JPS63131009A - 位置合せ方法 - Google Patents
位置合せ方法Info
- Publication number
- JPS63131009A JPS63131009A JP61275417A JP27541786A JPS63131009A JP S63131009 A JPS63131009 A JP S63131009A JP 61275417 A JP61275417 A JP 61275417A JP 27541786 A JP27541786 A JP 27541786A JP S63131009 A JPS63131009 A JP S63131009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- marks
- alignment
- scanning
- central part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 210000000481 breast Anatomy 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、第１の物体と第２の物体とを位置合せする方
法に関する。このような位置合せ方法は、例えば、液晶
ガラス基板の貼合せ工程において、第１および第２の物
体としての上下２枚の液晶ガラス基板を高精度に自動位
置決めし、貼り合わす際に適用して好適である。
法に関する。このような位置合せ方法は、例えば、液晶
ガラス基板の貼合せ工程において、第１および第２の物
体としての上下２枚の液晶ガラス基板を高精度に自動位
置決めし、貼り合わす際に適用して好適である。
［従来技術］
一般に、液晶パネルを応用した表示パネルの用途は電卓
、時計等をはじめ比較的小型のものから、自動車用大型
ディスプレイや液晶テレビ用と広い分野に渡って使用さ
れている。この中で最近特に注目されている液晶テレビ
においては、表示素子としての応答性や鮮明度の向上環
を目的として、従来から使われてきた単純マトリクス駆
動方式に代わり、個々の液晶電極をそれぞれのスイッチ
ング素子で直接駆動するアクティブ・マトリクス駆動方
式を用いた液晶パネルの開発が盛んに行なわれるように
なってきた。
、時計等をはじめ比較的小型のものから、自動車用大型
ディスプレイや液晶テレビ用と広い分野に渡って使用さ
れている。この中で最近特に注目されている液晶テレビ
においては、表示素子としての応答性や鮮明度の向上環
を目的として、従来から使われてきた単純マトリクス駆
動方式に代わり、個々の液晶電極をそれぞれのスイッチ
ング素子で直接駆動するアクティブ・マトリクス駆動方
式を用いた液晶パネルの開発が盛んに行なわれるように
なってきた。
単純マトリクス駆動方式の液晶セルでは、一般に電極材
料として、ＩＴＯ（インジウム チンオキサイド）膜が
使用されている。そして、このＩＴＯｌｌｉによって位
置合せマークも形成しこのマークを用いて貼合せ工程に
て自動位置決めを行なう手段が、特開昭６１−１００８
１７号に開示されている。
料として、ＩＴＯ（インジウム チンオキサイド）膜が
使用されている。そして、このＩＴＯｌｌｉによって位
置合せマークも形成しこのマークを用いて貼合せ工程に
て自動位置決めを行なう手段が、特開昭６１−１００８
１７号に開示されている。
第４図に、この特開昭６１−１００８１７号で開示され
た位置合せマークの形状とその映像出力信号波形を示す
。同図において、マークの材質はＩＴＯ膜である。した
がって、上ガラスに形成された上マーク８と下ガラスに
形成された下マーク１２とが重なった部分は重なってい
ない部分に比べ、信号強度が約２倍になる。そして、こ
れらのマークを横切る２木のテレビ走査線Ｓｍ、Ｓｎ上
の映像信号をスレシュホールドレベルＴＨ，ＴＬで２値
化して検出される４個のエツジの位置データから上下の
マークの位置合せ誤差ΔＸ、ΔＹを次式で求めている。
た位置合せマークの形状とその映像出力信号波形を示す
。同図において、マークの材質はＩＴＯ膜である。した
がって、上ガラスに形成された上マーク８と下ガラスに
形成された下マーク１２とが重なった部分は重なってい
ない部分に比べ、信号強度が約２倍になる。そして、こ
れらのマークを横切る２木のテレビ走査線Ｓｍ、Ｓｎ上
の映像信号をスレシュホールドレベルＴＨ，ＴＬで２値
化して検出される４個のエツジの位置データから上下の
マークの位置合せ誤差ΔＸ、ΔＹを次式で求めている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかし、アクティブ・マトリクス駆動方式の液晶パネル
の場合、その電極の構成上、必ずしもＩＴＯ膜が用いら
れるとは限らず、さらに上ガラスと下ガラスの電極材質
が異なる場合も少なくない。
の場合、その電極の構成上、必ずしもＩＴＯ膜が用いら
れるとは限らず、さらに上ガラスと下ガラスの電極材質
が異なる場合も少なくない。
通常、下ガラスは、ＴＰＴ（薄膜トランジスタ）等のス
イッチング素子がバターニングされるので、位置合せマ
ークもそれらを構成する金属皮膜等で作ることが、コス
トダウンや工程の簡略化のため必要になってくる。上ガ
ラスの透明電極としては、ＩＴＯ膜等が用いられ、また
、カラーテレビ用の液晶パネルなどでは、カラーフィル
タ等の吸収体が用いられ、さらに場合によっては金属皮
