DE3740888A1

DE3740888A1 - Synchrotron

Info

Publication number: DE3740888A1
Application number: DE19873740888
Authority: DE
Inventors: Munehiro Ogasawara
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-12-02
Filing date: 1987-12-02
Publication date: 1988-06-09
Also published as: US4794340A; DE3740888C2; DE3744930C2; JPS63141300A

Description

Die Erfindung betrifft ein Synchrotron, insbesondere einen Beschleuniger vom Synchrotron-Typ, der in der Lage ist, einen großen Strom, das ist eine große Anzahl geladener Teilchen sowohl im niederenergetischen als auch im hoch energetischen Zustand, stabil zu beschleunigen.

Bekanntlich ist bei der Herstellung von integrierten Halb leiterschaltungen das angewendete Belichtungs- oder Exposi tionsverfahren wesentlich für die Bildung eines bestimmten Musters auf einem Substrat eines Halbleitermaterials für eine integrierte Schaltung. Bei den herkömmlichen Exposi tionsmethoden, die mit Ultraviolett-Strahlen arbeiten, ist es jedoch aus prinzipiellen Gründen nicht möglich, die Integrationsdichte oder die Anzahl von Elementen pro Chip in der integrierten Schaltung zu erhöhen. Deshalb wurde bei einem weiterentwickelten Expositionsverfahren mit Röntgen strahlen gearbeitet, die eine kürzere Wellenlänge besitzen als die Ultraviolett-Strahlen, so daß eine Erhöhung des Integrationsgrades der integrierten Schaltungen möglich war.

Für die Exposition mit Röntgenstrahlen benötigt man einen Röntgenstrahl-Generator. Es wurden bereits verschiedene Typen von Röntgenstrahl-Generatoren vorgeschlagen, so zum Beispiel wurde als Röntgenstrahl-Generator für die Röntgen strahl-Lithographie ein Synchrotron-Beschleuniger (im fol genden als Synchrotron bezeichnet) vorgeschlagen.

Es soll kurz das Prinzip der Erzeugung von Röntgenstrahlen für die Röntgenstrahl-Lithographie erläutert werden. Rönt genstrahlen, genauer gesagt weiche Röntgenstrahlen, werden von der Synchrotron-Kreisbahn-Strahlung (SOR) abgeleitet, die von dem Synchrotron erzeugt wird. Die weichen Röntgen strahlen lassen sich sehr stark kollimieren und eignen sich für die Exposition (Belichtung) im Zuge der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen.

Das Synchrotron ist so aufgebaut, daß ein Strahlkanal die Ringbahn für die geladenen Teilchen definiert, wobei ein im folgenden lediglich als Hohlraum bezeichneter Beschleuni gungshohlraum in dem Strahlkanal eingefügt ist und mit einem elektrischen Hochfrequenz-Feld (HF-Feld), das ein elektrisches Beschleunigungsfeld darstellt, beaufschlagt wird. Die geladenen Teilchen werden durch das elektrische Beschleunigungsfeld beschleunigt, wenn sie den Hohlraum passieren.

Allerdings können in dem Hohlraum beim Passieren der geladenen Teilchen außer einer Komponente des Target-Grund modes, das ist der sogenannte TM₀₁₀-Mode (TM = transverse magnetic), auch Komponenten von Parasitär-Moden erregt wer den. Diese Parasitär-Moden können dazu führen, daß der Strom der geladenen Teilchen instabil wird.

Es wurde vorgeschlagen, in dem Beschleunigungshohlraum eine Dämpfungsantenne anzuordnen, um die Parasitär-Moden-Kompo nenten zu dämpfen. Wenn allerdings die Dämpfungsantenne in ihrer Lage fixiert ist, bereitet es Schwierigkeiten, die geladenen Teilchen, die einen starken Strom darstellen und den Bereich von niederenergetisch zu hochenergetisch ein nehmen, wirksam zu beschleunigen.

