JPS6315374A - パタ−ンマスキング方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、パターン欠陥検査に使用されるパターンマ
スキング方法およびその装置に関し、特にスルーホール
を有するプリント配線板の検査に使用されるパターンマ
スキング方法およびその装置に関する。

（従来の技術とその問題点） プリント配線板等のパターン欠陥検査に利用されるパタ
ーン欠陥検出方法は、現在ではパターンマスキング法と
特徴抽出法とが主流となっている。

前者は、基準とずべき対象物の画像パターンと、検査物
の画像パターンとを重ね合わＵて比較し、差異の部分を
欠陥と判定する方法である（例えば、特公昭５９−２０
６９　＠　、特開昭６０−６１６０４号など）。一方、
後者は、基準画像パータンに含まれる各種特′ｅ！ｉ（
例えば、線幅、角度、特定パターン等）を記憶してＪ３
き、検査画像パターン内に上記各種特徴のいずれにも属
しないパターンが検出されたとぎにその部分を欠陥と判
定する方法である（例えば、特開昭５７−１４９９０５
号など）。

ところが、上記パターンマツチング法を用いたパターン
欠陥検出方法においては、多層構造の内層に位置するイ
ンナーレイア配線板のようにスルーホールの設けられて
いないプリント配線板を検査する場合には特に問題が生
じないが、二層構造のプリント配線板のようにスルーホ
ールの設けられている配線板を検査する場合には問題が
生じる。

すなわち、プリント配線板にスルーホールが存在する場
合、通常その穴の位置は、穿孔時におけるプリント配線
板のセット位置の位置ずれやドリル刃先の位置ずれ等に
Ｊ、す１００μｍ＠後変動しているのが一般的である。

ところで、この程度の変動の範囲内では、スルーホール
の位置ずれが実用上問題となるようなことはない。にも
かかわらず、上記パターンマツチング法により基準とす
べき対象物の画像パターンと検査物の画像パターンとを
重ね会わせて比較すると、スルーホールの位置でパター
ンが一致しなくなり、たとえランドパターンやリード線
パターンが一致していてら、スルーホールの位置で欠陥
有りと判定されてしまう。そのため、従来のパターンマ
ツチング法ではスルーホールの設けられたプリント配線
板のパターン欠陥検出を行うことができず、スルーホー
ルを設けた優は目視により欠陥検出を行うしかなく、欠
陥検出作業が極めて繁雑となるとともに、検出精度も検
出者によってばらつきが生じるという問題を有していた （発明の目的） この発明は、上記問題を解決するためになされたもので
、スルーホールパターンを自動的に検出してマスキング
し、これによりスルーホールの存在する被検査物のパタ
ーンマツチング法による検査を可能とするパターンマス
キング方法およびその装置を提供することを目的とする
。

（目的を達成するための手段） 第１の発明であるパターンマスキング方法は、上記目的
を達成するために、まずスルーホールを有する被検査物
の２値化画像データを主走査方向に沿って時系列的に入
力して、副走査方向に配置される複数画素分の２値化画
像データ群を順次作成しく画像データ作成工程）、作成
された前記２値化画急データ群の中央画素位置から副走
査方向に連続するスルーホールデータに基づいてスルー
ホール径を測定する（径測定工程）。こうして測定した
スルーホール径を主走査方向順に順次累積加算してスル
ーホール面積を口出し、の出したスルーホール面積を最
大許容面積値および最小許容面積値と比較して許容範囲
に含まれるか判定する（面積判定工程）。そして、算出
したスルーホール面積が許容範囲にあると判定されたと
きに、実測スルーホール径を主走査方向順に最大許容径
および最小許容径と順次比較して許容範囲に含まれるか
判定しく径判定工程）、全ての実測スルーホール径が許
容範囲にあると判定されたときに、各実測スルーホール
径に対応したスルーホール径マスクデータを主走査方向
順に順次作成する（マスクデータ作成工程）。こうして
作成したスルーホール径マスクデータに基づき、上記被
検査物の副走査方向に配置される２値化画像データ群に
対し順次マスク処理する（マスク処理工程）。

第２の発明であるパターンマスキング装置は、上記パタ
ーンマスキング方法を実現するための装置であって、」
−記パターンマスキング方法の各工程（すなわち画像デ
ータ作成工程、径測定工程。

面積判定工程、径判定工程、マスクデータ作成工程おに
びマスク処理工程）に対応する各手段（すなわら画像デ
ータ作成手段、径測定手段１面積判定手段、径判定手段
、マスクデータ作成手段およびマスク処理手段）を備え
る。

（実施例） へ〇パターンマスキング原理 この発明の理解を容易にするために、具体的実施例を説
明するに先立ら、スルーホールパターンのマスキング原
理についＣまず説明する。第１図はマスキング原理を概
念的に示した図、第２図はマスキング手順を示したタイ
ムチ１シート、第３図はマスキング装置の一例を示した
ブロック図である。ただし、第３図のマスキング装置は
後述する具体的実施例と対応させており、同装置につい
てはここでは原理説明に必要な範囲内で簡単に述べるこ
ととし、詳細については具体的実施例の欄で説明するこ
ととする。

′１１画像データの入力 第１図に示すように、スルーホール１を有するプリント
配Ｆ［２等の被検査物の画像データの入力は、ＣＯＤラ
イセンサ３（この実施例では２５９２素子のライセンサ
）をＸ方向（主走査方向）に走査しながら、プリント配
線板２をＹｈ向（副走査方向）へ一定速度で移動させる
ことによって行なわれる。こうして得られたアナログ画
像データは２値化処理回路４によりディジタル画像デー
タに２値化処理された後、パターンマスキング装置への
画像データ作成回路５（第３図参照）に時系列的に入力
される。

２．副走査方向に配置される２値化画像−一タ群の作成 画像データ作成回路５においては、入力された２値化画
像データに対して、１走査ライン（２５９２素子＋ダミ
ー素子（ブランキング画素数））分の遅延処理が６３ラ
イン分だけ順次行なわれ、こうして遅延処理前の１画素
分の２値化画像データと合せて、副走査方向に配置され
る合６１６４画素分の２値化画像データ群が作成される
。この２値化画像データ８丁は、新たな２値化画像デー
タが画像データ作成回路５に入力される毎に順次作成さ
れて次回路へ出力される。こうして画像データ作成回路
５により、被検査物の２ｆｌＪイメージが時系列上で２
次元イメージに展開されることとなる。

第２図（Ｂ）は、上記方法により得られた被検査物パタ
ーンの２次元イメージを模式的に示した図である。同図
において、左右方向が主走査方向に対応し、上下方向が
副走査方向に対応する。同図中の円領域はスルーホール
パターンを示しており、ここではスルーホール画像デー
タがｆＬＪ信号で与えられているものとする。まＩζ矩
形領域はランドパターン又は配線パターンを示してＪ３
す、ｉｉＩ＋１データは「ト１」信号で与えられている
らのとＶる。それ以外の領域は、ランドパターンや配線
パターンが設けられていないプリント基板表面の領域に
相当し、画像データはスルーホールパターンと同様、ｒ
ＬＪ信号で与えられている−５のとする。もっとも、各
信号の極性は、ｒＨＪＩＪ入れ換えても問題はない。

なお、第２図（Ａ）はＣＯＤライセン＋Ｊ３の有効走査
信号ａを表わしており、１ト１４領域は１主走査（２５
９２素子）有効区間に対応し、ｒＬＪ領域はブランキン
グ区間に対応する。

３、スルーホール径のｉｉ　１ｌ１４ 上配のようにして、画像データ作成回路５（第１図）に
より作成された副走査方向に配置される６４画素分の２
値化画像データ群は、第１画素目の画像データ（″ｎ遅
延処理れていない画像データ）については直接エンコー
ダ６（スルーホール径測定手段）に入力され、第２〜第
６４画素目の画像データ群については、論理和回路群で
構成されるマスク処理回路７を経てエンコーダ６に入力
される。マスク処理回路７の作用については後述するこ
ととし、ここではマスク処理回路７でのマスク処理がな
されず、すなわち各論理和回路の上記画像データが入力
される入力９＝子とは反対側の入力端子に仝てｒＬＪの
信号が与えられて、副走査方向に配置される６４画素分
の２値化画像データがそのままエンコーダ６に入力され
るものとして話を進める。

エンコーダ６は、スルーホールイメージの副走査方向の
寸法（以下この明細用ではスルーホール径という）を上
半領域と下半領域で別々に検出しうるにうに、上部エン
コーダ（３２画素）と下部エンコーダ（３２画素）とで
構成される。このエンコーダ６は、中心画素位置（この
実施例では下部エンコーダの最上部画素位置）から副走
査方向に連続するｒＬＪ信号の数、すなわちスルーホー
ル径に相当する画素数を上部・下部エンコーダで分担し
て検出し、各々検出した画素数に対応する符号化を行っ
て実測スルーホール径データｂとして出力する。

一方、エンコーダ６の中心画素位置に入力される信号は
、マスク処理回路７の中央に位置する出力端子から別途
取出されてスルーホール検出信号Ｃとして利用される。

第２図（Ｃ）は、第２図（Ｂ）の２次元イメージに対応
したスルーホール検出信号Ｃを示している。同図からも
分るようにランドパターン領域や配線パターン領域及び
ブランキング１１間では「１１」信号とへり、それ以外
のスルーホールパターン領域や基板表面領域ではｒＬＪ
信号となっている。

４、スルーホール而積値の０１１１ 上記スルーホール径のＲ１測データが得られれば、その
計測データに基づいてスルーホール面積の算出がなされ
る。このスルーホール面積の口出は、第３図に示す面積
判定回路８にＪ３いてなされる。

Ｖなわち、スルーホール検出１３号Ｃ（第２図（Ｃ）参
照）の立下りによりスルーホールの始端が検知されると
、エンコーダ６に計測された実測スルーホール径データ
ｂが面積判定回路８に読み込まれ、スルーホール検出信
号ＣがｒＬＪの期間中、つまりスルーホールイメージデ
ータがエンコーダ６に送り込まれている期間中、エンコ
ーダ６により計測された実測スルーホール径データｂが
面積判定回路８に順次読み込まれて、その値が順次累積
加算される。こうしてスルーホール検出信号Ｃの立上り
によりスルーホールの終端が検知されると、累積和口さ
れた最終の伯としてスルーホール面積に相当する画素数
が得られることとなる。

