JP2006266845A - 画像判定装置及び画像判定方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる画像判定装置および画像判定方法を提供する。
【解決手段】 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する。
【選択図】 図4

Description

本発明は、被検査体の表面欠陥の判定に用いられる画像判定装置及び画像判定方法に関するものである。
従来、画像判定装置には、被検査体からの反射光を受光し、信号処理回路で2値化処理し、欠陥の面積を求め、あらかじめ設定された閾値と比較して、求めた血管の面積が予め設定された閾値よりも大きい場合に不良品であると判定する所謂、表面欠陥検査装置があった。
この種の表面欠陥検査装置では、不良品の見逃しを回避すべく、閾値を不良品の面積の最小値に設定して使用されている。しかし、判定基準の厳しい閾値を使用しているので、良品を不良品と判定する誤判定が生じる場合もある。特に、画像形成装置に用いられる感光体ドラムのように、判定基準が厳しくかつ高価な被検査体の場合には、不良品と判定された被検査体を更に検査員の目視により再検査して良品を選別する必要がある。
そこで、従来、良品と不良品を精度良く判定する手段として、欠陥の種類に応じて複数の閾値を用意し、読取信号と各閾値とを比較して複数の2値化信号を生成し、それぞれの2値化信号に基づいて面積を計算し、それぞれの面積閾値と比較して良品、不良品の判定を行なうことにより、誤判定を削減するようにした技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
なお、近年、マイクロプロセッサなどの技術の進歩により、2値化処理により正常部と異常部の判別を行うものだけでなく、4種類の閾値によって異常部をさらに4段階のレベルに識別可能な装置も具現化されており、より高度な欠陥検出が可能となっている。
また、検出信号から欠陥の複数の特徴量を算出し、算出した複数の特徴量の組み合わせにより欠陥などを判定することにより、誤判定を削減するようにした技術も提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
さらに、ニューラルネットワークにより判定基準を学習させ、誤判定を削減することも提案されている(例えば、特許文献3参照。)。
特開平4−169807号公報 特開平4−172237号公報 特開平3−144350号公報
しかしながら、上記特許文献1及び特許文献2記載の技術によれば、不良品の検査見逃しを皆無にしようとするほど、判定基準を厳しくする必要があり、結果として良品を不良品と判定する誤判定が発生してしまい、不良品の目視による再検査を全廃することができない、という問題点があった。
なお、誤判定は検出誤差によっても生じ、過小評価をした場合には、該欠陥を有する不良品が市場に流出する一方、過大評価をした場合には、良品を廃棄してしまうことになり、目視による再検査を全廃した場合、歩留まりの悪化などに繋がる。また、被検査体が感光体ドラムのように高価であるほど誤判定による信頼性の低下や歩留まりの悪化の度合いが大きくなる。
また、上記特許文献3記載の技術によれば、目視による再検査を全廃することも不可能ではないが、ニューラルネットワークに判定基準を学習させるために膨大なデータが必要であり、却ってコストが増大してしまう、という問題点があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる画像判定装置および画像判定方法を提供することが目的である。
上記課題は以下の本発明によって解決される。すなわち、本発明は、
<1> 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得する取得手段と、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類する分類手段と、前記分類手段による分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出手段と、前記欠陥画像抽出手段により抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定するパターン特定手段と、予め前記出現パターン毎に設定された前記検査結果判定処理に用いるパラメータを記憶するパラメータ記憶手段と、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンに応じた前記パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する判定処理実行手段と、を備えている画像判定装置である。
<1>の発明によれば、取得手段により取得された被検査体の表面の明るさを示す画像情報が、複数の閾値により正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類される。
すなわち、複数の閾値を用いているので、画像情報が3段階以上に分類されることになり、表面の明るさが異常である段階を2段階以上設けることができる。これにより、表面の明るさが異なる2種類以上の欠陥を検出することが可能であり、被検査体の種類や検出したい欠陥の種類に応じて適宜閾値を設定することにより、画像判定装置による被検査体の検査精度を向上させることができる。
また、<1>の発明は、欠陥画像を抽出してその出現パターンに応じたパラメータにより検査結果判定処理を行うので、被検査体の種類に応じて発生し得る欠陥の種類に応じた出現パターン及びパラメータを予め実機を用いた実験やコンピュータによる実機の仕様を用いたシミュレーション等により分析して設定することにより、画像判定装置による被検査体の検査精度をさらに向上させることができるので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<2> <1>の発明において、欠陥画像の各々に対して、前記パラメータ記憶手段に予め設定されたパラメータを用いて欠陥の重要度に応じたグレードを付与するグレード付与手段を更に備え、前記パラメータ記憶手段は、前記各欠陥画像の重要度を判定するために用いるパラメータを予め更に記憶し、前記判定処理実行手段は、前記各欠陥画像のグレード及び個数に基づいて前記検査結果判定処理を実行することを特徴としている画像判定装置である。
