JPH0435684B2 - - Google Patents
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- JPH0435684B2 JPH0435684B2 JP61142940A JP14294086A JPH0435684B2 JP H0435684 B2 JPH0435684 B2 JP H0435684B2 JP 61142940 A JP61142940 A JP 61142940A JP 14294086 A JP14294086 A JP 14294086A JP H0435684 B2 JPH0435684 B2 JP H0435684B2
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は第一の発明として、プリント板等の配
線パターンの二値化データの各パターン中心位置
に放射状測長センサを置き、各放射方向及び長さ
データの組み合わせからパターン検査を行なうパ
ターン検査装置において、放射角度のずれた放射
状測長センサを複数組用意しておき、各出力値に
従つて最も適切な出力を選択するようにしたパタ
ーン検査装置を提供する。
線パターンの二値化データの各パターン中心位置
に放射状測長センサを置き、各放射方向及び長さ
データの組み合わせからパターン検査を行なうパ
ターン検査装置において、放射角度のずれた放射
状測長センサを複数組用意しておき、各出力値に
従つて最も適切な出力を選択するようにしたパタ
ーン検査装置を提供する。
また第二の発明として、第一の発明と同様に放
射状測長センサを用いたパターン検査装置におい
て、各放射方向毎のセンサ端部の両隣に補助セン
サを配置し、前記放射状センサ又は前記補助セン
サの出力のうち最も適切な出力を選択するように
したパターン検査装置を提供する。
射状測長センサを用いたパターン検査装置におい
て、各放射方向毎のセンサ端部の両隣に補助セン
サを配置し、前記放射状センサ又は前記補助セン
サの出力のうち最も適切な出力を選択するように
したパターン検査装置を提供する。
以上第一又は第二の発明により、異種のプリン
ト板パターンに対して適用範囲が広く、傾斜パタ
ーンに対する欠陥検出精度を向上させた汎用的な
パターン検査装置を実現するものである。
ト板パターンに対して適用範囲が広く、傾斜パタ
ーンに対する欠陥検出精度を向上させた汎用的な
パターン検査装置を実現するものである。
本発明は、プリント板等の配線パターンの二値
化データから欠陥検査を行うパターン検査技術の
うち放射状測長センサを用いた異種のプリント板
パターンに対して適用範囲の広い汎用パターン検
査装置に係り、特に傾斜パターンに対する欠陥検
査精度を向上させたパターン検査装置に関する。
化データから欠陥検査を行うパターン検査技術の
うち放射状測長センサを用いた異種のプリント板
パターンに対して適用範囲の広い汎用パターン検
査装置に係り、特に傾斜パターンに対する欠陥検
査精度を向上させたパターン検査装置に関する。
プリント配線板パターンの良否の検査は、それ
を用いたシステム製品の信頼性向上のために不可
欠の要素となつている。
を用いたシステム製品の信頼性向上のために不可
欠の要素となつている。
従来、このような検査は顕微鏡による目視に頼
つてきたが、パターン形状の複雑化、精密化に伴
い、自動検査技術の開発が望まれている。
つてきたが、パターン形状の複雑化、精密化に伴
い、自動検査技術の開発が望まれている。
現在、プリント板の自動欠陥検査を行う技術と
しては、配線パターンを光学的に読みとり電気信
号に変換した後、二値化を行つて記憶回路に取り
込み、この二値化パターンデータに特定形状の空
間フイルタをかけることにより特徴抽出を行い、
パターン形状の異状を検出する方式がある。この
場合の空間フイルタとは、対象パターンに発生し
うる欠陥形状に等しいもので、この空間フイルタ
と入力パターンに同一部分（重なる部分）がある
かどうかを検査し、これを複数の空間フイルタに
対して行つてその重なり具合を定量的に判定し欠
陥を検出するものである。
しては、配線パターンを光学的に読みとり電気信
号に変換した後、二値化を行つて記憶回路に取り
込み、この二値化パターンデータに特定形状の空
間フイルタをかけることにより特徴抽出を行い、
パターン形状の異状を検出する方式がある。この
場合の空間フイルタとは、対象パターンに発生し
うる欠陥形状に等しいもので、この空間フイルタ
と入力パターンに同一部分（重なる部分）がある
かどうかを検査し、これを複数の空間フイルタに
対して行つてその重なり具合を定量的に判定し欠
陥を検出するものである。
しかし、上記従来例のようなパターン検査装置
は、所定の配線パターン専用の特定形状の空間フ
イルタを用いているため、異種パターンに対して
適用範囲が狭く汎用的でないという問題点を有し
ていた。さらに、上記空間フイルタは２次元形状
を有しているため、各入力パターンに対する空間
フイルタの配置の最適化が難しく、誤判別をしや
すいという問題点を有していた。
