JPS63141300A - シンクロトロン加速装置 - Google Patents
シンクロトロン加速装置Info
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- JPS63141300A JPS63141300A JP61287129A JP28712986A JPS63141300A JP S63141300 A JPS63141300 A JP S63141300A JP 61287129 A JP61287129 A JP 61287129A JP 28712986 A JP28712986 A JP 28712986A JP S63141300 A JPS63141300 A JP S63141300A
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- synchrotron
- synchrotron accelerator
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 19
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 5
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H13/00—Magnetic resonance accelerators; Cyclotrons
- H05H13/04—Synchrotrons
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、シンクロトロン加速装置に係り。
特に、大電流の荷電粒子を低エネルギから高エネルギま
で安定に加速、蓄積できるようにしたシンクロトロン加
速装置に関する。
で安定に加速、蓄積できるようにしたシンクロトロン加
速装置に関する。
(従来の技術)
周知のように、半導体集積回路の製造には露光技術が不
可欠である。現在は、専ら紫外線露光方式が採用されて
いる。しかし、紫外線による露光技術は、現在、原理的
に限界に近付いており。
可欠である。現在は、専ら紫外線露光方式が採用されて
いる。しかし、紫外線による露光技術は、現在、原理的
に限界に近付いており。
したがって集積度も限界に近付いている。このようなこ
とから、最近では原理的により微細な転写が可能である
X線露光技術が注目されている。
とから、最近では原理的により微細な転写が可能である
X線露光技術が注目されている。
ところで、このようなX線露光技術を確立するにはX線
発生装置を必要とする。このX線発生装置としては従来
種々のものが提案されている。その中に、シンクロトロ
ン加速装置を利用したちのがある。このシンクロトロン
加速装置を利用したものは、電子の軌道が磁場によって
曲げられるときに発生するシンクロトロン軌道放射光の
中に含まれている軟X線を取り出すようにしている。シ
ンクロトロン軌道放射光によるX線は2強力で平行性が
よいためX線露光用として理想的なものと言える。
発生装置を必要とする。このX線発生装置としては従来
種々のものが提案されている。その中に、シンクロトロ
ン加速装置を利用したちのがある。このシンクロトロン
加速装置を利用したものは、電子の軌道が磁場によって
曲げられるときに発生するシンクロトロン軌道放射光の
中に含まれている軟X線を取り出すようにしている。シ
ンクロトロン軌道放射光によるX線は2強力で平行性が
よいためX線露光用として理想的なものと言える。
ところで、シンクロトロン加速装置は、高周波加速空洞
で荷電粒子を加速するとともに必要に応じて加速空洞内
に存在する寄生モードを加速空洞に設けられた寄生モー
ド減衰用アンテナで減衰させるようにしている。そして
、寄生モード減衰用アンテナは9通常、固定状態に設け
られている。
で荷電粒子を加速するとともに必要に応じて加速空洞内
に存在する寄生モードを加速空洞に設けられた寄生モー
ド減衰用アンテナで減衰させるようにしている。そして
、寄生モード減衰用アンテナは9通常、固定状態に設け
られている。
しかしながら1上記のように構成された従来のシンクロ
トロン加速装置にあっては次のような問題があった。す
なわち、大電流、低エネルギの電子を加速しようとする
場合には寄生モード減衰用アンテナで寄生モードを大幅
に減衰させることが望ましく、また高エネルギの電子を
加速する場合には電子自身による減衰があるため寄生モ
ード減衰用アンテナによる減衰はそれ程必要とせず、む
しろ寄生モード減衰用アンテナによって基本波モードの
減衰が起きないことが望まれる。しかし。
トロン加速装置にあっては次のような問題があった。す
なわち、大電流、低エネルギの電子を加速しようとする
場合には寄生モード減衰用アンテナで寄生モードを大幅
に減衰させることが望ましく、また高エネルギの電子を
加速する場合には電子自身による減衰があるため寄生モ
ード減衰用アンテナによる減衰はそれ程必要とせず、む
しろ寄生モード減衰用アンテナによって基本波モードの