膜による電極も使用される。いずれの場合でも上述の理
由から、位置合せマークはそのマークが存在する基板の
構成電極と、同じ材質のものが要求されることが多い。
イッチング素子がバターニングされるので、位置合せマ
ークもそれらを構成する金属皮膜等で作ることが、コス
トダウンや工程の簡略化のため必要になってくる。上ガ
ラスの透明電極としては、ＩＴＯ膜等が用いられ、また
、カラーテレビ用の液晶パネルなどでは、カラーフィル
タ等の吸収体が用いられ、さらに場合によっては金属皮
膜による電極も使用される。いずれの場合でも上述の理
由から、位置合せマークはそのマークが存在する基板の
構成電極と、同じ材質のものが要求されることが多い。
したがって、貼合せ装置としては、各種のマーク材質、
すなわち、光学的に見た場合、反射の強い金属皮膜、あ
る特定波長のみ透過するカラーフィルタ等の吸収体、さ
らに、半透明電極であるＩＴＯｌｌｉ等、材質の如何に
関係なく、位置合せマークを認識でき、自動位置合せを
行なう必要がある。
すなわち、光学的に見た場合、反射の強い金属皮膜、あ
る特定波長のみ透過するカラーフィルタ等の吸収体、さ
らに、半透明電極であるＩＴＯｌｌｉ等、材質の如何に
関係なく、位置合せマークを認識でき、自動位置合せを
行なう必要がある。
本発明は、この必要性に鑑み、マーク材質としてＩＴＯ
膜を対象とした特開昭８１−１００８１７の位置合せ方
法を発展させ、各種の材質の組合せによる位置合せマー
クでも自動位置合せを可能にする位置合せ方法を提供す
ることを目的とする。
膜を対象とした特開昭８１−１００８１７の位置合せ方
法を発展させ、各種の材質の組合せによる位置合せマー
クでも自動位置合せを可能にする位置合せ方法を提供す
ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］上記目的を
達成するため本発明は、第１および第２の物体の位置合
せ用のマークを検出することにより両胸体間の相対的な
位置ずれを検出し置物体の位置合せをする方法において
、第１の物体に面積型の第１のマークを形成し、第２の
物体に、上記第１のマークと反射率が異なり、かつ該第
１のマークを取囲む大きさおよび形状の中央部と、該中
央部と反射率が異なり、かつ該中央部を取囲む周囲部と
からなる面積型の第２のマークを形成し、所定の方向か
ら観察したときの両マークの重畳部を走査域に含む走査
線で第１および第２の物体もしくはその像を走査して置
物体もしくはその像からの走査信号を検出するようにし
ている。
達成するため本発明は、第１および第２の物体の位置合
せ用のマークを検出することにより両胸体間の相対的な
位置ずれを検出し置物体の位置合せをする方法において
、第１の物体に面積型の第１のマークを形成し、第２の
物体に、上記第１のマークと反射率が異なり、かつ該第
１のマークを取囲む大きさおよび形状の中央部と、該中
央部と反射率が異なり、かつ該中央部を取囲む周囲部と
からなる面積型の第２のマークを形成し、所定の方向か
ら観察したときの両マークの重畳部を走査域に含む走査
線で第１および第２の物体もしくはその像を走査して置
物体もしくはその像からの走査信号を検出するようにし
ている。
この走査信号における各マークのエツジの位置は、上記
反射率の差により信号強度の差として現われるため、容
易に検出することができる。
反射率の差により信号強度の差として現われるため、容
易に検出することができる。
［実施例］
以下、この発明について実施例を挙げ詳細に説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示す図で、同図の（ａ
）は上マーク形状、（ｂ） は下マーク形状、（ｃ）は
上下のマークを重ねた状態、（ｄ） はその時の映像出
力信号を示す。この実施例は、上下マークとも、マーク
材質が金属皮膜の場合を示す。上記従来例におけるＩＴ
Ｏ膜のマークは一般に、反射率が１０〜１５％、逆に透
過率は８５〜９０％程度の半透明物質であるから、上下
のＩＴＯ膜のマークを重ねた場合、その重なった部分の
映像出力信号の強度は重なっていない部分のほぼ２倍と
なる。したがって、上述従来例では、この信号強度の差
により上マークの位置情報を判別できた。しかし、金属
皮膜のマークの場合、反射率がほぼ１００％に近く、上
下のマークが重なった場合、下マーク内に内包された上
マークの位置情報は、映像出力信号として得られなくな
る。そこで、本実施例では第１図（ａ）の如く、上マー
ク１の形状と大きさは第４図の従来例と同様にして金属
皮膜で形成し、下マークは第１図（ｂ）の如く、テレビ
カメラの視野全体を金属皮膜２で形成し、その中央部分
を、下マーク３として上マークの寸法の２倍の大きさの
正方形の形でもとのガラス面を残すようにしている。こ
のように形成した上下のマーク１，３を第１図（ｃ）の
如く重ねた場合、２木のテレビ走査線Ｓｍ、Ｓｎ上の映
像信号として同図（ｄ）に示すような信号４が得られる
。これらの信号をスレッシュホールドレベルＴＨで２値
化して得られる原点０からのエツジの位置データのうち
、第１の立上りエツジの位置をＥＰＩおよびＥＰ １’
、第２の立上りエツジの位置をＥＰ２およびＥＰ２’、
第１の立下がりエツジの位置をＥＮＩおよびＥＮＩ’、
第２の立下がりエツジの位置をＥＮ２およびＥＮ２’
とすれば、前述の（１）。