前記<2>の発明によれば、抽出された欠陥画像の各々に対して欠陥の重要度に応じたグレードを付与しており、各欠陥画像のグレード及び個数に基づいて検査結果判定処理が行われるので、重要度の高いグレードが付与された欠陥画像が1つでも存在する場合には不良品と判定したり、重要度の低いグレードが付与された欠陥画像は複数ある場合のみ不良品と判定したりするなど、画像判定装置による被検査体の検査精度を目視による検査の検査精度に近づけることができるので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<3> <1>又は<2>の発明において、分類手段は、4種類の閾値を用いて前記画像情報を5段階に分類し、前記欠陥画像抽出手段は、1つの前記正常な明るさの段階を除く4つの段階に分類された部位を欠陥画像を示すものとして抽出し、前記パターン特定手段は、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じた15種類の前記出現パターンの何れかを特定することを特徴としている画像判定装置である。
<3>の発明によれば、処理負荷やデータ量を過度に増大させることなく、欠陥画像が示す欠陥の状態を十分な程度に詳細に識別することができる。
<4> 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得する取得手段と、前記画像情報に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を特定する特定手段と、前記特定手段により特定された欠陥の大きさを導出する導出手段と、前記導出手段により導出された前記欠陥の大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じて予め設定された前記閾値を含む範囲に応じた中間グレードを含む複数のグレードの何れかを当該欠陥に付与するグレード付与手段と、前記画像情報に含まれる欠陥のうち、各グレードが付与された前記欠陥の個数に応じて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を行うと共に、前記中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には、前記被検査体を再検査判定する判定処理実行手段と、を備えている画像判定装置である。
<4>の発明によれば、取得手段により取得された被検査体の明るさを示す画像情報に基づいて被検査体の表面の欠陥を特定し、特定された欠陥の大きさを導出して、導出した大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じてグレードを各欠陥に付与するに際し、前記グレードとして、前記閾値との大小関係に応じたグレードの他、前記閾値を含む予め設定された範囲に応じた中間グレードを設けているので、大きさの導出誤差に応じて中間グレードを付与する範囲を予め設定すれば、グレードの付与状態に応じた被検査体の表面の検査結果判定処理において大きさの導出誤差を考慮した判定が行える。また、中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には再検査と判定するので、欠陥の大きさの誤差に起因する誤判定が生じる可能性のある場合には再検査を行うので、誤判定を少なくすることができる。
<5> <1>乃至<4>の発明において、判定処理実行手段は、少なくとも合格、不合格及び再検査の何れかを前記検出結果として判定することを特徴とする画像判定装置である。
<6> <1>乃至<5>の発明において、前記被検査体が電子写真用感光体であることを特徴とする画像判定装置である。
これにより、電子写真用感光体の表面の欠陥に関する検査を行うための画像判定装置に本発明を適用することができる。
<7> 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する画像判定方法である。
<7>の発明によれば、<1>の発明と同様に作用するので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<8> 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、特定された前記出現パターンに応じた前記パラメータを用いて、前記欠陥画像の各々に対して欠陥画像の重要度に応じたグレードを付与し、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記各欠陥画像のグレード及び個数に基づく前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する画像判定方法である。
<8>の発明によれば、<2>の発明と同様に作用するので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<9> <7>又は<8>の画像判定方法において、前記複数の閾値として4種類の閾値を用い、前記画像情報を前記正常な明るさの1つの段階を含む5段階に分類し、前記正常な明るさの段階を除く4つの段階に分類された部位を欠陥画像を示すものとして抽出し、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じた15種類の前記出現パターンの何れかを特定する画像判定方法である。
<9>の発明によれば、<3>の発明と同様に作用するので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<10> 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、前記画像情報に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を特定し、特定された欠陥の大きさを導出し、導出された前記欠陥の大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じて予め設定された前記閾値を含む範囲に応じた中間グレードを含む複数のグレードの何れかを当該欠陥に付与し、前記画像情報に含まれる欠陥のうち、各グレードが付与された前記欠陥の個数に応じて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を行うと共に、前記中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には、前記被検査体を再検査判定する画像判定方法である。
