JPS6313682U - - Google Patents

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JPS6313682U
JPS6313682U JP10539286U JP10539286U JPS6313682U JP S6313682 U JPS6313682 U JP S6313682U JP 10539286 U JP10539286 U JP 10539286U JP 10539286 U JP10539286 U JP 10539286U JP S6313682 U JPS6313682 U JP S6313682U
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JP
Japan
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bevel gear
shaft
hand part
spline shaft
fixed
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Pending
Application number
JP10539286U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図は本考案の第1実施例を示し
、第1図は垂直断面図、第2図は側面図、第3図
は旋回ビーム部分を他方向から見た側面図、第4
図は部分上面図、第5図は旋回ビーム部分の一部
破断ないし省略した下面図である。第6図乃至第
8図は第2実施例を示し、第6図は垂直断面図、
第7図は側面図、第8図は部分上面図である。第
9図乃至第11図は第3実施例を示し、第9図は
垂直断面図、第10図は側面図、第11図は部分
上面図である。第12図乃至第14図は第4実施
例を示し、第12図は垂直断面図、第13図は側
面図、第14図は部分上面図である。第15図乃
至第17図は各種ロボツトの動作領域を示す説明
図である。 2……フレーム、3……第1垂直軸、4……第
2垂直軸、5……第3垂直軸、6……旋回ビーム
、7……ガイドレール、8……送りねじ、9……
スプライン軸、10……スライダ、11……ハン
ド部、14……中心軸、18……原動ベベル歯車
、19……従動ベベル歯車、20……第1伝達軸
、25……第1回転伝達手段、26……第1太陽
ベベル歯車、27……第1遊星ベベル歯車、21
……第2伝達軸、31……第2回転伝達手段、3
2……第2太陽ベベル歯車、33……第2遊星ベ
ベル歯車、34……第1電動機、35……第2電
動機、36……第3電動機。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 外側から第1、第2、第3と同心状に並んでフ
    レームに支持された3個の垂直軸と、 第1垂直軸の下端に水平に固定されると共に長
    手方向にガイドレール、送りねじ、及びスプライ
    ン軸を支持した旋回ビームと、 前記ガイドレールに支持され、且つ前記送りね
    じに連結されたスライダと、 垂直な中心軸により前記スライダに回転自在に
    支持され、旋回ビームの旋回中心を通る直線経路
    を移動せしめられるハンド部と、 前記スプライン軸に嵌合し、前記ハンド部中心
    軸に固定した従動ベベル歯車とのかみ合いを保ち
    つつスライダの移動と共にスプライン軸上を摺動
    する原動ベベル歯車と、 スプライン軸に連結する第1回転伝達手段を一
    端に有し、他端には第2垂直軸の下端に固定した
    第1太陽ベベル歯車にかみ合う第1遊星ベベル歯
    車を有する第1伝達軸と、 送りねじに連結する第2回転伝達手段を一端に
    有し、他端には第3垂直軸の下端に固定した第2
    太陽ベベル歯車にかみ合う第2遊星ベベル歯車を
    有する第2伝達軸と、 第1、第2及び第3垂直軸に回転を与えるべく
    これらと個別に連結する第1、第2及び第3電動
    機とを備えた産業用ロボツト。
JP10539286U 1986-07-09 1986-07-09 Pending JPS6313682U (ja)

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JP10539286U JPS6313682U (ja) 1986-07-09 1986-07-09

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JPS6313682U true JPS6313682U (ja) 1988-01-29

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ID=30979779

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JP10539286U Pending JPS6313682U (ja) 1986-07-09 1986-07-09

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JP (1) JPS6313682U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003058707A1 (fr) * 2002-01-08 2003-07-17 Tokyo Electron Limited Systeme de traitement a semi-conducteur et mecanisme porteur de semi-conducteur

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003058707A1 (fr) * 2002-01-08 2003-07-17 Tokyo Electron Limited Systeme de traitement a semi-conducteur et mecanisme porteur de semi-conducteur

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