第１図の下部に示ず図は、実測スルーホール径を主走査
方向順に順次累積加算していってスルーホール面積が得
られる原理を模式的に示した図である。この場合、実測
スルーホール径は画素数で与えられているので、スルー
ホール面積も画素数で得られる。また、第２図（Ｄ）に
示す矢印区間は、スルーホール径の累積加算処理区間、
１なわちスルーホール面積口出区間を示している。

５、スルーホール面積の判定 スルーホール面積が算出されると、次に、算出したスル
ーホール面積を、基準スルーホールに対する最大許容面
積値および最小許容面積値と比較して所定サイズのスル
ーホールであるか判定される。この場合、基準スルーホ
ールの面Ｖ４ＩＩｌ′ｌデータは、第３図に示寸プレジ
１νツジメモリ９にストアされており、これらの面積値
データｄを、タイミングアドレスコントローラ１０．１
１やセレクタ１２で構成される第１のデータ読出手段に
より、面積判定回路８に順次読み出す。そして面積判定
回路８において、既に口出されたスルーホール面積を、
プレジャッジメモリ９から読み出された面積値データｄ
（ｆｆｉ大許容面積値データおよび最小許容面積値デー
タ）と順次大小比較して、所定サイズのスルーホールで
あるか判定する。

この判定結果は、タイミングアドレスデータｅとして、
セレクタ１２を介してブレジｔＩツジメ七り９に与えら
れる。プレジャッジメモリ９には、上記の面積値データ
がストアされている他に、タイプアドレスに対応ずけて
飛び先アドレスデータがストアされている。したがって
、上記タイプアドレスデータｅがプレジャッジメモリ９
に与えられると、そのタイプアドレスに対応ずｉノられ
た飛び先アドレスデータｒが読み出されて、次段のＦＩ
ＦＯ１３に書き込まれる。この飛び先アドレスデータは
、以後のスルーホール径比較処理やスルーホール径マス
クデータ作成処理を行う際に必要むデータであり、ざら
に述べれば、後述するパターンデータメモリ１６やマス
クデータメモリ２０のデータ読出し開始アドレスに相当
するデータであって、その詳細については後述すること
とする。

この面積判定処理は、第２図（Ｄ）に示す斜線領域期間
で行なわれ、つまり面Ｉ？Ｉ篩出処理が終了する毎にそ
の直後に行なわれる。こうして求められた飛び先アドレ
スデータは、ＦＩＦＯ１３（第３図）に順次ストアされ
ていく。

なＪ３、第３図に示ず面積判定回路８．ルジ１シッジメ
七り９．タイミングアドレスコントローラｉｏ、ｉｉ、
セレクタ１２で面積判定手段Ｋが構成される。

６、スルーホール径の判定 スルーホール面積の判定（飛び先アドレスの決定）がな
されると、スルーホールイメージの主走査方向順に計測
された各実測スルーホール径が、それぞれの位置に対応
するスルーホール最大許容１￥およびスルーホール最小
許容径と順次比較されて、許容箱ｍ１に含まれるか判定
される。このスルーホール径判定処理は、第３図に示す
第１の遅延回路１４．径判定回路１５．パターンデータ
メモリ１６．カークンタ１７．ＦＩＦＯ１３およびタイ
ミングアドレスコントローラ１１で構成される径判定手
段りにより行われる。

詳説スると、エンコーダ６により計測された実測スルー
ホール径データｂが、第１の遅延回路１４により洒定画
素（この実施例では２５６画素）分だけ遅延されて順次
径判定回路１５に送られる（第３図において信号ｆで示
す）。第２図（Ｅ）は、第２図（Ｂ）の入力イメージが
２５６画素分罪延された遅延イメージを示している。

一方、パターンデータメモリ１６には、基準スルーホー
ルの主走査ラインに沿う各位置に対応ずけられたスルー
ホール径データ（スルーホール最大許容径データおよび
スルーホール最小許容径データ）が、前述の飛び先アド
レスを先頭アドレスとしてアドレス順にストアされてお
り、これらのスルーホール径データｇが、タイミングア
ドレスコントローラ１１．ＦＩＦＯ１３，カウンタ１７
で構成される第２のデータ読出手段により、第１の遅延
回路１４の遅延分に同期させて径判定回路１５に順次読
み出される。

そして、径判定回路１５にＪ３いては、主走査方向順に
順次送り込まれる上記実測スルーホール径データｒと、
パターンデータメモリ９の飛び先アドレスからアドレス
順に読み出される上記スルーホール径データｇ（スルー
ホール最大許容径データおよびスルーホール最小許容径
データ〉とが順次大小比較され、全ての実測スルーホー
ル径に対して許容範囲に含まれるか順次判定される。

こうして、全ての実測スルーホール径が許容範囲内にあ
ると判定されると、そのスルーホールはマスク対象とな
る所定サイズのスルーホールに該当することになるので
、径判定回路１５からパターン一致イエ号りが出力され
る。第２図（［）は、第２図（Ｃ）のスルーホール検出
（、ｉ号Ｃが２５６画素分だけ遅延された信号を表わし
ており、同信号のｆＬＪ区間に径判定処理がなされる。

また、第２図（Ｇ）はパターン一致信号りを示しており
、上記径判定処理によりパターン一致が確認されたとき
に「１１」信号が出力される。

なお、上記の場合と異なり、径判定処理の途中において
実測スルーホール径が許容範囲から外れると、検査イメ
ージがスルーホールでないか又は欠陥の有るスルーホー
ルであるためマスク処理の対やとはなり得ず、このとぎ
には径判定回路１５からパターン一致信号りは出力され
ない。このことを第２図を用いてさらに説明すると、例
えば検査イメージがランドパターンや配線パターンの設
けられていない基板表面を対象とする場合は、スルーホ
ールの場合と同様、同図（Ｄ）の面積判定処理がなされ
るが、仮にその判定結果が基準スルーホールに対し設定
された許容面積範囲内にあって次の径判定処理がなされ
たとしても、その径判定処理の途中でスルーホール径が
必ず許容範囲を外れることとなるため、パターン一致信
＠ｈが出力されることはない。また、スルーホールイメ
ージに対する径判定処理がなされている場合でも、スル
ーホールの一部に欠陥があると、その欠陥箇所でスルー
ホール径が許容範囲を外れることとなるため、この場合
もパターン一致信号りが出力されることはない。

なお、上記説明では、パターンデータメモリ１６にスル
ーホール径データ（基準スルーホールの副走査方向の全
長データ）がストアされているものとして話を進めてい
るが、実際には基準スルーホールは円形で上下対称であ
るため、基準スルーホールの上部領域分の径データ、つ
まりスルーホール半径データがストアされている。そし
て、径判定回路１５の比較においては、第１図の原理図
の略中央位買（径判定処理）に示すように、エンコーダ
６の実測スルーホール径データを上部領域分と下部領域
分で別々に分けて、それぞれ上記スルーホール半径デー
タとの比較を行い、こうしてスルーホール径の判定処理
を行うようにしている。

７、スルーホール径マスクデータの作成これまでの処理
により、被検査イメージが目的のスルーホールであると
判断されると、このスルーホールイメージをマスクする
ためのスルーホール径マスクデータが主走査方向順に順
次作成される。このマスクデータの作成処理は、第３図
に示す第２の遅延回路１８．マスクデータ作成回路１９
、マスクデータメモリ２０．カウンタ２１．ＦＩＦＯ２
２，Ｄ−ＦＦ２３およびタイミングアドレスコントロー
ラ１１で構成されるマスクデータ作成手段Ｍにより行な
われる。

訂説すると、エンコーダ６により品！測された実測スル
ーホール径データｂが、第１の遅延回路１４により２５
６画素分遅延された後、さらに第２の遅延回路１８によ
り所定画素分だけ′１ｉ３ｆされ、こうして合計１主走
査ライン（２５９２画素）相当分だけ遅延され（、順次
マスクデータ作成回路１９に送られる（第３図において
信号ｉで示す）。

一方、マスク処データメモリ２０には、スルーホール径
マスクデータの作成に必要なデータ（その詳細は後述す
る）が前述の飛び先アドレスを先頭アドレスとしてアド
レス順にストアされており、これらのマスク処理データ
が、タイミングアドレスコントローラ１１．Ｆ［ＦＯ２
２，カウンタ２１で構成される第２のデータ読出手段に
より、第２の遅延回路１８の遅延分に同期させてマスク
データ作成回路１９に読み出される。

マスクデータ作成回路１９においては、−主走査ライン
（２５９２画素）相当分赴延されて順次送り込まれる上
記スルーホール径データｉと、マスク機−タメ干り２０
の飛び先アドレスからアドレス順に順次読み出されるマ
スク機能データα。

マスクデータθとを用いて、パターン一致信号りが出力
された被検査イメージに対するｂのについてだけ、スル
ーホール径マスクデータ（第３図において信号ｊｔ−示
す）が順次作成される。この場合、スルーホール径マス
クデータｊは、実測スルーホール径と同−若しくは若干
大きな径に相当する画素数を符号化したものとして１す
られる。

８、マスク処理 このようにして得られたスルーホール径マスクデータｊ
はデコーダ２４に入力され、ここでエンコーダ６の符号
化に対応した復合化処理がなされる。第１ｖＡの右側領
域には、スルーホール径マスクデータｊに基づきデコー
ダ２４により復合化処　　−理がなされた６４画素分の
２値化マスクデータ酵が示されている。ただし、２値化
マスクデータ群は、マスク処理を必要とする領域が「１
」」信号で与えられ、その他の領域がｒＬＪ信号で与え
られている。また、２値化マスクデータ群の中心画素位
置は、遅延回路１４．１８による１走査ライン相当分の
遅延処理により、エンコーダ６の中心画素位置に比べて
、副走査方向に一画素分だけずれたものとなっている。