）は上マーク形状、（ｂ） は下マーク形状、（ｃ）は
上下のマークを重ねた状態、（ｄ） はその時の映像出
力信号を示す。この実施例は、上下マークとも、マーク
材質が金属皮膜の場合を示す。上記従来例におけるＩＴ
Ｏ膜のマークは一般に、反射率が１０〜１５％、逆に透
過率は８５〜９０％程度の半透明物質であるから、上下
のＩＴＯ膜のマークを重ねた場合、その重なった部分の
映像出力信号の強度は重なっていない部分のほぼ２倍と
なる。したがって、上述従来例では、この信号強度の差
により上マークの位置情報を判別できた。しかし、金属
皮膜のマークの場合、反射率がほぼ１００％に近く、上
下のマークが重なった場合、下マーク内に内包された上
マークの位置情報は、映像出力信号として得られなくな
る。そこで、本実施例では第１図（ａ）の如く、上マー
ク１の形状と大きさは第４図の従来例と同様にして金属
皮膜で形成し、下マークは第１図（ｂ）の如く、テレビ
カメラの視野全体を金属皮膜２で形成し、その中央部分
を、下マーク３として上マークの寸法の２倍の大きさの
正方形の形でもとのガラス面を残すようにしている。こ
のように形成した上下のマーク１，３を第１図（ｃ）の
如く重ねた場合、２木のテレビ走査線Ｓｍ、Ｓｎ上の映
像信号として同図（ｄ）に示すような信号４が得られる
。これらの信号をスレッシュホールドレベルＴＨで２値
化して得られる原点０からのエツジの位置データのうち
、第１の立上りエツジの位置をＥＰＩおよびＥＰ １’
、第２の立上りエツジの位置をＥＰ２およびＥＰ２’、
第１の立下がりエツジの位置をＥＮＩおよびＥＮＩ’、
第２の立下がりエツジの位置をＥＮ２およびＥＮ２’
とすれば、前述の（１）。
（２）式内のｌｏ、λ３．１；およびＩｌ′Ｉは次式で
求まる。
求まる。
この（３）式を（１） 、 （２）式に代入すること
により、上下のマーク１．３の位置合せ誤差ΔＸ、ΔＹ
が求まる。
により、上下のマーク１．３の位置合せ誤差ΔＸ、ΔＹ
が求まる。
すなわち、上下のマークとも金属皮膜のように反射の強
いマーク材質の場合、第１図に示したマークを用いて、
（３）式のように各エツジの位置データを変換すること
により、上述従来例の（１）。
いマーク材質の場合、第１図に示したマークを用いて、
（３）式のように各エツジの位置データを変換すること
により、上述従来例の（１）。
（２）式に基づく自動位置合せが可能となる。
第２図は、本発明の第２の実施例を示す図である。この
実施例は、上マークがｒｒｏｌｌ！のような半透明材質
で、下マークが金属皮膜のような反射の強い材質で形成
する場合の例である。
実施例は、上マークがｒｒｏｌｌ！のような半透明材質
で、下マークが金属皮膜のような反射の強い材質で形成
する場合の例である。
同図において、下マーク３は第１図の場合と同様にして
金属被膜で形成している。上マーク８はＩＴＯＩＪで形
成している。この場合、上下のマーク８，３の位置合せ
誤差は第１の実施例の場合と同様にして求められるが、
第２図に示すように、上下２木のスレッシュホールドレ
ベルＴＨＩ、ＴＨ２を用いることにより、下マーク３の
みの位置情報を得ることも可能である。
金属被膜で形成している。上マーク８はＩＴＯＩＪで形
成している。この場合、上下のマーク８，３の位置合せ
誤差は第１の実施例の場合と同様にして求められるが、
第２図に示すように、上下２木のスレッシュホールドレ
ベルＴＨＩ、ＴＨ２を用いることにより、下マーク３の
みの位置情報を得ることも可能である。
第３図は、本発明の第３の実施例を示す図である。この
実施例は、上マークの材質が金属皮膜のような反射の強
い材質で、下マークがＩＴＯ膜のような半透明材質で形
成する場合の例である。
実施例は、上マークの材質が金属皮膜のような反射の強
い材質で、下マークがＩＴＯ膜のような半透明材質で形
成する場合の例である。
同図において、下マーク１１は、ＩＴ○膜ｌＯをテレビ
カメラ視野全体に形成しその中央部分に下マーク１１と
してもとのガラス面を残すことにより形成している。上
マーク１は金属皮膜で形成している。上下のマーク１．
１１の位置合せ誤差ΔＸ。
カメラ視野全体に形成しその中央部分に下マーク１１と
してもとのガラス面を残すことにより形成している。上
マーク１は金属皮膜で形成している。上下のマーク１．
１１の位置合せ誤差ΔＸ。
ΔＹは、第１の実施例の場合と同様にして求められる。
なお、以上の各実施例では、下マークとしていわゆる中
抜けのマークを用いているが、上下のマークの形を逆に
して、この中抜けのマークを上マークとすることも可能
である。また、下マークの基板がある程度の反射率をも
つものであれば上下のマークの一方または双方を前述の
光吸収体で形成することもできる。
抜けのマークを用いているが、上下のマークの形を逆に
して、この中抜けのマークを上マークとすることも可能
である。また、下マークの基板がある程度の反射率をも
つものであれば上下のマークの一方または双方を前述の
光吸収体で形成することもできる。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、第１および第２
の位置合せ用マークの材質が互いに種々異なっても、自
動位置合せを行なうことができる。すなわち、例えば、
液晶ガラス基板の貼合せ工程において、そのアライメン
トマーク材質の組合せが種々変更になっても、上下のマ
ークの寸法や形状を上で述べたように選択し、これらの
