JPS6313145B2 - - Google Patents
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- JPS6313145B2 JPS6313145B2 JP52036988A JP3698877A JPS6313145B2 JP S6313145 B2 JPS6313145 B2 JP S6313145B2 JP 52036988 A JP52036988 A JP 52036988A JP 3698877 A JP3698877 A JP 3698877A JP S6313145 B2 JPS6313145 B2 JP S6313145B2
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 claims description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 47
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 3
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は質量分析装置に関し、特に質量分析装
置における測定しようとするイオンの質量の設定
手段の改良に関する。
置における測定しようとするイオンの質量の設定
手段の改良に関する。
イオンマイクアナライザ等の質量分析装置でイ
オン強度の比を測定する場合、質量分析部から強
度比を測定しようとする数種のイオンを順次取出
しその強度信号をスケーラに印加する。従つてこ
の場合質量分析部は連続的な質量走査を行うので
なくて指定した特定の質量のみを順次飛びとびに
走査することになるが、質量の指定に少しでもず
れがあると目的のイオンの見かけ強度が著るしく
低下するから、質量の設定は正確であることを要
する。本発明はこの質量の設定を容易かつ正確に
なし得るようにしようとするものである。
オン強度の比を測定する場合、質量分析部から強
度比を測定しようとする数種のイオンを順次取出
しその強度信号をスケーラに印加する。従つてこ
の場合質量分析部は連続的な質量走査を行うので
なくて指定した特定の質量のみを順次飛びとびに
走査することになるが、質量の指定に少しでもず
れがあると目的のイオンの見かけ強度が著るしく
低下するから、質量の設定は正確であることを要
する。本発明はこの質量の設定を容易かつ正確に
なし得るようにしようとするものである。
本発明は連続的な質量測定走査モードと飛びと
びの質量測定走査モードが選択可能な質量分析部
において、連続的に変化する質量走査信号を与え
て質量の連続走査を行うとき、同じ走査信号をブ
ラウン管にＸ軸偏向信号として与え、イオン検出
出力を同ブラウン管にＹ軸偏向信号として与え
て、ブラウン管上にイオンの質量スペクトルを可
視表示する連続質量測定走査モードと共に、切替
操作によつて同じブラウン管に、質量分析部から
特定の質量のイオンを取出すための飛びとびの質
量走査信号をＸ軸偏向信号として与えＹ軸偏向信
号を固定して輝点を表示させるようにして、上記
質量スペクトル表示動作と上記輝点表示動作を交
互に繰返し、ブラウン管上にイオンの質量スペク
トルと上記輝点を目視上、重ねて表示する特定質
量イオン取出信号設定モードを設け、このモード
において、飛びとびの質量走査信号の設定値を変
えると上記輝点がブラウン管上をＸ軸方向に移動
するから、この輝点がブラウン管上に表示されて
いるイオンの質量スペクトル上の目的とするイオ
ンのピーク位置と一致するように飛びとび質量測
定走査モード時の質量走査信号の設定値を調整す
るようにしたものである。このようにすれば質量
分析部から特定のイオンを取出すための信号電圧
の設定が目視によつてできるからきわめて容易正
確にできることになる。以下実施例によつて本発
明を説明する。
びの質量測定走査モードが選択可能な質量分析部
において、連続的に変化する質量走査信号を与え
て質量の連続走査を行うとき、同じ走査信号をブ
ラウン管にＸ軸偏向信号として与え、イオン検出
出力を同ブラウン管にＹ軸偏向信号として与え
て、ブラウン管上にイオンの質量スペクトルを可
視表示する連続質量測定走査モードと共に、切替
操作によつて同じブラウン管に、質量分析部から
特定の質量のイオンを取出すための飛びとびの質
量走査信号をＸ軸偏向信号として与えＹ軸偏向信
号を固定して輝点を表示させるようにして、上記
質量スペクトル表示動作と上記輝点表示動作を交
互に繰返し、ブラウン管上にイオンの質量スペク
トルと上記輝点を目視上、重ねて表示する特定質
量イオン取出信号設定モードを設け、このモード
において、飛びとびの質量走査信号の設定値を変
えると上記輝点がブラウン管上をＸ軸方向に移動
するから、この輝点がブラウン管上に表示されて
いるイオンの質量スペクトル上の目的とするイオ
ンのピーク位置と一致するように飛びとび質量測
定走査モード時の質量走査信号の設定値を調整す
るようにしたものである。このようにすれば質量
分析部から特定のイオンを取出すための信号電圧
の設定が目視によつてできるからきわめて容易正
確にできることになる。以下実施例によつて本発
明を説明する。
第１図は本発明に係るイオンマイクロアナライ
ザを示す。１次イオンビームによる照射のための
構造は本発明の主題でないから省略し、質量分析
部及びモニタ回路の部分のみを示してある。１は
試料で２は照射用の１次イオンビームであり、１
次イオン衝突により、試料自身から２次イオンが
飛び出し、これが電極部３によつて加速及び集束
されて質量分析用マグネツト４の磁界に進入し、
そこを通過する間に質量分析されて２次イオンビ
ームは扇形に拡つた形１５になつてスリツト６の
面上にイオンの質量スペクトル像を形成する。５
は偏向電極で、これに質量走査信号電圧を加える
とイオンの質量スペクトル像が全体として左右に
触れ、或る質量のイオンのみがスリツト６を通過
してイオン検出器７に入ることにより質量数の走
査及び特定質量イオンの取出しが行われる。通常
の用法で２次イオンの質量スペクトルを画かせた
いとき即ち連続質量測定走査モードにおいては測
定走査モード切替え手段であるスイツチ１４（３
連になつている）を図の位置にして電極５に連続
質量走査信号発生手段である鋸歯状波発振器９か
らの鋸歯状波電圧を印加する。そうすると質量数
の連続走査が行われ、イオン検出器７の出力は増
幅器８で増幅された後更に表示用ブラウン管１３
のＹ軸偏向用増幅器１１に送られ、また鋸歯状波
発振器９の出力がブラウン管１３のＸ軸偏向用増
幅器１０にも印加され、ブラウン管１３の蛍光面
には第２図の曲線Ｃ１のようなイオンの質量スペ
クトルの表示が得られる。
ザを示す。１次イオンビームによる照射のための
構造は本発明の主題でないから省略し、質量分析
部及びモニタ回路の部分のみを示してある。１は
試料で２は照射用の１次イオンビームであり、１
次イオン衝突により、試料自身から２次イオンが
飛び出し、これが電極部３によつて加速及び集束
されて質量分析用マグネツト４の磁界に進入し、
そこを通過する間に質量分析されて２次イオンビ
ームは扇形に拡つた形１５になつてスリツト６の
面上にイオンの質量スペクトル像を形成する。５
は偏向電極で、これに質量走査信号電圧を加える
とイオンの質量スペクトル像が全体として左右に
触れ、或る質量のイオンのみがスリツト６を通過
してイオン検出器７に入ることにより質量数の走
査及び特定質量イオンの取出しが行われる。通常
の用法で２次イオンの質量スペクトルを画かせた
いとき即ち連続質量測定走査モードにおいては測
定走査モード切替え手段であるスイツチ１４（３
連になつている）を図の位置にして電極５に連続
質量走査信号発生手段である鋸歯状波発振器９か
らの鋸歯状波電圧を印加する。そうすると質量数
の連続走査が行われ、イオン検出器７の出力は増
幅器８で増幅された後更に表示用ブラウン管１３
のＹ軸偏向用増幅器１１に送られ、また鋸歯状波
発振器９の出力がブラウン管１３のＸ軸偏向用増
幅器１０にも印加され、ブラウン管１３の蛍光面
には第２図の曲線Ｃ１のようなイオンの質量スペ
クトルの表示が得られる。
次にイオン強度比を測定するのに先立つ特定質
量イオン取出し信号設定モードの場合について述
べる。このときはモード切換え手段のスイツチ１
４を図とは反対の側に切換える。１８は特定のイ
オンの取出し信号電圧を設定する調節可能な飛び
とびの質量数走査信号発生手段で、図では２種の
イオンが指定できるようになつているが、もつと
多数指定できるようになつていてもよい。１７は
切換えスイツチでｂ２で示すパルス信号により切
換えられて１８で設定された電圧を順次取出して
スイツチ１４を経て偏向電極５に送る。またこの
電圧はブラウン管１３のＸ軸偏向用増幅器にも印
加されるからブラウン管１３上にはＸ軸に平行に
１８で指定した電圧の位置に輝点が表れる。この
際ブラウン管１３のＸ軸偏向信号が電圧設定部１
８の電圧の切換えによつて輝点像が横に流れない
ためｂ２のパルスを輝度信号としてブラウン管１
３に与える。このためブラウン管１３上には横に
並んでイオン取出しのため設定した電圧に対応す
る位置に輝点が現れ、この輝点位置は１８におけ
る設定電圧をかえると横に移動する。１８に設定
された電圧は偏向電極５にも印加されているの
で、その電圧に相当したイオンがスリツト６を通
して取出されイオン検出器７に入ることになる。
従つてブラウン管１３に先にイオンの質量スペク
トルを示す第２図Ｃ１の線を画かせておき、その
後スイツチ１４を切換えて１８に設定した電圧を
曲線Ｃ１に重ねて表示する動作を繰返すとブラウ
ン管の蛍光面の残光性と眼の残像機能により二つ
の像が目視上重なつて見えるから、輝点が目的の
イオンのピークと一致するように１８を調整すれ
ば特定質量イオン取出しのための飛びとび質量走
査信号電圧の設定が終る。最後に飛びとび質量測
定走査モードの場合、スイツチ１４は上記した特
定イオン取出し信号設定モードの位置に固定して
おく。１９はスケーラであつて切換スイツチ１７
と連動して切換わるスイツチ１７′によつてイオ
ン検出器７の出力を順次スケーラの各ユニツトに
印加して行く。スケーラにおいては不図示のクリ
ヤー手段により上記調整終了後一旦クリヤーした
上でイオン検出出力を積分し或る特定の一つのイ
オンの出力の積分が一定値になるまでスイツチ１
７，１７′の切換を繰返し、特定イオンの検出出
力の積分が一定に達したときの他のイオンの検出
出力の積分が上記特定イオンに対する比強度とな
る。
量イオン取出し信号設定モードの場合について述
べる。このときはモード切換え手段のスイツチ１
４を図とは反対の側に切換える。１８は特定のイ
オンの取出し信号電圧を設定する調節可能な飛び
とびの質量数走査信号発生手段で、図では２種の
イオンが指定できるようになつているが、もつと
多数指定できるようになつていてもよい。１７は
切換えスイツチでｂ２で示すパルス信号により切
換えられて１８で設定された電圧を順次取出して
スイツチ１４を経て偏向電極５に送る。またこの
電圧はブラウン管１３のＸ軸偏向用増幅器にも印
加されるからブラウン管１３上にはＸ軸に平行に
１８で指定した電圧の位置に輝点が表れる。この
際ブラウン管１３のＸ軸偏向信号が電圧設定部１
８の電圧の切換えによつて輝点像が横に流れない
ためｂ２のパルスを輝度信号としてブラウン管１
３に与える。このためブラウン管１３上には横に
並んでイオン取出しのため設定した電圧に対応す
る位置に輝点が現れ、この輝点位置は１８におけ
る設定電圧をかえると横に移動する。１８に設定
された電圧は偏向電極５にも印加されているの
で、その電圧に相当したイオンがスリツト６を通
して取出されイオン検出器７に入ることになる。
従つてブラウン管１３に先にイオンの質量スペク
トルを示す第２図Ｃ１の線を画かせておき、その
後スイツチ１４を切換えて１８に設定した電圧を
曲線Ｃ１に重ねて表示する動作を繰返すとブラウ
ン管の蛍光面の残光性と眼の残像機能により二つ
の像が目視上重なつて見えるから、輝点が目的の
イオンのピークと一致するように１８を調整すれ
ば特定質量イオン取出しのための飛びとび質量走
査信号電圧の設定が終る。最後に飛びとび質量測
定走査モードの場合、スイツチ１４は上記した特
定イオン取出し信号設定モードの位置に固定して
おく。１９はスケーラであつて切換スイツチ１７
と連動して切換わるスイツチ１７′によつてイオ
ン検出器７の出力を順次スケーラの各ユニツトに
印加して行く。スケーラにおいては不図示のクリ
ヤー手段により上記調整終了後一旦クリヤーした
上でイオン検出出力を積分し或る特定の一つのイ
オンの出力の積分が一定値になるまでスイツチ１
７，１７′の切換を繰返し、特定イオンの検出出
力の積分が一定に達したときの他のイオンの検出
出力の積分が上記特定イオンに対する比強度とな
る。
なお、１８に設定した電圧をブラウン管上に表
示するに当つて輝点が第２図Ｃ１の曲線のＸ軸掃
引線上にあると見え難いからブラウン管１３のＹ
軸偏向増幅器には電圧設定器２０によつて一定電
圧を与えておき輝点が第２図のＣ１曲線のＸ軸掃
引線より上方或は下方に現れるようにし、スイツ
チ１７の切換えを繰返しながら１８における設定
電圧を変えると共に２０の設定電圧を変えて行く
と輝点は横に並んだ状態で上下左右に移動するか
ら第２図にＣ２で示すように上下に並んだ輝点列
が得られ、輝点列間の間隔が１８における調整に
従つて変化することになり、より一層目的イオン
のピークとの一致が採り易くなる。
示するに当つて輝点が第２図Ｃ１の曲線のＸ軸掃
引線上にあると見え難いからブラウン管１３のＹ
軸偏向増幅器には電圧設定器２０によつて一定電
圧を与えておき輝点が第２図のＣ１曲線のＸ軸掃
引線より上方或は下方に現れるようにし、スイツ
チ１７の切換えを繰返しながら１８における設定
電圧を変えると共に２０の設定電圧を変えて行く
と輝点は横に並んだ状態で上下左右に移動するか
ら第２図にＣ２で示すように上下に並んだ輝点列
が得られ、輝点列間の間隔が１８における調整に
従つて変化することになり、より一層目的イオン
のピークとの一致が採り易くなる。
本発明は上述したような構成で質量分析におい
て特定のイオンを指定してその強度を測るとか云
うようなとき、その指定操作が質量スペクトル曲
線と重ねた可視表示によつてモニタできるので操
作が大へんやり易くかつ正確にできることにな
る。また本発明は質量分析装置にも適用できる
が、イオンマイクロアナライザでは装置の一部と
してブラウン管及びその関連部分が予め設けられ
ており、単にイオン取出し信号電圧をもブラウン
管に印加表示できるようにするだけであるからイ
オンマイクロアナライザとしては殆んど複雑化す
る所がなく、操作上の便益が得られるのである。
て特定のイオンを指定してその強度を測るとか云
うようなとき、その指定操作が質量スペクトル曲
線と重ねた可視表示によつてモニタできるので操
作が大へんやり易くかつ正確にできることにな
る。また本発明は質量分析装置にも適用できる
が、イオンマイクロアナライザでは装置の一部と
してブラウン管及びその関連部分が予め設けられ
ており、単にイオン取出し信号電圧をもブラウン
管に印加表示できるようにするだけであるからイ
オンマイクロアナライザとしては殆んど複雑化す
る所がなく、操作上の便益が得られるのである。
第１図は本発明の一実施例の回路図、第２図は
ブラウン管の表示面の表示パターンを示す図であ
る。 １……試料、４……質量分析用マグネツト、５
……偏向電極、６……スリツト、７……イオン検
出器、１３……ブラウン管、７，１７′……切換
スイツチ、１８……特定質量イオン取出し信号電
圧設定器、１９……スケーラ。
ブラウン管の表示面の表示パターンを示す図であ
る。 １……試料、４……質量分析用マグネツト、５
……偏向電極、６……スリツト、７……イオン検
出器、１３……ブラウン管、７，１７′……切換
スイツチ、１８……特定質量イオン取出し信号電
圧設定器、１９……スケーラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 質量分析部と、 質量分析部に連続質量走査信号を印加するため
の鋸歯状波発振器と、 質量分析部に飛びとび質量走査信号を印加する
ための複数個の可変直流電圧源よりなる特定質量
イオン取出信号用設定部と、上記信号用設定部の
複数の設定電圧を順次切換えて繰返し質量分析部
に出力する手段よりなる飛びとび質量走査信号出
力手段と、 上記飛びとび質量走査信号出力手段と連動して
質量分析部との接続が切換られる複数のイオン検
出信号積分手段と、 上記二種類の走査信号を切換えて質量分析部に
印加する測定走査モード切換え手段と 質量スペクトル表示用ブラウン間とを、 備えた質量分析装置において、上記測定走査モ
ードの切換えと連動して、 上記ブラウン管のＸ軸に前記連続質量走査信号
を印加すると共にＹ軸に質量分析部のイオン検出
信号を印加する連続質量測定走査モードと、上記
ブラウン管のＸ軸に飛びとび質量走査信号を印加
すると共Ｙ軸に輝点偏向用直流電圧を印加する飛
びとび質量測定走査モードと、および両測定走査
モードを交互に切換えて、上記連続質量測定走査
モードにおける質量スペクトル像と、上記飛びと
び質量測定走査モードにおける輝点像とがブラウ
ン管上で視覚上重つて観測し得るように上記切換
得手段を交互に切換える特定質量イオン取出信号
設定モード の三モードを選択可能としたことを特徴とする
質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3698877A JPS53122483A (en) | 1977-03-31 | 1977-03-31 | Monitor apparatus of ion microanalyzer, or the like |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3698877A JPS53122483A (en) | 1977-03-31 | 1977-03-31 | Monitor apparatus of ion microanalyzer, or the like |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53122483A JPS53122483A (en) | 1978-10-25 |
| JPS6313145B2 true JPS6313145B2 (ja) | 1988-03-24 |
Family
ID=12485120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3698877A Granted JPS53122483A (en) | 1977-03-31 | 1977-03-31 | Monitor apparatus of ion microanalyzer, or the like |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS53122483A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS571960A (en) * | 1980-06-04 | 1982-01-07 | Hitachi Ltd | Ion microanalyzer |
-
1977
- 1977-03-31 JP JP3698877A patent/JPS53122483A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53122483A (en) | 1978-10-25 |
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