して
増加するものであり、移動物の位置に対応している。つ
まり、この第1計数手段はエンコーダと協動して移動物
の位置を検出する手段を構成している。
第1計数手段の計数値が記憶手段から出力された計数
値と一致すると、つまり、ある位置信号発生位置に移動
物が移動すると、比較出力から一致信号が出力されるた
め、第2計数手段の計数値が増加する。つまり、記憶手
段のアドレス情報が更新され、次のアドレスに記憶され
ている計数値が出力される。
移動物が次の位置信号発生位置に移動すると、第1計
数手段の計数値と記憶手段の手段計数値とが一致し、再
び第2計数手段の計数値が増加する。このように、移動
物が記憶手段に格納されている計数値に対応した位置信
号発生位置に移動すたびに、第2計数手段の計数値が増
加する。つまり、第2計数手段の計数値は、移動物が何
番目の位置信号発生位置を通過したかを示している。
そして、第2計数手段の計数値に対応した一つの位置
信号が、前記位置信号選択出力手段から出力される。
このように、記憶手段の記憶情報よって位置信号を発
生させる位置が指定され、また、移動物が通過した位置
信号発生位置の番号に対応する第2計数手段の計数値に
基づき対応の位置信号を選択して発生させる構成であ
る。また、第1計数手段とエンコーダにより、任意位置
の位置検出センサの役割を果たす構成である。
したがって、記憶手段の記憶情報を変更するだけで、
位置信号の発生位置を自在に変更することができる。ま
た、記憶手段の記憶容量、第2計数手段の計数値の最大
値などで決まる範囲内で、位置信号の発生位置を自由に
増減することができる。さらに、位置信号数が増加して
も、従来のようにセンサおよびセンサ回路の個数が増加
するというような問題もない。
またさらに、応答遅れの原因になるセンサ類がないた
め、位置信号の発生遅れを減少させることができ、また
不感帯も発生しない。
[実施例] 以下、図面を参照し、この発明の一実施例について詳
細に説明する。
第1図は、この発明による位置信号発生装置の一実施
例を示すブロック図である。
この図において、1は位置信号発生の対象としての移
動物であるX−Yテーブルである。2はこのX−Yテー
ブル1が単位距離移動するたびに帰還パルスPを発生す
るロータリ型またはリニア型のエンコーダである。
3は帰還パルス3を計数するカウンタであり、その値
はX−Yテーブル1の位置を示すデータである。つま
り、このカウンタ3はエンコーダ2と協動して、X−Y
テーブル1の位置検出手段を実現している。
4はメモリである。このメモリ4には、各位置信号の
発生位置に対応した計数値が連続したアドレスに記憶さ
れている。なお、各メモリ4の記憶データは任意に書き
変えることができる。
5は比較器であり、メモリ4から出力された計数値と
カウンタ3の値(X−Yテーブル1の現在位置に対応し
た値)とを比較する。そして、その両方の計数値が一致
した場合、つまりX−Yテーブル1がメモリ4から出力
されている計数値に対応した位置信号発生位置まで移動
した場合に、一致信号Cを出力する。
6は一致信号Cを計数するカウンタである。このカウ
ンタ6の値は、X−Yテーブルが何番目の位置信号の発
生位置を通過したかを示すが、これは前記メモリ4にア
ドレス情報として与えられる。このアドレス情報によ
り、メモリ4の読み出しアドレスが指定される。
7は前記位置信号選択出力手段としての復号回路であ
る。この復号回路7は、カウンタ6の計数値をデコード
し、複数の位置信号S1〜Snの中の対応する一つの位置信
号を出力(発生)する。
次に動作を説明する。X−Yテーブル1の作動の直前
にカウンタ3,6がクリアされると、メモリ4のアドレス
「0」に記憶されている計数値が出力される。
X−Yテーブル1の移動に従ってカウンタ3の計数値
が増加し、最初の位置信号S1の発生位置にX−Yテーブ
ル1が移動すると、カウンタ3の値とメモリ4からの出
力計数値とが一致し、比較器5から一致信号Cが出力さ
れる。
この一致信号Cに応答してカウンタ6の値が「1」と
なるので、メモリ4のアドレス「1」に記憶されている
2番目の位置信号S2に対応した計数値が出力される。ま
た、復号回路7から1番目の位置信号S1が出力される。
同様に、メモリ4から順次出力される計数値とカウン
タ3の計数値とが一致する度に、カウンタ6の計数値が