マークから得られるエツジ位置データを適当に変換する
ことにより位置合せ誤差を求めて自動位置合せを行なう
ことが可能である。
の位置合せ用マークの材質が互いに種々異なっても、自
動位置合せを行なうことができる。すなわち、例えば、
液晶ガラス基板の貼合せ工程において、そのアライメン
トマーク材質の組合せが種々変更になっても、上下のマ
ークの寸法や形状を上で述べたように選択し、これらの
マークから得られるエツジ位置データを適当に変換する
ことにより位置合せ誤差を求めて自動位置合せを行なう
ことが可能である。
第１図は、本発明の第１の実施例に係る上下マークとも
金属皮膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形
を示す図、 第２図は、本発明の第２の実施例に係る上マークがＩＴ
Ｏ膜材質下マークが金属皮膜材質による位置合せマーク
と映像出力信号波形を示す図、第３図は、本発明の第３
の実施例に係る上マークが金属皮膜材質、下マークがＩ
ＴＯ膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形を
示す図、第４図は、従来例に係る上下マークともＩＴＯ
膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形を示す
図である。 １：金属皮膜による上ガラスマーク、 ３：金属皮膜による中抜けの下ガラスマーク、４．９：
映像出力信号波形、 ８：ＩＴＯ膜による上ガラスマーク、 １１：ＩＴＯ皮膜による中抜けの下ガラスマーク、 １２：ＩＴＯ膜による下ガラスマーク、Ｓｍ、Ｓｎ：テ
レビ走査線、 ＴＨＩ 、Ｔ）１２ 、ＴＬ ：スレッシュホールドレ
ベル。 第１図 第２図 第３図
金属皮膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形
を示す図、 第２図は、本発明の第２の実施例に係る上マークがＩＴ
Ｏ膜材質下マークが金属皮膜材質による位置合せマーク
と映像出力信号波形を示す図、第３図は、本発明の第３
の実施例に係る上マークが金属皮膜材質、下マークがＩ
ＴＯ膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形を
示す図、第４図は、従来例に係る上下マークともＩＴＯ
膜材質による位置合せマークと映像出力信号波形を示す
図である。 １：金属皮膜による上ガラスマーク、 ３：金属皮膜による中抜けの下ガラスマーク、４．９：
映像出力信号波形、 ８：ＩＴＯ膜による上ガラスマーク、 １１：ＩＴＯ皮膜による中抜けの下ガラスマーク、 １２：ＩＴＯ膜による下ガラスマーク、Ｓｍ、Ｓｎ：テ
レビ走査線、 ＴＨＩ 、Ｔ）１２ 、ＴＬ ：スレッシュホールドレ
ベル。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１の物体に面積型の第１のマークを形成し、 第２の物体に、上記第１のマークと反射率が異なり、か
つ該第１のマークを取囲む大きさおよび形状の中央部と
、該中央部と反射率が異なり、かつ該中央部を取囲む周
囲部とからなる面積型の第２のマークを形成し、 所定の方向から観察したときの第１および第２のマーク
の重畳部を走査域に含む走査線で第１および第２の物体
もしくはその像を走査し、第１の物体もしくはその像か
らの走査信号 と第２の物体もしくはその像からの走査信号を検出する
ことにより、第１の物体と第２の物体との相対的な位置
ずれを検出することを特徴とする位置合せ方法。 ２、前記第１および第２のマークが、前記第１および第
２の物体上への実素子パターン形成時、該実素子パター
ン形成用材料の１種または複数種を用いて形成される特
許請求の範囲第１項記載の位置合せ方法。 ３、前記第２の物体がガラス基板であり、前記第１のマ
ークが反射性膜からなり、前記第２のマークが少なくと
も位置合せの視野の範囲に面積型の反射性膜を形成し、
前記中央部に相当する部分の反射性膜を取除いて形成し
たものである特許請求の範囲第２項記載の位置合せ方法
。 ４、前記反射性膜が、ＩＴＯ膜または金属皮膜である特
許請求の範囲第３項記載の位置合せ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275417A JPS63131009A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 位置合せ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275417A JPS63131009A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 位置合せ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131009A true JPS63131009A (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=17555213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61275417A Pending JPS63131009A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 位置合せ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131009A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010147253A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 位置合わせ方法、ホトマスクおよびウエハ |
