JP3265826B2 - 画像判定装置および画像判定方法 - Google Patents
画像判定装置および画像判定方法Info
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Description
像判定方法に関するものであり、特に、被検査体の表面
欠陥の判定や、物体の形状による分類などに用いて好適
な画像判定装置および画像判定方法に関するものであ
る。
検査装置としては、被検査体からの反射光を受光し、信
号処理回路で2値化処理し、欠陥の面積を求め、あらか
じめ設定された閾値と比較し良品か不良品かの判定をす
るのが一般的である。そして、不良品の検査において見
逃しを回避すべく、閾値を不良品の面積の最小値に設定
して使用する。このように判定基準の厳しい閾値を使用
しているので、良品を不良品と判定する誤判定が生じる
場合がある。特に、感光体ドラムのように判定基準の厳
しい、かつ高価な被検査体の場合は、得率向上のために
不良品と判定された被検査体を更に目視により検査し、
良品を選別する必要があった。
良品を精度良く判定する手段が種々考えられている。例
えば、特開平4−169807号公報に記載されている
技術では、欠陥の種類に応じて複数の閾値を用意し、読
取信号と各閾値とを比較して複数の2値化信号を生成
し、それぞれの2値化信号に基づいて面積を計算し、そ
れぞれの面積閾値と比較して良品、不良品の判定を行な
うことにより、誤判定を削減している。また、例えば、
特開平4−172237号公報や、精密工学会第4回外
観検査の自動化ワークショップ予稿集,大島ほか,『画
像処理を用いて欠陥識別を行なうインライン表面検査装
置』,p.61〜65等に記載されている技術では、検
出信号から欠陥の複数の特徴量を算出し、算出した複数
の特徴量の組み合わせにより欠陥などを判定することに
より、誤判定を削減している。さらに、例えば、特開平
3−144350号公報には、ニューラルネットワーク
により判定基準を学習させ、誤判定を削減する旨の記載
がある。
なう検査装置において、不良品の検査見逃しを皆無に近
い状態にするためには、厳しい判定基準を使用するの
で、上述の技術を用いても良品を不良品と判定する誤判
定の発生はやむを得ない。そのため、不良品の目視によ
る再検査を全廃することはできず、多数の目視検査員が
必要となる問題があった。また、ニューラルネットワー
クに判定基準を学習させるために膨大なデータが必要で
あり、判定基準の明確な良品と不良品の判別を行なう検
査装置においては、ニューラルネットワークの利点を生
かせない。
情に鑑みてなされたもので、被検査体の検査項目につい
ての判定を精度よく行ない、例えば、被検査体が感光体
ドラムのように高価であり、得率を重視する場合の欠陥
の判別においては、良品か、不良品か、再検査の必要が
あるかの判別を精度良く行なって、目視検査員の削減が
可能な画像判定装置および画像判定方法を提供すること
を目的とするものである。
載の発明においては、感光体ドラムの表面の画像から該
感光体ドラムの表面欠陥の判定を行なう画像判定装置に
おいて、感光体ドラムの表面の画像を取り込む画像入力
手段と、該画像入力手段で取り込んだ画像からコントラ
スト変化点数、縦長さ、横長さ、明暗、平均サイズ、面
積、縦横比のうちの少なくとも2つの特徴量を抽出する
特徴抽出手段と、該特徴抽出手段で抽出した複数の特徴
量を説明変量とし判別分析により複数の群に分類するた
めの判別関数を1つまたは複数記憶する判別関数記憶手
段と、前記特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明
変量とし判定特性値を目的変量とした重回帰分析のため
の重回帰式を1つまたは複数記憶する重回帰式記憶手段
と、前記特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明変
量として前記判別関数記憶手段に記憶されている判別関
数および前記重回帰式記憶手段に記憶されている重回帰
式を計算して1つまたは複数の群予測値および1つまた
は複数の目的変量を計算する計算手段と、該計算手段に
より計算された1つまたは複数の群予測値と1つまたは
複数の目的変量に基づき分類される群とを比較し少なく
とも良、不良とともに再検査の必要性を判定する判定手
段を有することを特徴とするものである。
ドラムの表面の画像から該感光体ドラムの表面欠陥の判
定を行なう画像判定方法において、感光体ドラムの表面
の画像を取り込み、取り込んだ画像からコントラスト変