<10>の発明によれば、<4>の発明と同様に作用するので、不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
<11> 検査結果判定処理において、少なくとも合格、不合格及び再検査の何れかを前記検出結果として判定する<7>乃至<10>の何れかの1の画像判定方法である。
<12> <7>乃至<11>の何れか1の画像判定方法において、被検査体を電子写真用感光体としてもよく、これにより、電子写真用感光体の表面の欠陥に関する検査を行うための画像判定方法に本発明を適用することができる。
以上説明した如く本発明は、被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行するので、画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる、という優れた効果を有する。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、ここでは、本発明を、画像形成装置に用いられる感光体ドラムの表面の欠陥を検出するための表面欠陥検査装置に適用した場合について説明する。
まず、図1には、本実施の形態に係る表面欠陥検査装置10の概略図が示されている。同図に示されるように、表面欠陥検査装置10は、モータ12を備えており、当該モータ12の駆動力は、当該表面欠陥検査装置10に装着される被検査体としての感光体ドラム20の回転軸に伝達されるようになっており、モータ12の駆動力により回転軸を軸心として回転される。
また、感光体ドラム20の装着位置近傍には、光源14及びCCDカメラ16がそれぞれ配設されている。光源14は、DC電源により発光するタイプの蛍光燈ランプにより構成されており、装着された感光体ドラム20の周面に発光光を照射可能になっている。
CCDカメラ16は、光源14により照明された感光体ドラム20の結像ライン内(明視野)をスキャンライン17として一次元的にスキャンする。ここで、感光体ドラム20は、モータ12の駆動力により回転されるので、感光体ドラム20が1周する間、連続的にスキャンライン17上を一次元的にスキャンすることにより、感光体ドラム20の表面の状態を示すグレースケールの2次元の画像データが得られる。
なお、本実施の形態では、CCDカメラ16の1ラインの画素数が4096個とされており、直径Φ30mm、全長250mmの感光体ドラム20を被検査体としている。また、CCDカメラ16は、感光体ドラム20の長さ方向中央の200mm分を検査領域としているので、検出分解能は約49μm2となっている。
さらに、表面欠陥検査装置10は、制御部18を含んで構成されており、上述したモータ12、光源14及びCCDカメラ16を含む表面欠陥検査装置10の動作やCCDカメラ16により取得される2次元の画像データを用いた表面欠陥検査処理は制御部18によりそれぞれ制御される。
図2には、本実施の形態に係る表面欠陥検査装置10の制御部18を中心とした機能ブロック図が示されている。同図に示されるように、表面欠陥検査装置10は、ドラム検出センサ13を備えており、被検査体である感光体ドラム20が所定の装着位置に装着されるとその旨を示す信号が出力される。
また、制御部18は、動作制御部50を含んで構成されており、上記ドラム検出センサ13が接続されている。また、動作制御部50には、上述したモータ12、光源14及びCCDカメラ16も接続されており、動作制御部50では、光源14の発光又は発光停止を制御すると共に、ドラム検出センサ13から感光体ドラム20が回転軸に装着された旨の信号が入力されるとモータ12及びCCDカメラ16を制御して、感光体ドラム1周分の画像データの取得が実行される。
一方、同図に示されるように、制御部18は、画像情報取得部52、情報保持部53、欠陥画像抽出部54、パターン特定部56、パターン定義格納部58、欠陥サイズ演算部60、グレード付与部62及び検査結果判定部64を含んで構成されており、画像情報取得部52の入力端にはCCDカメラ16の出力端が接続されると共に、画像情報取得部52は欠陥画像抽出部54に、欠陥画像抽出部54及びパターン定義格納部58はパターン特定部56に、情報保持部53は画像情報取得部52及び分析部54に、パターン特定部56は欠陥サイズ演算部60に、欠陥サイズ演算部60はグレード付与部62に、グレード付与部62は検査結果判定部64に、それぞれ接続されている。また、情報保持部53は、画像情報取得部52、欠陥画像抽出部54及び検査結果判定部64にそれぞれ接続されている。
画像情報取得部52では、CCDカメラ16による撮像により順次取得された画像データが二次元展開されて明暗の階調分解能が8ビットのビットマップの画像情報が生成され、検出画像情報として情報保持部53に格納される。画像情報取得部52では、検出画像情報の格納先を示す情報が欠陥抽画像出部54に入力される。
欠陥画像抽出部54では、検出画像情報に対して閾値処理を実行し、非検査体の欠陥を示す画像が抽出される。当該閾値処理には、予め設定された複数種類の閾値が用いられる。
本実施の形態では、検出画像情報の階調が8ビット(0〜255)階調とされているので、この階調値に対して、第1の閾値(本実施の形態では、階調値=150)、第2の閾値(本実施の形態では、階調値=140)、第3の閾値(本実施の形態では、階調値=120)及び第4の閾値(本実施の形態では、階調値=110)の4種類の閾値が段階的に設定されており、検出画像を構成する非常に明るい画素/明るい画素/暗い画素/非常に暗い画素が、それぞれ欠陥画像を構成する画素として抽出される。
図3には、上記4種類の閾値を用いて抽出される4種類の欠陥画像が一例として模式的に示されている。本実施の形態では、階調値が第1の閾値以上である画素(本実施の形態では、階調値が150〜255である画素)のみを抽出した画像が画層1として生成され、階調値が第2の閾値以上第1の閾値未満である画素(本実施の形態では、階調値が140〜150である画素)のみを抽出した画像が画層2として生成され、階調値が第4の閾値以上第3の閾値未満である画素(本実施の形態では、階調値が110〜120である画素)のみを抽出した画像が画層3として生成され、階調値が第4の閾値未満である画素(本実施の形態では、階調値が0〜110である画素)のみを抽出した画像が画層4として生成される。なお、階調値が第3の閾値以上第2の閾値未満である画素(本実施の形態では、階調値が120〜140である画素)については欠陥画像を構成しない画素であり、正常な画層(図3では図示省略)であるとみなされる。