は、所定の配線パターン専用の特定形状の空間フ
イルタを用いているため、異種パターンに対して
適用範囲が狭く汎用的でないという問題点を有し
ていた。さらに、上記空間フイルタは２次元形状
を有しているため、各入力パターンに対する空間
フイルタの配置の最適化が難しく、誤判別をしや
すいという問題点を有していた。
上記問題点を除くために本出願人らは、欠陥検
査を行う場合の特徴量として配線パターンの各中
心位置に置いた放射状測長センサからの各放射方
向及び長さデータの組み合わせ情報を用い、これ
により良品パターンに対する辞書の自動作成及び
それに基づく自動欠陥検査を可能にし、異種のプ
リント板パターンに対して適用範囲の広い汎用的
なパターン検査装置を実現した。このパターン検
査装置は、辞書パターンとして特定形状の空間フ
イルタは用いず、各配線パターン位置における各
放射方向及び長さデータのコード化した組み合わ
せを用いているため、異種パターンに対する辞書
作成が容易であり、非常に汎用性が高いという特
徴を有している。
査を行う場合の特徴量として配線パターンの各中
心位置に置いた放射状測長センサからの各放射方
向及び長さデータの組み合わせ情報を用い、これ
により良品パターンに対する辞書の自動作成及び
それに基づく自動欠陥検査を可能にし、異種のプ
リント板パターンに対して適用範囲の広い汎用的
なパターン検査装置を実現した。このパターン検
査装置は、辞書パターンとして特定形状の空間フ
イルタは用いず、各配線パターン位置における各
放射方向及び長さデータのコード化した組み合わ
せを用いているため、異種パターンに対する辞書
作成が容易であり、非常に汎用性が高いという特
徴を有している。
しかし上記パターン検査装置においては、辞書
パターンのコード化を容易に行ないサイズを小さ
くするために、放射状測長センサの放射角度を比
較的あらくとつている（45゜おき程度）。そのた
め、傾斜パターンに対する欠陥検出精度が悪いと
いう問題点を有していた。
パターンのコード化を容易に行ないサイズを小さ
くするために、放射状測長センサの放射角度を比
較的あらくとつている（45゜おき程度）。そのた
め、傾斜パターンに対する欠陥検出精度が悪いと
いう問題点を有していた。
本発明は上記問題点を除くために、測長センサ
の角度設定を細かくとることができ、それにより
傾斜パターンに対する欠陥検出精度を向上させる
ことが可能なパターンン検査装置を提供すること
を目的とする。
の角度設定を細かくとることができ、それにより
傾斜パターンに対する欠陥検出精度を向上させる
ことが可能なパターンン検査装置を提供すること
を目的とする。
本発明は上記問題点を解決するための第一の発
明として、放射角度をずらした複数組の放射状の
測長センサ１１，１２を有する。
明として、放射角度をずらした複数組の放射状の
測長センサ１１，１２を有する。
また第二の発明として、放射状の測長センサ７
１と、該測長センサ７１における各放射方向毎の
センサ端部の両隣に所定間隔をおいて配置された
補助測長センサ７２，７３とを有する。
１と、該測長センサ７１における各放射方向毎の
センサ端部の両隣に所定間隔をおいて配置された
補助測長センサ７２，７３とを有する。
上記第一の発明における手段において、プリン
ト板配線パターンの二値化データの各中心位置に
前記複数組の放射状の測長センサ１１，１２が置
かれ、測長が行なわれる。これにより得られた各
測長センサからの長さデータの組のうち、特にオ
ーバーフローが適切に検出された組を有する測長
センサが選択され、その長さデータの組が出力さ
れコード化される。これにより、傾斜パターン付
近での欠陥検出コードの誤差を減少させることが
できる。
ト板配線パターンの二値化データの各中心位置に
前記複数組の放射状の測長センサ１１，１２が置
かれ、測長が行なわれる。これにより得られた各
測長センサからの長さデータの組のうち、特にオ
ーバーフローが適切に検出された組を有する測長
センサが選択され、その長さデータの組が出力さ
れコード化される。これにより、傾斜パターン付
近での欠陥検出コードの誤差を減少させることが
できる。
また第二の発明における手段において、第一の
発明の場合と同様に放射状の測長センサ７１が置
かれ、測長が行なわれるが、この時同時に補助測
長センサ７２，７３による測長も行なわれる。そ
して、各放射方向毎に前記測長センサ７１又は前
記補助測長センサ７２，７３からの長さデータ出
力のうち、特にオーバーフローを示すデータが優
先的に選択されコード化される。これにより、第
一の発明と同様に傾斜パターン付近での欠陥検出
コードの精度を向上させることができる。
発明の場合と同様に放射状の測長センサ７１が置
かれ、測長が行なわれるが、この時同時に補助測
長センサ７２，７３による測長も行なわれる。そ
して、各放射方向毎に前記測長センサ７１又は前
記補助測長センサ７２，７３からの長さデータ出
力のうち、特にオーバーフローを示すデータが優
先的に選択されコード化される。これにより、第
一の発明と同様に傾斜パターン付近での欠陥検出