-
1986
- 1986-11-20 JP JP61275417A patent/JPS63131009A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010147253A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 位置合わせ方法、ホトマスクおよびウエハ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8524516B2 (en) | Liquid crystal display device and fabricating and driving method thereof | |
| US6222599B1 (en) | Liquid crystal display apparatus including a color filter having slits | |
| US6172728B1 (en) | Reflective LCD including address lines shaped to reduce parasitic capacitance | |
| US7838881B2 (en) | Active matrix substrate, display device, television apparatus, manufacturing method of an active matrix substrate, and manufacturing method of a display device | |
| CN210835532U (zh) | 反射式显示屏及反射式显示装置 | |
| US11137635B2 (en) | Display device including an adhesive layer and a non-adhesive layer | |
| JPH11352513A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH0372319A (ja) | アクティブマトリクス基板 | |
| US8373837B2 (en) | Liquid crystal display panel of line-on glass type to prevent signal interference between line-on glass signal lines and method of fabricating the same | |
| US20080278795A1 (en) | Flexible electrophoretic display and method of fabricating the same | |
| KR100928367B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
| JPH0263020A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示素子 | |
| US6788367B2 (en) | Liquid crystal display device | |
| JPS63131009A (ja) | 位置合せ方法 | |
| JPS63131010A (ja) | 位置合せ方法 | |
| US20010056337A1 (en) | Method of designing position of micro-lens for optical panel device, method of producing optical panel device, and optical panel device | |
| JP5532577B2 (ja) | カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
| KR100975461B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
| JP2001272667A (ja) | 液晶装置用基板及びその製造方法、並びに液晶装置 | |
| JPS6275419A (ja) | 光電変換装置 | |
| CN218037593U (zh) | 一种显示模组及显示装置 | |
| TWI315007B (en) | Liquid crystal display panel | |
| JP3187265B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH04194653A (ja) | カラーフィルタの埋没異物検出方法および異物検査装置 | |
| JP3693136B2 (ja) | 液晶パネルの重ね合わせ方法およびそのための装置 |