Um geladene Teilchen eines starken Stroms geringer Energie zu beschleunigen, müssen die Parasitär-Moden von der Dämpfungsantenne stark abgeschwächt werden. Wenn geladene Teilchen hoher Energie zu beschleunigen sind, ist allerdings die Zuwachsrate der Parasitär-Moden-Komponenten klein im Vergleich zu der Strahlungsdämpfungsrate der Elek tronen-Eigenschwingung, das heißt der Betratron-Schwingung oder der Synchrotron-Schwingung. Deshalb brauchen die Parasitär-Moden-Komponenten von der Dämpfungsantenne nicht so abgeschwächt zu werden, wie im Fall des niederenergeti schen Zustands. Vielmehr ist es erwünscht, daß eine abträg liche Beeinflussung der Grund-Mode-Komponente durch die Dämpfungsantenne verhindert wird.

Nimmt man an, daß die Kopplung zwischen der Dämpfungsan tenne und den Parasitär-Moden-Komponenten so eingestellt ist, daß die Parasitär-Moden-Komponenten, die nach der Beschleunigung der niederenergetischen Elektronen erzeugt werden, von der Dämpfungsantenne wirksam abgeschwächt wer den, so wird, wenn die hochenergetischen Elektronen zu beschleunigen sind, die Grund-Mode-Komponente von der Dämpfungsantenne stark abgeschwächt. Nimmt man hingegen an, daß die Kopplung von Grund-Mode-Komponente und Dämpfungsan tenne so eingestellt ist, daß die Grund-Mode-Komponente nicht von der Dämpfungsantenne abgeschwächt wird, nachdem die hochenergetischen Elektronen beschleunigt wurden, so ist es, wenn die niederenergetischen Elektronen zu beschleunigen sind, schwierig, die Parasitär-Moden-Kompo nenten wirksam mit der Dämpfungsantenne abzuschwächen, da die Kopplung der Parasitär-Moden-Komponenten und der Dämpfungsantenne zu schwach ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Synchrotron anzugeben, welches geladene Teilchen, die einen starken Strom bilden und den Bereich zwischen niederenergetischem und hochenergetischem Zustand einnehmen, stabil zu be schleunigen vermag.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Er findung gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Bei dem erfindungsgemäßen Synchrotron ermöglicht die Ein stelleinrichtung die Positionierung der Dämpfungsantenne in dem Beschleunigungshohlraum und/oder die Einstellung des von der Dämpfungsantenne belegten Bereichs in bezug auf den Wegbereich innerhalb des Beschleunigungshohlraums. Deshalb läßt sich die Kopplung von unerwünschten Parasitär-Moden- Komponenten, die in dem Beschleunigungshohlraum angeregt werden, und der Dämpfungsantenne selektiv variieren. In anderen Worten: Unerwünschte Parasitär-Moden-Komponenten lassen sich wirksam dämpfen. Als Folge davon lassen sich in dem Bereich zwischen niederenergetischem und hochenergeti schem Zustand befindliche geladene Teilchen stabil durch den Grund-Mode beschleunigen.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung an hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Ausfüh rungsbeispiels eines Synchrotrons, wie es bei der Röntgenstrahl-Lithographie eingesetzt wird,

Fig. 2 eine Schnittansicht des Beschleunigers nach Fig. 1,

Fig. 3 eine graphische Darstellung, die die Funktion der Dämpfungsantenne nach Fig. 2 veranschau licht und

Fig. 4 eine teilweise Schnittansicht einer Ausfüh rungsform des erfindungsgemäßen Synchrotrons.

Ein in Fig. 1 dargestellter Synchrotron-Beschleuniger be sitzt einen Strahlkanal 10 in Torus-Form, zum Beispiel in der Form eines Oktagons. Der Kanal 10 definiert eine Ring bahn für geladene Teilchen, das heißt Elektronen. Das Rohr 10 ist an eine (nicht gezeigte) Vakuumpumpe als Unterdruck quelle angeschlossen, und das Innere des Rohrs 10 wird von der Vakuumpumpe auf einen bestimmten Vakuumdruck evakuiert.

Der Kanal 10 ist über ein Verbindungsrohr 12 an eine Hilfs beschleunigereinheit 14 angeschlossen, die geladene Parti kel, das heißt Elektronen, auf eine vorbestimmte Geschwin digkeit beschleunigt. Mehrere Magneteinheiten 16 sind so angeordnet, daß sie den Kanal 10 umgeben. Die Magneteinhei ten 16 fokussieren die Elektronenstrahlen innerhalb des Kanals 10.

