JPS6261300A - 電子線加速器 - Google Patents
電子線加速器Info
- Publication number
- JPS6261300A JPS6261300A JP60199692A JP19969285A JPS6261300A JP S6261300 A JPS6261300 A JP S6261300A JP 60199692 A JP60199692 A JP 60199692A JP 19969285 A JP19969285 A JP 19969285A JP S6261300 A JPS6261300 A JP S6261300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inflector
- electron beam
- synchrotron radiation
- magnetic field
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H13/00—Magnetic resonance accelerators; Cyclotrons
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/22—Details of linear accelerators, e.g. drift tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、入射器から入射された電子をＮｌ′衡軌道１
゛、を周回させて高エネルギーを蓄積することによって
放射光を得る電子線加速器に関する。このような電子線
加速器は、発／１．した放射光を利用して ｙ導体製造
におけるリソグラフィ線鯨、Ｘ線顕微鏡および医療診断
なとに用いられる。
゛、を周回させて高エネルギーを蓄積することによって
放射光を得る電子線加速器に関する。このような電子線
加速器は、発／１．した放射光を利用して ｙ導体製造
におけるリソグラフィ線鯨、Ｘ線顕微鏡および医療診断
なとに用いられる。
［従来の技術］
従来の電子ンンクロトロンは、第２図および第３図に示
すように、入射器（図示せず）で加速された電子が打ち
込まれる入射ビームライン１と、加速された電子を回転
軌道にのせるためのインフレクタ２と、真空ポンプ（図
示せず）により真空状態に保たれている真空ダクト３と
、電ｒの回転軌道面に組直方向に磁場を発生するコイル
４および５と、鉄芯６と、真空ダクト３およびコイル４
の支持台７および８と、加速電極９と、高周波発振器１
０とを何している。
すように、入射器（図示せず）で加速された電子が打ち
込まれる入射ビームライン１と、加速された電子を回転
軌道にのせるためのインフレクタ２と、真空ポンプ（図
示せず）により真空状態に保たれている真空ダクト３と
、電ｒの回転軌道面に組直方向に磁場を発生するコイル
４および５と、鉄芯６と、真空ダクト３およびコイル４
の支持台７および８と、加速電極９と、高周波発振器１
０とを何している。
インフレクタ２は、第４図（ａ）あるいは（ｂ）に示さ
れるような構造を有している、第４図（ａ）に示された
磁場式インフレクタは、コイル導体１３および１４と、
絶縁材１５および１６とをイｌ−し、コイル１３および
１４に１１いに逆方向に電流を流すことによりビーム通
過点Ｘに磁場を牛しる。
れるような構造を有している、第４図（ａ）に示された
磁場式インフレクタは、コイル導体１３および１４と、
絶縁材１５および１６とをイｌ−し、コイル１３および
１４に１１いに逆方向に電流を流すことによりビーム通
過点Ｘに磁場を牛しる。
第４図（ｂ）に示された電場式インフレクタは、高圧電
極１７と、アース電極１８と、絶縁材１９とをもし、電
１１電極１７．！：アース′心極１８との間のビーム通
過点Ｘに電場を生しる。
極１７と、アース電極１８と、絶縁材１９とをもし、電
１１電極１７．！：アース′心極１８との間のビーム通
過点Ｘに電場を生しる。
電子は入射器から１００ＭｅＶ稈１１のエネルギーてＩ
Ｊも込まれ、インフレクタ２により、Ｎ［４衡軌山１１
の外側から平衡軌道に入り込む。加速電極９による電ｒ
エネルギーの増加と合わせて磁場強度を−Ｉ４げると、
電ｒは平衡軌道１１１−を回転しつつ接線）」向にンン
クロトロン放射尤を発／Ｉする。通常電ｒエネルキーか
故山ＭｅＶ〜ｌ ＧｅＶに達した時点でエネルギーを保
持して、発／１する放射光を物１１１研究や゛１′導体
製造なとの用途に使用する。
Ｊも込まれ、インフレクタ２により、Ｎ［４衡軌山１１
の外側から平衡軌道に入り込む。加速電極９による電ｒ