コードの精度を向上させることができる。
以下、本発明の実施例につき詳細に説明を行
う。
う。
｛第一の発明によるパターン検査装置の構成（第
１図〜第３図ａ，ｂ）｝ まず、第２図は、本発明によるパターン検査装
置の第一の発明における全体の構成図である。レ
ンズ２５およびCCD２６からなるラインセンサ
が被検査試料２４を走査することにより、該試料
上の配線パターンが電気信号に変換される。この
信号は二値化回路２７により二値化された後、記
憶回路２８に格納される。記憶回路２８の出力は
測長回路２１に送られ、測長回路２１の出力は参
照辞書記憶回路２３又は比較判定回路２２に送ら
れる。比較判定回路２２は測長回路２１からのデ
ータと参照辞書記憶回路２３の内容との比較を行
い、欠陥検出結果の出力２９として出力する。
１図〜第３図ａ，ｂ）｝ まず、第２図は、本発明によるパターン検査装
置の第一の発明における全体の構成図である。レ
ンズ２５およびCCD２６からなるラインセンサ
が被検査試料２４を走査することにより、該試料
上の配線パターンが電気信号に変換される。この
信号は二値化回路２７により二値化された後、記
憶回路２８に格納される。記憶回路２８の出力は
測長回路２１に送られ、測長回路２１の出力は参
照辞書記憶回路２３又は比較判定回路２２に送ら
れる。比較判定回路２２は測長回路２１からのデ
ータと参照辞書記憶回路２３の内容との比較を行
い、欠陥検出結果の出力２９として出力する。
次に、第３図ａは本発明の基本となる測長セン
サの構成説明図である。測長センサは第３図ａに
示すような放射状のビツトメモリセルにより形成
されるゲート回路を有しており、これが入力パタ
ーンの各方向の測長を行う測長センサとなる。こ
の測長センサは第３図ｂに示すような16方向に対
して、同図ａに示すように、中心ビツトＸからな
る放射状に伸びるデイジタル直線によつて形成さ
れ、各ビツトには同図ａに例として示すように中
心ビツトＸからのビツト距離が割り当てられてい
る。ここで同じ位置に黒マークがついているビツ
トは、同一直線上にあることを示している。本発
明の論理ではこの測長センサにより、パターン各
位置における各方向の長さの特徴を捉え、欠陥診
断を行つているため測長センサの形状は入力パタ
ーンの形状に対して全く独立であるという特徴を
有する。
サの構成説明図である。測長センサは第３図ａに
示すような放射状のビツトメモリセルにより形成
されるゲート回路を有しており、これが入力パタ
ーンの各方向の測長を行う測長センサとなる。こ
の測長センサは第３図ｂに示すような16方向に対
して、同図ａに示すように、中心ビツトＸからな
る放射状に伸びるデイジタル直線によつて形成さ
れ、各ビツトには同図ａに例として示すように中
心ビツトＸからのビツト距離が割り当てられてい
る。ここで同じ位置に黒マークがついているビツ
トは、同一直線上にあることを示している。本発
明の論理ではこの測長センサにより、パターン各
位置における各方向の長さの特徴を捉え、欠陥診
断を行つているため測長センサの形状は入力パタ
ーンの形状に対して全く独立であるという特徴を
有する。
第１図は、第３図ａの測長センサを実際に用い
る場合の具体的な形態を示した構成図である。第
３図ａの測長センサはａ方向のビツトメモリセル
を基準に45゜おきに並んだａ，ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，
ｋ，ｍ，ｐ方向のビツトメモリセルからなる第一
の測長センサ１１と、ｂ方向のビツトメモリセル
を基準に同じく45゜おきに並んだｂ，ｄ，ｆ，ｈ，
ｊ，ｌ，ｍ，ｒ方向のビツトメモリセルからなる
第二の測長センサ１２とに分けて用いられる。従
つて、第一の測長センサ１１と第二の測長センサ
１２とは互いに22.5゜ずれていることになる。こ
こで、第一の測長センサ１１を45゜系センサ、第
二の測長センサ１２を22.5゜系センサと呼ぶ。
る場合の具体的な形態を示した構成図である。第
３図ａの測長センサはａ方向のビツトメモリセル
を基準に45゜おきに並んだａ，ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，
ｋ，ｍ，ｐ方向のビツトメモリセルからなる第一
の測長センサ１１と、ｂ方向のビツトメモリセル
を基準に同じく45゜おきに並んだｂ，ｄ，ｆ，ｈ，
ｊ，ｌ，ｍ，ｒ方向のビツトメモリセルからなる
第二の測長センサ１２とに分けて用いられる。従
つて、第一の測長センサ１１と第二の測長センサ
１２とは互いに22.5゜ずれていることになる。こ
こで、第一の測長センサ１１を45゜系センサ、第
二の測長センサ１２を22.5゜系センサと呼ぶ。
｛パターン検査装置の概略動作（第２図、第３図
ａ，ｂ）｝ 第一の発明の動作について詳細に説明を行う前
に、上記パターン検査装置の概略の動作につき、
説明を行う。まず、第４図は本発明による欠陥検
出動作の説明図である。CCD２６（第２図）に
よつて得られる配線パターンの検知信号Ｓ１は、
二値化回路２７（第２図）により二値化され原バ
イナリパターンに変換されるＳ２。原バイナリパ
