JPS63132459U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63132459U JPS63132459U JP2444487U JP2444487U JPS63132459U JP S63132459 U JPS63132459 U JP S63132459U JP 2444487 U JP2444487 U JP 2444487U JP 2444487 U JP2444487 U JP 2444487U JP S63132459 U JPS63132459 U JP S63132459U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- semiconductor
- conductivity type
- junction part
- different conductivity
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案素子の模式的平面図、第２図は
第１図の―線による断面構造図、第３図は本
考案の他の実施例を示す斜視図、第４図は第３図
に示す半導体受光素子の製造工程を示す平面図、
第５図は同じく裏面図、第６図は本考案の更に他
の実施例の製造工程を示す裏面図、第７図は従来
素子の模式的平面図、第８図は第７図の―線
による断面構造図、第９図はＳｉの光吸収特性を
示すグラフである。 １…ｎ−型の半導体基板、２…ｐ＋型の半導体
層、３…ｎ＋型の半導体層、４，５…電極、１１
…ｎ−型の半導体基板、１１ａ…テーパ部、１１
ｂ…底部、１２…ｐ＋型の半導体層、１３…ｎ＋
型の半導体層、１４…Ａｌ電極、１５…Ａｕ電極
、２１…ｎ−型の半導体基板、２２…ｐ＋型の半
導体層、２５…Ａｕ電極。
第１図の―線による断面構造図、第３図は本
考案の他の実施例を示す斜視図、第４図は第３図
に示す半導体受光素子の製造工程を示す平面図、
第５図は同じく裏面図、第６図は本考案の更に他
の実施例の製造工程を示す裏面図、第７図は従来
素子の模式的平面図、第８図は第７図の―線
による断面構造図、第９図はＳｉの光吸収特性を
示すグラフである。 １…ｎ−型の半導体基板、２…ｐ＋型の半導体
層、３…ｎ＋型の半導体層、４，５…電極、１１
…ｎ−型の半導体基板、１１ａ…テーパ部、１１
ｂ…底部、１２…ｐ＋型の半導体層、１３…ｎ＋
型の半導体層、１４…Ａｌ電極、１５…Ａｕ電極
、２１…ｎ−型の半導体基板、２２…ｐ＋型の半
導体層、２５…Ａｕ電極。
Claims (1)
- 半導体基板の片面にこれとは導電型が異なる半
導体層を設けて導電型の異なる接合部を形成した
半導体受光素子において、前記接合部から半導体
基板の他の片面までの寸法がここに形成される空
乏層の幅よりも薄くなるよう、前記半導体基板の
少なくとも一の片面側にエツチング加工を施して
あることを特徴とする半導体受光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2444487U JPS63132459U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2444487U JPS63132459U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63132459U true JPS63132459U (ja) | 1988-08-30 |
Family
ID=30823678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2444487U Pending JPS63132459U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63132459U (ja) |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP2444487U patent/JPS63132459U/ja active Pending