この２値化マスクデータ群は、第１図に示すマスク処理
回路７の各論理和回路の他方側の入力端子にそれぞれ入
力される。マスク処理回路７の各論理和回路の一方側の
入力端子には、既述したように画像データ作成回路５に
より一走査ライン分ずつ遅延された２値化画像データ群
がそれぞれ入力されるため、２値化画像データ群に含ま
れるｒＬＪ信号の各スルーホールデータは、２値化マス
クデータ群に含まれる「ト１」信号の各マスクデータと
の論理和処理によりｒＨＪ信号に変換される。

こうして、スルーホールパターンがマスク処理された２
（石化画像データ（マスク処理済データ）は、マスク処
理回路７の最終段の論理和回路から時系列的に出力され
て、次段のパターン欠陥検出回路（図示省略）へ順次送
り込まれパターン欠陥検出処理がなされる。

第２図の上段右側領域には、１走査ライン分だけ遅延し
て行なわれるスルーホールイメージのマスク処理が概念
的に示されている。

Ｂ、パターンマスキングの応用例 以上は、基本的なパターンマスク処理について説明した
が、この実施例においては以下に述べるようなＲ能がさ
らに（＝Ｊ加されている。

１、スルーホールの種類に応じたマスキング処１１１！ 上述の説明では、１種類のスルーホールをマスク処理す
ることを想定して話を進めているが、この実施例では複
数種類（実施例は８種類）のスルーホールをマスク処理
しうるように構成されている。

具体的に説明すると、プレン１νツジメモリ９には、８
種類の基準スルーホールに対応してそｊＬぞれの最大轟
１容面積値データと最小許容面積値γ−タがストアされ
ており、これらの面積値データが順次面積判定回路８に
読み出されて、累積加算された算出スルーホール面積値
と大小比較される。。

この比較にＪ：リスルーホールのタイプ分けがなされ、
その結末はクイブアドレスデータｅとしてセレクタ１２
を介しプレジＶツジメモリ９に与えられる。ブレジｔｌ
ツジメ七り９には、８種類の章購Ｃスルーホールに対応
する８種類のタイプアドレスが・でれそれ設けられて、
各タイプアドレスに対応ずけてパターンデータメモリ１
６およびマスクデータメモリ２０の飛び先アドレスデー
タが予めストアされている。したがって、上記タイプア
ドレスデータｅがプレジャッジメモリ９に与えられるこ
とにより、スルーホールのタイプ分は結果に応じた飛び
先アドレスデータがブレジｐツジメモリ９から読み出さ
れて、ＦＩＦＯ１３に書き込まれることとなる。

一方、パターンデータメモリ１６およびマスクデーモノ
七り２０には、８種類のスルーホールに対する径判定に
必要なデータとマスク処理に必要なデータがそれぞれ所
定領域に分けてストアされており、各領域の先頭アドレ
スがＦ２飛び先アドレスに一致されている。したがって
、径判定！ｌ！ｌ理およびマスクデータ作成処理の際に
は、パターンデータメ七り１６およびマスクデータメモ
リ２０から、スルーホールの種類に対応したデータが読
み出されて、スルーホールの種類に対応した所要の径判
定処理およびマスクデータ作成処理がなされることとな
る。

２、スルーホールの種類に応じたマスクデータの作成 この実施例においては、スルーホールの種類に応じて３
種類のスルーホール径マスクデータが作成されるように
構成されている。

７゛なわち、第１のマスクデータは、実測スルーホール
径と同一径のスルーホール径マスクデータであり、第２
のマスクデータは実測スルーホール径の周辺に所要寸法
（ランド残り幅）だけ加節されたスルーホール径マスク
データであり、第３のマスクデータは実測スルーホール
径よりも大きな所定径のスルーホール径マスクデータで
ある。

第１のマスクデータは、マスクデータ作成回路１９にお
いて、第２の遅延回路１８より入力される実測スルーホ
ール径データｉを、そのまま出力することにより得られ
る。この処理は、実イメージと同一サイズのスルーホー
ルマスクイメージを作成することを目的としている。

第２のマスクデータの作成は、実測スルーホール径の周
辺に加算される加算データ（このデータは画素数に換算
されている）を予めマスクデータメモリ２０にストアし
ておき、マスクデータ作成回路１９において、第２の遅
延回路１８より入力される実測スルーホール径データと
、マスクデータメモリ２０から読み出される加ｎデータ
とを順次加算することにより得られる。この処理は、実
イメージの周辺部に所定幅（ランド残り幅）だけ加算さ
れたスルーホールマスクイメージを作成することを目的
とする。

第３のマスクデータの作成は１．基準スルーホールより
も少し径の大きなマスク用スルーホールに対応したスル
ーホール径マスクデータを予めマスクデータメモリ２０
にストアしておぎ、マスクデータ作成回路１９において
、第２の遅延回路１８より入力される実測スルーホール
径データに代えて、マスクデータメモリ２０から読み出
されるスルーホール径マスクデータを順次出力すること
により得られる。この処理は、実イメージよりも少し大
きな円形のスルーホールマスクイメージを作成すること
を目的とする。

これらマスク機能の選択は、マスクデータメモリ２０か
ら、読み出されるマスク機能データα（そのＬＴ細は後
述する）に基づいて行なわれ、この実施例では、スルー
ホールの種類に応じて予めマスク機能が決定されている
。

なお、マスク処理を不要とするときは、マスクデータ作
成回路１９において、マスクデータメモリ２０から与え
られるマスク機能データαに基づいて「０」の信号が出
力される。

３、−走査ラインの前縁区間および後縁区間のマスク処
理 以上は、スルーホールイメージが円形パターンで入力さ
°れる通１δの場合を想定して話を進めた。

しかしながら、実際にマスク処理を行う場合には、第４
図に示すように、−主走査ラインの両端位すｌで、スル
ーホールイメージの一部に欠【ノを生じて入力されるこ
とがある。このような場合、面積判定処理においては欠
けたスルーホールイメージに対応する面積値との比較を
行う必要があり、また径判定処理およびスルー小−ル径
マスクデータ作酸処理においても、欠は位置を考慮して
各メモリ１６．２０の適°切なアドレスからデータの読
み出しを開始してそれぞれの処理を行う必要がある。

そのために、この実施例では、第４図に示１ように、Ｃ
ＯＤライセンサ３の一主走査区間（２５９２素子）の両
端に１２８画素の前縁処理区間と後縁処理区間を設けて
、それらの中門区間を通常処理区間とし、それぞれの画
素位置に第４図に示すようなブレジＩＩツジアドレスを
対応ずけている。

すなわら、前縁処理区間においては、主走査方向に沿っ
てｒ１２７Ｊ〜「０」までのアドレスを対応すけ、通常
処理区間においては全て「０」のアドレスを対応ずけ、
また後縁処理区間においては、ｒ２５５Ｊ〜ｒ１２８Ｊ
のアドレスを対応ずけている。もっとも、前縁処理区間
および後縁処理区間の画素数は、スルーホールのサイズ
に応じて適宜変更可能である。そして、各スルーホール
イメージのプレジャッジアドレスの決定は、前縁処理区
間Ｊ３よび通常処理区間においてはスルーホールイメー
ジの終端位置に対応するアドレスにより決定し、後縁処
理区間においてはスルーホールイメージの前端位置に対
応するアドレスにより決定する。ブレン１？ツジアドレ
スを上記のように決定１゛れば、スルーホールの種類に
応じて各プレジャッジアドレスに対応する面積値データ
（最大許容面積値データおよび最小許容面積値データ）
が定まるため、これらの面積値データを予め計算機等に
より算出して、プレジャッジメモリ１６内へ、それぞれ
のブレジｌ／ツジアドレスに対応ずけてストアさせてお
く。

このプレジャッジアドレスは、第３図のタイミングコン
トローラ１０において作成して、プレジャッジメモリ９
に与える。プレジャッジメモリ９は、与えられたプレジ
ャッジアドレスに対応する面積値データを面積判定回路
８に読み出し、面積判定回路８において算出スルーホー
ル面積値と比較する。この比較によりスルーホールのタ
イプ分けを行い、比較結果に応じたタイプアドレスデー
タをセレクト１２を介してプレジャッジアドレス９に与
える。

一方、プレジャッジメモリ１６内には、タイプアドレス
とプレジャッジアドレスに対応づけて飛び先アドレスデ
ータを予めストアしておく。この飛び先アドレスデータ
は、パターンデータメモリ１６およびマスクデータメモ
リ２０の読み出し開始アドレスを指定するためのデータ
であるため、これらメモリ１６．２０からのスルーホー
ル径データやマスク処理データの読み出しが、スルーホ
ールイメージの種類や欠けに応じて適切なアドレスから
開始されるように、それぞれの飛び先アドレスデータを
定めておく。このように構成してお１ノば、タイプ分け
によりタイプアドレスデータｅがブレン１１ツジメモリ
９に与えられると、そのタイプアドレスと、服に与えら
れているプレジャッジアドレスとにより関係づけられる
飛び先アドレスデータが、ブレン１１ツジメモリ９から
読み出されて、Ｆ　［Ｆｏｌ　３に占き込まれることと
なる。

したがって、この俊に行なわれる径判定処理およびマス
クデータ作成処理においては、上記飛び先アドレスデー
タで特定されるアドレスを先頭アドレスとしてスルーホ
ール径データやマスク処理データがメモリ１６．２０か
らアドレス順に読み出され、上記各処理がスルーホール
イメージの種類や欠けに応じて適切に実行されることと
なる。

Ｃ０具体的実施例 つぎに、具体的実施例について説明する。第３図は、パ
ターンマスキング装δのブロック図を示す。同図におい
て、画像データ作成回路５．マスク処理回路７．エンコ
ーダ６およびデコーダ２４については、上記パターンマ
スキング原理の項で既略説明したので、ここでは面積判
定手段に、径判定手段しおよびマスクデータ作成手段Ｍ
について詳説することどする。

１、面積判定手段Ｋ （１）　　プレジャッジメモリ９ まず、ブレン１１ツジメモリ９のメモリ内容について説
明する。第５図に概略的なメモリ内容を示す。プレジャ
ッジメモリ９には、１２ビツト目のＤ−Ｃフラグ、８〜
１１ビツト目のマイクロアドレス、０〜７ビツト目のプ
レジャッジアドレスにより対応ずけられる面積値データ
と、１２ビツト目のＤ−Ｃフラグ、８〜１１ビツト目の
タイプアドレス、０〜７ビツト目のプレジャッジアドレ
スにより対応づけられる飛び先アドレスデータとがスト
アされている。