また、欠陥画像抽出部54では、各画層に抽出された全ての欠陥画素に基づいて、さらに欠陥画像の抽出を行う。各画層に抽出された欠陥画素のうち、ビットマップ上の座標位置が隣接する画素同士は同じ欠陥画像を構成するとみなされて1つの欠陥画像として抽出される。欠陥画像抽出部54では、抽出した欠陥画像の座標位置を示す位置情報及び欠陥画像の状態を示す状態情報をパターン特定部56に出力する。
なお、欠陥画像の状態は、1つの欠陥画素を構成する画素の明るさの分布であり、本実施の形態では、1つの欠陥画像を構成するとみなされた画素の属する画層が2進数表現で示されたものを適用している。例えば、検出画像情報に図3に示されるような欠陥画像が含まれていた場合、各画層では同図に示すように欠陥画素が抽出されることになり、画層1、画層2及び画層3において抽出された欠陥画素は隣接しているので1つの欠陥画像を構成するものと判断され、画層1から順に欠陥の有無が「有・有・有・無」であるので、この各画層における欠陥の有無を二進数表現で表した「1110」が、状態情報となる。
ここで、パターン定義格納部58には、欠陥の状態情報に基づく欠陥画像の出現パターン及び当該出現パターンに応じた後述するパラメータが予め設定された欠陥画像出現パターンテーブルが格納されるようになっている。
図4は、本実施の形態に係る欠陥画像出現パターンテーブルの一例がパターン定義格納部58に格納された状態が示されている。同図に示されるように、欠陥の状態情報に応じて、パターン番号が設定されている。さらに、各種処理で用いるべきパラメータとして、オペレータの目視による再検査を行うか、欠陥画像のサイズを導出するための演算に用いる式の種類、後述するグレードを1グレード昇格させるか、がそれぞれ各パターン番号に関連付けされて記憶されている。
ここで、表面欠陥には、突起形状のものや凹み形状のもの、異物が付着又は混入した欠陥、色が薄いか濃いか、等の様々な形態があり、この形態によって状態情報が異なる傾向にある。このため、出現パターンによって欠陥の形態を把握することができる。
また、被検査体の種類によっては、欠陥の形態よって必要な検出感度が異なる場合がある。この場合、全ての欠陥に対して一様な処理を行うことは適切でなく、欠陥の形態に応じて異なるパラメータを用いて処理を行う必要がある。
したがって、検出感度の違い等、各々の欠陥の形態にあった欠陥判定を行うために、被検査体の種類に応じて、同図に示されるような、各欠陥の形態に応じた検出感度等を考慮してパラメータが対応付けされている。
なお、本実施の形態では、上記パラメータとして、再検判定処理、重回帰式欠陥サイズ予測処理、グレード付与に関するパラメータを適用している。
パターン特定部56では、欠陥画像抽出部54から入力された状態情報に基づき、抽出された欠陥画像がパターン定義格納部58に格納された出現パターンのいずれに該当するかが特定され、該当する出現パターンに応じたパラメータを示す情報が欠陥サイズ演算部60に出力される。
なお、図4に示す例では、欠陥の状態情報を10進数表現に変換した値が出現パターンを示す番号となっている。このため、パターン特定部56で状態情報を10進数に変換し、変換した値と同じ番号の出現パターンに関連付けされたパラメータを読み出すようにしてもよい。
欠陥サイズ演算部60では、予め設定された欠陥サイズの予測式に、抽出された欠陥画像に基づくデータを代入する。本実施の形態では、2種類の数式が用意されており、欠陥サイズの導出にいずれの数式を用いるかについては上述した出現パターン定義テーブル(図4参照)に設定されている。当該欠陥サイズ演算部60では、パターン特定部56から入力されたパラメータにより示される数式を用いて欠陥サイズを得る。これにより得られた欠陥サイズを示す情報は、パラメータを示す情報と共にグレード付与部62に出力される。
なお、図4に示す例では、出現パターン1については、演算処理のパラメータが空欄となっているが、これは判定処理のパラメータとして「再検査」が記憶されているためであり、この場合はサイズの導出及びグレードの判定を行う必要はない。
グレード付与部62では、欠陥サイズと予め設定された閾値との間の大小関係に応じてグレードが付与される。
図5には、本実施の形態に係る欠陥サイズとグレードとの関係が模式的に示されている。同図に示されるように、欠陥サイズには2つの閾値A及びDが設定されており、導出された欠陥サイズが閾値Aよりも小さい場合にはグレード1が、閾値A以上であって閾値Dよりも小さい場合にはグレード2が、閾値D以上である場合にはグレード3が、それぞれ付与される。
ところで、本実施の形態では、被検査体の表面をCCDカメラ16により撮像して取得した画像に基づいて、予測式を用いて欠陥サイズを導出しているので、実際の欠陥のサイズと導出した欠陥のサイズとの間の誤差を完全に無くすことは不可能である。このため、閾値Aと閾値Dに対して、マージンを設けるようにしている。このマージンは、実際の欠陥のサイズと導出した欠陥のサイズとの相関関係における残差に基づいて予め設定される。
これにより、閾値Aに対して+B、−Cのマージンを設け、欠陥サイズがA未満であるかA以上であるかの判定を行う際に、予測値が(A−C)〜(A+B)の範囲のときにはA未満の可能性もA以上の可能性もある、と判定し、グレード2−3を付与する。
同様にして、閾値Dに対しても+E、−Fのマージンを設け、欠陥サイズがD未満であるかD以上であるかの判定を行う際に、予測値が(D−F)〜(D+E)の範囲のときにはD未満の可能性もD以上の可能性もある、と判定し、グレード1−2を付与する。
さらに、本実施の形態では、サイズ予測値が過小気味である出現パターンについては、グレードを1グレード昇格させて付与するようにしている。このグレードを昇格させるか否かについては上述した出現パターン定義テーブル(図4参照)に設定されている。グレード付与部62では、入力されたパラメータに基づいて、適宜、閾値により付与すべきと判断されたグレードよりも1グレード上のグレードを付与する。また、グレード付与部62では、付与したグレードを示す情報をパラメータを示す情報と共に検査結果判定部64に出力する。