化点数、縦長さ、横長さ、明暗、平均サイズ、面積、縦
横比のうちの少なくとも2つの特徴量を抽出し、抽出し
た複数の特徴量を説明変量とし予め設定されている1つ
または複数の判別関数を計算することにより判別分析を
行なって1つまたは複数の群予測値を得るとともに、抽
出した複数の特徴量を説明変量とし判定特性値を目的変
量として予め設定されている1つまたは複数の重回帰式
を計算することにより重回帰分析を行なって1つまたは
複数の目的変量を得て、得られた1つまたは複数の群予
測値と、得られた1つまたは複数の目的変量から分類さ
れる群とを比較し、少なくとも良、不良とともに再検査
の必要性を判定することを特徴とする画像判定方法。
らコントラスト変化点数、縦長さ、横長さ、明暗、平均
サイズ、面積、縦横比のうちの少なくとも2つの特徴量
を抽出し、これらを多変量解析の手法を用いて処理する
ことにより、検査項目の判定を行なっている。特に、判
別分析により得られた群予測値と、重回帰分析により得
られた目的変量から分類される群とを比較して判定を行
なうので、複数の特徴量の相互関係を加味した判定を行
なうことができ、従来のように個々の特徴量毎の判定
や、それらの判定結果の組み合わせで判定を行なう場合
に比べ、精度よく判定を行なうことができる。
ので、検査項目の判定結果として、少なくとも良、不
良、再検査の必要があるものに分類して判定することが
できる。これにより、判定結果が良または不良の場合に
は、その後の目視検査は必要なく、再検査が必要と判断
されたもののみについて目視検査を行なえばよい。その
ため、検査員を削減することが可能となる。
示す概略構成図である。図中、1は検出エリア、2は感
光体ドラム、3は感光体ドラム回転用モータ、4はパル
ス信号発生器、5は光源、6はCCDカメラ、7はカメ
ラ移動用モータ、8は信号処理部、9は欠陥判定部、1
1は特徴抽出部、12は計算部、13は重回帰式記憶
部、14は判別関数記憶部、15は判定部である。この
実施例では、被検査体として感光体ドラム2の場合につ
いて示している。
表面を照明する。CCDカメラ6は、光源5により照明
された感光体ドラム2の表面からの反射光を検出し、検
出エリア1の画像を読み取る。感光体ドラム2とCCD
カメラ6は相対的に移動し、CCDカメラ6により感光
体ドラム2の表面全体の画像を読み取る。この実施例で
は、感光体ドラム2を感光体ドラム回転用モータ3によ
り矢印方向に回転させる。また、カメラ移動用モータ7
により、CCDカメラ6を感光体ドラム2の回転軸方向
に移動させる。パルス信号発生器4は、検出タイミング
を作り出す。この検出タイミングに基づき、画像の取り
込み及び感光体ドラム2の回転駆動を行なう。
った画像信号に対し、補正処理やディジタル化処理等の
信号処理を行なう。欠陥判定部9は、特徴抽出部11、
計算部12、重回帰式記憶部13、判別関数記憶部1
4、判定部15等により構成されている。特徴抽出部1
1は、信号処理部8による処理後の画像から各種の特徴
量を抽出する。計算部12、判定部15は、特徴抽出部
11により抽出した特徴量を用い、重回帰分析及び判別
分析を行なう。計算部12では、重回帰式記憶部13に
格納されている重回帰式を計算して予測特性値を得ると
ともに、判別関数記憶部14に格納されている判別関数
から判別スコアを計算する。判定部15は、計算部12
で計算された予測特性値から群を予測し、また、判別ス
コアから群を予測し、これらの群予測の情報をもとに、
感光体ドラム2の良、不良、再検査の必要の有無を判定
する。
感光体ドラム2からの散乱反射光を受光するように構成
するほか、正反射光を受光したり、場合によっては被検
査体の透過光を受光するように構成してもよい。CCD
カメラ6と感光体ドラム2との相対移動は、図1に示し
た方式の他、感光体ドラム2の回転軸方向にも、感光体
ドラム2を移動させたり、CCDカメラ6を感光体ドラ
ム2の周囲を回転させるなど、種々の方式を用いて感光
体ドラム2の表面の画像を読み取ることが可能である。
CCDカメラ6は、例えば、電子管式のテレビカメラ
や、ラインセンサなど、種々の画像入力装置により代替
可能である。また、光源5も、感光体ドラム2全体を照
明するほか、スリット光を用いるなど、種々の照明方法
を用いたり、あるいは、拡散光の代わりにレーザ光を用
いるなど、種々の変形が可能である。
2つの手法を用いて判定を行なったが、どちらか一方の
手法のみを用いて判定を行なうことも可能である。ま
た、各分析手法を複数用いて判定を行なうこともでき
