JPS6313930A - ダンパ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は物体の振動を減衰するダンパー装置に係るもの
であり、特にエアー浮上させた移動物体の振動を迅速に
減衰するためのダンパー装置に係るものである。

［従来の技術］ エアー浮上させた移動物体をリニアモータで位置決めす
る場合、エアーの粘性が小さく、摩擦力が作用しないた
め所望の位置決め点で移動物体は進行方向に微少振動を
くり返しなかなか停止しないという問題があった。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は、エアー浮上させた移動物体の停止時の
振動を排除し、位置決め時間を短縮するダンパー装置を
提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前記の目的を達成するため本発明に従うダンパー装置は
、定盤上にエアー浮上する可動体へ固定する取付部材と
、この取付部材へ弾性的に接続されているオイル受け器
と、可動体へあらかじめ取付部材を固定している場合は
オイル受け器を定盤へ選択的に付着させ、定盤へあらか
じめオイル受け器を固定している場合は取付部材を可動
体へ選択的に付着させる選択付着手段とを備え、前記の
取付部材は前記のオイル受け器に収容している粘性流体
に浸漬されている部分を有している。

特に選択付着手段としては電磁石または真空吸着手段を
使用する。

［作用］ 可動体に物体をのせ、可動体をエアー浮上させ、所望の
位置決め点にまで移動させ停止させるとき選択付着手段
を付勢する。すると、可動体と取付部材とがあらかじめ
固定されている場合にはオイル受け器が定盤へ瞬間的に
固定され、オイル受け器に収容している粘性流体とこれ
に浸漬されている取付部材の部分との間に粘性による抑
制力が作用して振動を吸収して可動体を停止する。定盤
とオイル受け器とがあらかじめ固定されている場合には
取付部材が可動体へ瞬間的に固定され、オイル受け器に
収容している粘性流体とこれに浸漬されている取付部材
の部分との間に粘性による抑制力が作用して振動を吸収
して可動体を停止する。

［実施例］ 本発明の実施例を以下に添付図を参照して詳細に説明す
る。

第１図は本発明の第１の実施例の展開図であり、第２図
はそれの組立体の縦断面図である。これらの図において
１は取付部材、２はベローズ、３はオイル受け器、４は
鉄心、５はコイルであり、６は粘性流体である。

可動体（図示せず）への取付部材１はエアー浮上させる
可動体とベローズ２に取り付け、オイル受け器３はベロ
ーズ２と鉄心４に取り付け、シリコンオイル等の粘性流
体６をオイル受け器３に充填しておく。

組立体全体は磁性材の定盤（図示せず）の上にのせ、可
動体例えばＸ−Ｙテーブルが８勅する時は、コイル５に
電流を流さない。このとき鉄心４は定盤面上に浮上し、
これと接触していない。次に可動体を位置決めする時に
は、コイル５に電流を流す。すると、鉄心４は磁石とな
って定盤面に吸着しオイル受け器３が定盤面に固定され
る。可動体は慣性のため、取付部材１と一緒に進行方向
に移動するが、オイル受け器に充填したオイル６と取付
部材１との間に大きな粘性による抑制力が働いて、可動
体の振動が吸収され、可動体はすみやかに停止する。

ベローズ２の代りにゴムを使用しても同様の効果が得ら
れる。

第３図は本発明の第２の実施例を示す。この実施例では
鉄心４を取除き、オイル受け器３を磁性材料からつくり
、その周囲にコイル５を巻いている。第１の実施例に比
して高さを低くできるという利点もある。弾性片７はゴ
ムとしてオイルの回出を防止するようにしている。吸着
手段として電磁石に代え真空吸着を利用しても同様の効
果が得られる。

第１と第２の実施例では可動体へあらかじめ取付部材が
固定されているのでオイル受け器を定盤へ選択的に吸着
するようにしているが、これとは反対に定盤へあらかじ
めオイル受け器を固定している場合は取付部材を可動体
へ選択的に吸着するようにする。第４図にそのような場
合の実施例を示す。

第４図において取付部材４にコイル５を巻いて、オイル
受け器３を定盤へあらかじめ固定しておく。位置決めす
るときコイル５に電流を流すことにより可動体を吸着固
定する。

［発明の効果コ 以上説明したように、エアー浮上させた可動体と定盤と
の間にオイルダンパーを作用させることによって位置決
め時の可動体の振動を抑制し、位置決め時間を短縮する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のオイルダンパー装置の第１の実施例の
展開図である。 第２図は第１の実施例の縦断面図である。 第３図は第２の実施例の縦断面図である。 第４図は第３の実施例の縦断面図である。 １：取付部材、２：弾性結合片（ベローズ）、３ニオイ
ル受け器、４：鉄心、５：コイル、６：粘性流体、７：
弾性結合片（ゴム）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、定盤上にエアー浮上する可動体へ固定する取付部材
   、 この取付部材と弾性的に接続されているオイル受け器、
   および 可動体へあらかじめ取付部材を固定している場合はオイ
   ル受け器を定盤へ選択的に付着させ、定盤へオイル受け
   器をあらかじめ固定している場合は取付部材を可動体へ
   選択的に付着させ選択付着手段を備え、前記の取付部材
   は前記のオイル受け器に収容されている粘性流体に浸漬
   された部分を有することを特徴とするダンパー装置。 ２、前記の選択付着手段が電磁石である特許請求の範囲
   第１項に記載されたダンパー装置。 ３、前記の電磁石が前記のオイル受け器の底部に固定さ
   れた鉄心とその周囲に巻装されたコイルとからなる特許
   請求の範囲第２項に記載されたダンパー装置。 ４、前記の電磁石が磁性材料のオイル受け器とその周囲
   に巻装されたコイルとからなる特許請求の範囲第２項に
   記載されたダンパー装置。 ５、前記の電磁石が磁性材料の取付部材とこれに巻装さ
   れたコイルとからなる特許請求の範囲第２項に記載され
   たダンパー装置。 ６、前記の選択付着手段が真空吸着手段である特許請求
   の範囲第１項に記載されたダンパー装置。 ７、前記の取付部材と前記のオイル受け器とがベローズ
   により接続されている特許請求の範囲第１項に記載され
   たダンパー装置。 ８、前記の取付部材と前記のオイル受け器とがゴムによ
   り接続されている特許請求の範囲第１項に記載されたダ
   ンパー装置。