検査結果判定部64では、入力されたグレードを示す情報及びパラメータを順次情報保持部53に保持し、欠陥画像抽出部54により抽出された感光体ドラム1本分の欠陥画像の各々に付与されたグレード及びパラメータを示す情報が全て取得・保持されると、保持されたグレード及びパラメータに基づいて最終的に被検査体に対する合格・不合格・再検査などの最終判定を行う。
本実施の形態では、まず、不合格判定の対象となるか否かが判断され、最も大きな欠陥であるグレード3の欠陥画像が1つでもある場合と、グレード2−3又はグレード2の欠陥画像の個数が2つ以上ある場合には、不合格判定の対象となり、不合格と判定される。
次に、不合格判定の対象とならない場合には、再検査判定の対象となるか否かがが判定され、グレード2−3の欠陥画像が1つでもある場合と、グレード2とグレード1−2の欠陥画像の個数が2つ以上である場合には、再検査判定の対象となり、再検査と判定される。
さらに、不合格判定及び再検査判定のいずれの対象にもならない場合には、合格判定の対象となり、合格と判定される。
ここで、本実施の形態では、検出画像に基づいて導出される欠陥サイズの確度が極端に低い形態の欠陥については、欠陥サイズの導出に基づく検査結果の判定を行わずに、オペレータの目視による再検査を行うようにしている。この再検査を行う形態の欠陥については、上述した出現パターン定義テーブル(図4参照)の判定処理のパラメータとして、「再検査」が設定されている。したがって、検査結果判定部64では、保持されたパラメータの中に再検査が含まれている場合には、欠陥のグレードや個数等に拘わらず当該被検査体の検査結果を再検査と判定する。
なお、抽出された全ての欠陥画像に付与されたグレードを示す情報を取得したか否かについては、欠陥画像抽出部54により欠陥の抽出が終了したことを示す信号等を出力させるようにしてもよいし、制御部18全体を制御する不図示のCPU等により、別途検査結果判定指示信号を入力させてもよい。
以下に本実施の形態の作用を説明する。
表面欠陥検査装置10では、感光体ドラム20が装着されたことを検出すると、制御部18により光源14による発光を開始すると共に、感光体ドラム20の予め設定された速度での回転を開始する。その後、制御部18では、CCDカメラ16による感光体ドラム20表面のスキャンを開始すると共に、表面欠陥検査処理を実行する。
図6は、本実施の形態に係る表面欠陥検査処理の流れを示すフローチャートであり、以下、同図を参照して本実施の形態に係る表面欠陥検査処理について説明する。
まず、ステップ100では、CCDカメラ16から画像データの入力があったか否かを判定し、当該判定が肯定判定となった場合、ステップ102に移行して、入力された画像データを感光体ドラム1周分蓄積して2次元展開し、検出画像情報として保持する。
次のステップ104では、検出画像情報に対して4種類の閾値を用いた閾値処理を施し、明るさがそれぞれ異なる4つの画層に分けて欠陥画像を構成する画素を抽出し、その後にステップ106に移行して、欠陥画像を構成する画素に基づいてさらに欠陥画像を抽出し、その後にステップ108に移行する。
なお、欠陥画像の抽出は、各画層に抽出された画素のうち、ビットマップ上で隣接する画素は同一の欠陥画像を構成するものとして、各画層に抽出された画素が構成する欠陥画像を特定することにより実行される。また、このようにして抽出された各欠陥画像については、ビットマップ上の座標位置に基づく位置情報と、欠陥画像を構成する画素の各画層への分布状態を示す状態情報と、がそれぞれの欠陥の特徴として導出される。
ステップ108では、予め設定された出現パターン定義テーブル(図4参照)に基づいて欠陥画像の出現パターンを特定し、その後にステップ110に移行する。
なお、この出現パターン定義テーブルは、被検査体の種類等に応じて発生し得る様々な欠陥の形態に応じて、各形態を撮像した場合の濃度分布の傾向等を実機を用いた実験や実機の仕様に基づくコンピュータシミュレーション等を行い、その結果を分析することにより適宜設定可能である。また、図4に示されるパラメータについても、同様にして適宜設定することが可能である。
ステップ110では、出現パターンに応じたパラメータを用いて、検出された欠陥画像の欠陥サイズを導出し、その後にステップ112に移行して、出現パターンに応じて欠陥画像にグレードを付与する。なお、本実施の形態では、欠陥サイズを導出するための数式を複数準備しており、欠陥サイズ導出のパラメータとしては、用いるべき数式の種類を適用すると共に、グレード付与のパラメータとしては、サイズ予測値が過小気味である出現パターンに対してグレードを1グレード昇格させて付与する1グレード昇格の有無を適用している。そして、出現パターンに応じてこれらのパラメータを用いて欠陥サイズ導出及びグレード付与が実行される。
次のステップ114では、検出画像に含まれる欠陥画像の抽出が完了したか否かを判定する。各画層に抽出された各画素が構成する欠陥画像が全て特定されている場合にはステップ114で肯定判定となり、ステップ116に移行する。一方、ステップ114で否定判定となった場合は再びステップ106に戻り、ステップ114が肯定判定となるまでステップ106乃至ステップ112の処理が繰り返し実行され、この間に抽出された欠陥画像の出現パターン及びグレードを示す情報が順次蓄積される。
ステップ116では、蓄積された欠陥画像の出現パターンを示す情報に基づいて、検出画像に含まれる欠陥画像のうち、再検査を実行する出現パターンの欠陥画像の有無を判定し、あると判定された場合は当該判定が肯定判定となってステップ128に移行する。一方、ステップ116で否定判定となった場合はステップ118に移行する。
ステップ118では、蓄積された欠陥画像のグレードを示す情報に基づいて、グレード3の欠陥画像の有無を判定し、グレード3の欠陥画像がある場合には当該判定が肯定判定となってステップ122に移行する。
一方、ステップ118で否定判定となった場合はステップ120に移行して、グレード2の欠陥画像とグレード2−3の欠陥画像の合計が2個以上あるか否かを判定し、これらの合計が2個以上である場合はステップ120で肯定判定となり、被検査体の表面の状態が所定の基準を満たしていないと判断してステップ122に移行する。
ステップ122では、検査結果を不合格であると判定し、その後に本表面欠陥検査処理を終了する。