ターンは例えば検知信号の明るい部分は“１”、
暗い部分は“０”というように符号化された信号
で、これにより配線パターン部分であるリード部
と周囲の絶縁部分であるランド部とがほぼ分離さ
れる。しかし、実際には二値化が完全でない場合
または、ノイズ等の影響により、部分的に孤立し
て誤つて符号化されてしまうことがあるため、こ
のような小さい孤立ビツトは二値化回路２７内に
おいて原バイナリパターンンを得た後、論理処理
により除去され、記憶回路２８（第２図）に格納
される（Ｓ３）。
ａ，ｂ）｝ 第一の発明の動作について詳細に説明を行う前
に、上記パターン検査装置の概略の動作につき、
説明を行う。まず、第４図は本発明による欠陥検
出動作の説明図である。CCD２６（第２図）に
よつて得られる配線パターンの検知信号Ｓ１は、
二値化回路２７（第２図）により二値化され原バ
イナリパターンに変換されるＳ２。原バイナリパ
ターンは例えば検知信号の明るい部分は“１”、
暗い部分は“０”というように符号化された信号
で、これにより配線パターン部分であるリード部
と周囲の絶縁部分であるランド部とがほぼ分離さ
れる。しかし、実際には二値化が完全でない場合
または、ノイズ等の影響により、部分的に孤立し
て誤つて符号化されてしまうことがあるため、こ
のような小さい孤立ビツトは二値化回路２７内に
おいて原バイナリパターンンを得た後、論理処理
により除去され、記憶回路２８（第２図）に格納
される（Ｓ３）。
次に上記前処理によつて記憶回路２８に格納さ
れた二値化パターンデータに対して、配線パター
ン部分であるリード部の検査Ａと、絶縁部分であ
るランド部の検査Ｂとが行われるが、ランド部検
査Ｂは本発明には直接には関連しないため説明を
省略する。リード部検査Ａはビツト反転しないで
行う場合（Ｓ４〜Ｓ８）と、ビツトを反転して行
う場合（Ｓ９〜Ｓ１４）とがあるが、後者につい
ては後述することとし、まずＳ４〜Ｓ８の処理動
作につき簡単に説明を行う。
れた二値化パターンデータに対して、配線パター
ン部分であるリード部の検査Ａと、絶縁部分であ
るランド部の検査Ｂとが行われるが、ランド部検
査Ｂは本発明には直接には関連しないため説明を
省略する。リード部検査Ａはビツト反転しないで
行う場合（Ｓ４〜Ｓ８）と、ビツトを反転して行
う場合（Ｓ９〜Ｓ１４）とがあるが、後者につい
ては後述することとし、まずＳ４〜Ｓ８の処理動
作につき簡単に説明を行う。
記憶回路２８に格納されている二値化パターン
データは測長回路２１に送られ、まずリード部中
心検出Ｓ４が行われる。これは配線パターンであ
るリード部の幅方向の中心位置（第６図参照）を
見つけるための処理であり、第３図ａで説明した
測長センサの全てのビツトメモリセルを用いて行
う。そのために特願昭61−107407において述べた
ように、まず記憶回路２８からの二値化パターン
データのうち、リード部の各ビツト位置（例えば
“１”で表わされるビツト位置）に前記測長セン
サの中心ビツトＸを合わせ、各16方向毎に中心ビ
ツトＸから最初のビツト転換点（“１”から“０”
に変化するビツト）までのビツト距離を検出す
る。今、各方向ａ，ｂ，ｃ……、ｒの16本のセン
サによる各測長値を各々r1，r2，……r16とした
時、各方向の測長値が以下に示す(1)〜(3)式の関係
を全て同時に満たす時に、その方向について中心
条件が成立したと判定する。
データは測長回路２１に送られ、まずリード部中
心検出Ｓ４が行われる。これは配線パターンであ
るリード部の幅方向の中心位置（第６図参照）を
見つけるための処理であり、第３図ａで説明した
測長センサの全てのビツトメモリセルを用いて行
う。そのために特願昭61−107407において述べた
ように、まず記憶回路２８からの二値化パターン
データのうち、リード部の各ビツト位置（例えば
“１”で表わされるビツト位置）に前記測長セン
サの中心ビツトＸを合わせ、各16方向毎に中心ビ
ツトＸから最初のビツト転換点（“１”から“０”
に変化するビツト）までのビツト距離を検出す
る。今、各方向ａ，ｂ，ｃ……、ｒの16本のセン
サによる各測長値を各々r1，r2，……r16とした
時、各方向の測長値が以下に示す(1)〜(3)式の関係
を全て同時に満たす時に、その方向について中心
条件が成立したと判定する。
｜ro−ro+B｜≦Cngo ……(1)
rn≦Snax ……(2)
ro+B≦Snax ……(3)
ここで、Cngoは180゜方向が異なる測長値の差に
対するマージンであり、Snaxは測長可能な最大
値、すなわちセンサ長であり、第３図の場合16で
ある。今、中心ビツトＸがリード部の中心にある
場合には、互いに180゜異なる方向の測定値はほぼ
同じ値になり上記中心条件を満たしている。そし
て、上記中心条件を満たす各方向に対して、さら
に以下(4)式を満たす時に測長センサの中心ビツト
Ｘが示す位置がリード部中心と判定される。
対するマージンであり、Snaxは測長可能な最大
値、すなわちセンサ長であり、第３図の場合16で
ある。今、中心ビツトＸがリード部の中心にある