エネルギーの増加と合わせて磁場強度を−Ｉ４げると、
電ｒは平衡軌道１１１−を回転しつつ接線）」向にンン
クロトロン放射尤を発／Ｉする。通常電ｒエネルキーか
故山ＭｅＶ〜ｌ ＧｅＶに達した時点でエネルギーを保
持して、発／１する放射光を物１１１研究や゛１′導体
製造なとの用途に使用する。
［発明が解決しようとする問題点コ
放射光は光ダクト１２から取り出されるが、平衡軌道１
１の接線力向に障害物かあれば夕１にはｌｆ＆り出ゼな
い。第２図の場合、範囲Ａでは外にｌｆＷり出せる（１
２′のように入射ビームラインに当たり、特別の一１大
を７貿とするところもある）か、範囲Ｂではインフレク
タ２に当たり、更に範囲Ｃごは加速電極９に当たり共に
外部に取り出すことかできない。放射光が障害物に当た
ることによって人ｈ１のガスが発’ｌＬ、真空庶の低ト
によって電ｒビーム強度の減良を早めることになり、利
用面ばかりでなく性能面にも悪影響をおよは４゜利用１
’ｌＪ能÷ｒｊ Ｉ！ｔｌ Ａにはビーム診断装置や真
空機２；なとか取り付けられるので、実際に放射光を利
用できる範囲は史に縮められる。
１の接線力向に障害物かあれば夕１にはｌｆ＆り出ゼな
い。第２図の場合、範囲Ａでは外にｌｆＷり出せる（１
２′のように入射ビームラインに当たり、特別の一１大
を７貿とするところもある）か、範囲Ｂではインフレク
タ２に当たり、更に範囲Ｃごは加速電極９に当たり共に
外部に取り出すことかできない。放射光が障害物に当た
ることによって人ｈ１のガスが発’ｌＬ、真空庶の低ト
によって電ｒビーム強度の減良を早めることになり、利
用面ばかりでなく性能面にも悪影響をおよは４゜利用１
’ｌＪ能÷ｒｊ Ｉ！ｔｌ Ａにはビーム診断装置や真
空機２；なとか取り付けられるので、実際に放射光を利
用できる範囲は史に縮められる。
したがって本発明の［１的は、ｂり射光を１１ノリ出せ
る範囲を拡大して効率よく取り出せるようにしｔコミｒ
線加速装置を提供することである。。
る範囲を拡大して効率よく取り出せるようにしｔコミｒ
線加速装置を提供することである。。
［問題点を解決Ｊるためのｆ段］
本発明による電子線加速器は、インフレクタの磁場また
は電場発／］機構を放射光のｊＩＬｈ力向に曲角に駆動
する手段をイｊし、イン“フレフタを放射光か当たらな
いｆ合同に」Ｂｒできるようにしている。
は電場発／］機構を放射光のｊＩＬｈ力向に曲角に駆動
する手段をイｊし、イン“フレフタを放射光か当たらな
いｆ合同に」Ｂｒできるようにしている。
本発明は、インフレクタかビーム入射時にのみ７霞で、
ビームを加速する時点では不要である点にＭＩＮＩ、て
成されたものである。
ビームを加速する時点では不要である点にＭＩＮＩ、て
成されたものである。
［実施例］
第１図を参照すると、本発明の実施例に使用されるイン
フレクタが小されている。本発明の実施例においては、
インフレクタをｒｉ）動にすることにより、放射尤利用
時にインフレクタを放射光か当たらないイ装置に退避占
ぜて、放射光を通過させるようにしている。第１図（ａ
）または（ｂ）に示すように、本発明の実施例に使用さ
れる磁場式インフレクタ２ａまたは電場式インフレク９
２ ｂは、インフレクタの導体２０ａまｔ二は電極２０
１）を水十面でｌ下に 、分割し、真空ベロー２１ａま
たは２１１）で覆われた駆動ロッド２２ａまたは２２１
）を介し゛Ｃ工了ンリンダ２３２１または２３））によ
り駆動する。中１１面での放射光の高さく厚さ）はわず
か数１１１ｍであるので、１．ドに一分割された導体２
０ａまたは電極２０１）をその１１分たけ１士駆動ずれ
ばよい。
フレクタが小されている。本発明の実施例においては、
インフレクタをｒｉ）動にすることにより、放射尤利用
時にインフレクタを放射光か当たらないイ装置に退避占
ぜて、放射光を通過させるようにしている。第１図（ａ
）または（ｂ）に示すように、本発明の実施例に使用さ
れる磁場式インフレクタ２ａまたは電場式インフレク９
２ ｂは、インフレクタの導体２０ａまｔ二は電極２０
１）を水十面でｌ下に 、分割し、真空ベロー２１ａま
たは２１１）で覆われた駆動ロッド２２ａまたは２２１
）を介し゛Ｃ工了ンリンダ２３２１または２３））によ
り駆動する。中１１面での放射光の高さく厚さ）はわず
か数１１１ｍであるので、１．ドに一分割された導体２
０ａまたは電極２０１）をその１１分たけ１士駆動ずれ
ばよい。
インフレクタを可動にする機構としては、第１図に示し
た例以外にも神々の機構か使Ｊ１１できる。
た例以外にも神々の機構か使Ｊ１１できる。
また、中☆而で一°分割せずに、インフレクタ全体を中
）°ｆ面からドげるあるいは１げることにより、放射光