減衰が起きないことが望まれる。しかし。
従来のシンクロトロン加速装置にあっては、寄生モード
減衰用アンテナを固定する方式を採用しているので、製
作時に低エネルギ電子の加速時における寄生モードを大
幅に減衰させるようにアンテナの結合度を設定しておく
と、高エネルギ電子の加速時に基本波モードの減衰が大
きくなり、また逆に高エネルギ電子の加速時に基本波モ
ードの減衰が起きないようにアンテナの結合度を設定し
ておくと、低エネルギ電子の加速時に寄生モードを減衰
させることが困難となり、結局、大電流の荷電粒子を低
エネルギから高エネルギまで安定に加速できない問題が
あった。
減衰用アンテナを固定する方式を採用しているので、製
作時に低エネルギ電子の加速時における寄生モードを大
幅に減衰させるようにアンテナの結合度を設定しておく
と、高エネルギ電子の加速時に基本波モードの減衰が大
きくなり、また逆に高エネルギ電子の加速時に基本波モ
ードの減衰が起きないようにアンテナの結合度を設定し
ておくと、低エネルギ電子の加速時に寄生モードを減衰
させることが困難となり、結局、大電流の荷電粒子を低
エネルギから高エネルギまで安定に加速できない問題が
あった。
(発明が解決しよとする問題点)
上述の如く、従来の装置にあっては、大電流の荷電粒子
を低エネルギから高エネルギまで加速することが困難で
あった。
を低エネルギから高エネルギまで加速することが困難で
あった。
そこで本発明は、上述した問題点を解消できるシンクロ
トロン加速装置を提供することを目的としている。
トロン加速装置を提供することを目的としている。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
本発明に係るシンクロトロン加速装置では。
寄生モード減衰用アンテナを外部から位置可変に支持す
る支持手段を設けている。
る支持手段を設けている。
(作用)
外部から操作することによって、寄生モード減衰用アン
テナの加速空洞への挿入口または向きを変えることによ
って、結合するモードとの結合度を自由に変えることが
可能となる。
テナの加速空洞への挿入口または向きを変えることによ
って、結合するモードとの結合度を自由に変えることが
可能となる。
(実施例)
以下1図面を参照しながら実施例を説明する。
第1図は本発明の一実施例に係るシンクロトロン加速装
置を組み込んでなるリソグラフィ用S OR(sync
hrotoron orbl、tal radiati
on )の主要部の概略構成を示すものである。
置を組み込んでなるリソグラフィ用S OR(sync
hrotoron orbl、tal radiati
on )の主要部の概略構成を示すものである。
すなわち、このSORは、電子をある速度まで予備加速
する予備加速器11と、予備加速された電子を導入して
さらに加速するシンクロトロン加速装置12と、このシ
ンクロトロン加速装置12内で放射されたシンクロトロ
ン軌道放射光、つまり軟X線を転写に利用すべく外部へ
導く案内管13とで構成されている。
する予備加速器11と、予備加速された電子を導入して
さらに加速するシンクロトロン加速装置12と、このシ
ンクロトロン加速装置12内で放射されたシンクロトロ
ン軌道放射光、つまり軟X線を転写に利用すべく外部へ
導く案内管13とで構成されている。
シンクロトロン加速装置12は、全体としてl・−ラス
状で、かつ多角形、たとえば8角形に形成され内部が真
空引きされた加速管14を備えている。加速管14の直
線部分の一箇所には電子を加速するための加速空洞15
が介在させである。また、加速管14の回りには電子ビ
ームを集束させるための磁石16が複数配置され、さら
に加速管14に存在する8個の頂部位置には電子にトー
ラス方向の周回軌道を描かせるための偏向磁場印加装置
17が設けられている。そして、これら偏向磁場印加装
置17から磁場が印加されている部分に前述した案内管
13が接続されている。
状で、かつ多角形、たとえば8角形に形成され内部が真
空引きされた加速管14を備えている。加速管14の直
線部分の一箇所には電子を加速するための加速空洞15
が介在させである。また、加速管14の回りには電子ビ
ームを集束させるための磁石16が複数配置され、さら
に加速管14に存在する8個の頂部位置には電子にトー
ラス方向の周回軌道を描かせるための偏向磁場印加装置
17が設けられている。そして、これら偏向磁場印加装
置17から磁場が印加されている部分に前述した案内管
13が接続されている。
前記加速空洞15は、第2図に示すように、空洞壁21
の対向する位置に孔22.23を有している。そして、
これら孔22.23は、それぞれ外側に延びるフランジ
部24.25に通じている。
の対向する位置に孔22.23を有している。そして、
これら孔22.23は、それぞれ外側に延びるフランジ
部24.25に通じている。
フランジ部24内には高周波発振器26に接続された結
合用アンテナ27が挿入されている。また。
合用アンテナ27が挿入されている。また。
フランジ部25には、2段構成に形成された支持筒28