場合には、互いに180゜異なる方向の測定値はほぼ
同じ値になり上記中心条件を満たしている。そし
て、上記中心条件を満たす各方向に対して、さら
に以下(4)式を満たす時に測長センサの中心ビツト
Ｘが示す位置がリード部中心と判定される。
（中心条件が成立する方向数）
≧Cpair（Cpair≦８） ……(4)
上記の処理を繰り返すことによりリード部の検
出中心線が決定される。
出中心線が決定される。
次に、以上のようにしてリード部中心が検出さ
れた位置の測長値と方向の組合せを測長回路２１
（第２図）においてコード化する（第４図Ｓ５）。
れた位置の測長値と方向の組合せを測長回路２１
（第２図）においてコード化する（第４図Ｓ５）。
この場合、測長センサは第３図に示したセンサ
と同じものを用いるが、その方向は特願昭61−
107407で述べたように16方向ではなく、第５図に
示すように45゜ずつの４方向に単純化し、その時
の各リード径ｌを、l1，l3，l5，l7とすると、l2o-1
＝r2o-1＋r2o+7−１（ｎ−１〜４） ……(5) として計算を行い、各方向について前記(1)〜(3)式
の中心条件を満たしている場合（PAIR）と満た
していない場合（NON−PAIR）の各場合につ
いて、上記各リード径ｌを第５図及び第６図ａに
示すように各々４段階、計８段階（Ｓ，Ｃ，Ｌ，
Ｏ，NS，NC，NL，NO）と分類してコード化
を行う。
と同じものを用いるが、その方向は特願昭61−
107407で述べたように16方向ではなく、第５図に
示すように45゜ずつの４方向に単純化し、その時
の各リード径ｌを、l1，l3，l5，l7とすると、l2o-1
＝r2o-1＋r2o+7−１（ｎ−１〜４） ……(5) として計算を行い、各方向について前記(1)〜(3)式
の中心条件を満たしている場合（PAIR）と満た
していない場合（NON−PAIR）の各場合につ
いて、上記各リード径ｌを第５図及び第６図ａに
示すように各々４段階、計８段階（Ｓ，Ｃ，Ｌ，
Ｏ，NS，NC，NL，NO）と分類してコード化
を行う。
さらに、このように分類されたコードは、各方
向毎に第６図ｂに示すように０〜７（３ビツト）
の数字でおきかえられ、４方向全てに対して３×
４＝12ビツトの数字コードで表現される。
向毎に第６図ｂに示すように０〜７（３ビツト）
の数字でおきかえられ、４方向全てに対して３×
４＝12ビツトの数字コードで表現される。
以上の処理は、まず複数の良品パターンについ
て行われ、コード化さた方向及び測長データは、
参照辞書記憶回路２３（第２図）に格納され、良
品パターン辞書となる（第４図Ｓ７）。この時、
前記４方向の測長コード12ビツトの数字をアドレ
スとするメモリ位置の値を“１”とすることによ
り辞書が作成される。
て行われ、コード化さた方向及び測長データは、
参照辞書記憶回路２３（第２図）に格納され、良
品パターン辞書となる（第４図Ｓ７）。この時、
前記４方向の測長コード12ビツトの数字をアドレ
スとするメモリ位置の値を“１”とすることによ
り辞書が作成される。
続いて、ある入力パターンに対して前記Ｓ１〜
Ｓ５（第４図）までの処理が同様に行われ、上記
良品パターン辞書との比較が行われて、欠陥検査
が実行され（Ｓ６）、欠陥検出が行われる（Ｓ
８）。
Ｓ５（第４図）までの処理が同様に行われ、上記
良品パターン辞書との比較が行われて、欠陥検査
が実行され（Ｓ６）、欠陥検出が行われる（Ｓ
８）。
以上の動作により、リード部の欠陥検査を行う
ことができるが、隣りあうリード部分が接近して
いる場合には、そのすき間の絶縁部のほうから判
定したほうがよい場合もあるため、入力パターン
のビツトを反転しリード部とランド部を逆として
欠陥検査をを行うことによりさらに精度のよい自
動検査が可能となる。この場合は、第２図の処処
理Ｓ９によつてビツト反転を行つた後、前記Ｓ４
〜Ｓ８の処理と同様にしてＳ１０〜Ｓ１４の欠陥
検査の処理を行えばよい。この場合作成される参
照辞書は、当然ビツト反転パターン専用の辞書と
なる。
ことができるが、隣りあうリード部分が接近して
いる場合には、そのすき間の絶縁部のほうから判
定したほうがよい場合もあるため、入力パターン
のビツトを反転しリード部とランド部を逆として
欠陥検査をを行うことによりさらに精度のよい自
動検査が可能となる。この場合は、第２図の処処
理Ｓ９によつてビツト反転を行つた後、前記Ｓ４
〜Ｓ８の処理と同様にしてＳ１０〜Ｓ１４の欠陥
検査の処理を行えばよい。この場合作成される参
照辞書は、当然ビツト反転パターン専用の辞書と
なる。
｛第一の発明の動作（第１図、第７図、第８図
ａ，ｂ，ｃ）｝ 次に、第一の発明に直接係わる第１図の測長セ
ンサの動作について詳細に説明を行う。第一の発
明は、第２図のパターン検査装置の測長・コード
化動作（第４図Ｓ５）における測長方式に関する
ものである。
ａ，ｂ，ｃ）｝ 次に、第一の発明に直接係わる第１図の測長セ
ンサの動作について詳細に説明を行う。第一の発
明は、第２図のパターン検査装置の測長・コード
化動作（第４図Ｓ５）における測長方式に関する
ものである。