Ablenkeinheiten 18 dienen zum Anlegen eines magnetischen Ablenkfeldes an das Strahlrohr 10. Die Ablenkeinheiten sind an Abschnitten des Kanals 10 angeordnet, die den Ecken des Oktagons entsprechen. Die Kreisbahn für den Strahl inner halb des Kanals 10 wird durch die magnetischen Ablenkfelder gebogen, welche durch die Ablenkeinheiten 18 erzeugt wer den. Damit definiert der Elektronenstrahl innerhalb des Kanals 10 eine Kreisbahn in Form einer geschlossenen Schleife.

Von verschiedenen Abschnitten des Beschleunigungsrohrs 10 aus erstrecken sich Führungsrohre 20, und zwar von den mit den Ablenkeinheiten 18 ausgestatteten Abschnitten. Die Füh rungsrohre 20 leiten Synchrotron-Bahnstrahlung (SOR), die erzeugt wird, wenn der Elektronenstrahl in dem Rohr 10 die Ablenkeinheiten 18 passiert, auf eine (nicht gezeigte) Fol geeinheit, so daß weiche Röntgenstrahlen, die in der Bahn strahlung (SOR) enthalten sind, für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen verwendet werden können, und zwar für den Expositionsvorgang.

Der Beschleunigungsabschnitt 22 ist an einem der gestreck ten Abschnitte des Strahlkanals 10 angeordnet, der Beschleunigungsabschnitt 22 umfaßt ein hohles zylindrisches Gehäuse 24, welches in Fig. 2 im einzelnen dargestellt ist. An den beiden Enden des Gehäuses 24 sind Flansche 26 ange ordnet, die luftdicht mit entsprechenden Flanschen des Kanals 10 verbunden sind.

Ein Beschleunigungshohlraum 28 vorbestimmter Gestalt ist in dem Gehäuse 24 ausgebildet und steht in Verbindung mit dem Beschleunigungsrohr 10, wobei er einen Teil der oben er wähnten Elektronen-Umlaufbahn definiert.

In dem Gehäuse 24 sind zwei Löcher 30 und 32 gebildet, so ihre Achsen senkrecht zur Achse des Beschleunigungsrohrs 10 verlaufen. Die Achsen der Löcher 30 und 32 sind in geeigne ter Weise miteinander ausgerichtet.

Ein Loch, zum Beispiel das Kopplungsloch 30 in einem oberen Teil des Gehäuses 24, ist luftdicht über eine Flanschkupp lung an einen HF-Oszillator 34 angeschlossen. Der Oszilla tor 34 besitzt eine Kopplungsantenne 36, die sich in dem Kopplungsloch 30 befindet und in der Lage ist, den Be schleunigungshohlraum 28 mit einem elektrischen HF-Feld zu beaufschlagen. Wenn daher Elektronen den Hohlraum 28 pas sieren, werden sie von dem elektrischen HF-Feld beschleu nigt.

Das andere Loch 32 in einem unteren Teil des Gehäuses 24 befindet sich an einer geeigneten Stelle für eine Dämpfung der Parasitär-Moden-Komponenten, und es ist luftdicht über eine Flanschkupplung an den hohlen Lagerungszylinder 38 an geschlossen. In dem Zylinder 38 ist als Dämpfungsantenne eine Schleifenantenne 40 angeordnet. Die Schleifenantenne 40 besitzt ein äußeres leitendes Rohr 42 und ein inneres leitendes Element 44, das in dem Außenrohr 42 angeordnet ist. Ein Ende des inneren Elements 44, welches sich in der Nähe des Beschleunigungshohlraums 28 befindet, das heißt das obere Ende des inneren Elements 44, ist elektrisch an das obere Ende des Außenrohrs 42 angeschlossen, wie Fig. 2 zeigt. Ein Dichtungselement 46, bestehend aus elektrischem Isolierstoff, befindet sich im Mittelbereich des Außenrohrs 42 in dessen axialer Richtung, um das Innere des Rohrs 42 luftdicht abzuschließen, die unteren Enden des inneren Teils 44 und des Außenrohrs 42 sind über einen Lastwider stand 48 miteinander verbunden.

