KR870006828A - 회로판에 대한 라인스캔 검사 시스템 - Google Patents
회로판에 대한 라인스캔 검사 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 회로판상에 설치된 소자를 갖는 회로판의 사시도.
제2도는 결함이 표면상의 중요한 예정된 영역내에 제공되는 여부를 결정하도록 제1도의 회로판을 검사하기 위한 장치의 블럭도.
제3도는 제2도의 장치부를 구비한 메모리 제어장치의 블럭계통도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 회로판 16 : 구멍
17 : 금속화된 링 18 : 리드
36 : 라인스캔 카메라 38 : 전하 결합장치
42 : 영상 처리장치 44 : 인터페이스
46 : A/D변환기 48 : 픽셀 클럭
50 : 강도 조절기 66 : 중앙 처리장치
78 : 분할메모리
Claims (28)
- 제품을 제조하는 방법으로서, 적어도 하나의 소자를 기판에 설치하는 단계 및 상기 기판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결함을 검출하도록 상기 기판의 적어도 한 표면을 검사하는 단계로 이루어지며, 상기 검사단계는, 상기 기판으로 광선을 투사하는 단계, 광 감지수단으로, 상기 기판의 표면에 접한 표면영역의 엷은 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하는 단계 및, 상기 광 감지수단이 표면영역의 연속 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하여, 그에 따라 변하는 출력신호를 발생하도록 상기 기판과 상기 광 감지수단 사이에 상대적 운동을 부과시키는 단계로 이루어지는데, 상기 검사단계는 또한, 표면영역의 상기 각 연속 스트립의 영상 데이터를 입스하도록 상기 광 감지수단의 출력신호를 처리하며, 상기 기판의 표면상에서 중요한 예정된 영역을 나타내는 영상 데이터만을 보유하는 단계 및, 상기 기판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결함을 검출하도록 상기 보유된 영상 데이터를 해석하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 처리단계는, 표면영역의 각 스트립내의 예정된 영역의 영상을 나타내는 각각의 디지털 신호의 스트림으로 상기 광 감지수단의 출력신호를 변환시키는 보조단계, 디지털 신호의 상기 스트림으로부터, 선정된 영역의 각각이 표면영역의 각 스트립내의 중요한 각 예정된 영역내에 위치한 상기 선정된 영역의 영상을 나타낸 상기 디지털신호를 선택하는 보조단계 및, 상기 선택된 디지털 신호를 기억하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 선택단계에 앞서, 상기 디지털 신호의 상기 스트림내의 각 디지털 신호치가 기판표면의 불규칙한 조명을 보상하도록 조절되는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 선택단계는, (a) 표면영역의 각 스트립내에서 연속한 하나의 다수 영역의 특성을 기술한 정보 및 영역이 중요한 여부를 나타내는 정보를 포함하는 각각의 다수 데이터 워드를 제공하는 보조단계, (b) 연속한 하나의 상기 데이터워드를 판독하여, 기술된 영역의 특성을 결정하는 보조단계. (c) 상기 판독 데이터 위드로 기술된 영역의 영상을 공동으로 나타낸 상기 스트림내의 디지털 신호의 그룹을 식별하는 보조단계, (d) 상기 판독된 데이터 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의 그룹을 선택하는 보조단계 및, (e) 표면영역의 각 상기 스트립내의 중요한 영역을 나타낸 디지털 신호의 상기 그룹의 각각이 선택되고, 모든 상기 데이터 워드가 판독될 때까지 단계 (b)내지 (d)를 반복하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제4항에 있어서, 각 스트립내의 제1상기 연속 영역을 기술한 상기 데이터 워드는 상기 스트립내의 영역 패턴이 몇번 반복되었는가를 나타내는 정보를 포함하며, 또한 (a) 반복될 스트립내의 영역을 기술한 한 상기 데이터 워드를 연속적으로 판독하는 단계, (b) 상기 판독 데이터 워드로 기술된 각 영역의 영상을 공동으로 나타낸 상기 스트립내의 디지털 신호의 상기 그룹을 식별하는 단계, (c) 상기 판독 데이터 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의 상기 그룹을 선택하는 단계 및, (e) 반복되는 상기 스트립내의 영역 패턴에 대해 여러번 단계(a) 내지 (c)를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 해석단계는, 보유된 영상 데이터로부터, 상기 소자가 상기 기판의 표면에 설치되는 여부를 결정하여, 상기 소자의 폭 및 길이를 측정하는 단계, 상기 소자의 상기 측정된 폭 및 길이를 공지된 폭 및 길이와 비교하는 단계 및, 상기 측정하고 공지된 폭의 차와, 상기 측정되고 공지된 길이의 차가 제각기 예정된 공차 계수 이내일 시에 상기 표면상에 제공된 상기 소자는 상기 공지된 폭 및 길이를 갖는 것을 