第１図における45゜系センサ１１は特願昭61−
107407に関する第５図において用いた測長センサ
と同様のものである。その基本原理は第８図ａに
示すようにｅ，ｍ方向のパターン長が測長センサ
長より長く測長不可能な場合、センサよりOVF
（オーバーフロー）信号を発生し、このOVF信号
の存在する方向をリード伸長方向としてその直角
方向の線幅を保証しようとするものである。この
ために、辞書作成、検査時に45゜ずつの８方向の
センサ１１（第１図）を用いているのだが、第８
図ｂに示すようにパターン傾斜が、45゜／２付近
であり、かつパターン幅の小さい場合にOVF信
号が検出されず、正常リードパターンと銅残りの
区別が、不可能になるという問題があつた。
107407に関する第５図において用いた測長センサ
と同様のものである。その基本原理は第８図ａに
示すようにｅ，ｍ方向のパターン長が測長センサ
長より長く測長不可能な場合、センサよりOVF
（オーバーフロー）信号を発生し、このOVF信号
の存在する方向をリード伸長方向としてその直角
方向の線幅を保証しようとするものである。この
ために、辞書作成、検査時に45゜ずつの８方向の
センサ１１（第１図）を用いているのだが、第８
図ｂに示すようにパターン傾斜が、45゜／２付近
であり、かつパターン幅の小さい場合にOVF信
号が検出されず、正常リードパターンと銅残りの
区別が、不可能になるという問題があつた。
そこで、第一の発明においては、上記45゜系セ
ンサ１１の他に、22.5゜ずれた22.5゜系センサ１２
を併用し、さらに測長情報、即ちOVF信号の有
無により上記２組のセンサの取捨選択を行い、そ
れによつて検出精度を上げることを可能にしてい
る。
ンサ１１の他に、22.5゜ずれた22.5゜系センサ１２
を併用し、さらに測長情報、即ちOVF信号の有
無により上記２組のセンサの取捨選択を行い、そ
れによつて検出精度を上げることを可能にしてい
る。
第７図は、第一の発明における測長動作フロー
チヤートである。まず、45゜系センサ１１（第１
図）でリード中心からの測長を行う。それによ
り、例えば第８図ａに示すように２つ以上（ｅ，
ｍ方向）のOVF信号が検出されれば45゜系センサ
１１でそのまま測長し、コード化を行う（第７図
Ｔ１→Ｔ４→Ｔ６）。これに対して、第８図ｂに
示すように45゜系センサ１１でOVF信号が検出さ
れなかつた場合、22.5゜系センサ１２（第１図）
で測長を行い、２つ以上（第８図ｂのｄ，ｌ方
向）のOVF信号が検出されれば、22.5゜系センサ
１２を用いて測長しコード化する（第７図Ｔ１→
Ｔ２→Ｔ５→Ｔ６）。さらに、第８図ｃに示すよ
うに45゜系センサ１１でOVF信号が１つ（ｍ方
向）検出され、22.5゜系センサ１２でもOVF信号
が１つ（ｄ方向）検出された場合は、22.5゜系セ
ンサ１２でのOVF信号検知方向に最も近い45゜系
センサ１１の方向（ｅ方向）をOVFとし、45゜系
センサで測長、コード化する（第７図Ｔ１→Ｔ２
→Ｔ３→Ｔ４→Ｔ６）。これは、OVF信号が１つ
しか検出されない場合は、リード端または断線の
場合であるので、第８図ｃのような場合が誤つて
判別されるのを防ぐためである。
チヤートである。まず、45゜系センサ１１（第１
図）でリード中心からの測長を行う。それによ
り、例えば第８図ａに示すように２つ以上（ｅ，
ｍ方向）のOVF信号が検出されれば45゜系センサ
１１でそのまま測長し、コード化を行う（第７図
Ｔ１→Ｔ４→Ｔ６）。これに対して、第８図ｂに
示すように45゜系センサ１１でOVF信号が検出さ
れなかつた場合、22.5゜系センサ１２（第１図）
で測長を行い、２つ以上（第８図ｂのｄ，ｌ方
向）のOVF信号が検出されれば、22.5゜系センサ
１２を用いて測長しコード化する（第７図Ｔ１→
Ｔ２→Ｔ５→Ｔ６）。さらに、第８図ｃに示すよ
うに45゜系センサ１１でOVF信号が１つ（ｍ方
向）検出され、22.5゜系センサ１２でもOVF信号
が１つ（ｄ方向）検出された場合は、22.5゜系セ
ンサ１２でのOVF信号検知方向に最も近い45゜系
センサ１１の方向（ｅ方向）をOVFとし、45゜系
センサで測長、コード化する（第７図Ｔ１→Ｔ２
→Ｔ３→Ｔ４→Ｔ６）。これは、OVF信号が１つ
しか検出されない場合は、リード端または断線の
場合であるので、第８図ｃのような場合が誤つて
判別されるのを防ぐためである。
上記のように、45゜系センサと22.5゜系センサを
OVF信号の検出状況で使い分けることにより、
検出誤差を減らすことが可能となる。
OVF信号の検出状況で使い分けることにより、
検出誤差を減らすことが可能となる。
｛第二の発明の構成（第９図、第１０図）｝
次に、第二の発明の構成につき説明を行う。第
二の発明も、第一の発明と同様に測長センサによ
る測長方式に関する。第９図及び第１０図は、第
二の発明による測長センサの構成図である。主測
長センサとしては、第３図ａの測長センサにおい
て第１図の第一の発明の45゜系センサと同じａ，
ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，ｋ，ｍ，ｐ方向のビツトセルか