が接続されており、この支持筒28内には寄生モード減
衰用のループアンテナ29が進退自在に挿設されている
。ループアンテナ29は、筒状の外部導体30内に中心
導体31を配置するとともに中心導体31の加速空洞側
に位置する先端部を外部導体30に接続し、また中心導
体31の中心部と外部導体30の中心部との間に絶縁材
32を気密に挿設し、さらに中心導体310図中下端部
と外部導体30の図中下端部との間に負荷抵抗33を接
続したものとなっている。そして。
が接続されており、この支持筒28内には寄生モード減
衰用のループアンテナ29が進退自在に挿設されている
。ループアンテナ29は、筒状の外部導体30内に中心
導体31を配置するとともに中心導体31の加速空洞側
に位置する先端部を外部導体30に接続し、また中心導
体31の中心部と外部導体30の中心部との間に絶縁材
32を気密に挿設し、さらに中心導体310図中下端部
と外部導体30の図中下端部との間に負荷抵抗33を接
続したものとなっている。そして。
上記のように構成されたループアンテナ29は。
外部導体30の外周面と支持筒25の内周面との間に気
密に接続されたベローズ34および外部導体30と支持
筒25とを摺動自在に接続するブラシ35とによって図
中大矢印36で示す方向に進退自在に支持されている。
密に接続されたベローズ34および外部導体30と支持
筒25とを摺動自在に接続するブラシ35とによって図
中大矢印36で示す方向に進退自在に支持されている。
なお、ベローズ34は支持機能ばかりか、前記絶縁材3
2とて気密を保持する機能も発揮し、またブラシ35は
外部導体30と支持筒28との間に入ったTEM波によ
ってベローズ34が加熱されるの防止している。
2とて気密を保持する機能も発揮し、またブラシ35は
外部導体30と支持筒28との間に入ったTEM波によ
ってベローズ34が加熱されるの防止している。
そして、ループアンテナ29の外部に露出している端部
は直線動駆動機構37に機械的に連結されている。この
直線動駆動機構37は、前述した高周波発振器26の出
力が小さいときにはループアンテナ29を図中上方に向
けて上昇させ、高周波発振器26の出力の増加に対応さ
せてループアンテナ29を下方へ後退させるように構成
されている。すなわち、直線動駆動機構37は、第3図
に示すように高周波発振器26の出力Prfの増加に対
応させてループアンテナ29の結合度βexを減少させ
るように制御する。なお1図では帯域阻止フィルタを省
略しである。
は直線動駆動機構37に機械的に連結されている。この
直線動駆動機構37は、前述した高周波発振器26の出
力が小さいときにはループアンテナ29を図中上方に向
けて上昇させ、高周波発振器26の出力の増加に対応さ
せてループアンテナ29を下方へ後退させるように構成
されている。すなわち、直線動駆動機構37は、第3図
に示すように高周波発振器26の出力Prfの増加に対
応させてループアンテナ29の結合度βexを減少させ
るように制御する。なお1図では帯域阻止フィルタを省
略しである。
このような構成であると、予備加速器11からシンクロ
トロン加速器12内に電子を導入すると。
トロン加速器12内に電子を導入すると。
この電子は加速空洞15で・加速力を与えられ、また各
偏向磁場印加装置17によって偏向されトーラス方向に
周回軌道を描きながら運動する。このとき、偏向磁場印
加装置17によって偏向を受けると軌道放射光が軌道の
接線方向に放射される。
偏向磁場印加装置17によって偏向されトーラス方向に
周回軌道を描きながら運動する。このとき、偏向磁場印
加装置17によって偏向を受けると軌道放射光が軌道の
接線方向に放射される。
この軌道放射光は案内管13によって外部へ導かれて使
用に供される。
用に供される。
ところで、高周波発振器26の出力が小さいとき、つま
りビームのエネルギが低いとき、直線動駆動機構37は
ループアンテナ29の加速空洞15内への挿入量を増加
させる。このため、ループアンテナ29とT旧10的な
寄生モードとの結合が大きくなる。この結果、 TML
IO的な寄生モードの減衰は太き(、TMIIO的なモ
ードとビームのベータトロン振動との結合に伴う不安定
性の成長が抑制され安定した加速が行われる。これは他
の寄生モードであるTMOIIモードやTM111モー
ドについても同様である。なお、ループアンテナ29に
取り入れられた電力は負荷抵抗33において消費される
。
りビームのエネルギが低いとき、直線動駆動機構37は
ループアンテナ29の加速空洞15内への挿入量を増加
させる。このため、ループアンテナ29とT旧10的な
寄生モードとの結合が大きくなる。この結果、 TML
IO的な寄生モードの減衰は太き(、TMIIO的なモ
ードとビームのベータトロン振動との結合に伴う不安定
性の成長が抑制され安定した加速が行われる。これは他
の寄生モードであるTMOIIモードやTM111モー
ドについても同様である。なお、ループアンテナ29に
取り入れられた電力は負荷抵抗33において消費される
。