順次増加し、2番目以降の位置信号Sが順次発生する。
以上の説明から明らかなように、メモリ4の記憶情報
よって位置信号を発生させる位置が指定され、また、X
−Yテーブル1(移動物)が通過した位置信号発生位置
の番号に対応するカウンタ6(第2計数手段)の計数値
に基づき対応の位置信号を選択して発生させる構成であ
る。また、カウンタ3(第1計数手段)とエンコーダ2
により、任意位置の位置検出センサの役割を果たす構成
である。
したがって、メモリ4の記憶情報を変更するだけで、
位置信号の発生位置を自在に変更することができる。ま
た、メモリ4の記憶容量、カウンタ6の計数値の最大値
などで決まる範囲内で、位置信号の発生位置を自由に増
減することができる。さらに、位置信号数が増加して
も、従来のようにセンサおよびセンサ回路の個数か増加
するというような問題もない。
またさらに、応答遅れの原因になるセンサ類がないた
め、位置信号の発生遅れを減少することができ、また不
感帯も発生しない。
以上、この発明の一実施例について説明したが、この
発明はそれだけに限定されるものではなく、適宜変形し
て実施し得るものである。
例えば、応答速度の面で問題とならない場合であれ
ば、比較器5、カウンタ6および復号回路7をプログラ
ム制御によって実現することも可能である。
前記実施例はX−Yステージに関連した位置信号発生
に適用した例であったが、この発明は他の移動物に関連
した位置信号発生にも同様に適用できるものである。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明はX−Yテーブルなど
の移動物に設けられたエンコーダの出力パルスを計数す
る第1計数手段と、各位置信号に対応した計数値を記憶
している記憶手段と、この記憶手段から出力される計数
値と前記第1計数手段の計数値との比較を行い一致した
場合に一致信号を出力する比較手段と、前記一致信号を
計数し、その計数値を前記記憶手段にアドレス情報とし
て与える第2計数手段と、この第2計数手段の計数値に
従って複数の位置信号の一つを選択的に出力する位置信
号選択出力手段とを有する構成であるから、位置信号の
発生位置の変更および位置信号数の増減が容易となり、
位置信号数が増加しても従来のようにセンサおよびセン
サ回路の個数が増加するというような問題もなくなり、
また、応答遅れの原因になるセンサ類がないため位置信
号の発生遅れを減少することができ、さらに不感帯も発
生しなくなる、などの効果を達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明による位置信号発生装置の一実施例
を示すブロック図である。 1……X−Yステージ、2……エンコーダ、3,6……カ
ウンタ、4……メモリ、5……比較器、7……復号回
路。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】X−Yテーブルなどの移動物に設けられた
    エンコーダの出力パルスを順次計数する第1計数手段
    と、前記移動物の所定の移動方向における複数の位置信
    号発生位置について前記移動方向に沿ってその1つが到
    来する順にそれに対応する計数値を各アドレスに記憶し
    ている記憶手段と、この記憶手段から出力される計数値
    と前記第1計数手段の計数値との比較を行い一致した場
    合に一致信号を出力する比較手段と、前記一致信号を順
    次計数し、その計数値を前記記憶手段にアドレス情報と
    して与える第2計数手段と、この第2計数手段の計数値
    を受けて位置信号を出力する出力手段とを有し、前記ア
    ドレス情報が、次の前記位置信号発生位置についての計
    数値を発生するアドレスになっていることを特徴とする
    位置信号発生装置。
JP61302248A 1986-12-18 1986-12-18 位置信号発生装置 Expired - Lifetime JP2544607B2 (ja)

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みつとよ技報No.23(昭和54年)株式会社ミツトヨPP.72−76

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