Die den obigen Aufbau aufweisende Schleifenantenne 40 sowie der Lagerungszylinder 38 sind über einen Balg 50 luftdicht miteinander verbunden. Die Antenne 40 kann sich in der in Fig. 2 durch einen Pfeil angedeuteten Richtung aufgrund des Balgs 50 bewegen. In anderen Worten: Die Antenne 40 wird von dem Balg 50 so gelagert, daß sie in bezug auf den Lage rungszylinder 38 in einer Richtung bewegbar ist, in der sie in den Beschleunigungshohlraum 28 vorsteht oder aus dem Hohlraum 28 zurückgezogen ist. Der Balg 50 trägt nicht nur die Schleifenantenne 40 sondern dichtet auch das Innere des Lagerungszylinders 38 zusammen mit dem oben erwähnten Dich tungselement 46 ab.

An der Innenfläche des Lagerungszylinders 38 ist eine Bür ste 52 angebracht, welche die Schleifenantenne 40 umgibt. Das nahe Ende der Bürste 52 ist elektrisch mit dem Zylinder 38 verbunden, das distale Ende der Bürste steht in Gleitbe rührung mit dem Außenrohr 42 der Antenne 40. Die Bürste 52 hält TEM-Wellen (elektromagnetische Transversalwellen) da von ab, in den Raum zwischen der Antenne 40 und dem Zylin der 38 zu gelangen. Es wird also verhindert, daß der Balg 50 durch TEM-Wellen erhitzt werden kann. Man beachtet, daß ein Bandsperren-Filter für den Grund-Mode in Fig. 2 nicht dargestellt ist.

Nach Fig. 2 ist das untere Ende der Schleifenantenne 40 an eine Linearantriebseinheit 54 gekoppelt. Die Antriebsein heit 54 bewegt die Schleifenantenne 40 in der durch Pfeil angedeuteten Richtung in Fig. 2, entsprechend dem Ausgangs signal des oben erwähnten HF-Oszillators 34. Die Arbeits weise der Antriebseinheit 54 wird anhand von Fig. 3 veran schaulicht.

Wenn das Ausgangssignal Prf des HF-Oszillators 34 klein ist, das heißt wenn die Elektronenenergie Ee des Strahls in dem Beschleunigungsrohr 10 gering ist, bewegt die Linearan triebseinheit 54 die Schleifenantenne 40 nach oben. Dann erhöht sich das Maß der Einfügung der Antenne 40 in den Be schleunigungshohlraum 28. Als Folge davon wird die Kopplung ßex der Schleifenantenne 40 bezüglich der Parasitär-Mode so, daß der TM₁₁₀-Mode groß wird, wie aus Fig. 3 hervor geht.

Der Parasitär-Mode wird von der Antenne 40 gedämpft, und als Folge davon wird die Instabilität bei der Beschleuni gung der Elektroden, welche aus der Kopplung des Parasitär- Mode und der eine Betatron-Schwingung vollziehenden Elek tronen resultiert, unterdrückt. Deshalb läßt sich der Elek tronenstrahl durch den Grund-Mode, das heißt den TM₀₁₀-Mode stabil beschleunigen. Darüber hinaus können andere, Parasi tär-Moden, zum Beispiel TM₀₁₁- oder TM₁₁₁-Moden, durch geeignete Positionierung der Antenne 40 wirksam gedämpft werden. Man beachte, daß die in die Antenne 40 eingespeiste Leistung von dem Lastwiderstand 48 verbraucht wird.

Wie Fig. 3 zeigt, arbeitet, wenn die Ausgangsleistung Prf des HF-Oszillators 34 erhöht wird, das heißt, wenn die Elektronenenergie Ee des Strahls zunimmt, die Linearan triebseinheit 54 so, daß sie das Maß der Einfügung der Schleifenantenne 40 in bezug auf den Beschleunigungshohl raum 28 verringert. Dann verringert sich die Kopplung β ex der Antenne 40 mit dem Parasitär-Mode gemäß Fig. 3. Wenn die Elektronenenergie Ee des Strahls groß ist, kann die Kopplung β ex klein sein, da die Dämpfung der Elektronen schwingung durch den Strahl selbst, hervorgerufen durch die sogenannte Strahlungsdämpfung, groß ist. Im Gegensatz dazu ist in diesem Zustand, weil die Spannung des Oszillators 34, das heißt die Beschleunigungsspannung, relativ hoch ist, die Dämpfung des Grund-Mode, das heißt des TM₀₁₀-Mode, vorzugsweise so gering wie möglich. Wenn in diesem Zusam menhang die Kopplung β ex abnimmt, wird auch die Kopplung der Antenne 40 und des TM₀₁₀-Mode verringert. Deshalb kön nen Elektronen durch den TM₀₁₀-Mode stabil beschleunigt werden.

Wie sich aus der obigen Beschreibung ergibt, kann man die Einfügung oder das Ausmaß des Hineinragens der Schleifenan tenne 40 in den Beschleunigungshohlraum 28 variieren, damit Elektronen mit der Elektronenenergie Ee im Bereich zwischen niederenergetischem und hochenergetischem Zustand stabil beschleunigt werden können. Die Richtung der Bewegung der Antenne 40 muß nicht senkrecht zur Achse des Hohlraums 28 verlaufen. Die Lage des Lochs 32 muß nicht in der Mitte des Hohlraums 28 liegen, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, statt dessen kann das Loch 32 derart an einer geeigneten Stelle angeordnet sein, daß es der Besonderheit des zu dämpfenden Mode oder anderer physikalischer Grenzbedingungen ent spricht.

Die Erfindung ist nicht auf das oben beschriebene Ausfüh rungsbeispiel beschränkt. Fig. 4 zeigt einen Teil eines Synchrotrons nach einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung. Bei dem Synchrotron nach Fig. 4 sind für gleiche und ähnliche Teile entsprechende Bezugszeichen verwendet wie in Fig. 2, und auf eine nochmalige Beschreibung wird verzichtet.

Der Beschleuniger nach Fig. 4 verwendet eine Stabantenne 56 anstelle einer Schleifenantenne 40. Die Antenne 56 durch setzt unter luftdichtem Abschluß einen Lastwiderstand 48 und ein in einem Außenrohr 42 befindliches Abdichtelement 46. Das obere Ende der Antenne 56 erreicht das Innere des Beschleunigungshohlraums 28. Das untere Ende der Antenne 56 ragt vom unteren Ende des Lagerungszylinders 38, der ein stückig mit dem Gehäuse 24 des Beschleunigungsabschnitts 22 ausgebildet ist, nach außen. Das vorstehende Ende der Antenne 56 ist auf einer Welle 58 drehbar gelagert, und das freie Ende der Antenne ist an eine Linearantriebseinheit 54 gekoppelt. Deshalb läßt sich die Antenne 56 von der An triebseinheit 54 um die Welle 58 in der in Fig. 4 durch Doppelpfeil kenntlich gemachten Richtung verschwenken. Auch bei dieser Ausführungsform nach Fig. 4 läßt sich durch Ändern des Neigungswinkels des oberen Endes der Antenne 56 in bezug auf die Achse des Hohlraums 28 das Einfügungs-Maß der Antenne 56 in bezug auf den Hohlraum 28 durch Drehen der Antenne 56 variieren. Somit dient der Beschleuniger nach Fig. 4 in ähnlicher Weise dem gleichen Zweck wie der Beschleuniger nach Fig. 2.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 werden flexible lei tende Stücke 60 anstelle der Bürste 52 nach Fig. 2 verwen det.

Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen wird eine Linearantriebseinheit 54 von außerhalb des Beschleunigungs abschnitts betätigt, um die Dämpfungsantenne zu manipulie ren. Man kann aber auch die Dämpfungsantenne unter Fortlas sung der Antriebseinheit 54 von Hand betätigen. Obschon oben nicht beschrieben, können Kühlmittel an denjenigen Elementen und Abschnitten vorgesehen sein, die sich mög licherweise erhitzen, zum Beispiel an der Dämpfungsantenne und an dem Lastwiderstand. Während bei den oben beschriebe nen Ausführungsbeispielen der Beschleunigungsabschnitt eine Dämpfungsantenne besitzt, kann ein Beschleunigungsabschnitt bei Bedarf auch mit mehreren Dämpfungsantennen ausgestattet sein.

Claims

1. Synchrotron, umfassend eine Bahnanordnung mit einem eine Ringbahn für geladene Teilchen definierenden Strahlkanal (10), der eine geschlos sene Schleife bildet;
einen Beschleunigungsabschnitt (22), der in den Strahl kanal (10) eingefügt ist und einen Beschleunigungshohlraum (28) in sich bildet, wobei der Beschleunigungshohlraum (28) in einer senkrecht zur Ringbahn der geladenen Teilchen ver laufenden Fläche einen vorbestimmten Wegbereich aufweist, und
eine Speiseeinrichtung (34) zum Anlegen eines elektri schen HF-Feldes an den Beschleunigungshohlraum (28), wobei das elektrische HF-Feld die den Beschleunigungshohlraum (28) passierenden geladenen Teilchen beschleunigt, so daß ein Grundmode in dem Beschleunigungshohlraum angeregt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß das Synchrotron weiterhin um faßt:
eine Dämpfungsantenne (40, 56), die in dem Beschleuni gungshohlraum (28) angeordnet ist, um einen unerwünschten Parasitär-Mode in dem Beschleunigungshohlraum (28) zu dämpfen, und
eine Einstelleinrichtung zum Manipulieren der Dämpfungs antenne (40, 56) von außerhalb des Beschleunigungsab schnitts (22) her sowie zum Einstellen der Lage der Dämpfungsantenne (40, 56) in dem Beschleunigungshohlraum (28) und/oder eines von der Dämpfungsantenne belegten Be reichs in bezug auf den Wegbereich des Beschleunigungshohl raums (28).

2. Synchrotron nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstelleinrichtung eine Lagerung (38, 42, 50) auf weist, welche die Dämpfungsantenne (40, 56) auf das Innere des Beschleunigungshohlraums (28) zu richtet und die Dämpfungsantenne (40, 56) derart lagert, daß diese in der Lage ist, sich in einer Richtung in den Beschleunigungs hohlraum hinein oder aus dem Beschleunigungshohlraum (28) heraus zu bewegen, und daß eine Antriebseinrichtung (54) zum Bewegen der Dämpfungsantenne (40, 56) vorgesehen ist.

3. Synchrotron nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerung einen hohlen Lagerungszylinder (38) auf weist, der mit dem Beschleunigungshohlraum (28) in Verbin dung steht und zur Aufnahme der Dämpfungsantenne (40, 56) dient, und daß ein Balg (50) vorhanden ist, um den Lage rungszylinder mit der Dämpfungsantenne luftdicht zu koppeln und die Dämpfungsantenne ( 40, 56) so zu lagern, daß diese in bezug auf den Lagerungszylinder (38) beweglich ist.

4. Synchrotron nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse des Lagerungszylinders (38) einen geeigneten Winkel zur Achse des Beschleunigungshohlraums (28) aufweist und die Antriebseinrichtung (54) die Dämpfungsantenne (40, 56) entlang der Lagerungszylinder-Achse bewegt, so daß das Ausmaß des Hineinragens der Dämpfungsantenne (40, 56) in den Beschleunigungshohlraum (28) variierbar ist.

5. Synchrotron nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse des Lagerungszylinders (38) einen geeigneten Winkel zur Achse des Beschleunigungshohlraums (28) auf weist, daß die Lagerung weiterhin eine Welle (58) zum schwenkbaren Lagern eines Endes der Dämpfungsantenne (40, 56) besitzt, welches von dem Beschleunigungshohlraum (28) weiter entfernt ist, und daß die Antriebseinrichtung (54) die Dämpfungsantenne (40, 56) um die Welle (58) dreht, so daß das Ausmaß des Hineinragens der Dämpfungsantenne ( 40, 56) in den Beschleunigungshohlraum (28) variierbar ist.

6. Synchrotron nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstelleinrichtung weiterhin eine Abschirmeinrich tung (52, 60) aufweist, die zwischen dem Beschleunigungs hohlraum (28) und dem Balg in dem Lagerungszylinder (38) angeordnet ist, um von dem Beschleunigungshohlraum (28) in Richtung auf den Balg (50) gesendete elektromagnetische Transversalwellen abzuhalten.

7. Synchrotron nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Lagerungszylinder (38) ein leitendes Material auf weist und die Abschirmeinrichtung (52, 60) ein leitendes Element enthält, das mit einem Ende an die Innenfläche des Lagerungszylinders (38) gekoppelt ist und mit dem anderen Ende in Gleitberührung mit der Dämpfungsantenne (40, 56) steht.

8. Synchrotron nach Anspruch 1 oder einem der folgen den, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungsantenne als Schleifenantenne (40) ausgebildet ist.

9. Synchrotron nach Anspruch 1 oder einem der folgen den, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungsantenne eine Stabantenne (56) aufweist.