一方、高周波発振器26の出力が大きくなると。
つまりビームのエネルギが高くなると、直線動駆動機構
37はループアンテナ29の加速空洞15内への挿入量
を減少させる。この領域ではビーム自身による減衰効果
が大きいので、アンテナによる減衰は小さくてよい。一
方、この領域では加速電圧が高くなるので、 TMOI
Oモードの減衰は小さい方がよい。したがって、上記の
ようにループアンテナ29の挿入量を減少させるとTM
OIOモードとの結合度を減少させることができるので
、この場合も安定に加速できることになる。
37はループアンテナ29の加速空洞15内への挿入量
を減少させる。この領域ではビーム自身による減衰効果
が大きいので、アンテナによる減衰は小さくてよい。一
方、この領域では加速電圧が高くなるので、 TMOI
Oモードの減衰は小さい方がよい。したがって、上記の
ようにループアンテナ29の挿入量を減少させるとTM
OIOモードとの結合度を減少させることができるので
、この場合も安定に加速できることになる。
このように、寄生モード減衰用のループアンテナ29を
外部から位置可変に支持する。いわゆる支持装置で支持
させるようにしている。このため。
外部から位置可変に支持する。いわゆる支持装置で支持
させるようにしている。このため。
ビームのエネルギに応じてループアンテナ29の結合度
を最適に設定できるので、低エネルギから高エネルギに
至るまで、無駄のない安定した加速を行なわせることが
できる。
を最適に設定できるので、低エネルギから高エネルギに
至るまで、無駄のない安定した加速を行なわせることが
できる。
第4図は本発明の別の実施例に係るシンクロトロン加速
装置における要部だけを取り出して示すものである。
装置における要部だけを取り出して示すものである。
この実施例では寄生モード減衰用のアンテナとしてロッ
ドアンテナ41を用い、このロッドアンテナ41をベロ
ーズ34で気密に、かつ図中大矢印42で示すように向
き可変に支持させている。
ドアンテナ41を用い、このロッドアンテナ41をベロ
ーズ34で気密に、かつ図中大矢印42で示すように向
き可変に支持させている。
そして、駆動機構43で高周波発振器の出力に対応させ
てロッドアンテナ41の傾きを制御し、第3図に示じた
ように結合度βOXを変化させるようにしている。なお
1図中44はTEN波侵入防止用の柔軟性に富んだ導電
板を示している。このように、ロッドアンテナ41を用
いても前記実施例と同様の効果を発揮させることができ
る。
てロッドアンテナ41の傾きを制御し、第3図に示じた
ように結合度βOXを変化させるようにしている。なお
1図中44はTEN波侵入防止用の柔軟性に富んだ導電
板を示している。このように、ロッドアンテナ41を用
いても前記実施例と同様の効果を発揮させることができ
る。
なお1本発明は上記実施例に限定されるものではない。
すなわち、上記実施例では高周波発振器の出力の変化に
連動させて寄生モード減衰用アンテナの位置を変えるよ
うにしているが手動で位置を変えるようにしてもよい。
連動させて寄生モード減衰用アンテナの位置を変えるよ
うにしているが手動で位置を変えるようにしてもよい。
また、アンテナや負荷抵抗およびその周辺等を冷却する
手段を設けてもよい。
手段を設けてもよい。
[発明の効果コ
以上述べたように9本発明によれば、寄生モード減衰用
アンテナを外部から位置可変に支持するようにしている
ので、ビームのエネルギに応じた結合度に設定でき、こ
れによって低エネルギから高エネルギまで安定した加速
が行なえるシンクロトロン加速装置を提供できる。
アンテナを外部から位置可変に支持するようにしている
ので、ビームのエネルギに応じた結合度に設定でき、こ
れによって低エネルギから高エネルギまで安定した加速
が行なえるシンクロトロン加速装置を提供できる。
第1図は本発明の一実施例に係るシンクロトロン加速装
置を組み込んでなるSORの主要部概略構成図、第2図
は同SORの加速空洞およびその周辺の概略構成図、第
3図は寄生モード減衰用アンテナの制御例の一例を説明
するための図、第4図は本発明の他の実施例に係るシン
クロトロン加速装置の局部的概略構成図である。 12・・・シンクロトロン加速装置、14・・・加速管
。 15・・・加速空洞、16・・・集束用の磁石、17・
・・偏向磁場印加装置、26・・・高周波発振器、29
・・・ループアンテナ、34・・・ベローズ137・・
・直線動駆動機構、41・・・ロッドアンテナ、43・
・・駆動機構。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 第2図
置を組み込んでなるSORの主要部概略構成図、第2図
は同SORの加速空洞およびその周辺の概略構成図、第
3図は寄生モード減衰用アンテナの制御例の一例を説明
するための図、第4図は本発明の他の実施例に係るシン
クロトロン加速装置の局部的概略構成図である。 12・・・シンクロトロン加速装置、14・・・加速管
。 15・・・加速空洞、16・・・集束用の磁石、17・
・・偏向磁場印加装置、26・・・高周波発振器、29
・・・ループアンテナ、34・・・ベローズ137・・
・直線動駆動機構、41・・・ロッドアンテナ、43・
・・駆動機構。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 第2図
Claims (4)
- (1)高周波加速空洞に寄生モード減衰用アンテナを備
えてなるシンクロトロン加速装置において、前記寄生モ
ード減衰用アンテナを外部から位置可変に支持する支持
手段が設けられてなることを特徴とするシンクロトロン
加速装置。 - (2)前記支持手段は、前記寄生モード減衰用アンテナ
の前記高周波加速空洞への挿入度を可変できるものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のシンク
ロトロン加速装置。 - (3)前記支持手段は、前記寄生モード減衰用アンテナ
の向きを可変できるものであることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載のシンクロトロン加速装置。 - (4)前記寄生モード減衰用アンテナは、ループアンテ
ナもしくはロッドアンテナであることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のシンクロトロン加速装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61287129A JPS63141300A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | シンクロトロン加速装置 |
US07/127,089 US4794340A (en) | 1986-12-02 | 1987-12-01 | Synchrotron-type accelerator with rod-shaped damping antenna |
DE19873740888 DE3740888A1 (de) | 1986-12-02 | 1987-12-02 | Synchrotron |
DE3744930A DE3744930C2 (ja) | 1986-12-02 | 1987-12-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61287129A JPS63141300A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | シンクロトロン加速装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63141300A true JPS63141300A (ja) | 1988-06-13 |
Family
ID=17713445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61287129A Pending JPS63141300A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | シンクロトロン加速装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4794340A (ja) |
JP (1) | JPS63141300A (ja) |
DE (2) | DE3740888A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02186599A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-07-20 | Hitachi Cable Ltd | ヒートパイプを用いた結合器 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2680005B2 (ja) * | 1987-11-30 | 1997-11-19 | 株式会社日立製作所 | シンクロトロン加速の加速方法 |
JP2555112B2 (ja) * | 1987-12-07 | 1996-11-20 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子ビーム冷却法 |
EP0389220A3 (en) * | 1989-03-20 | 1991-08-07 | Hitachi, Ltd. | An acceleration device for charged particles |
US5859576A (en) * | 1996-03-29 | 1999-01-12 | Illinois Superconductor Corporation | Extended spring loaded tuner |
KR100290829B1 (ko) * | 1999-03-25 | 2001-05-15 | 정기형 | 전자빔 가속기를 이용한 산업용 엑스선원 및 전자선원 |
SE516862C2 (sv) * | 2000-07-14 | 2002-03-12 | Allgon Ab | Avstämningsskruvanordning samt metod och resonator |
JP4443917B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2010-03-31 | 株式会社日立製作所 | 粒子線治療装置 |
US20060163496A1 (en) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Kazuo Hiramoto | Ion beam delivery equipment and an ion beam delivery method |
DE102010042055A1 (de) * | 2010-10-06 | 2012-04-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Ringbeschleuniger |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2605459A (en) * | 1943-10-23 | 1952-07-29 | Jackson H Cook | Monitoring apparatus for radio pulse transmission systems |
GB857342A (en) * | 1957-10-29 | 1960-12-29 | Mullard Ltd | Mechanism for moving a member axially within a bore formed through the wall of a vessel |
US3227917A (en) * | 1963-05-27 | 1966-01-04 | Eitel Mccullough Inc | Cavity resonator with flexible means forming both hermetic seal and pivot point |
US3463959A (en) * | 1967-05-25 | 1969-08-26 | Varian Associates | Charged particle accelerator apparatus including means for converting a rotating helical beam of charged particles having axial motion into a nonrotating beam of charged particles |
FR2192435B1 (ja) * | 1972-07-07 | 1976-01-16 | Thomson Csf Fr | |
FR2270758B1 (ja) * | 1974-05-10 | 1978-07-13 | Cgr Mev | |
US4400650A (en) * | 1980-07-28 | 1983-08-23 | Varian Associates, Inc. | Accelerator side cavity coupling adjustment |
US4485346A (en) * | 1982-07-15 | 1984-11-27 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Variable-energy drift-tube linear accelerator |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP61287129A patent/JPS63141300A/ja active Pending
-
1987
- 1987-12-01 US US07/127,089 patent/US4794340A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1987-12-02 DE DE3744930A patent/DE3744930C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02186599A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-07-20 | Hitachi Cable Ltd | ヒートパイプを用いた結合器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3744930C2 (ja) | 1993-05-13 |
DE3740888A1 (de) | 1988-06-09 |
DE3740888C2 (ja) | 1992-08-13 |
US4794340A (en) | 1988-12-27 |
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