らなる測長センサ７１を用い、その各センサ端部
の両隣に所定間隔で２本ずつの補助測長センサ７
２，７３、即ち（a1，a2），（e1，e2），……，
（p1，p2）を配置してある。これらのセンサも主
測長センサ７１（第３図ａ）と同様に、ビツトメ
モリセルをデイジタル直線上に並べたものであ
る。そして、中心部以外では主測長センサ７１と
補助測長センサ７２，７３のビツトメモリセルを
OR論理素子７４で結合し、測長回路７５に接続
される。
二の発明も、第一の発明と同様に測長センサによ
る測長方式に関する。第９図及び第１０図は、第
二の発明による測長センサの構成図である。主測
長センサとしては、第３図ａの測長センサにおい
て第１図の第一の発明の45゜系センサと同じａ，
ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，ｋ，ｍ，ｐ方向のビツトセルか
らなる測長センサ７１を用い、その各センサ端部
の両隣に所定間隔で２本ずつの補助測長センサ７
２，７３、即ち（a1，a2），（e1，e2），……，
（p1，p2）を配置してある。これらのセンサも主
測長センサ７１（第３図ａ）と同様に、ビツトメ
モリセルをデイジタル直線上に並べたものであ
る。そして、中心部以外では主測長センサ７１と
補助測長センサ７２，７３のビツトメモリセルを
OR論理素子７４で結合し、測長回路７５に接続
される。
｛第二の発明の動作（第９図）｝
次に、第二の発明による上記測長センサの動作
について説明を行う。第二の発明も、第一の発明
と同様に第２図のパターン検査装置の測長・コー
ド化動作（第４図Ｓ５）における測長方式に関す
るものであり、その他の動作は第一の発明の場合
と全く同様である。
について説明を行う。第二の発明も、第一の発明
と同様に第２図のパターン検査装置の測長・コー
ド化動作（第４図Ｓ５）における測長方式に関す
るものであり、その他の動作は第一の発明の場合
と全く同様である。
第９図、第１０図の測長センサを測長に用いた
場合、主測長センサ７１と補助測長センサ７２，
７３のうち各方向の測長値の最大のものが該方向
の測長値として出力される。従つて、第１１図に
示すように従来の45゜系センサのみではOVF信号
が検出できなかつたパターンでも、補助測長セン
サ（C2，K2方向）によりOVF信号を検出するこ
とが可能となり、OVF信号の検知能力が向上し
て第一の発明と同様の効果を得ることが可能とな
る。
場合、主測長センサ７１と補助測長センサ７２，
７３のうち各方向の測長値の最大のものが該方向
の測長値として出力される。従つて、第１１図に
示すように従来の45゜系センサのみではOVF信号
が検出できなかつたパターンでも、補助測長セン
サ（C2，K2方向）によりOVF信号を検出するこ
とが可能となり、OVF信号の検知能力が向上し
て第一の発明と同様の効果を得ることが可能とな
る。
第一及び第二の発明によれば、傾斜パターン付
近でも最適な測長センサが選択されるため、オー
バーフロー信号の検知能力が向上し、欠陥検出精
度を上げることが可能となる。また、この場合、
測長センサをわずかに改良するだけで、比較判定
回路などは変更する必要がないため、コストを低
く抑えることが可能となる。
近でも最適な測長センサが選択されるため、オー
バーフロー信号の検知能力が向上し、欠陥検出精
度を上げることが可能となる。また、この場合、
測長センサをわずかに改良するだけで、比較判定
回路などは変更する必要がないため、コストを低
く抑えることが可能となる。
第１図は、第一の発明における測長センサの構
成図、第２図は、パターン検査装置の全体構成
図、第３図ａ，ｂは、測長センサの説明図、第４
図は、欠陥検査の動作説明図、第５図は、測長動
作に用いる測長センサの説明図、第６図ａ，ｂ
は、測長値の分類動作の説明図、第７図は、第一
の発明における測長動作フローチヤート、第８図
ａ，ｂ，ｃは、第一の発明における測長センサの
構成図、第９図は、第二の発明における測長セン
サの構成図、第１０図は、第二の発明における測
長センサの全体構成図、第１１図は、第二の発明
における測長動作の説明図である。 １１……第一の測長センサ（45゜系センサ）、１
２……第二の測長センサ（22.5゜系センサ）、２１
……測長回路、２４……被検査試料、２６……
CCD、７１……主測長センサ、７２，７３……
補助測長センサ。
成図、第２図は、パターン検査装置の全体構成
図、第３図ａ，ｂは、測長センサの説明図、第４
図は、欠陥検査の動作説明図、第５図は、測長動
作に用いる測長センサの説明図、第６図ａ，ｂ
は、測長値の分類動作の説明図、第７図は、第一
の発明における測長動作フローチヤート、第８図
ａ，ｂ，ｃは、第一の発明における測長センサの
構成図、第９図は、第二の発明における測長セン
サの構成図、第１０図は、第二の発明における測
長センサの全体構成図、第１１図は、第二の発明
における測長動作の説明図である。 １１……第一の測長センサ（45゜系センサ）、１
２……第二の測長センサ（22.5゜系センサ）、２１
