JPS63152244U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63152244U JPS63152244U JP4447587U JP4447587U JPS63152244U JP S63152244 U JPS63152244 U JP S63152244U JP 4447587 U JP4447587 U JP 4447587U JP 4447587 U JP4447587 U JP 4447587U JP S63152244 U JPS63152244 U JP S63152244U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner cylinder
- rotating shaft
- drive mechanism
- wafer
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図乃至第５図は本考案の一実施例を示し、
第１図は成膜装置の真空室の断面図であり、第２
図はその要部の平面図である。第３図は搬送機構
を示す部分平面図であり、第４図はその縦断面図
である。第５図は旋回駆動機構と伸縮駆動機構と
を示す第１図の部分拡大断面図である。 １…真空室、２…反応室、３…ウエハ搬入出口
、５…ウエハキヤリア、６…ウエハ搬送機構、７
…ウエハ、１１…ウエハホルダ、１２…揺動連結
レバー、１５，１６…回転軸、１９…旋回駆動機
構、２０…伸縮駆動機構、２１…外筒、２３…内
筒、２４…端板、２６…ピニオン、２７…レバー
シブルモータ、２９，３０…スパーギヤ、３１…
ステツピングモータ、３４，３５…ピニオン。
第１図は成膜装置の真空室の断面図であり、第２
図はその要部の平面図である。第３図は搬送機構
を示す部分平面図であり、第４図はその縦断面図
である。第５図は旋回駆動機構と伸縮駆動機構と
を示す第１図の部分拡大断面図である。 １…真空室、２…反応室、３…ウエハ搬入出口
、５…ウエハキヤリア、６…ウエハ搬送機構、７
…ウエハ、１１…ウエハホルダ、１２…揺動連結
レバー、１５，１６…回転軸、１９…旋回駆動機
構、２０…伸縮駆動機構、２１…外筒、２３…内
筒、２４…端板、２６…ピニオン、２７…レバー
シブルモータ、２９，３０…スパーギヤ、３１…
ステツピングモータ、３４，３５…ピニオン。
Claims (1)
- ウエハを水平に保持するウエハホルダを先端に
枢着する一対の揺動連結レバーの基端を、真空室
内で互いに反転される２本の回転軸にそれぞれ固
定し、これら回転軸を、真空室内に立設する外筒
に回転可能に嵌合させた内筒に一体回転可能に支
持させるとともに、前記内筒の下端を外部に延出
して、該内筒を前記回転軸と共に回転させる旋回
駆動機構を大気中に設置し、かつ前記回転軸を外
部に延出して、該回転軸を前記内筒と独立に回転
させる伸縮駆動機構を大気中に設置してなること
を特徴とするウエハの搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4447587U JPS63152244U (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4447587U JPS63152244U (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63152244U true JPS63152244U (ja) | 1988-10-06 |
Family
ID=30862323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4447587U Pending JPS63152244U (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63152244U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130918A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Tel Sagami Ltd | 処理装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61160949A (ja) * | 1985-01-08 | 1986-07-21 | Abe Eng Kk | ウエ−ハ搬送装置 |
-
1987
- 1987-03-25 JP JP4447587U patent/JPS63152244U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61160949A (ja) * | 1985-01-08 | 1986-07-21 | Abe Eng Kk | ウエ−ハ搬送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130918A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Tel Sagami Ltd | 処理装置 |