一方、ステップ120で否定判定となった場合はステップ124に移行して、グレード2−3の欠陥画像があるか否かを判定し、なかった場合は当該判定が否定判定となってステップ126に移行する。
ステップ126では、グレード1−2の欠陥画像とグレード2の欠陥画像の合計が2個以上あるか否かを判定し、なかった場合は当該判定が否定判定となり、被検査体の表面には問題となる欠陥がないものと判断してステップ130に移行し、検査結果を合格であると判定し、その後に本表面欠陥検査処理を終了する。
一方、ステップ124、ステップ126でそれぞれ肯定判定となった場合はステップ128に移行する。
ステップ128では、検査結果を再検査であると判定し、その後に本表面欠陥検査処理を終了する。
以上詳細に説明したように、本実施の形態によれば、CCDカメラ16により感光体ドラム20の表面の明るさを示す検出画像情報を取得し、複数の閾値を用いて検出画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎の画層に分類し、当該分類結果に基づいて感光体ドラム20の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された画層の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定すると共に、出現パターン毎に設定されたパラメータを予めパターン定義格納部58に記憶しておき、欠陥画像の各々の出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて感光体ドラム20の表面の検査結果を判定するので、画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
また、本実施の形態によれば、各欠陥画像において特定された出現パターンに応じたパラメータを用いて、欠陥画像の各々に対して欠陥画像の重要度(欠陥サイズ)に応じたグレードを付与すると共に、感光体ドラム201本分の各欠陥画像のグレード及び個数に基づく前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行しているので、画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる。
さらに、本実施の形態によれば、感光体ドラム20の表面の明るさを示す検出画像情報を取得し、検出画像情報に基づいて感光体ドラム20の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された欠陥画像の大きさを導出して、導出された欠陥画像の大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じて予め設定された前記閾値を含む範囲に応じた中間グレード(グレード1−2及びグレード2−3)を含む複数のグレードの何れかを当該欠陥に付与し、検出画像情報から抽出された欠陥画像のグレード及び個数に基づいて、各グレードが付与された前記欠陥の個数に応じて感光体ドラム20の表面の検査結果を判定すると共に、中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には、適宜感光体ドラム20を再検査と判定するので、不良品の市場流出をより一層防止することができる。
なお、本実施の形態では、検出画像情報の階調を8ビット(0〜255)階調とした形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、階調分解能は、8ビット階調以上、好ましくは10ビット階調以上のビットマップ画像とすることが好ましい。
また、本実施の形態では、光源14としてDC電源により発光するタイプの蛍光燈ランプを用いた形態について説明したが、光源は、感光体ドラムの表面を照明可能なものであればよく、蛍光燈・ハロゲン光源などの一般的なものを用いればよい。
また、CCDカメラは、例えば、電子管式のテレビカメラ等の種々の画像入力装置により代替可能であり、感光体ドラム表面の部分的な階調差が採取可能で、検出対象とする欠陥のサイズに対して充分な分解能を持つものであれば、使用可能である。
なお、本実施の形態では、CCDカメラの分解能を49μm2として説明したが、CCDカメラの分解能は100μm2以上、好ましくは50μm2以上とするのが好ましい。
さらに、照明とスキャンラインとの関係は、照明が結像したライン内(明視野)でも照明が結像したライン近傍(暗視野)でもよく、被検査体や検出する欠陥の種類によって変形が可能である。
また、本実施の形態では、検出画像情報を4つの閾値を用いて欠陥を4つの画層に抽出する形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、2つ以上の閾値を用いればよい。
なお、本実施の形態では、一例として図4に示す出現パターン定義テーブルを適用した形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、適宜変形が可能である。例えば、欠陥を4つの画層に分けて抽出する場合であれば、欠陥の出現パターンは24種類となり、欠陥が何れの画層にも現れない場合(正常な場合)を除いた15種類の出現パターンに分類されることになる。
なお、欠陥サイズ導出のための演算に用いる数式は、一次回帰のような単純な形式から、多数の粒子変数を用いた重回帰式のような形式まで様々なものに変形が可能である。また、出現パターン毎に複数の数式を適用することも可能である。
また、グレードの数は閾値が一つの場合、グレードは1つの中間グレード(例えば、グレード1−2)と2つのグレード(グレード1及びグレード2)、閾値が2つの場合には2つの中間グレードと3つのグレードとなり、目的の被検査体に合わせて閾値の数を設定することによりそのグレード数を変更することができる。
さらに、グレードの付与方法やグレードごとの欠陥個数限度などはあくまでも一例であり、変形が可能である。
なお、本実施の形態における表面欠陥検査装置10の構成(図1乃至図4参照)及び処理の流れ(図6参照)は一例であり、適宜変更可能であることは言うまでもない。
(実施例1)
本実施例1では、4つの閾値を用いた閾値処理を施すと共に出現パターンの特定を行う一方、グレードの付与及び検査結果の判定については従来の方法で行った場合について記載する。
