JPS6424756U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6424756U JPS6424756U JP11874287U JP11874287U JPS6424756U JP S6424756 U JPS6424756 U JP S6424756U JP 11874287 U JP11874287 U JP 11874287U JP 11874287 U JP11874287 U JP 11874287U JP S6424756 U JPS6424756 U JP S6424756U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- link
- fixed
- rotates
- rotatably supported
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は縦断面図、第３図は作動態様説明図、第４図
は従来技術の説明図である。 Ａ……ウエハ、Ｂ……真空チヤンバ下壁、１…
…第１軸、２……第１リンク、３……第２軸、４
……第２リンク、５……第１リンク回動部、５ａ
……中空軸、５ｃ……モータ、６……連動部、６
ａ……太陽車、６ｂ……遊星車。
図は縦断面図、第３図は作動態様説明図、第４図
は従来技術の説明図である。 Ａ……ウエハ、Ｂ……真空チヤンバ下壁、１…
…第１軸、２……第１リンク、３……第２軸、４
……第２リンク、５……第１リンク回動部、５ａ
……中空軸、５ｃ……モータ、６……連動部、６
ａ……太陽車、６ｂ……遊星車。
Claims (1)
- 固定の第１軸と、該第１軸に一方端部を回転自
在に支承された第１リンクと、該第１リンクの他
方端部に回転自在に支承された第２軸と、該第２
軸に一方端部が固定されて他方端部に被移送物が
載置される第２リンクと、前記第１リンクに固定
され、かつ、前記第１軸に回転自在に貫挿された
中空軸がモータで回転されるようにした第１リン
ク回動部と、前記第１軸に固定された太陽車が前
記第２軸に固定された遊星車を前記第１リンクの
回動につれて回動させるようにした連動部とを含
むことを特徴とする移送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11874287U JPH0545885Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11874287U JPH0545885Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6424756U true JPS6424756U (ja) | 1989-02-10 |
| JPH0545885Y2 JPH0545885Y2 (ja) | 1993-11-29 |
Family
ID=31363352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11874287U Expired - Lifetime JPH0545885Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545885Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11874287U patent/JPH0545885Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0545885Y2 (ja) | 1993-11-29 |