……測長回路、２４……被検査試料、２６……
CCD、７１……主測長センサ、７２，７３……
補助測長センサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検査試料２４の配線パターンを光学的検知
手段２６により電気信号として検知し二値化を行
なつた後、複数方向に放射状に配置された複数の
測長センサを有する放射状センサで各放射方向に
配線パターン端までの測長を行い、放射方向が互
いに180度異なる一対の測長センサの各測長セン
サの測長値の差が所定値以内となる測長センサ対
が所定組以上生じる各配線パターン中心位置で、
前記放射状センサで放射状に伸びた複数方向の長
さを測長し、該各放射方向及び長さデータの組み
合わせをコード化し、良品の場合のコードと比較
することにより前記配線パターンの検査を行なう
パターン検査装置において、 第１の放射状センサ１１と、 該第１の放射状センサの各測長センサの中間に
複数の測長センサを位置せしめた第２の放射状セ
ンサ１２と、 配線パターンの伸長方向を検出した測長センサ
を有する前記第１又は第２の放射状センサのうち
何れかの放射状センサを選択し、該放射状センサ
の出力データによりコード化出力を得るコード化
手段２１と、 を有することを特徴とするパターン検査装置。 ２ 被検査試料２４の配線パターンを光学的検知
手段２６により電気信号として検知し二値化を行
なつた後、複数方向に放射状に配置された複数の
測長センサを有する放射状センサで各放射方向に
配線パターン端までの測長を行い、放射方向が互
いに180度異なる一対の測長センサの各測長セン
サの測長値の差が所定値以内となる測長センサ対
が所定組以上生じる各配線パターン中心位置で、
前記放射状センサで放射状に伸びた複数方向の長
さを測長し、該各放射方向及び長さデータの組み
合わせをコード化し、良品の場合のコードと比較
することにより前記配線パターンの検査を行なう
パターン検査装置において、 複数方向に放射状に配置された主測長センサ７
１と、該各主測長センサにおける各放射方向毎の
センサ端部の両隣に所定間隔をおいて配置された
第１及び第２の補助測長センサ７２，７３と、 前記各放射方向毎に前記主測長センサ又は第１
若しくは第２の補助測長センサの各測長値のうち
最大の測長値を該放射方向の測長値として選択す
る選択手段７４，７５と、 該選択手段からの各放射方向毎の各測長値の出
力データによりコード化出力を得るコード化手段
２１と、 を有することを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61142940A JPS62299710A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | パタ−ン検査装置 |
| EP87401052A EP0246145B1 (en) | 1986-05-10 | 1987-05-07 | Pattern inspection system |
| DE87401052T DE3786699T2 (de) | 1986-05-10 | 1987-05-07 | System zur Untersuchung von Mustern. |
| US07/047,480 US4830497A (en) | 1986-05-10 | 1987-05-11 | Pattern inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61142940A JPS62299710A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | パタ−ン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62299710A JPS62299710A (ja) | 1987-12-26 |
| JPH0435684B2 true JPH0435684B2 (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=15327182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61142940A Granted JPS62299710A (ja) | 1986-05-10 | 1986-06-20 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62299710A (ja) |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP61142940A patent/JPS62299710A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62299710A (ja) | 1987-12-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |