JPS63132128A - レンジホ−ルド付オ−トレンジ電離真空計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレンジホールド付オートレンジ電離真空計に関
するものである。

［従来の技術］ 電層真空計は気体分子を電離し、その生成イオンの数か
ら気体の圧力を測定しようとするものであり、これを用
いて気体の圧力を測定するには測定回路として電極電圧
を供給する電ｅｉ！電圧供給電源、一定の電子電流を得
るためのエミッション制御回路、イオン電流を測定する
微小電流測定装置、フィラメントの焼損防止用の保護回
路等がゼ・要となる。これらの各回路は従来種々の型式
のものが提案されている。

ところで、従来のオートレンジ電離真空計では真空中へ
のガス導入の際に導入前の圧力が１０−４Ｐａで導入後
の圧力が１０　　Ｐａとすると、１Ｏ−４Ｐａレンジか
らｉｏ　　Ｐａ１／７ジヘ、１０’Ｐａｌ、＝ンジから
１０−２Ｐａレンジへと二回のレンジ切換えが行なわれ
る。

１回のレンジ切換えに要する時間が０．５秒であるとす
ると、圧力に応答するのに１秒以上かかり、場合によっ
ては圧力の変化に対して真空計が追従できない状態が生
じ得る。

このなめ従来ではオートレンジ真空計に外部レンジ設定
部を設け、使用する圧力範囲になったら設定されている
レンジに固定し、上にも下にもレンジ切換えしないよう
に構成して真空計の追従性能を上げるようにされてきた
。

添附図面の第２図にはこのような従来型の電離真空計の
出力電圧を示し、出力電圧はのこぎり波状の波形として
現われ、したがってのこぎり波状の波形のある部分をと
った場合その出力電圧値がどの圧力範囲に相応している
のかを判断しがたいことが生じ得る。

［発明が解決しようとする問題点］ このような従来技術によるオートレンジ真空計では、上
述のようにのこぎり波状の波形として現われる出力電圧
が実際にどの圧力値に相応するのか判断し難いという欠
点があり、また何等かの異常や操作ミスによって圧力が
上昇し、固定したレンジ範囲以上になった時、フィラメ
ント保護回路が作動するため測定回路がオフとなり測定
が停止してしまう欠点を有している。

そこで、本発明の目的は、下限レンジを設定し、設定レ
ンジより低い圧力ではレンジ切換えを行なわず、圧力が
上昇しても測定範囲内であれば自動的に測定レンジが切
換り、連続して測定できるレンジホールド付オートレン
ジ電薄真空計を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するなめに、本発明によるオートレン
ジｔｌｌｌ真空計は、測定子と、上記測定子の測定レン
ジを設定するレンジ設定部と、上記測定子に接続した増
幅器からの出力信号を上記レンジ設定部で設定したレン
ジレベルと比較するレンジ比較部と、上記レンジ比較部
からの比較結果信号を受け、この比較結果信号に応じて
上記測定子に接続した増幅器のゲインを制御するレンジ
切換え制御信号を発生するレンジ切換え制御部とを有す
ることを特徴としている。

［作　　　　　用］ このように構成したオートレンジ？Ｓ　Ｍ真空計におい
ては、測定子からのイオン電流は増幅器によって増幅さ
れ、レンジ比較部においてレンジ設定部で設定したレン
ジ値と比較される。この比較の結果、測定しているレン
ジ値が設定レンジ値より大きい時にはレンジ切換え制御
部は通常に動作し、測定しているレンジ値が設定レンジ
値と等しい時にはそれ以上レンジが下がるのを禁止し、
設定レンジ以上のレンジ範囲では通常の動作をする。ま
た測定しているレンジ値が設定レンシジ値より小さい時
にはレンジ切換え制御部は、測定しているレンジ値が設
定レンジ値に等しくなるまでレンジを上げる。このよう
に、下限の測定レンジを設定し、設定レンジより低い圧
力ではレンジ切換えを行なわず、また設定レンジより高
い圧力範囲では自動的にレンジが切換るように作用する
０例えば、レンジを１０　　Ｐａに設定した場合、圧力
が１０’Ｐａでは０．０１　ｘ１０’Ｐａの表示が行な
われ、ガス導入後では５．Ｏｘ　ｔｏ−２Ｐａのように
表示する。この間レンジ切換えは行なわれず、早い応答
性が得られる。

し実　　施　　例コ 以下、添附図面の第１図を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。

第１図には本発明によるレンジホールド付オートレンジ
電離真空計の一実施例を示し、１は真空計の測定子で、
その出力は増・幅器２に接続されている。３は上下限判
断回路で増幅器２からの出力電圧を例えば１ｖから１０
Ｖの範囲内に設定する。

上下限判断回路３の出力側はレンジ比較部４の入力に接
続され、このレンジ比較部４の別の入力にはレンジ設定
部５が接続されている。従ってレンジ比較部４は上下限
判断回路３からの測定レンジ信号Ａとレンジ設定部５で
設定した設定レンジ信号Ｂとを比較し、その出力信号を
レンジ切換え制御部を成すリレー制御部６に供給し、レ
ンジ切換え制御部６は増幅器２のゲイン回路７の切換え
スイッチすなわちリレー接点８の動作を制御する。

また第１図において９は表示器で、増幅器２の出力側お
よびレンジ比較部４に接続されている。

このように構成された図示装置において、増幅器２には
測定子１からイオン電流が供給され、レンジ切換え制御
部６で制御されたゲインに基づき増幅する。増・幅器２
の出力信号は上下限判断回路３を介してレンジ比較部４
に測定レンジ信号Ａとして供給され、レンジ設定部うか
らの設定レンジ信号Ｂと比較される。比較の結果、レン
ジ比１２部４はＡ＜Ｂ、Ａ＝Ｂ、Ａ＞Ｂの信号をレンジ
切換え制御部６へ併給する。レンジ切換え制御部６では
Ａ＞Ｂの時は通常のように自動的にレンジ切換えが行な
われるように作動し、Ａ＝Ｂの時はそれ以上レンジの下
がるのを禁止し、上がる方には通常の動作をさせる。ま
なＡ＜Ｂの時はレンジ切換え制御部６はレンジを強制的
に上げるように作動する。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、本発明によるレンジホールド
付オートレンジ電離真空計においては、測定子からのイ
オン電流を増幅器によって増幅し、レンジ比較部におい
てレンジ設定部で設定しなレンジ値と比較し、この比較
の結果、測定しているレンジ値が設定レンジ値より大き
い時にはレンジ切換え制御部を通常に動作させ、測定し
ているレンジ値が設定レンシジ値と等しい時にはそれ以
上レンジが下がるのを禁止し、レンジが上がる方には通
常の動作させ、また測定しているレンジ値が設定レンシ
ジ値より小さい時には測定しているレンジ値が設定レン
シジ値に等しくなるまでレンジを上げさせるように構成
しているので、予め目標ガス導入圧力にレンジを設定す
ることにより、ガス導入時レンジ切換えが行なわれず、
早い応答性を得ることができる。また異常によって圧力
が上昇した時には、その圧力変動が電離真空計の測定範
囲内であれば自動的に測定レンジが切換つ、連続して測
定を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるオートレンジ電層真空計の一実施
例を示すブロック線図、第２図は従来のオートレンジ電
離真空計の出力電圧を示すグラフである。 図　　　中 １：真空計の測定子、 ２：増幅器、 ３：上下限判断回路、 ４：レンジ比較部、 ５：レンジ設定部、 ６：レンジ切換え制御部、 ７：ゲイン回路、 ８：リレー接点、 ９：表示器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 測定子と、上記測定子の測定レンジを設定するレンジ設
   定部と、上記測定子に接続した増幅器からの出力信号を
   上記レンジ設定部で設定したレンジレベルと比較するレ
   ンジ比較部と、上記レンジ比較部からの比較結果信号を
   受け、この比較結果信号に応じて上記測定子に接続した
   増幅器のゲインを制御するレンジ切換え制御信号を発生
   するレンジ切換え制御部とを有することを特徴とするレ
   ンジホールド付オートレンジ電離真空計。