JPH02130785U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02130785U JPH02130785U JP3875289U JP3875289U JPH02130785U JP H02130785 U JPH02130785 U JP H02130785U JP 3875289 U JP3875289 U JP 3875289U JP 3875289 U JP3875289 U JP 3875289U JP H02130785 U JPH02130785 U JP H02130785U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- arm
- intermediate chamber
- substrate holder
- film forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
Description
第１図は本考案の一実施例によるアーム旋回形
搬送機構の縦断面図、第２図は本機構の底面図、
第３図は本機構の平面図である。 １……中間室、２……アーム旋回形搬送機構、
３……アーム、４……基板ホルダ機構、６……ホ
ルダ、７……ガイドローラ、２０……アーム旋回
用モータ、３０……シリンダ、４０……ホルダス
ライド用モータ。
搬送機構の縦断面図、第２図は本機構の底面図、
第３図は本機構の平面図である。 １……中間室、２……アーム旋回形搬送機構、
３……アーム、４……基板ホルダ機構、６……ホ
ルダ、７……ガイドローラ、２０……アーム旋回
用モータ、３０……シリンダ、４０……ホルダス
ライド用モータ。
Claims (1)
- 基板に成膜処理を行うための各室が中間室の周
囲に配設された成膜装置内に設けられ、前記各室
と中間室との間で基板の搬送を行うための機構で
あつて、前記中間室内に旋回自在に設けられたア
ームと、前記アームを所定角度回転させるための
第１の駆動機構と、基板を載置するためのホルダ
を先端に有し、前記アーム上にスライド自在に支
持された基板ホルダ機構と、前記基板ホルダ機構
を前記各室と中間室との間でスライドさせるため
の第２の駆動機構とを備えたアーム旋回形搬送機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038752U JPH075997Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | アーム旋回形搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038752U JPH075997Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | アーム旋回形搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02130785U true JPH02130785U (ja) | 1990-10-29 |
| JPH075997Y2 JPH075997Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=31547043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989038752U Expired - Lifetime JPH075997Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | アーム旋回形搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075997Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071595U (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-20 | 株式会社アマダ | 可動体破損防止装置 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1989038752U patent/JPH075997Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071595U (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-20 | 株式会社アマダ | 可動体破損防止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH075997Y2 (ja) | 1995-02-15 |