나타내는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 해석단계는, 상기 기판의 표면상의 상기 소자가 있는지를 검출하도록 제1논리동작을 수행시켜, 상기 표면상에 설치된 상기 소자의 폭 및 길이를 측정하도록 보유된 영상 데이터상의 부가적인 제1의 다수 논리동작을 수행시키는 단계, 소자의 상기 측정된 폭 및 길이를 제각기 공지된 폭의 길이와 비교하는 단계, 상기 측정되고 공지된 폭의 차와, 상기 측정되고 공지된 길이의 차가 제각기 예정된 공차 계수 이내일 경우에만 상기 표면상에 제공된 상기 소자는 상기 공지된 폭 및 길이를 갖는 것을 표시하는 단계, 다른 하나는 상기 부가적인 논리동작을 연속적으로 수행시켜, 보유된 영상 데이터의 상기 부가적인 논리동작의 각각이 수행될 때까지 상기 비교 및 표시단계를 수행시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소자는 구멍을 통해 상기 소자상의 적어도 한 리드를 상기 기판면내에 삽입함으로써 상기 기판에 설치되며, 상기 보유된 영상 데이터는 상기 기판면내의 상기 구멍을 통하여 연장한 상기 리드의 부재를 검출하도록 해석되는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제품 제조방법으로서, 적어도 하나의 소자를 회로판에 설치하는 단계 및 상기 회로판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결합을 검출하도록 상기 회로판의 적어도 한 표면을 검사하는 단계로 이루어지며, 상기 검사단계는, 상기 회로판으로 광선을 투사하는 단계, 광 감지 수단으로, 상기 회로판의 표면에 접한 표면영역의 엷은 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하는 단계 및, 상기 광 감지 수단이 표면영역의 연속 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하여, 그에 따라 변하는 출력신호를 발생시키도록 상기 회로판과 상기 광 감지 수단 사이에 상대적 운동을 부과시키는 단계로 이루어지는데, 상기 검사단계는 또한, 표면영역의 상기 각 연속 스트립의 영상 데이터를 입수하도록 상기 광 감지수단의 출력신호를 처리하여, 상기 회로판의 표면상에서 중요한 예정된 영역을 나타내는 영상 데이터만을 보유하는 단계 및, 상기 회로판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결함을 검출하도록 상기 보유된 영상 데이터를 해석하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 처리단계는, 표면영역의 각 스트립내의 예정된 영역의 영상을 나타내는 각각의 디지털 신호의 스트림으로 상기 광 감지 수단의 상기 출력신호를 변환시키는 보조단계, 디지털 신호의 상기 스트림으로부터, 선정된 영역의 각각이 표면영역의 각 스트립내의 중요한 각 예정된 영역내에 위치한 상기 선정된 영역의 영상을 나타낸 각각 상기 디지털 신호를 선택하는 보조단계 및, 상기 선택된 디지털 신호를 기억하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제10항에 있어서, 상기 선택단계에 앞서, 상기 디지털 신호의 상기 스트림내의 각 디지털 신호치가 기판표면의 불규칙한 조명을 보상하도록 조절되는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제10항에 있어서, 상기 선택단계는, (a) 상기 회로판상의 표면영역의 각 스트립내에서 연속한 하나의 다수영역의 특성을 기술한 정보 및 영역이 중요한 여부를 나타내는 정보를 포함하는 각각의 다수 데이터 워드를 제공하는 보조단계, (b) 연속한 하나의 상기 데이터 워드를 판독하여, 기술된 영역의 특성을 결정하는 보조단계, (c) 상기 판독 데이터 워드로 기술된 영역의 영상을 공동으로 나타낸 디지털 신호의 상기 스트림내의 디지털 신호의 그룹을 식별하는 보조단계, (d) 상기 판독된 데이터 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의그룹을 선택하는 보조단계 및, (e) 표면영역의 각 상기 스트립내의 중요한 영역을 나타낸 디지털 신호의 상기 그룹의 각각이 선택되고, 모든 상기 데이터 워드가 판독될 때까지 단계(b) 내지 (d)를 반복하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제12항에 있어서, 각 스트립내의 제1상기 연속영역을 기술한 상기 데이터 워드는 표면영역의 상기 스트립내의 영역패턴이 몇번 반복되는가를 나타내는 정보를 포함하며, 또한, (a) 반복될 스트립내의 영역을 기술한 한 상기 데이터 워드를 연속적으로 판독하는 단계, (b) 상기 판독 데이터 워드로 기술된 각 영역의 영상을 공동으로 나타낸 디지털 신호의 상기 스트림내의 디지털 신호의 그룹을 식별하는 단계, (c) 상기 판독데이타 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의 상기 그룹을 선택하는 단계 및, (d) 반복되는 상기 스트립내의 영역패턴에 대해 여러번 단계(a) 내지 (c)를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판표면 검사방법.