を通過させるようにすることも＋ｉＪ能である。
）°ｆ面からドげるあるいは１げることにより、放射光
を通過させるようにすることも＋ｉＪ能である。
［発明の効果］
５一
本発明においては、インフレクタを一１１動にして放射
光が当たらない（＜＋置に退避できるようにしているの
で、放射光の利用φわ囲を大幅に広げることかできる。
光が当たらない（＜＋置に退避できるようにしているの
で、放射光の利用φわ囲を大幅に広げることかできる。
特に、この部分は入射ビームライン１と−「渉しないイ
装置であるので、装置の１．・イ了つドｌｆＪ利である
。史に、放射光がインフレクタに当たらないので、真空
庶の向１・による蓄積ビームの１１命の延長と真空（〕
１気容１Ａの節減がはかれる。
装置であるので、装置の１．・イ了つドｌｆＪ利である
。史に、放射光がインフレクタに当たらないので、真空
庶の向１・による蓄積ビームの１１命の延長と真空（〕
１気容１Ａの節減がはかれる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）および（１））は本発明の実施例に使用さ
れる磁場式インフレクタおよび電場式インフレクタの断
面図である。第２図および第３図は電子線加速装置の＼
Ｉ・面図および断面図、第４図（ａ）および（ｂ）ｉよ
従来の電ｆ線加速）装置に便用される磁場式イ〉・フレ
フタおよび電場式インフレクタの断面図である。 １・・・入射ビームライン、２・・・インフレクタ、２
ａ・・・磁場式インフレクタ、２１）・・・電場式イン
フレクタ、真空ダクト、４，５・・・コイル、６・・・
鉄芯、７．８・・・支（，４台、９・・・加速型（へ、
１０・・・高周波発振器、１１・・・平衡軌道、１２・
・・光ダクト、２０ａ・・・−″分割導体、２０ｂ・・
・ 分割車枠、２１ａ。 ２１１）・・・真空ベロー、２２ ａ ＋ ２２ ｂ
・・・駆動ロッド、２３ ｉ＋、２３１）・・・工了ン
リ／り。 ＼へ１、 〆′ 一′ｌ− 第２図 、２Ａ
れる磁場式インフレクタおよび電場式インフレクタの断
面図である。第２図および第３図は電子線加速装置の＼
Ｉ・面図および断面図、第４図（ａ）および（ｂ）ｉよ
従来の電ｆ線加速）装置に便用される磁場式イ〉・フレ
フタおよび電場式インフレクタの断面図である。 １・・・入射ビームライン、２・・・インフレクタ、２
ａ・・・磁場式インフレクタ、２１）・・・電場式イン
フレクタ、真空ダクト、４，５・・・コイル、６・・・
鉄芯、７．８・・・支（，４台、９・・・加速型（へ、
１０・・・高周波発振器、１１・・・平衡軌道、１２・
・・光ダクト、２０ａ・・・−″分割導体、２０ｂ・・
・ 分割車枠、２１ａ。 ２１１）・・・真空ベロー、２２ ａ ＋ ２２ ｂ
・・・駆動ロッド、２３ ｉ＋、２３１）・・・工了ン
リ／り。 ＼へ１、 〆′ 一′ｌ− 第２図 、２Ａ
Claims (1)
- インフレクタによる外部からの入射機構を有する電子線
加速装置において、前記インフレクタの磁場または電場
発生機構を放射光の進行方向に直角に駆動する手段を有
し、前記インフレクタを前記放射光が当たらない位置に
退避できるようにしたことを特徴とする電子線加速器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60199692A JPS6261300A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 電子線加速器 |
| DE8686905410T DE3669637D1 (de) | 1985-09-10 | 1986-09-10 | Elektronen-linearbeschleuniger. |
| US07/054,595 US4808940A (en) | 1985-09-10 | 1986-09-10 | Electric beam accelerator |
| PCT/JP1986/000458 WO1987001556A1 (en) | 1985-09-10 | 1986-09-10 | Electron linear accelerator |
| EP86905410A EP0238669B1 (en) | 1985-09-10 | 1986-09-10 | Electron linear accelerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60199692A JPS6261300A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 電子線加速器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6261300A true JPS6261300A (ja) | 1987-03-17 |