マイクロアドレスは、タイプ分類するためのデータ（各
タイプ毎の最大面積と最小面積）がストアされているア
ドレスで、０〜Ｆ　　まで使用さｌａｘ れる。したがって８種類のスルーホールの処理が可能と
なっている。この実施例では８種類のスルーホールの面
積値データ（最小値、最大値）が、スルーホールのサイ
ズに従ってアドレス順にストアされている。

プレジャッジアドレスは、前縁、後縁処理のためのアド
レスで、０〜７Ｆ　　まで使用される。

１ｅｘ Ｄ−Ｃフラグは、その内容が「０」であれば面積値デー
タを指定し、逆に「１」であれば飛び先アドレスデータ
を指定する。

タイプアドレスは、７〜Ｆ　　まで使用され、ｌａｘ 「８」〜ｒＦＪは８種類のスルーホールのそれぞれのタ
イプに対応し、「７」はいずれに−ｂ該当しないパター
ンに対応する。

第６図はプレジセッジメｔす９の面積値データの一部詳
細を示す。同図において、Ｄｌｍａｘは、最小サイズス
ルーホールの最大許容直径画素数を表し、Ｄ　、は最小
サイズスルーホールの最小許容ｆＩｌｌｎ 直径画素数を表ず。また、第７図はプレンせツジメモリ
９の飛び先アドレスデータの一部詳細を示す。同図にお
いて、Ｄ　は第「１番目（ｎは１〜８の整数）のスルー
ホールの標準直径画素数を表す。

（２）　　タイミングアドレスコント０−ラ１０タイミ
ングアドレスコントローラー０は、ブレジｉＩツジメモ
リ９のアクセスデータであるマイク［１アドレスデータ
ｋ、プレジャッジアドレスデータｌおよびＤ−Ｃフラグ
ｍを作成するための回路である。第８図はタイミングア
ドレスコントローラー０の詳細回路図を示し、同回路の
動作を次に説明する。

■　プレジャッジアドレスカウンタの動作ＣＯＤライセ
ンサ３の走査位置が、第４図に示す前縁処理区間の開始
点にさしかかると、第２図（Ａ）に示す有効走査信号ａ
が、「１−」から「＃」」に立上る。この有効走査信号
ａは、第８図に示す２５６歩進ダウンカウンタであるプ
レジャッジアドレスカウンタ３２のロード端子に入力さ
れ、カウンタ３２がカウント値Ｎ２７Ｊにプリセットさ
れる。この後、カウンタ３２は、ピクセルクロック信号
に従って（プなわら主走査が進むに従って）ダウンカウ
ントされていく。そして、走査位置が通常処理区間（第
４図）の開始位置に達すると、カウンタ３２のカウント
値が「０」になり、カウンタ３２からボロー信号がカウ
ンタ制御回路３３に出力され、制御回路３３のＱ端子か
らｒＬＪ信号がカウンタ３２のクリア端子に与えられて
、カウンタ３２の動作が停止する。このカウンタ３２の
動作停止状態は、第４図に承り通常処理期間を経過する
まで続く。ＣＯＤライセンサ３の走査位δが、第４図に
示す１ｐ縁処理区間の開始Ｆユに達すると、第８図に示
すカウンタ制御回路３３のクリア端子に後縁処理開始位
置信号ｎ（この信号はタイミングアドレスコントローラ
１１で作成され、その詳細は摂述する）が与えられ、制
御回路３３のＱｒｉｉ子からｒＨＪ信号がカウンタ３２
のクリア端子に与えられて、カウンタ３２が再び動作を
開始する。これによりカウンタ３２はカウント値ｆ２５
５Ｊから順次ダウンカウントされていく。

こうして、ＣＯＤライセンサ３の走査位置が、第４図に
示１゛後縁処叩区１ｍを通過するとくこのときカウンタ
３２のカウント値はＮ２８Ｊとなっている）、第２図（
Ａ）に示す有効走査信号ａがｒＨＪから「Ｌ」に立下り
、同信号ａがｒＬＪ信号どなってカウンタ３２のＯ−ド
端子に入力され、カウンタ動作が終了する。このように
して、主走査がなされるたびに、上記動作が繰り返され
る。

■　プレジャッジアドレスデータｌの作成１−記カウン
タ３２のカウント１ｎは、前縁および通常処理区間用の
プレジャッジアドレスラップ回路３４と、復縁処理区間
用のプレジャッジアドレスラップ回路３５の各り端子に
入力される。

一方、両ラッチ回路３４．３５のりＯツク端子には、ス
ルーホール検出信号Ｃ（第２図（Ｃ）　ｆＪ照）が直接
に、又はインバータ３６により反転されて入力される。

したがって、スルーホールイメージの穴終了位四に相当
するスルーホール検出信ｑ　ｃのｒＬＪから［ト１］へ
の立ち上りでラッチ回路３４が作動され、そのときのカ
ウント値が前縁または通常処理区間用のプレジャッジア
ドレスとしてラッチ回路３４にラッチされる。また、穴
開始位置に相当するスルーホール検出信号Ｃのｒ　ｌ−
Ｉ　Ｊから「Ｌ」への立下りでラップ回路３５が作動さ
れ、そのときのカウント値が後縁処ＬＴＩ！区間用のプ
レジャッジアドレスとしてラップ回路３５にラッヂされ
る。

ラッチ回路３４，３５にラップされたプレジャッジアド
レスデータの読み出しは、切換回路３７により制御され
る。すなわら、前縁処理区間の開始時に、切換回路３７
のクリア端子に入力される有効走査信号ａ（第２図（Ａ
）参照）により切換回路３７のＱ端子から「Ｌ」信号が
出力されてラッチ回路３４側が能動化され、一方後縁処
理区間の開始時に、切換回路３７のプリセット端子に入
力される後れ処理開始信号で、切換回路３７のＱ端子か
ら［Ｈ１信号が出力されてラッチ回路３５側が能動化さ
れる。これにより、プレジャッジアドレスデータでは、
前縁および通常処理区間においてはラッチ回路３４にラ
ッチされている穴終了位置に対応するアドレスデータｌ
が読み出されることとなり、また復縁処理区間に３３い
てはラッチ回路３５にラッチされている穴開始位行に対
応するアドレスデータｌが読み出されることとなる。

■　マイクロアドレスデータにの作成 スルーホール検出信号Ｃ（第２図（Ｃ）参照）がｒＬＪ
からｒＨＪに立−［ると（穴終了位冒）、同信号Ｃが第
８図に示すカウンタ制御回路３８のクロック端子に入力
されてそのＱ端子から「１」］イ３号が出力され、さら
にそのｆＨＪ信号が１６歩進アップカウンタであるマイ
クロアドレス用カウンタ３９のクリア端子に入力されて
カウンタクリア指令が解除され、カウンタ動作が開始さ
れる。

１なわち、カウンタ３９に力１クント値「０」がプリセ
ットされた後、以模はクロックパルスに従ってカウント
アツプされる。このカウンタ３９のＱ端子からの出力デ
ータすなわちカウント値がマイクロアドレスデータにと
なる。

■　Ｄ−Ｃフラグｍの作成 マイクロアドレス用カウンタ３９の歩進が進み、そのカ
ウント値が「１５」を越えると、カウンタ３９のキｔν
り一端子からキャリー信号が出力され、Ｄ−ＦＦ４０に
ラッチされる。Ｄ　−Ｆ　ｒ二４０にラッチされたデー
タは、次のピクセルクロックで読み出されてＤ−Ｃフラ
グｍが作成される。

（３）　　面積判定回路８ 面積判定回路８は、実測スルーホール径データｂに基づ
いてスルーホールイメージの面積値を惇出し、この面積
値をプレジャッジメモリ９から読み出される各種スルー
ホールの面積１＋ｉ’ｉデータと比較して、スルーホー
ルのタイプ分けを行う回路である。第９図は面積判定回
路８の詳細回路図を示し、同回路の動作を次に説明する
。

■　面積値算出 エンコーダ６（第３図）により実測スルーホール径が計
測されると、その上部半径データと下部半径データ（実
測スルーホール径データｂ）が第９図に承り加算回路４
１に入力されて実測スルーホール径が算出され、算出さ
れたデータが累積加ｎ回路４２に送られる。累積加算回
路４２では、スルーホール検出信号Ｃ（第２図（Ｃ）参
照）にλｔづいて、スルーホールイメージの穴開始位置
くつまり信号Ｃの「Ｅｌ」からｒＬＪへの立ら下り）で
１距動化され、スルーホールイメージの１１１１間中（
つまり信号ＣがｒＬＪの期間中）、順次送られてくる実
測スルーホール径データを累積加算する。

そしてスルーホールイメージの穴終了位置までくると、
信号ＣがｒＬＪからｒＨＪに切換わって、累積加算され
たデータすなわノ５スルーホール面積データが次段のラ
ッチ回路４３にラッヂされ、同時に累積加算回路４２が
不能動化されて累積加算回路４２のデータがクリアされ
る。

■　面積比較 こうして求められたスルーホール面積データは、次段の
比較回路４１１に送られ、比較回路４４においてプレジ
ャッジメモリ９から送られてくる８種類のスルーホール
の面積値データｄ（最大許容面積および最小許容面積）
と順次大小比較される。