る。
おける欠陥判定部9の動作について説明する。欠陥判定
部9では、種々の特徴量を抽出し、重回帰分析、判別分
析を行なって群に分類する。重回帰分析は、いくつかの
原因と結果を結ぶものである。いくつかの原因として説
明変量x1 ,x2 ,・・・,xp を考え、結果となる目
的変量をYとするとき、 Y=a1 x1 +a2 x2 +・・・+ap xp +a0 という一次式を用い、この一次式によって得られる予測
特性値により群を判別するものである。ここで、説明変
量x1 ,x2 ,・・・,xp は、画像から抽出する各特
徴量とすることができる。係数a0 ,a1 ,a2 ,・・
・,ap は、予め判別する対象に応じて設定しておく。
この係数が設定された一次式を重回帰式と呼ぶ。また、
重回帰式により計算される目的変量Yの値を予測特性値
と呼ぶ。予測特性値を予め設定されている判定基準と照
合することにより、被検査体を群に分類することができ
る。
数であり、具体的には、予測特性値は欠陥の面積値であ
り、説明変数としては、コントラスト変化点数、縦横長
さ、明暗、核サイズ、外輪サイズ、平均サイズ、面積、
核外輪比、核外輪差、縦横比等や、これらの特徴量につ
いて、例えば、光源5による投光の方法(明視野かスリ
ット光か等)を変化させたり、CCDカメラ6の感度、
倍率、位置等を変化させたときの値を用いることができ
る。さらに、感光体ドラム2上の検出エリア1の位置等
の情報を加味することもできる。どのような特徴量を用
いるかは、適宜、選択すればよい。
a1 ,a2 ,・・・,ap は、すでに目的変量Yの値が
特定されている被検査体を用い、特徴量である説明変量
x1 ,x2 ,・・・,xp と目的変量Yの値から決定す
る。決定の方法は周知の方法を用いればよい。
式を求めておき、その一次式の計算結果の正負で分類す
る手法である。上述の重回帰分析では、重回帰式による
予測の対象が量的な変数であるのに対し、この判別分析
では、質的な変数を予測するものである。いま、説明変
量x1 ,x2 ,・・・,xp を用いた一次式 z=a1 x1 +a2 x2 +・・・+ap xp +a0 を考える。この一次式を判別関数、zを判別スコアと呼
ぶ。この判別スコアzの正負により、どちらの群に属す
るかを判別する。複数の判別関数を用いることにより、
3つ以上の群に分けることももちろん可能である。
査においては、群として、良品と不良品との群に分けた
り、再検査の要否を群として分けることができる。この
とき、説明変量x1 ,x2 ,・・・,xp は、抽出した
特徴量とすることができる。具体的な特徴量としては、
上述の重回帰分析の場合と同様である。また、係数
a0 ,a1 ,a2 ,・・・,ap は、予め分類されてい
るサンプルを用いて決定しておけばよい。
取った感光体ドラム2の表面の画像から必要な特徴量を
抽出し、上述の重回帰分析の手法を用いて、重回帰式に
よる予測特性値を算出し、判定基準と比較して群予測を
求める。さらに、上述の判別分析の手法を用いて、判別
関数によって算出された判別スコアにより群予測を求め
る。これらによって得られた複数の群予測の情報を用い
て、感光体ドラム2の良、不良、および、良、不良各々
について再検査の必要の有無とに分類し、欠陥の判定を
行なうことができる。この判定の結果を用い、例えば、
再検査が必要と判定された感光体ドラム2のみを再検査
すればよく、従来のように、不良と判定されたものをす
べて再検査する必要はないので、目視検査員を削減する
ことが可能である。
示すフローチャートである。まず、S21において、読
み込んだ画像から、種々の欠陥の特徴を抽出する。S2
2において、予め設定されている重回帰式の説明変量と
して、S21で抽出した特徴量から必要なものを代入
し、予測特性値を算出する。S23において、S22で
計算された予測特性値と、予め設定されている判定基準
とを比較し、良、不良のどちらの群に属するかを予測す
る。
る判別関数の説明変量として、S21で抽出した特徴量
から必要なものを代入し、判別スコアを算出する。S2
5において、S24で計算された判別スコアの正負か
ら、良、不良のどちらの群に属するかを予測する。
られた群予測と、S25で判別スコアから求められた群
予測を比較し、同じ群に分類されたか否かを判定する。
すなわち、2つの群予測の結果が良、あるいは不良であ
る場合には、その判定結果は確実なものであると考えら
れるので、S27で群予測を出力し、再検査を行なうこ
となく、判定結果に基づき被検査体を良品と不良品に分