- 적어도 하나의 소자를 기판에 설치는 단계 및 상기 기판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결함을 검출하도록 상기 기판의 적어도 한 표면을 검사하는 단계로 이루어지는 방법으로 제조된 제품으로서, 상기 검사단계는, 상기 기판으로 광선을 투사하는 단계, 광 감지 수단으로, 상기 기판의 표면에 접한 표면영역의 엷은 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하는 단계 및, 상기 광 감지수단이 표면영역의 연속 스트립으로부터 반사된 광선을 감지하여, 그에 따라 변하는 출력신호를 발생시키도록 상기 기판과 상기 광 감지수단 사이에 상대적 운동을 부과시키는 단계로 이루어지는데, 상기 검사단계는 또한, 표면영역의 상기 각 연속 스트립의 영상 데이터를 입수하도록 상기 광 감지수단의 출력신호를 처리하여, 상기 기판의 표면상에서 중요한 예정된 영역을 나타내는 영상 데이터만을 보유하는 단계 및, 상기 기판에 대한 상기 소자의 설치와 관련된 결함을 검출하도록 상기 보유된 영상 데이터를 해석하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제14항에 있어서, 상기 처리단계는, 표면영역의 각 스트립내의 예정된 영역의 영상을 나타내는 각각의 디지털 신호의 스트림으로 상기 광 감지수단의 출력신호를 변환시키는 보조단계, 디지털 신호의 상기 스트림으로부터, 선정된 영역의 각각이 표면영역의 각 스트립내의 중요한 각 예정된 영역내의 위치한 상기 선정된 영역의 영상을 나타낸 상기 디지털 신호를 선택하는 보조단계 및, 상기 선택된 디지털 신호를 기억하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제15항에 있어서, 상기 선택 단계에 앞서, 상기 디지털 신호의 상기 스트림내의 각 디지털 신호치가 기관표면의 불규칙한 조명을 보상하도록 조절되는 것을 특징으로 하는 제품 제조방법.
- 제15항에 있어서, 상기 선택단계는, (a) 표면영역의 각 스트립내에서 연속한 하나의 다수영역의 특성을 기술한 정보 및 영역이 중요한 여부를 나타내는 정보를 포함하는 각각의 다수 데이터 워드를 제공하는 보조단계, (b) 연속한 하나의 상기 데이터 워드를 판독하여, 기술된 영역의 특성을 결정하는 보조단계, (c) 상기 판독 데이터 워드로 기술된 영역의 영상을 공동으로 나타낸 상기 스트림내의 디지털 신호의 그룹을 식별하는 보조단계, (d) 상기 판독된 데이터 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의 그룹을 선택하는 보조단계 ,및 (e) 표면영역의 각 상기 스트립내의 중요한 영역을 나타낸 디지털 신호의 상기 그룹의 각각이 선택되고, 모든 상기 데이터 워드가 판독될 때까지 단계(b) 내지 (d)를 반복하는 보조단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제17항에 있어서, 각 스트립내의 제1상기 연속영역을 기술한 상기 데이터 워드는 상기 스트립내의 영역패턴이 몇번 반복되는가를 나타내는 정보를 포함하며, 상기 선택단계는 또한, (a) 반복될 스트립내의 영역을 기술한 상기 데이터 워드를 연속적으로 판독하는 단계, (b) 상기 판독 데이터 워드로 기술된 각 영역의 영상을 공동으로 나타낸 상기 스트림내의 디지털 신호의 그룹을 식별하는 단계, (c) 상기 판독 데이터 워드가 중요한 영역을 나타낼 시에 앞서 식별된 디지털 신호의 상기 그룹을 선택하는 단계 및, (d) 반복되는 상기 스트립내의 영역패턴에 대해 여러번 단계(a) 내지 (c)를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제14항에 있어서, 상기 해석단계는, 보유된 영상 데이터로부터, 상기 소자가 상기 기관의 표면에 설치되는 여부를 결정하여, 상기 소자의 폭 및 길이를 측정하는 단계, 상기 소자의 상기 측정된 폭 및 길이를 공지된 폭 및 길이와 비교하는 단계 및, 상기 측정되고 공지된 폭의 차와, 상기 측정되고 공지된 길이의 차가 제각기 예정된 공차 계수이내일 시에 상기 표면상에 제공된 상기 소자는 상기 공지된 폭 길이를 갖는 것을 나타내는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제14항에 있어서, 상기 해석단계는, 상기 기판의 표면상의 상기 소자가 있는 지를 검출하도록 제1논리동작을 수행시켜, 상기 표면상에 설치된 상기 소자의 폭 길이를 측정하도록 보유된 영상 데이터상의 부가적인 제1의 다수 논리동작을 수행시키는 단계, 소자의 상기 측정된 폭 및 길이를 제각기 공지된 폭 및 길이와 비교하는 단계, 상기 측정되고 공지된 폭의 차와, 상기 측정되고 공지된 길이의 차가 제각기 예정된 공차 계수이내일 경우에만 상기 표면상에 제공된 상기 소자는 상기 공지된 폭 및 길이를 갖는 것을 표시하는 단계, 다른 하나의 상기 부가적인 논리동작을 연속적으로 수행시켜, 보유된 영상 데이터의 상기 부가적인 논리동작의 각각이 수행될때까지 상기 비교 및 표시단계를 수행시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 제14항에 있어서, 상기 소자는 구멍을 통해 상기 소자상의 적어도 한 리드를 상기 기판면내에 삽입함으로써 상기 기관에 설치되며, 상기 보유된 영상 데이터는 상기 기판면내의 상기 구멍을 통하여 연장한 상기 리드의 부재를 검출하도록 해석되는 것을 특징으로 하는 방법에 의해 제조된 제품.
- 기판 표면상에 중요한 예정된 영역을 나타내는 데이터를 수신하기 위한 장치로서, 기판 표면으로 광선을 투사시키기 위한 수단, 표면에 접한 엷은 스트립으로부터 반사된 광선감도를 감지하여, 그에 따라 변하는 출력신호를 발생시키기 위해 상기 기판으로부터 공간을 이룬 수단 및, 상기 기판 표면상의 다수의 연속 스트립의 각각으로부터 반사된 광선의 강도에 따라 상기 강도 감지 수단의 출력신호가 변하게 하도록 상기 강도 감지수단 및 상기 기판 사이에 상대적 운동을 부가시키기 위한 수단을 구비하며, 상기 장치는 또한, 표면영역의 각 연속 스트립을 나타낸 영상 데이터를 수신하도록 강도 감지수단의 출력신호를 처리하여, 각 스트립내의 중요한 다수의 예정된 영역의 각각을 나타내는 영상 데이터를 보유하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신 장치.
- 제22항에 있어서, 상기 장치는 또한 중요한 예정된 영역내의 기판상의 결함을 검출하도록 보유된 영상 데이터를 해석하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신장치.
- 제22항에 있어서, 상기 강도 감지수단은 라인스캔 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 데이타 수신장치.
- 제24항에 있어서, 상기 처리수단은 각 스트립내의 선정된 영역의 영상을 나타내는 각각의 디지탈 신호의 스트림으로 라인스캔 카메라의 출력신호를 변환시키기 위한 인터페이스, 인터페이스에 의해 발생된 디지털 신호의 스트림으로부터, 각 스트립내에서 중요한 각 예정된 영역내에 위치한 선정된 영역의 영상을 나타내는 상기 디지털 신호를 선택하기 위해 상기 인터페이스에 결합된 제어수단 및, 상기 제어수단에 의해 선택된 신호를 기억시키기 위한 메모리 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신장치.
- 제25항에 있어서, 상기 인터페이스 수단은, 상기 라인스캔 카메라의 출력신호에 따라 변하는 디지털 신호의 스트림을 발생시키기 위한 아나로그―디지탈 변환기 및, 상기 아나로그―디지탈 변환기에 의해 발생된 신호의 상기 스트림내의 각 디지털 신호를 식별하는 계수를 일정하게 증가시키기 위한 프리 런닝 클럭을 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신장치.
- 제25항에 있어서, 상기 제어수단은 얼마나 많은 선정된 영역이 각 스트립내의 특정영역으로 이루어지는가를 나타내는 계수와, 중요한 특정영역내에서 선정된 영역을 나타내는 영상 데이터가 제1메모리내에 기억될 수 있는 여부를 결정하는 제어비트를 포함하는 각각의 다수 데이터 워드를 기억하는 제2메모리, 상기 제2메모리내에 기억된 한 선택된 데이터 워드를 어드레스하기 위해 상기 제2메모리에 결합된 어드레스 계수기, 프리 런닝 클럭의 계수에 응답하여 어드레스된 데이터 워드의 계수를 감소시키기 위한 계수기 및, 상기 계수기가 앞서 어드레스된 데이터 워드의 계수를 0으로 감소시킬 시에 어드레스 계수기가 상기 제2메모리내의 다른 데이터 워드를 어드레스시키기 위해 상기 어드레스 계수기에 결합된 논리게이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신장치.
- 제25항에 있어서, 상기 장치는 또한 기판의 불규칙한 조명을 보상하도록 상기 인터페이스 수단에 의해 발생된 디지털 신호의 스트림내의 각 디지털 신호치를 조절하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 수신장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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1986
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