被検査体の感光体ドラム20として、φ30mmで全長が250mmであるものを用い、光源14は、DC電源により点灯するタイプの蛍光燈ランプを用いた。また、CCDカメラ16は、1ラインの画素数が4096個のタイプであり、光源5により照明された感光体ドラム20の結像ライン内(明視野)のスキャンライン17を、ドラム長さ250mmのうち、検査対象となる領域200mm分を一次元的にスキャンするように設定した。なお、その分解能は約49μm2となっていた。
次に、感光体ドラム20をモータ12により図1の矢印A方向に回転させてCCDカメラ16により感光体ドラム20の表面を撮像し、感光体ドラム20の表面をビットマップの画像として二次元展開して検出画像情報として保持させた。そして、該検出画像情報の明暗の階調分解能は、8ビット階調、即ち0〜255までの階調値で表現されたものとした。
次に検出画像情報の階調値に予め求めた4段階の閾値を設定し、検出画像情報に対して閾値処理を施した。閾値の設定は、120〜140階調の領域の画素を正常とし、110階調以下(非常に暗い)、110〜120階調(暗い)、140〜150階調(明るい)、150階調以上(非常に明るい)とし、それぞれ欠陥画像を抽出した。
次に、抽出された各欠陥画像に対して、それぞれ4つの画層における画素の出現有無を調べ、予めパターン定義格納部58に設定された出現パターンのいずれかを特定する処理をした。また、パターン定義には、欠陥判定のための基本処理である検査結果判定処理、欠陥サイズ演算処理、グレード付与処理の3つの処理に関するパラメータについても各出現パターン毎に定義した。
検査結果判定処理のパラメータである再検査は、当該パターンに該当した欠陥が、欠陥検出サイズの確度が低く、必ず再検査を実行することを意味している。次に、欠陥サイズ演算処理の式番号は、予め求めておいた2種類の欠陥サイズ予測式のうち、いずれの種類を用いるかを示すものであり、当該パラメータにより示される数式(予測式)に各画層で抽出された画素の粒子データを代入して、欠陥サイズを算出することを意味する。グレード付与処理のパラメータである1昇格は、導出した欠陥サイズに応じてグレードを付与する際に、サイズ予測値が過小気味であるパターンの予測値から導き出した欠陥グレード値に対して1グレード上の判定を行うことを意味している。
このように、抽出された各々の欠陥画像に対し、その出現パターンに応じたパラメータを用いて各種の基本処理を行わせた。
さらに、感光体ドラム1本内の欠陥画像について、出現パターンに基づく基本処理の結果を集計し、最終的に合格・不合格・再検査などの最終判定を決定した。
なお、本実施例1では、欠陥のグレードは200μm以上で500μm未満のサイズの欠陥をグレード1、500μm以上の欠陥をグレード2として、グレード2発生1個かグレード2発生5個以上で不合格判定するようにした。また、これら1本内の欠陥画像に検査結果判定処理のパラメータが再検査のものが含まれている場合、上述の条件を満たしていても、再検査とするようにした。
この判定の結果、従来の方式では、被検査体のうち、その20%を再検査にまわさなければならなかったが、本発明により再検査は5%未満となり、従来の1/4を再検査すればよいことが確認できた。
(実施例2)
本実施例2では、グレードの付与及び検査結果の判定については実施の形態に記載の方法を用いて行う一方、閾値処理については従来通り1つの閾値を用いて行う(出現パターンの特定を行わない)場合について記載する。
被検査体の感光体ドラム20として、φ30mmで全長が250mmであるものを用い、光源14は、DC電源により点灯するタイプの蛍光燈ランプを用いた。また、CCDカメラ16は、1ラインの画素数が4096個のタイプであり、光源5により照明された感光体ドラム20の結像ライン内(明視野)のスキャンライン17を、ドラム長さ250mmのうち、検査対象となる領域200mm分を一次元的にスキャンするように設定した。なお、その分解能は約49μm2となっていた。
次に、感光体ドラム20をモータ12により図1の矢印A方向に回転させてCCDカメラ16により感光体ドラム20の表面を撮像し、感光体ドラム20の表面をビットマップの画像として二次元展開して検出画像情報として保持させた。そして、該検出画像情報の明暗の階調分解能は、8ビット階調、即ち0〜255までの階調値で表現されたものとした。
次に、検出画像情報の階調値に1つの閾値を設定して閾値処理を施し、閾値を超えた場合にそれを特異点として抽出し、更にこの抽出された特異点に対し、予め求めておいた欠陥サイズ予測式により欠陥予測サイズの計算を行った。
次に、該欠陥粒子各々に対して、欠陥グレードを付与した。欠陥グレードの設定は、3段階グレードとし、各々小さい順からG1/G2/G3と命名し、G1とG2間の閾値を200μm、G2とG3間の閾値を500μmに設定した。このサイズは被検査体である感光体ドラム1の欠陥サイズのXY長の平均値を表すものであり、前記欠陥サイズ予測式における目的変数である。更に、各々の閾値に対するマージンを、G1とG2間の閾値に対するマージンを正負方向とも30μm、G2とG3間の閾値に対するマージンを正負方向とも30μmのように設定した。即ち、これにより、欠陥サイズ予測値は、170μm未満であれば必ずG1であると定義され、170μm以上かつ230μm未満であればG1かG2の可能性があると定義され、230μm以上かつ470μm未満であれば必ずG2であると定義され、470μm以上かつ530μm未満であればG2かG3の可能性があると定義され、530μm以上であれば必ずG3であると定義されたことになる。これらの欠陥グレードに対し、欠陥の個数制限をG2が2個未満またはG3が1個未満で不合格判定とするよう定義した。
この判定の結果、従来の方式では、被検査体のうち、その良品の3%を不合格にし、かつ1%の見逃しが存在していたが、本発明により1%未満の良品不合格率となり、歩留まりの良化に繋がった。また、1%の見逃しを0.1%以下とすることが可能となった。
なお、上記実施の形態によれば、実施例1と実施例2の双方の効果が得られるので、再検査を必要最低限に抑えつつ、誤判定を効率よく防止することができる。
実施の形態に係る表面欠陥検査装置の概略図である。 実施の形態に係る表面欠陥検査装置の制御部を中心とした機能ブロック図である。 4種類の閾値を用いて段階的に抽出される4種類の欠陥画像を一例として示す模式図である。 実施の形態に係る欠陥画像出現パターンテーブルの一例がパターン定義格納部に格納された状態示す模式図である。 実施の形態に係る欠陥サイズとグレードとの関係を示す模式図である。 実施の形態に係る表面欠陥検査処理の流れを示すフローチャートである。
符号の説明
10 表面欠陥検査装置
12 モータ
14 光源
16 CCDカメラ(取得手段)
18 制御部
20 感光体ドラム(被検査体)
52 画像情報取得部(取得手段)
54 欠陥画像抽出部(分類手段、欠陥画像抽出手段、特定手段)
56 パターン特定部(パターン特定手段)
58 パターン定義格納部(パラメータ記憶手段、記憶手段)
60 欠陥サイズ演算部(導出手段)
62 グレード付与部(グレード付与手段)
64 検査結果判定部(判定処理実行手段)

Claims (6)

  1. 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得する取得手段と、
    複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類する分類手段と、
    前記分類手段による分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出手段と、
    前記欠陥画像抽出手段により抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定するパターン特定手段と、
    予め前記出現パターン毎に設定された前記検査結果判定処理に用いるパラメータを記憶するパラメータ記憶手段と、
    前記欠陥画像の各々の前記出現パターンに応じた前記パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する判定処理実行手段と、
    を備えた画像判定装置。
  2. 前記欠陥画像の各々に対して、前記パラメータ記憶手段に予め設定されたパラメータを用いて欠陥の重要度に応じたグレードを付与するグレード付与手段を更に備え、
    前記パラメータ記憶手段は、前記各欠陥画像の重要度を判定するために用いるパラメータを予め更に記憶し、
    前記判定処理実行手段は、前記各欠陥画像のグレード及び個数に基づいて前記検査結果判定処理を実行する
    ことを特徴とする請求項1記載の画像判定装置。
  3. 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得する取得手段と、
    前記画像情報に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を特定する特定手段と、
    前記特定手段により特定された欠陥の大きさを導出する導出手段と、
    前記導出手段により導出された前記欠陥の大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じて予め設定された前記閾値を含む範囲に応じた中間グレードを含む複数のグレードの何れかを当該欠陥に付与するグレード付与手段と、
    前記画像情報に含まれる欠陥のうち、各グレードが付与された前記欠陥の個数に応じて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を行うと共に、前記中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には、前記被検査体を再検査判定する判定処理実行手段と、
    を備えた画像判定装置。
  4. 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、
    複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、
    当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、
    抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、
    前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、
    前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する画像判定方法。
  5. 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、
    複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、
    当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、
    抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、
    前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、
    特定された前記出現パターンに応じた前記パラメータを用いて、前記欠陥画像の各々に対して欠陥画像の重要度に応じたグレードを付与し、
    前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記各欠陥画像のグレード及び個数に基づく前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する画像判定方法。
  6. 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、
    前記画像情報に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を特定し、
    特定された欠陥の大きさを導出し、
    導出された前記欠陥の大きさと閾値とを比較し、比較結果に応じて予め設定された前記閾値を含む範囲に応じた中間グレードを含む複数のグレードの何れかを当該欠陥に付与し、
    前記画像情報に含まれる欠陥のうち、各グレードが付与された前記欠陥の個数に応じて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を行うと共に、前記中間グレードが付与された欠陥が存在する場合には、前記被検査体を再検査判定する画像判定方法。
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