類すればよい。2つの群予測の結果が相違する場合に
は、良品、不良品の判定がつかなかったものとして、S
28で群予測を出力し、検査員による再検査を行なえば
よい。
を示すフローチャートである。上述の図2のフローチャ
ートに示した処理の例では、それぞれ良、不良の2群に
判別し、2つの群予測の一致または不一致により再検査
の有無を判定した。図3に示した処理では、さらに、
良、不良1、不良2の3群に判別する処理を追加した場
合を示している。図2に示した処理と同様に、まず、S
31において、必要な特徴を抽出する。そして、S32
において、予め設定されている重回帰式の説明変量とし
て、S31で抽出した特徴量から必要なものを代入し、
予測特性値を算出する。S33において、S32で計算
された予測特性値と、予め設定されている判定基準とを
比較し、良、不良1、不良2の3つの群のどれに属する
かを予測する。
る2群に分類するための判別関数の説明変量として、S
31で抽出した特徴量から必要なものを代入し、2群判
別スコアを算出する。このとき、良を抽出するための判
別関数と、不良2を判別するための判別関数の2つの独
立した判別関数を用い、それぞれの判別スコアを算出す
る。S35において、S34で計算された2つの2群判
別スコアの正負から、良とそれ以外の2つの群のどちら
に属するか、および、不良2とそれ以外の2つの群のど
ちらに属するかを予測する。この2つの判別により、良
と不良2が分類され、その他を不良1とすればよい。ま
た、S36において、予め設定されている3群に分類す
るための2つの判別関数の説明変量として、S31で抽
出した特徴量から必要なものを代入し、2つの3群判別
スコアを算出する。S37において、S36で計算され
た2つの3群判別スコアに基づき、良、不良1、不良2
のどの群に属するかを予測する。
予測した群と、S35で2つの2群判別スコアから予測
した群と、S37で3群判別スコアから予測した群を比
較し、すべて一致した群予測がなされていれば、判定は
確かであるものとして、S39で再検査の必要のないも
のと判定して、群予測を出力する。それ以外の場合に
は、再検査を要するものと判定し、S40で群予測を出
力して、検査員による目視検査を行なう。このとき、目
視検査による不良1と不良2の区分けが必要なければ、
不良1と不良2の間の群予測の不一致による再検査を要
する判定を行なわないように構成することもできる。
め細かく判定することが可能であり、逆に、良品を区分
けして等級に分けるなど、種々の分類が可能である。ま
た、上述のように、重回帰式と、2群判別関数、3群判
別関数の3つを用いることにより、個別の正答率を有す
る3つの判定結果を相互に補うことができる。このよう
に重回帰式による予測測定値と判別関数による群予測
は、各々の能力に従った正当率を有しているので、各々
の予測値に重み付け処理を行なって、判定を行なうよう
に構成することも可能である。
って、感光体ドラムの欠陥を良、不良1、不良2の3群
に判別し、更に各群予測ごとに再検査の必要性の有無を
判別した。判定基準は、最終品質特性である感光体ドラ
ムで複写された画像上の欠陥の大きさとし、特徴抽出部
11で得る欠陥の特徴量は、コントラスト変化点数、横
サイズ、縦サイズ、明るさ、平均サイズ、面積、縦横比
等13項目とした。
出部11で得る欠陥の特徴量を説明変量とした重回帰式
を予め用意するため、重回帰式の信頼度が得られる良、
不良1、不良2の標本を、例えば、300〜400程度
用意して、重回帰分析により求めた。また、良、不良
1、不良2の3つの群に区分けするための判別関数も、
判別分析により求めた。
明図である。求められた重回帰式および判別関数は、1
3項目の特徴量を説明変量とする yi =ai x1 +bi x2 +・・・+mi x13(i=
1,・・・,5) で表わせる。ここで、y1 は重回帰式の目的変量であ
り、画像上の欠陥の大きさを示す量である。また、
y2 ,y3 は2群判別関数の判別スコアであり、それぞ
れ、良の判別スコア、不良2の判別スコアである。
y4 ,y5 は3群判別関数の判別スコアであり、それぞ
れ、良と不良1、不良1と不良2を判別するための判別
スコアである。このとき、各係数を図4に示すように設
定し、群予測に用いる重回帰式及び2群判別関数、3群
判別関数を得る。図4において、空欄は係数が0、すな
わち、その特徴量を使用しないことを示している。特徴
抽出部11で抽出した特徴量はすべて用いる必要はな
く、寄与率の高い説明変量を使用すればよい。特徴量の
中には、ある判別に対しては誤差を生じる可能性のある