この場合、プレジＶツジメモリ９の面積値データは次の
ようにして読み出される。、すなわら、スルーホール検
出信号ＣがｒＬＪから［ト］」に立上って、上記面積値
算出処理が終了すると、つづいて第３図に示すタイミン
グアドレスコントローラ１０からｒＯＪ〜［１５１のマ
イクロアドレスデータｋが順次読み出され（この動作に
ついては、タイミングアドレスコントローラ１０の欄で
既に説明済み）、セレクタ１２を介してプレジｐツジメ
モリ９に与えられる。この間、Ｄ−Ｃフラグｍとし°Ｃ
「０」のデータがブレラ１１ツジアドレス９に与えられ
ており、またこのデータは同時にセレクタ１２にも与え
られて、セレクタ１２はタイミングアドレスコントロー
ラ１０側のマイクロアドレスデータｋをプレジャッジメ
モリ９に与えるように切換えられている。ざらにまた、
タイミングアドレスコントローラ１０から、プレン１１
ツジアドレスデータｌがプレジｐツジメモリ９に与えら
れている（この動作についても、タイミングアドレスコ
ントローラ１０の欄で既に説明済み）。したがって、ブ
レジ１１ツジメ七り９からは上記り−Ｃフラグ汀１．マ
イクロアドレスｋ　３３よびブレジャッジアドレスｌで
特定される面積値データ（第５図、第６図参照）、すな
わち８種類のスルーホールに対応した面積値データ（最
大許容面Ｖ１および最小許容面積）が順次読み出されて
、面積判定回路８に与えられる。

こうして、第９図に示す比較回路４４において、累積加
暮回路４２で算出されたスルーホール面積と、ブレン１
νツジメモリ９から読み出されてくるそれぞれのスルー
ホールイメージに対する面積値データとが順次大小比較
される。この比較結果は、例えば算出スルーホール面積
が比較面積値データよりも大きければ「１」、逆に小さ
ければ「０」の信号として出力される。こうして求めら
れた比較データは、１６段シフトレジスタ４５の最上段
レジスタに送られる。最上段レジスタに送られた比較デ
ータは、次の比較データが最上段レジスタに送られてく
ると第２段レジスタにシフトされる。

そして、この第２段レジスタの比較データとｉｔ段レジ
スタの比較データの排他的論理和がＮＯＲゲート４６に
より求められて、その結果が第３段目のレジスタにシフ
トされる。以下、順次比較ｆ−タが最上段レジスタに送
られてくる毎に、最上段レジスタの比較データとｖ、２
段レジスタの比較データの排他的論理和が求められて第
３段レジスタに送られ、こうして３段目以降の各段レジ
スタのデータが下段ｆｉｌｌＩのレジスタに順次シフト
されていく。８種類のスルーホールに対する最大許容面
積および最小許容面積との比較処理を全て終了Ｊ“ると
、１６段シフトレジスタ４５の偶数段にはスルーホール
の種類に対応した比較結果が得られることとなる。これ
ら比較結果のデータは、まとめて取出されてエンコーダ
４７に送られ、ここでスルーホールの種類に応じた符号
化がなされて、タイプアドレスデータｅとして出力され
る。

面積比較処理が終了すると、第３図に示すタイミングア
ドレスコントローラ１０からＤ−Ｃフラグｍとして「１
」の信号が出力され（この動作については、タイミング
アドレスコントローラ１０の欄で既に説明済み）、ブレ
ン１１ツジメモリ９に与えられる。また、Ｄ−Ｃフラグ
「ｎのデータは同時にセレクタ１２に与えられ、これに
よりセレクタ１２は面積判定回路８１１１１に切換えら
れて、面積判定回路８から出力される上記タイプアドレ
スデータ（３／Ｊ＜　ｔレクタ１２を介しプレジャッジ
メ七り９に与えられる。これにより、プレジＶツジメモ
リ９から、上記タイプアドレスデータｅおよびブレジＩ
／ツジアドレスデータ１に対応した飛び先アドレスデー
タｒ（第５図、第７図参照）が読み出され、ＦＩＦＯ１
３によき込まれる。

（４）　　タイミングアドレスコントローラ１１タイミ
ングアドレスコントローラ１１は、後縁処理開始信号ｎ
と、径判定処理開始信号０ど、マスクデータ作成処理開
始信”４　ｐを作成するための回路である。第１０図に
タイミングアドレスコントローラ１１の詳細回路図を示
し、同回路の動作を次に説明する。

■　後縁処理開始信号ｎの作成 ＣＯＤライセンナ３の走査位胃が、前縁処理区間の開始
点に差しかかると、第２図（Ａ）に示す有効走査信号ａ
が［Ｌｌから１Ｆ（１に立上り、１４信号ａが、第１０
図に示す２５９２歩進アッパカウンタである絶対アドレ
スカウンタ４８のクリア端子へ入力されて、カウンタ４
８の〕」ラント値「０」からのカウント動作が開始され
る。このカウント値は比較回路４９のＡ端子に順次送ら
れる。

比較回路４９においては、Ａ端子に順次入力されて（る
カウント値と、Ｂ端子に与えられる後縁処理開始位置に
相当するカウント１ｉｆ１Ｆ２４６４Ｊとが比較され、
両者が一致したときにＩ’ＬＪの復縁処理開始信号ｎを
出力１）る。

■　径判定処理開始信号Ｏの作成 絶対アドレスカウンタ４８のカウント値は、上記比較回
路４９以外に、ラッチ回路５０にも入力される。このラ
ッチ回路５Ｑのクロック端子には、インバータ５１を介
してスルーホール検出信号Ｃが入力される。したがって
、同信号Ｃがｒ　ｌ−Ｉ　ＪからｒＬＪに立下がったと
ぎ（穴始端位置）に、その時点での絶対アドレスカウン
タ４８のカウント値がスルーホール始端位置の絶対アド
レスデータとしてラッチされる。このスルーホール始端
位置の絶対アドレスデータは、Ｄ−Ｃフラグｍとして「
１」のデータがＦｌｌ”０５２ののシフトイン端子に入
力されたとき（すなわら飛び先アドレスが決定されたと
き）、ＰＩＦＯ５２に読み込まれる。

一方、絶対アドレスカウンタ４８のカウント値は、さら
に他の比較回路５３にも入力されている。

この比較回路５３においては、順次入力されるカウント
値が、プリセット値であるｒ２５６Ｊと比較され、両者
が一致したとき、２５９２歩進アップカウンタである径
判定処理用カウンタ５４にクリア解除指令が与えられて
、カウント値「０」からカウント動作が開始される。す
なわら、この径判定処理用カウンタ５４は、絶対アドレ
ス用カウンタ４８に比べて、カウント値ｒ２５６Ｊだけ
遅れてカウント動作が進むこととなる。このカウンタ５
４のカウント値は、比較回路５５の８端子に入力される
。これに対し比較回路５５のＡ端子には、既述したＦＩ
ＦＯ５２の出力データ、ずなわちスルーホール始端位置
の絶対アドレスデータが入力される。比較回路５５では
両データを比較し、両者が一致したとき一致信号ｒＨＪ
を出力する。

この一致信号はインバータ５６で反転されて、「Ｌ」信
号の径判定処理開始信号０が作成される。

なお、径判定処ＩＩＩ！　Ｉｉ１始信号０は、ＦＩＦＯ
５２（７）シフトアウト端子にも入力され、これにより
同信号０が出力されると同時に、ＦＩＦＯ５２から次の
スルーホール始端位置絶対アドレスデータが読み出され
て、比較回路５５に入力される。

■　マスクデータ作成開始信号ｐの作成比較回路５５の
Ｙ端子の出力信すはラッチ回路５７のり［１ツク喘子に
も入力されており、したがって上記の径判定処理開始信
号０の出力時（スルーホール始端開始位置の絶対アドレ
スから「２５６」歩進したときに出力される）に、ＰＩ
ＦＯ５２のスルーホール始端位置絶対アドレスデータが
ラッチ回路５７にラッチされる。このスルーホール始端
位置絶対アドレスデータは、次段の減算回路５８に送ら
れ、減算回路５８において、パータンデータメモリ１６
（第３図）から送られてくるシフトデータｑ（その詳細
は後）ホする）分だけ減筒処理される。そして、径判定
回路１５（第３図）からパターン一致信号ｈ（その詳細
は後述する）が出力されると、こめ信号りによりＦ　Ｉ
　ＦＯ５９に上記滅罪処理後のアドレスデータが送り込
まれる。

Ｆ　Ｉ　ＦＯ５９の次段に位置する比較回路６０のＡ端
子には、Ｆ　Ｉ　ＦＯ５９のアドレスデータが入力され
る。これに対し、比較回路６０の３０５子には絶対アド
レスカウンタ４８のカウント値が入力される。比較回路
６０では、両データを比較し、両者が一致したとき一致
信号「ト１」を出力する。

この一致信号はインバータ６１で反転されて、ｒＬＪ信
号のマスクデータ作成処理開始信号ｐが作成される。こ
の信号ｐは、スルーホール始端位置絶対アドレス値から
約１走査ライン分だけカウント歩進したときに出力され
る。なお、上記信号ｐは、Ｆ　Ｉ　ＦＯ５９のシフトア
ウト端子にも入力され、これにより同信号ｐが出力され
ると同時に、Ｆ　］　ＦＯ５９から次のアドレスデータ
が読み出されて、比較回路６０に入力される。

２゜径判定手段 （１）　　パターンデータメモリ１６ まず、パターンデータメモリ１６のメモリ内容について
説明する。このメモリ１６には径比較処理のためのデー
タがストアされている。第１１図はパターンデータメモ
リ１６のデータ構成を示している。

第１５ビツト目のエンドゾーンデータは、径比較処理終
了判断用のフラグであり、第１１図に示−４エンドゾー
ン（詳細は後述する）の領域で値を「１」とし、それ以
外の領域で値をｒＯＪとする。

第１４〜ｇＲ１０ビツト目のシフトデータは、次段のス
ルーホール径マスクデータ作成処理時におけるタイミン
グ調整のために必要なデータである（その詳細は後述１
”る）。

第９〜第５ピツト［１のＩ［１人訂容半径データおよび
第４〜第Ｏビツト［コの最小許容半径データは、径比較
対染となるデータである。

第１２図はパターンデータメモリ１６のメモリ内容を模
式的に示した図である。同図において、Ｘ方向は主走査
方向に対応し、Ｙ方向は副走査方向に対応する。図中点
線で示した半円のＹ軸方向長が標準スルーホール半径Ｙ
、を意味し、その外側の実線で示した４′円のＹ＠方方
向厚最大許容スルーホール半径Ｙ１□８を意味し、内側
の実線で示す半円のＹＯｈ方向方向層小許容スルーホー
ル半径Ｙｉｍｉｎを意味する。これらのＸ方向（主走査
方向）に沿って配列されるスルーホール半径Ｙ、　およ
＋１＋１ａＸ びＹｉｍｉｎがパターンデータメモリ９内にアドレス順
にスｔ・アされ、その先頭アドレスが既述の飛び先アド
レスに対応づけられている。なお、第１２図において、
Ｄｉｍｉｎはｉ（ｉは０〜８の整数）８！目のスルーホ
ールの最小許容直径画素数、Ｄ・は１種目のスルーホー
ルの標準直径画素数、Ｄ。