| JPH0556000B2 JPH0556000B2 (ja) | 1993-08-18 |
Family
ID=16412022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60199692A Granted JPS6261300A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 電子線加速器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4808940A (ja) |
| EP (1) | EP0238669B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6261300A (ja) |
| DE (1) | DE3669637D1 (ja) |
| WO (1) | WO1987001556A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5124658A (en) * | 1988-06-13 | 1992-06-23 | Adler Richard J | Nested high voltage generator/particle accelerator |
| DE10025588A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-11-29 | Mold Masters Ltd | Einrichtung zur Verarbeitung von geschmolzenem Material, Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung derselben |
| JP5606793B2 (ja) * | 2010-05-26 | 2014-10-15 | 住友重機械工業株式会社 | 加速器及びサイクロトロン |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3148100A1 (de) * | 1981-12-04 | 1983-06-09 | Uwe Hanno Dr. 8050 Freising Trinks | "synchrotron-roentgenstrahlungsquelle" |
| JP2526374B2 (ja) * | 1983-11-24 | 1996-08-21 | 工業技術院長 | 蓄積リング放射光装置の制御方法 |
| JPH05250317A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | データ転送方式 |
-
1985
- 1985-09-10 JP JP60199692A patent/JPS6261300A/ja active Granted
-
1986
- 1986-09-10 EP EP86905410A patent/EP0238669B1/en not_active Expired
- 1986-09-10 DE DE8686905410T patent/DE3669637D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-09-10 WO PCT/JP1986/000458 patent/WO1987001556A1/ja active IP Right Grant
- 1986-09-10 US US07/054,595 patent/US4808940A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3669637D1 (de) | 1990-04-19 |
| JPH0556000B2 (ja) | 1993-08-18 |
| EP0238669B1 (en) | 1990-03-14 |
| WO1987001556A1 (en) | 1987-03-12 |
| EP0238669A1 (en) | 1987-09-30 |
| EP0238669A4 (en) | 1987-11-09 |
| US4808940A (en) | 1989-02-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |