JPH02125341U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本考案の実施例を示し、第１
図は縦断正面図、第２図は第１図の平面図、第３
図は第１図の−視断面図、第４図、第５図、
第６図、第７図、第８図及び第９図は作用状態を
示す図、第１０図、第１１図、第１２図、第１３
図、第１４図、第１５図及び第１６図は従来の例
を示す図、第１７図は第１２図のＸ−Ｘ視断
面図である。 Ａ……ウエハ、Ｂ１，Ｂ２……キヤリア、１…
…テーブル、２……昇降台機構、２ａ……空気シ
リンダ、２ｂ……昇降枠体、３……ウエハ支持体
、４……フレーム、５……空気シリンダ、６……
保持機構の実施例である保持棒。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上面にキヤリアを載せるようにしたテーブルと
   、前記キヤリア内に装填した複数枚のウエハに対
   する昇降台機構とから成り、前記昇降台機構の上
   面に、当該昇降台機構が上昇するとき前記キヤリ
   ア内におけるウエハの下端に接当してこれを持ち
   上げるようにしたウエハ支持体を、着脱自在に設
   ける一方、前記昇降台機構の上方の部位には、当
   該昇降台機構によつて上昇した前記ウエハ支持体
   を、上昇位置において保持するようにした保持機
   構を設けたことを特徴とするウエハの移し換え装
   置。