ｍａＸ はｉ種目のスルーホールの最大許容直径画素数を示す。

第１３図にパターンデータメモリ１６内にストアされて
いるデータの一部訂細を示しておく。

（２）　　径判定処理 第１４図は、径判定手段りの主要部、すなわち径判定回
路１５とその周辺部の回路詳細図を示す。

同図と第３図を用いて、次に径判定処理の動作を説明す
る。

第３図に示す第１の遅延回路１４により、スルーホール
イメージ始端位置の実測スルーホール径データ「が径判
定回路１５に入力されると、その実測スルーホール径デ
ータｆは、第１４図に示すように上部半径データ「　と
下部半径データｆ２に分れて比較回路６２．６３および
６４．６５の一方の入力端子にそれぞれ入ノｊされる。

一方、上記タイミングに合Ｕで、タイミングアドレスコ
ントローラー１（第３図）から径判定処理聞始信号ｏｂ
＜ＦＩＦＯ１３のシフトアウト端子（読み出し端子）に
入力されて、ＦＩＦＯ１３にラッチされていた飛び先ア
ドレスデータがラッチ回路２３にラッチされる。これと
同時に、径判定処理開始信号Ｏはカウンター７のロード
端子に５入力され、これにより、Ｆ　Ｉ　ＦＯＩ　３に
ラッチされていた飛び先アドレスデータがカウンター７
にプリセットされ、そのプリセットデータＳ（飛び先ア
ドレスデータ）がパターンデータメモリ１６（第３図）
に与えられて、飛び先アドレスに対応づけられた径判定
データｑ（最大許容半径データｑ　および最大許容半径
データ０２　）が、パターンデータメモリ１６から読み
出されて第１４図に示Ｊ上記比較回路６２．６３および
６４．６５の他方の入力端子にそれぞれ入力される。

比較回路６２ではスルーホール上部半径（ｆｌ）と最小
許容半径（ｑｌ）とが比較されて、スルーホール上部半
径（ｆｌ）が最小許容半径（ｑｌ）よりも大ぎいときに
成立信号ｒ　１−ＩＪが出力される。

また、比較回路６３ではスルーホール下部半径（ｆ　　
）と最小許容半径が（Ｑｌ）比較されて、スルーホール
下部半径（ｆ２）が最小許容半径（ｇｌ）よりも大きい
ときに成立信号「）１」が出力される。同様に、比較回
路６４ではスルーホール上部半径〈ｆｌ）と最大許容半
径（ｇ２）が比較されて、スルーホール上部半径（ｆｌ
）が最大許容半径（Ｑ２）より６小さいときに成立信号
「１」」が出力される。また、比較回路６５ではスルー
ホール上部半径（ｆ２）と最大許容半径（ｇ２）が比較
されて、スルーホール下部半径（ｆ　　）が最大許容半
径（Ｑ２）よりも小さいときに成立信号「Ｉ」」が出力
される。

各比較回路６２〜６５の出力信号は、それぞれ次段のア
ンドゲート６６に送られ、各比較回路６２〜６５から全
て成立信号「ト１」が出力されているときにはｒ　ｌ−
Ｉ　Ｊ信号（カウンタクリア解除指令信号）が、また１
つでム不成立信号（「Ｌ」信号）が出力されているとき
にはｒＬＪ信号（カウンタクリア指令信号）が、アップ
カウンター７のクリア端子に与えられる。

したがって、各比較回路６２〜６５での比較結果が全て
成立しているとき、すなわち実測スルーホール径が許容
範囲にあるときには、カウンター７は次のピクセルクロ
ッツクで「１」だｔｉｔカウンタアップされ、これによ
り飛び先アドレスの次の番地に対応づけられた径判定デ
ータＱが各比較回路６２〜６５の他方の入力端子にそれ
ぞれ入ノ〕される。このとき、各比較回路６２〜６５の
一方の入力端子には、次の実測スルーホール径データ「
が入力されてくるため、これらのデータを用いて各比較
回路６２〜６５において上記と同様の比較判定処理がな
される。

こうして、比較回路６２〜６５による全ての比較結果が
成立を続ける限り、カウンタ１７は歩進を続けてパター
ンデータメモリ１６から新たな径比較データｑが比較回
路６２〜６５に順次送り込まれ、これらの径比較データ
と順次送られてくる実測スルーホール径データとの比較
処理が続けられる。

実測スルーホール径が許容範囲内にあって、径比較処理
が第１２図に示すエンドゾーンまで進むと、パターンデ
ータメモリ９から読み出される第１５ビツト図のエンド
ゾーンデータ（第１１図。

第１３図参照）が「０」から「１」に切り変わり、エン
ドゾーンデータｔとしてｒＨＪ信号が第１４図に示すア
ンドゲート６７の一方の入力端子に与えられる。そして
、このエンドゾーンの範囲内においてスルーホールイメ
ージが終端位置に達するとくこの場合は、スルーホール
イメージがマスキング対象のスルーホールに該当してい
る）、アンドゲート６７の他方の入力端子に与えられて
いるスルーホール検出信号【」（スルーホール検出信号
Ｃを第１のｄ延回路１４により２５６画素分遅延させた
信号）が「Ｌ」からｒＨＪに立上り、これによりアンド
ゲート６７から「１１」信号が出力されて、ナントゲー
ト６９の一方の入力端子に入力されるとともに、ラッチ
回路６８にラッチされる。７同時に、ラッチ回路６８に
ラッチされていた１つ前のデータｒＬＪに基づき、ラッ
チ回路６８のＱ端子からｒ　ｌ−Ｉ　Ｊ信号がノーンド
グ−トロ９の他方の入力端子に与えられ、これによりナ
ントゲート６つの出力信号は「Ｈ」から「［」にＶＪ換
わる。次のビクセルクロックでは、ラッチ回路６Ｂにラ
ッチされている「１」」のデータに基づぎｂ端子からｒ
ＬＪ信号がナントゲート６９に与えられるため、ナント
ゲート６９の出力信号は再び「１１」に戻る。

こうして、全ての実測スルーホール径が許容範囲内にあ
れば、そのスルーホールイメージに対する全ての径比較
処理が終了したときに、１パルス幅のパターン一致信号
りが径判定回路１５から出力されることとなる。

これに対し、径比較処理の途中で比較回路６２〜６５の
比較結果に一部でも不成立の比較結果が生じると（この
場合は、スルーホールイメージでないか、又は欠陥のあ
るスルーホール）、アンドグー！−６６から「Ｌ」信号
（カウンタクリア指令信号）が出力されて、カウンタ１
７のカウント（直が「０」にクリアされる。これにより
、次のビクセルク１」ツクでパターンデータメモリ１６
から径比較データとしてアドレスｒＯＪに対応づけられ
たデータ、すなわちこの実施例では第１３図に示すよう
に「０」のデータが比較回路６２〜６５に読み出され、
比較回路６２〜６５による比較結果は引き続き不成立と
なる。こうして、カウンタ１７はスルーホールイメージ
に対する全ての径比較処理が終了するまでクリア状態に
保たれ、したがってその間エンドゾーン信号は「０」　
（第１３図のアドレス［０］に対応づけられた径比較デ
ータを参照）に保たれて、径判定回路１５からパターン
一致信号りが出力されることはない。

３、マスクデータ作成手段Ｍ （１）　　マスクデータメモリ２０ まず、マスクデータメモリ２０のメモリ内容について説
明する。このメモリ２０にはマスクデータ作成のために
必要なデータがストアされている。

０Ｔ１５図はマスクデータメモリ２０のデータ構成を示
している。

第７ビツト目のマスク終了フラグβは、マスク処理の終
了を示すためのフラグであり、マスク処理期間には「１
」のデータが対応づけられ、非マスク処理期間には「０
」のデータが対応づけられている。

第６および第５ビツト目のマスク機能データαは、マス
ク非処理指令と、３種類のマスク処理指令を与えるため
のデータである。第１表にマスク機能データαとマスク
機能との関係を示す。。

第１表 ここで上記マスク機能の目的を概念的に説明すると、処
理■の反転マスク指令は、実イメージと同一サイズのス
ルーホールマスクイメージを作成することを目的とする
。また、処理■の所定径マスク指令は、実イメージより
も少し大さな円形のスルーホールマスクイメージを作成
することを目的とする。さらに処理■のランド残り幅加
算マスク指令は、実イメージの周辺部に所定幅（ランド
残り幅）だけ加算されたスルーホールマスクイメージを
作成することを目的とする。そして、処理ＩＶのマスク
非処理指令は、スルーホールマスクイメージが作成され
ないようにすることを目的とする。

第１５図に示す第４から第５ビツト目のマスクデータθ
は、上記マスク機能（各処理１〜ＩＶ　）によってデー
タ内容が異なる。第２表に各処理１〜１ｖとデータ内容
との関係を示す。

第１６図は、処理■（所定径マスク指令）に対応するマ
スクデータθのメ［り内容を模式的に示した図である。

同図において、Ｘ方向は主走査方向に対応し、Ｙ方向は
副走査方向に対応する。図中Ｙ、がマスクデータθを表
しており、このマスクデータＹ・は、最大許容直径にラ
ンド残り幅を囃 加えた直径の円イメージのＹ軸方向上の半径寸法ｆｉａ
（画素数に換ねされた寸法値）に相当する。これらのＸ
方向（主走査方向）に沿って配列されるマスクデータＹ
・が、マスクデータθとしてマスクデータメ［す２０内
に順次アドレス順にストアされ、その先頭アドレスが既
）ホのスルーホールの種類に応じた飛び先アドレスに対
応づけられている。

第１７図は、処理■（ランド残り幅加算マスク指令）に
対応するマスクデータθのメモリ内容を模式的に示した
図である。Ｘ軸、Ｙ軸は第１６図の場合と同様に定義さ
れる。同図（ａ）にＪ３いて、Ｙ、がマスクデータ０を
表している。このマスク囃 データＹ、は、同図（ｂ）に示す基準スルーホールの半
円イメージＢと、そのイメージＢにランド残り幅を加え
Ｉζ直（Ｙの半円イメージＣとを想定して、Ｙ軸方向上
の半円イメージＣの寸法値から、同じくＹ軸方向上の半
円イメージＢの寸法値を差し引いたｌｌＩ′ｊ（画素数
に換ｎされた値）に相当Ｊる。これらのＸ方＋６ｊ（主
走査方向）に沿って配列されたマスクデータＹ・が、マ
スクデータθとしてマス＄ 少データメモリ２０内に順次アドレス順にストアされ、
その先頭アドレスが既述のスルーホールの種類に応じた
飛び先アドレスに対応づけられている。

第１８図にマスクデータメモリ２０内にストアされてい
るデータの一部詳細を示しておく。同図から６分るよう
に、各処理１〜ＩＶの先頭アドレスは、パターンデーモ
ス七り１６の飛び先アドレスと同じアドレスとなってい
る。すなわちこの実施例では、スルーホールの種類に応
じてマスク機能つまりマスク処理（１〜ｍ）が予め決め
られている。なＪ３、第７ビット図のマスク終了フラグ
βは、処理■の場合には全てのアドレスに「１」がスト
アされ、処理■、■の場合にはマスクデータの値が存在
Ｊる（「０」でない）アドレスに「１」のデータが、他
のアドレスに１０」のデータがそれぞれストアされてい
る。

（２）　　マスクデータ作成処理 第１９図は、マスクデータ作成回路Ｍの主要部、ずなわ
ちマスクデータ作成回路１９とその周辺部の回路詳細図
を示す。同図と第３図を用いて、次にマスクデータ作成
処理の動作を説明する。この場合、マスク機能に応じて
動作が異なるため、各場合に分けて動作説明を行う。

■　処理■（反転マスク指令）の場合 前述のラッチ回路２３（第３図）にラップされた飛び先
アドレスデータは、径判定回路１５（第３図）からパタ
ーン一致信号りが出力されると、その信号りがＦＩＦＯ
２２のシフトイン端子（占ぎ込み端子）に入力されるこ
とにより、ＦＩＦＯ２２に読み込まれる。

この後、第３図に示す第２の遅延回路１８により、スル
ーホールイメージ始端位置の実測スルーホール径データ
ｉが、マスクデータ作成回路１９に入力されると、その
実測スルーホール径データｉは、第１９図に示ずように
上部半径データ１１と下部データ１２に分かれて、加ｎ
回路７０，７１のＡ端子にそれぞれ入力される。

一方、上記タイミングに会わせて、タイミングアドレス
コントローラ１１（第３図）からマスクデータ作成処理
開始信号ｐがＦＩＦＯ２２のシフトアウト端子（読み出
し端子）に入力されるとともに、アップカウンタ２１の
ロード端子に入力される。これによりＦＩＦＯ２２にラ
ッチされていた飛び先アドレスデータがカウンタ２１に
プリセットされ、そのプリセットデータＷ（飛び先アド
レスデータ）がマスクデータメ［す２０（第３図）に与
えられて、飛び先アドレスデータに対応づけられたマス
ク処理データα、β、θがマスクデータメモリ２０から
読み出されることとなる。

ここでは、処理■（反転マスク指令）の場合を想定して
いるので、マスク機能データαとして「１」「１」のデ
ータが（第１表、第１８図参照）第１９図に示寸加ｎ回
路７０．７１の機能選択端子に入力される。加ｐ回路７
０．７１は、その機能選択端子にＩｌｌ　　ｒＩＪのデ
ータが入力されたときは、Ａ端子の入力端子のみを出力
するように構成されており、したがって実測スルーホー
ル径データ！、ｆ２がそのまま次段のラッチ回路７２に
送られる。一方、マスク機能データαは回路７３を経て
ラップ−回路７２のクリア端子に５送られる。いま、マ
スク機能データαはＮＪ　ｒｌＪが与えられているため
、ラッチ回路７２のクリア端子には「ト１」信号（クリ
ア解除信号）が入力される。したがって、クツ１回路７
２に送られた実測スルーホール径データｉは、次のクロ
ックパルスでそのまま次段のデコーダ２４（第３図）に
送られることとなる。

ところで、第６および第５ビツト目のマスク機能データ
αが上記のようにマスクデータ作成回路１９に入力され
る一方で、第７ビツト目のマスク終了フラグβがカウン
タ２１のクリア端子に同時に入力される。ここではマス
ク終了フラグβとして「１Ｊ　（第１８図の処理Ｉの欄
参照）が与えられているので、次のピクセルクロックで
カウンタ２１は「１」だｔノカウントアップされる。

このカウントアツプにより、飛び先アドレスの次の番地
のデータがパターンマスクメモリ２０から読み出され、
このデータは前回のデータと同じであるので（第１８図
の処理■の欄参照）前回と同様のマスクデータ作成処理
が行なわれる。すなわち、実測スルーホール径データｉ
がそのままスルーホール径マスクデータｊとしてデコー
ダ２４に出力される。以下同様にして、実測スルーホー
ル径データｉがマスクデータ作成回路１９に入力される
毎に同一サイズのスルーホール径マスクデータが順次作
成されてデコーダ２４へ出力されていく。このようにし
て、実イメージと同一リーイズのスルーホールマスクイ
メージが作成されることとなる。

■　処理■（所定径マスク指令）の場合処理■の処Ｌ’
ｌ　Ｉに対する相違点として、第６および第５ビツト目
のマスク機能データαが「１」［１］ではなくｒｌＪｒ
ＯＪとなっている点が掲げられる（第１８図の処理■の
欄参照）。このマスク機能データαとしてｒｌ、ＭＯＪ
が第１９図に示す加算回路７０．７１の機能選択端子に
入力されると、加算回路７０．７１はＡ端子ではなく８
端子に入力された信号をラッチ回路７２へ出力するよう
に切換えられる。ところで、ラッチ回路７０．７１の８
端子には、マスクデータメモリ２０にストアされている
第４〜第Ｏビツト目のマスクデータθが入力されるため
、マスクデータ作成回路１９により作成されるスルーホ
ールマスクイメージは、マスクデータメモリ２０から順
次読み出されるマスクデータθにより特定される円イメ
ージ、すなわち実測スルーホールイメージよりは少し径
の大きな所定径の円イメージとなる。

なお、実イメージとのタイミングを合わせるために、マ
スクデータメモリ２０からのデータ読み出しを、処理Ｉ
の場合よりもランド残り幅だけ早くする必要がある。そ
のため、この実施例では、そのランド残り幅に相当する
データをシフトデータとしてパターンデータメモリ１６
の対応するエリアにストアしておき（第１３図における
第１４〜第１０ビツトのデータし。参照）、径比較ｌａ
理の際に対応するシフトデータし。をアドレスコントロ
ーラ１１に送って、処理工の場合よりもランド残り幅だ
け早いタイミングでマスクデータ作成信号ｐを出力させ
ている（詳細は既述のアドレスコントローラ１１の説明
の欄を参照）。その他の動作は処理Ｉと同様である。

■　処Ｉ！１！ＩＩＩ（ランド残り幅加算マスク指令）
の場合、 処理■の処理■に対する相違点として、第６および第５
ビツト目のマスク機能データαが「１」「０」ではなく
ｒＯＪｒＩＪとなっている点が掲げられる（第１８図の
処理■の欄参照）。このマスク機能データαとして「０
」　「１」が第１９図に示す加算回路７０．７１の＾能
選択端子に入力されると、加ｎ回路７０．７１はＡ端子
に入力される実測スルーホール径データｉ　、ｉ　と、
７スフパターンメモリ２０から読み出されるマスクデー
タθとを加算して、その加算したデータをラッチ回路７
２に出力するように切換えられる。ここで、マスクパタ
ーンメモリ２０から順次読み出されるマスクデータθは
、ランド残り幅として加算すべきデータであるため、マ
スクデータ作成回路１９により作成されるスルーホール
マスクイメージは、実イメージの周辺部にランド残り幅
を加算したスルーホールマスクイメージとなる。その他
の動作は処理■の場合と同様である。

■処理ＩＶ　（非処理マスク指令）の場合径判定回路１
５（第３図）からパターン一致信号りが出力されなかっ
たときは、カウンタ２１のカウント（直は「０」となっ
ており、マスクデータメ１す２０からはマスク機能デー
タαとして「０」１“ＯＪのデータがマスクデータ作成
回路１９に与えられる（第１８図の処理ＩＶのＩＩ！Ｉ
参照）。このｒＯＪ　　ｒＯＪのマスク機能データαは
、第１９図に示すアンドゲート７３に与えられて、デー
タクリア指令（「Ｌ」信号）がラッチ回路７２のクリア
端子に入力され、これによりラッチ回路７２からはｒＯ
Ｊのデータが出力されることとなる。すなわち、処理Ｉ
Ｖの場合には、スルーホールマスクイメージの作成がな
されることはない。

なお、マスクデータ作成回路後に行なわれるマスク処理
については、マスキング原理の欄で既に説明したので、
ここではその説明を省略することとする。

Ｄ、実施例の効果 以上のように、この実施例では、スルーホールパターン
を自動的に検出してマスキングすることができるため、
スルーホールの存在ブる被検査物のパターンマツチング
法による欠陥検査が可能と４Ｔる。この場合、面積判定
回路８にＪ３いてスルーホールのタイプ分けを行うため
、複数種類のスルーホールに対するマスク処理が可能と
なる。また、マスクデータ作成回路１９にＪ３いては、
マスクデータメモリ２０から与えられるマスク処理デー
タに基づいて、スルーホールの種類に応じた３種類のマ
スク処理を行なえる。しかも、プレジレッジアドレスに
より対応づけられる前縁処理区間と後縁処理区間を設け
てメモリ１６．２０の飛び先アドレスを決定するように
したため、上記区間におけるスルーホールの欠番′Ｊだ
イメージに対してもマスク処理を行なえる。

（発明の効果） 以上のように、この発明のパータンマスキング方法Ｊ３
よびその５ｌｉｉ置によれば、スルーホールパターンを
自動的に検出してマスキングすることができるため、ス
ルーホールの存在する被検査物のパターンマツチング法
による検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のマスキング原理を概念的に示した図
、第２図はそのマスキング手順を示したタイムチレート
、第３図はマスキング装置の一例を示したブ■ツク図、
第４図はＣＯＤ走査幅に対するプレン１１ツジアドレス
の対応づｔノを説明するための図、第５図はプレジャッ
ジメモリの概略的なメモリ内容を示した図、第６図はブ
レジｔｌツジメｔりの面積値データの一部詳細を示した
図、第７図はブレン１？ツジメモリの飛び先アドレスデ
ータの一部詳細を示した図、第８図はタイミングアドレ
スコントローラの詳細回路図、第９図は面積判定回路の
詳細回路図、第１０図はタイミングアドレスコントロー
ラの詳細回路図、第１１図はパターンデータメモリのデ
ータｌｌｌ１成を示す図、第１２図はパターンデータメ
モリのメモリ内容説明図、第１３図はパターンデータメ
モリの詳１１Ｉ説明図、第１４図は径判定手段の主要部
を示す詳細回路図、第１５図はマスクデータメモリのデ
ータ構成を示す図、第１６図はマスク処理■に対応する
マスクデータのメモリ内容説明図、第１７図はマスク処
ｙｆ！ｍに対応するマスクデータのメモリ内容説明図、
第１８図はマスクデータメモリの訂ｍ説明図、第１９図
はマスクデータ作成手段の主要部の回路詳細図である。 ５・・・画像データ作成回路、 ６・・・エンコーダ（径測定手段）、 ７・・・マスク処理回路、　　８・・・面積判定回路、
９・・・ブレジ１１ツジメ七り、 １０．１１・・・タイミングアドレスコント［１−ラ、
１４・・・第１の遅延回路、　１５・・・径判定回路、
１６・・・パターンデータメモリ、 １８・・・第２の遅延回路、 １９・・・マスクデータ作成回路、 ２０・・・マスクデータメモリ、 Ｋ・・・面積判定手段、　　　Ｌ・・・径判定手段、Ｍ
・・・マスクデータ作成手段

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. （１）スルーホールを有する被検査物の２値化画像デー
   タを主走査方向に沿って時系列的に入力して、副走査方
   向に配置される複数画素分の２値化画像データ群を順次
   作成する画像データ作成工程と、 作成された前記２値化画像データ群の中央画素位置から
   副走査方向に連続するスルーホールデータに基づいてス
   ルーホール径を測定する径測定工程と、 測定したスルーホール径を主走査方向順に順次累積加算
   してスルーホール面積を算出し、算出したスルーホール
   面積を最大許容面積値および最小許容面積値と比較して
   許容範囲に含まれるか判定する面積判定工程と、 算出したスルーホール面積が許容範囲にあると判定され
   たときに、実測スルーホール径を主走査方向順に最大許
   容径および最小許容径と順次比較して許容範囲に含まれ
   るか判定する径判定工程と、全ての実測スルーホール径
   が許容範囲にあると判定されたときに、各実測スルーホ
   ール径に対応したスルーホール径マスクデータを主走査
   方向順に順次作成するマスクデータ作成工程と、 前記スルーホール径マスクデータに基づき、前記被検査
   物の副走査方向に配置される２値化画像データ群に対し
   順次マスク処理するマスク処理工程とを含む、パターン
   マスキング方法。
2. （２）面積判定工程は、算出したスルーホール面積を、
   径の異なる複数種類のスルーホールに対応した最大許容
   面積値および最小許容面積値と順次比較して、その比較
   結果からスルーホールのタイプ分けを行う工程を含む特
   許請求の範囲第１項記載のパターンマスキング方法。
3. （３）面積判定工程は、一主走査区間の両端に前縁処理
   区間と後縁処理区間を想定し、前縁処理区間においては
   、主走査ライン上のスルーホール終了位置を検出してそ
   の位置に対応する最大許容面積値および最小許容面積値
   との比較を行うとともに、後縁処理区間においては、主
   走査ライン上のスルーホール開始位置を検出してその位
   置に対応する最大許容面積値および最小許容面積値との
   比較を行う工程を含む特許請求の範囲第１項または第２
   項記載のパターンマスキング方法。
4. （４）マスクデータ作成工程は、実測スルーホール径と
   同一径のスルーホール径マスクデータを作成する工程を
   含む特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
   載のパターンマスキング方法。
5. （５）マスクデータ作成工程は、実測スルーホール径の
   周辺に所要寸法だけ加算されたスルーホール径マスクデ
   ータを作成する工程を含む特許請求の範囲第１項ないし
   第３項のいずれかに記載のパターンマスキング方法。
6. （６）マスクデータ作成工程は、実測スルーホール径よ
   りも大きな所定径のスルーホール径マスクデータを作成
   する工程を含む特許請求の範囲第１項ないし第３項のい
   ずれかに記載のパターンマスキング方法。
7. （７）スルーホールを有する被検査物の２値化画像デー
   タを主走査方向に沿って時系列的に入力して、副走査方
   向に配置される複数画素分の２値化画像データ群を順次
   作成する画像データ作成手段と、 作成された前記２値化画像データ群の中央画素位置から
   副走査方向に連続するスルーホールデータに基づいてス
   ルーホール径を測定する径測定手段と、 測定したスルーホール径を主走査方向順に順次累積加算
   してスルーホール面積を算出し、算出したスルーホール
   面積を最大許容面積値および最小許容面積値と比較して
   許容範囲に含まれるか判定する面積判定手段と、 算出したスルーホール面積が許容範囲にあると判定され
   たときに、実測スルーホール径を主走査方向順に最大許
   容径および最小許容径と順次比較して許容範囲に含まれ
   るか判定する径判定手段と、全ての実測スルーホール径
   が許容範囲にあると判定されたときに、各実測スルーホ
   ール径に対応したスルーホール径マスクデータを主走査
   方向順に順次作成するマスクデータ作成手段と、 前記スルーホール径マスクデータに基づき、前記被検査
   物の副走査方向に配置される２値化画像データ群に対し
   順次マスク処理するマスク処理手段を備えた、パターン
   マスキング装置。
8. （８）面積判定手段は、 基準スルーホールに対する最大許容面積値データおよび
   最小許容面積値データがストアされるとともに、基準ス
   ルーホールに応じて対応づけられたタイプアドレスに飛
   び先アドレスデータがストアされたプレジャッジメモリ
   と、 前記プレジヤッジメモリにストアされているデータを読
   み出すための第１のデータ読み出し手段と、 実測スルーホール径を順次累積加算してスルーホール面
   積を算出し、算出したスルーホール面積を、前記プレジ
   ャッジメモリから読み出された最大許容面積値データお
   よび最小許容面積値データと大小比較して、その比較結
   果に応じたタイプアドレスデータを前記プレジャッジメ
   モリに与える面積判定回路を含む特許請求の範囲第７項
   記載のパターンマスキング装置。
9. （９）プレジャッジメモリは、複数種類の基準スルーホ
   ールに応じた面積値データをそれぞれストアするととも
   に、各種基準スルーホールに応じて対応づけられたタイ
   プアドレスに飛び先アドレスデータをそれぞれストアし
   、 面積判定回路は、前記プレジャッジメモリから順次読み
   出される面積値データを算出スルーホール面積値と大小
   比較して、その比較結果に応じたタイプアドレスデータ
   を前記プレジャッジメモリに与える特許請求の範囲第８
   項記載のパターンマスキング装置。
10. （１０）プレジャッジメモリは、一主走査区間の各走査
    位置に対応ずけられたプレジャッジアドレスに応じて、
    面積値データと、飛び先アドレスデータをストアし、 面積判定回路は、前記一主走査区間における前縁処理区
    間および通常処理区間においては、スルーホール終了位
    置のプレジャッジアドレスに対応する面積値データとの
    比較を行うとともに、後縁処理区間においては、スルー
    ホール開始位置のプレジャッジアドレスに対応する面積
    値データとの比較を行い、その比較結果に応じたタイプ
    アドレスデータを前記プレジャッジメモリに与える特許
    請求の範囲第８項または第９項記載のパターンマスキン
    グ装置。
11. （１１）径判定手段は、 基準スルーホールの主走査方向順に配置される最大許容
    スルーホール径データおよび最小許容スルーホール径デ
    ータが、飛び先アドレスを先頭アドレスとしてアドレス
    順にストアされたパターンデータメモリと、 径測定手段により計測されたスルーホール径データを所
    定画素分だけ遅延するための第１の遅延回路と、 前記パターンデータメモリにストアされているデータを
    前記第１の遅延回路の遅延分に同期させて飛び先アドレ
    スからアドレス順に読み出すための第２のデータ読み出
    し手段と、 前記第１の遅延回路から出力される実測スルーホール径
    データを、前記パターンデータメモリから読み出される
    最大許容径スルーホールデータおよび最小許容スルーホ
    ールデータと順次大小比較して、全ての実測スルーホー
    ル径データが許容範囲にあるときにパターン一致信号を
    出力する径判定回路を含む特許請求の範囲第７項ないし
    第１０項のいずれかに記載のパターンマスキング装置。
12. （１２）マスクデータ作成手段は、 マスクデータとマスク機能データが対応ずけてストアさ
    れたマスクデータメモリと、 径測定手段により計測されたスルーホール径データを一
    主走査ライン分だけ遅延するための第２の遅延回路と、 マスクデータメモリにストアされているデータを前記第
    ２の遅延回路の遅延分に周期させて読み出すための第３
    のデータ読み出し手段と、 前記第２の遅延回路から出力される実測スルーホール径
    データと、前記マスクデータメモリから読み出されるマ
    スクデータを用いて、マスク機能データに応じたスルー
    ホール径マスクデータを順次作成するマスクデータ作成
    回路を含む特許請求の範囲第７項記載のパターンマスキ
    ング装置。