JPH0330435U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0330435U JPH0330435U JP9075789U JP9075789U JPH0330435U JP H0330435 U JPH0330435 U JP H0330435U JP 9075789 U JP9075789 U JP 9075789U JP 9075789 U JP9075789 U JP 9075789U JP H0330435 U JPH0330435 U JP H0330435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- substrate
- substrate holder
- film forming
- holder holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による基板搬送機構
が採用された真空蒸着装置の概略断面構成図、第
２図はその基板搬送機構の断面構成図、第３図は
本考案に用いられる基板ホルダの一部断面構成図
、第４図は前記装置の成膜室に設けられた基板ホ
ルダ保持機構及びその駆動機構を示す断面構成図
、第５図は基板搬送機構のアーム先端部分を示す
平面図、第６Ａ図〜第６Ｃ図は本考案の一実施例
の動作を説明するための図である。 １……ロードロツク室、２……成膜室、３……
基板ホルダ保持機構、８……アーム本体、９……
基板ホルダ保持部、１０……基板搬送機構、１１
……アーム、１２……アーム駆動機構、１８……
モータ、１９……ピニオン、２０……ギヤ、２２
……昇降シリンダ。
が採用された真空蒸着装置の概略断面構成図、第
２図はその基板搬送機構の断面構成図、第３図は
本考案に用いられる基板ホルダの一部断面構成図
、第４図は前記装置の成膜室に設けられた基板ホ
ルダ保持機構及びその駆動機構を示す断面構成図
、第５図は基板搬送機構のアーム先端部分を示す
平面図、第６Ａ図〜第６Ｃ図は本考案の一実施例
の動作を説明するための図である。 １……ロードロツク室、２……成膜室、３……
基板ホルダ保持機構、８……アーム本体、９……
基板ホルダ保持部、１０……基板搬送機構、１１
……アーム、１２……アーム駆動機構、１８……
モータ、１９……ピニオン、２０……ギヤ、２２
……昇降シリンダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 成膜室に隣接する室に設けられ、基板が保持さ
れた基板ホルダを成膜室内の基板ホルダ保持機構
に着脱するための基板搬送機構であつて、 先端部に基板ホルダ保持部を有し旋回自在なア
ームと、このアームを基板ホルダ受渡し位置と前
記成膜室内の基板ホルダ保持機構との間で旋回さ
せるアーム旋回手段と、前記アームの基板ホルダ
保持部と前記基板保持機構との間で前記基板ホル
ダの受渡しが行われるよう前記アームを昇降させ
るアーム昇降手段とを備えた成膜装置の基板搬送
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9075789U JPH0330435U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9075789U JPH0330435U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330435U true JPH0330435U (ja) | 1991-03-26 |
Family
ID=31640269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9075789U Pending JPH0330435U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330435U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008013850A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Toppoly Optoelectronics Corp | 蒸着装置とその輸送システム |
-
1989
- 1989-07-31 JP JP9075789U patent/JPH0330435U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008013850A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Toppoly Optoelectronics Corp | 蒸着装置とその輸送システム |