ものもあり、このような特徴量を使用しないように、係
数を設定することが可能である。これらの係数を求める
ための計算手段を設けて構成することも可能である。こ
のようにして設定された重回帰式、2群判別関数、3群
判別関数は、個別に正当率84%から95%の能力を確
保している。
感光体ドラム2の欠陥信号を検出し、欠陥の特徴を抽出
した後、上述のようにして求めた判定式を使用し、図3
に示したフローチャートにしたがって、実際の判定を行
なった。このとき、重回帰式、判別関数に対する重み付
け処理は行なわず、重回帰式による予測特性値を判定基
準と比較したときの群予測と、2群判別関数と3群判別
関数による群予測の3者の判定の100%一致の状態の
ときに、再検査の必要がないものと判定し、他の場合に
再検査の必要ありと判定させた。
た欠陥の母集団の60%を目視による再検査に回さなけ
ればならなかったが、本発明により10%未満の再検査
となり、従来の約1/6を再検査すれば良いことが確認
できた。
ドラムを例として説明したが、本発明はこれに限らな
い。他の一般の工業製品の表面に存在する傷、欠け、ゴ
ミ等の欠陥の存在検査や欠陥の分類分け等に適用するこ
とができる。また、種々の物品の形状判定や、各部の異
常監視などにも適用可能であり、画像による判定を行な
う用途であれば、本発明を適用することができる。
によれば、種々の特徴量相互の関係をも考慮して、簡単
に、しかも精度良く、被検査体の検査項目の判定を行な
うことができる。また、本発明を欠陥検査に適用した場
合には、良、不良とともに、再検査の必要性の有無をも
判定することにより、再検査処理数を最小限に押さえ込
むことができ、工程の合理化、検査員の削減を図ること
が可能となる等の効果がある。
構成図である。
チャートである。
ーチャートである。
る。
回転用モータ、4…パルス信号発生器、5…光源、6…
CCDカメラ、7…カメラ移動用モータ、8…信号処理
部、9…欠陥判定部、11…特徴抽出部、12…計算
部、13…重回帰式記憶部、14…判別関数記憶部、1
5…判定部。
Claims (2)
- 【請求項1】 感光体ドラムの表面の画像から該感光体
ドラムの表面欠陥の判定を行なう画像判定装置におい
て、感光体ドラムの表面の画像を取り込む画像入力手段
と、該画像入力手段で取り込んだ画像からコントラスト
変化点数、縦長さ、横長さ、明暗、平均サイズ、面積、
縦横比のうちの少なくとも2つの特徴量を抽出する特徴
抽出手段と、該特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を
説明変量とし判別分析により複数の群に分類するための
判別関数を1つまたは複数記憶する判別関数記憶手段
と、前記特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明変
量とし判定特性値を目的変量とした重回帰分析のための
重回帰式を1つまたは複数記憶する重回帰式記憶手段
と、前記特徴抽出手段で抽出した複数の特徴量を説明変
量として前記判別関数記憶手段に記憶されている判別関
数および前記重回帰式記憶手段に記憶されている重回帰
式を計算して1つまたは複数の群予測値および1つまた
は複数の目的変量を計算する計算手段と、該計算手段に
より計算された1つまたは複数の群予測値と1つまたは
複数の目的変量に基づき分類される群とを比較し少なく
とも良、不良とともに再検査の必要性を判定する判定手
段を有することを特徴とする画像判定装置。 - 【請求項2】 感光体ドラムの表面の画像から該感光体
ドラムの表面欠陥の判定を行なう画像判定方法におい
て、感光体ドラムの表面の画像を取り込み、取り込んだ
画像からコントラスト変化点数、縦長さ、横長さ、明
暗、平均サイズ、面積、縦横比のうちの少なくとも2つ
の特徴量を抽出し、抽出した複数の特徴量を説明変量と
し予め設定されている1つまたは複数の判別関数を計算
することにより判別分析を行なって1つまたは複数の群
予測値を得るとともに、抽出した複数の特徴量を説明変
量とし判定特性値を目的変量として予め設定されている
1つまたは複数の重回帰式を計算することにより重回帰
分析を行なって1つまたは複数の目的変量を得て、得ら
れた1つまたは複数の群予測値と、得られた1つまたは
複数の目的変量から分類される群とを比較し、少なくと
も良、不良とともに再検査の必要性を判定することを特
徴とする画像判定方法。
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