JPS63129291A - 高純度窒素ガス製造装置 - Google Patents

高純度窒素ガス製造装置

Info

Publication number
JPS63129291A
JPS63129291A JP61274045A JP27404586A JPS63129291A JP S63129291 A JPS63129291 A JP S63129291A JP 61274045 A JP61274045 A JP 61274045A JP 27404586 A JP27404586 A JP 27404586A JP S63129291 A JPS63129291 A JP S63129291A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nitrogen
nitrogen gas
purity
low
purity nitrogen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61274045A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0627621B2 (ja
Inventor
岡部　道昌
正博 山崎
秀治 守
永水　仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP61274045A priority Critical patent/JPH0627621B2/ja
Publication of JPS63129291A publication Critical patent/JPS63129291A/ja
Publication of JPH0627621B2 publication Critical patent/JPH0627621B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04254—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using the cold stored in external cryogenic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04333—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
    • F25J3/04351—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams of nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04636—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a hybrid air separation unit, e.g. combined process by cryogenic separation and non-cryogenic separation techniques
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/02—Processes or apparatus using separation by rectification in a single pressure main column system
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/60—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
    • F25J2205/64—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end by pressure-swing adsorption [PSA] at the hot end
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/04—Mixing or blending of fluids with the feed stream
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/42—Nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/42—Nitrogen or special cases, e.g. multiple or low purity N2
    • F25J2215/44—Ultra high purity nitrogen, i.e. generally less than 1 ppb impurities
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2220/00—Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
    • F25J2220/44—Separating high boiling, i.e. less volatile components from nitrogen, e.g. CO, Ar, O2, hydrocarbons
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/42—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
    • F25J2245/42—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams the recycled stream being nitrogen

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は低純度窒素ガスの純度をより高純度にするため
の深冷分離の窒素製造装置に係わるもので、特に、既存
の低純度窒素ガス発生設備からの高純度窒素ガス製造装
置に関するものである。
〔従来の技術〕
窒素ガスを低価格で供給するための装置としては、従来
から窒素のＰ８Ａ装置や、空気の液化深冷分離法による
窒素発生装置が知られている。
また、最近の電子工業での窒素ガス消費量の増加に伴な
い、安価な窒素ガスの供給源として、特公昭６１−１９
９０２号に記載されているように、膨張ターピノを使わ
ず、外部から液体窒素を供給して空気分離装置遣の寒冷
をまかなう低コスト形の窒素製造装置などが公知である
。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記従来技術は、いずれも窒素ガス製造
設備をもたない新しいユーザーに新しい分離装置を提供
するためのもので、既存の窒素ガス製造設備を有するユ
ーザーの窒素純度を、安価にしかも低い動力消費で良く
したいという新しい要求に対しては、全く配慮がなされ
ていなかった。
近年、電子工業他の分野での窒素ガスの消費量の増大と
ともに、より高純度の窒素ガスが要求されるようになっ
てきている。しかし、窒素のＰｓＡ装置では、窒素中の
酸素分が０．１　ｐｐｍ０２以下という高純度窒素を得
ることは困難である。一方、既存の空気の深冷分離装置
では、建設当時はそれ程の高純度が要求されていなかっ
たので、窒素ガスの発生能力はあるが、低純度であるが
故に使用できないという新しい問題が発生している。
また、高純度の窒素ガスを発生する方法としては、深冷
分離法の精留塔の精留段を増加することによって容易に
達成できることは一般に良く知られている。しかし、既
存の空気深冷分離装置の精留塔に精留段数を追加したり
、同じ保冷槽内に窒素純度を上げるための小容量の窒素
精製塔を追加したりすることは、実際に運転を継続して
いる装置を長時間停止する必要があり、この間は窒素以
外の生産物にも影響するため、工場操業に多大な損害を
与えることになる。このため、現在は高純度窒素を必要
とする場合は、高価な高純度の液体窒素を他から請人し
て使ったり、使用量が多い場合は新しい窒素製造装置を
設置するしか方法が無かった。
新しい、安価な窒素ガスを製造する装置として、深冷分
離の寒冷を膨張タービンに使わず、外部から液体窒素を
少量供給してまかなう方法が特公昭６１−１’９９０２
号で紹介されている。
しかし、この方法も、原料空気中の水分、炭酸ガスを除
去するための前処理装置が必要であり、しかも、空気か
ら高純度窒素ガスを製造するため、分離器保冷槽内に設
置される精留塔の段数が多く必要で、精留塔の機器が大
きくなり、これらの機器を収納するための保冷槽が大き
く、保冷損失も大きいため、外部から供給する液体窒素
量も多くなり、従来の膨張タービンを使用したものと大
差ない製造コストになってしまうという欠点があった。
本発明の目的は、これらの新しい使用側の要求にこたえ
るために、設備費が安く、しかも、動力費の少ない新し
い高純度窒素ガスの製造装置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、既存の深冷分離装置又は窒素のＰＳＡ装置か
ら発生する低純度窒素ガスを、既存設備を改造すること
なく、生産されている低純度窒素ガスを有効に利用して
、設備費の安価な、しかも動力消費量を最小にして高純
度窒素ガスを得ようとするもので、上記目的は、既存設
備から発生する低純度窒素ガスの後流側に、深冷分離に
必要な寒冷を外部から液体窒素で供給し、深冷分離のた
めの窒素精製塔を内機した窒素精製装置を設置すること
により達成される。
既存設備から発生する低純度窒素ガスを利用して高純度
の液体窒素を採取しようという実例はこれまでもあった
が、これらは、液体窒素を作るのが目的であったため、
寒冷発生源として膨張タービンが組込まれており、設備
費が高価となるばかりでなく、動力費もかさむため、高
純度窒素ガスを安価に製造しようという新しいニーズに
は対応できない。
〔作　　用〕
本発明では、既存設備から発生する完全ドライの低純度
の窒素ガスを原料とするため、空気の深冷分離装置のよ
うに、空気中の不純物を除去するための前処理装置が不
要で、しかも酸素性の少ない低純度窒素を精製塔で純度
アップするため、塔の段数も少なく、保冷槽自体が小さ
くできるため外部から供給する液体窒素の使用量も少な
い。
また、精製塔の上部コンデンサーは、飽和温度が低い液
体窒素で精製塔の上部のガス窒素を液化するため、循環
圧縮機での圧縮動力が小さくできるという、従来の空気
深冷分離装置に比べて設備費、動力費とも大幅な低減が
可能となる。
また、外部から寒冷分として供給される液体窒素は、従
来高純度窒素として池から液体窒素として購入している
一部を利用するか、または、既存設備から必要量を供給
できるので問題なく対応できる。本発明によれば、既存
設備の改造を必要としないので、工場操業に悪影響を与
えることなく安価な高純度窒素ガスが得られる。
〔実　施　例〕
以下、本発明の一実施例を図面により説明する。
既存設備から圧力５に９／７Ｇで窒素中の酸素濃度が１
００　ｐｐｍ０２の低純度窒素ガス’ｋ　０．１　ｐｐ
ｍ０２の高純度窒素ガスにする場合、既存の低純度窒素
発生装置１から導管２で供給された低純度の窒素ガスは
、導管３で循環窒素圧縮機１５からの循環窒素ガスと合
流し、窒素熱交換器４で戻りの高純度窒素ガスおよび循
環窒素ガスと熱交換して冷却され、温度約−１７５℃で
窒素精製塔６の下部に吹込まれる。窒素精製塔６は圧力
的４．６ｂ／ｄＧで運転される深冷分離の精留塔で、塔
内の精留皿上で気液接触することにより、上昇ガスは高
純度の窒素ガスとなる。窒素精製塔６の上部で０．１　
ｐｐｍ０２以下となった高純度窒素ガスの一部は、製品
ガスとして導管８から取出され、窒素熱交換器４で、原
料となる低純度窒素ガスと熱交換し、常温まで温度回復
して導管９より製品の高純度窒素ガスとして使用端に送
られる。一方、窒素精製塔６の上部の残りの高純度窒素
ガスは、塔の頂部に設置されている窒素凝縮器７で、凝
縮器の塔内に貯蔵されている圧力的３．７　Ｋｙ／ｄ　
Ｇ、温度約−１８０℃の液体窒素で冷却液化され、還流
液体窒素となって窒素精製塔６の精留皿上を降下し、塔
下部に低純度液体窒素となって溜められる。この低純度
液体窒素は導管１０．膨張弁１１を通って圧力的３．７
〜／７Ｇまで膨張して窒素凝縮器７の塔内に補給される
。窒素凝縮器７内で、窒素精製塔６の上部の高純度窒素
ガスと熱交換して蒸発した低純度窒素ガスは、導管１３
より窒素熱交換器４を通り昇温され、常温となって導管
１４より循環窒素圧縮機１５に導かれる。循環窒素圧縮
機１５で昇圧され、圧力的５　Ｋ９／ｄＧとなった低純
度窒素ガスは、アフタークーラー１６で常温まで冷却さ
れて原料の低純度窒素ガスと導管３で合流し、窒素精製
塔のりボイラーのガス源として循環使用される。一方、
深冷分離の各機器は保冷槽１７で断熱されているが、こ
れに必要な寒冷損失分は液体窒素供給導管１８より外部
から液体窒素で供給され、窒素凝縮ａ７の液面が一定に
なるように調節弁１９により制御される。
原料の低純度窒素ガスが持込む酸素性は濃縮され、循環
する低純度窒素ガス中の酸素濃度が上昇するが、濃度が
上がり過ぎるのを防止するため、一部の低純度窒素ガス
はマスバランス上の必要■だけ大気に放出される。（図
示省略） なお、本実施例では圧力を５に９／７Ｇの場合を例によ
り説明したが、原料窒素が低圧の場合、又は更に高圧の
場合でも同様な効果が得られることは言うまでも無い。
〔発明の効果〕
本発明によれば、必要最少限の機器の追加で、簡単に、
しかも既存設備に適合した高純度窒素ガス製造装置を得
ることができ、安価な高純度窒素ガスが得られる。この
効果を従来の空気深冷分離法と比較すると下記のように
なる。
（１１設備費比較 高純度窒素発生量１０００　Ｎｍ’／Ｈ，純度０．ｌｐ
ｐｍ０２以下とした場合、従来の空気深冷分離法の設備
費を１００％とすると、本発明の設備費は５５％となる
。
（２）動力消費量の比較 同様に、動力消費量を比較すると、従来の空気深冷分離
法では、原料空気を大気圧から圧力的５に９／、−ＪＧ
に昇圧する動力が必要であり、製品窒素ＩＮｒｒＩ／Ｈ
採取する動力原単位は約０．３ＫＷＨ／Ｎｍ”となるが
、本発明では、循環圧縮機の圧縮比が小さいので、原料
の低純度窒素を圧力的５に９／１ｄｌＧに圧縮する動力
を加算したとしても、原単位は０．　Ｉ　ＫＷ　Ｈ／Ｎ
ｍｊ強で済み、既存の窒素圧縮機の動力を評価しないと
、本発明部分の動力原単位は約０．０３ＫＷＨ／ＮＪと
極端に低い動力消費量となる。
また、最近実施されている既存深冷分離装置から発生す
る低純度窒素ガスを高純度にして液体窒素にする場合の
動力消費量は、ガスを液体にするための動力が大きく動
力の原単位は大容量液化装置でも０．７ＫＷＨ７Ｎｍａ
程度の値となり、安価な高純度窒素ガスを供給しようと
する目的に合致しない０
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示す高純度窒素ガス製造装置
の系統（２）である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、低純度窒素発生装置で発生した低純度の窒素ガスの
    後流側に外部から液体窒素を供給することにより深冷分
    離に必要な寒冷を補償する窒素精製塔を内蔵した窒素精
    製装置を設けたことを特徴とする高純度窒素ガス製造装
    置。
JP61274045A 1986-11-19 1986-11-19 高純度窒素ガス製造装置 Expired - Lifetime JPH0627621B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61274045A JPH0627621B2 (ja) 1986-11-19 1986-11-19 高純度窒素ガス製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61274045A JPH0627621B2 (ja) 1986-11-19 1986-11-19 高純度窒素ガス製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63129291A true JPS63129291A (ja) 1988-06-01
JPH0627621B2 JPH0627621B2 (ja) 1994-04-13

Family

ID=17536198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61274045A Expired - Lifetime JPH0627621B2 (ja) 1986-11-19 1986-11-19 高純度窒素ガス製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0627621B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01296076A (ja) * 1988-05-19 1989-11-29 Teisan Kk 窒素ガス製造方法
JPH02282684A (ja) * 1989-03-16 1990-11-20 Union Carbide Corp 超高純度窒素を製造するための極低温精留方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5994288U (ja) * 1982-12-16 1984-06-26 日本酸素株式会社 空気液化分離装置
JPS6148073A (ja) * 1984-08-10 1986-03-08 エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン 合成画像の生成及び変更方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5994288U (ja) * 1982-12-16 1984-06-26 日本酸素株式会社 空気液化分離装置
JPS6148073A (ja) * 1984-08-10 1986-03-08 エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン 合成画像の生成及び変更方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01296076A (ja) * 1988-05-19 1989-11-29 Teisan Kk 窒素ガス製造方法
JPH02282684A (ja) * 1989-03-16 1990-11-20 Union Carbide Corp 超高純度窒素を製造するための極低温精留方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0627621B2 (ja) 1994-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4575388A (en) Process for recovering argon
JP6440232B1 (ja) 製品窒素ガスおよび製品アルゴンの製造方法およびその製造装置
EP1053392A1 (en) Combined cryogenic air separation with integrated gasifier
JPS6146747B2 (ja)
JP3208547B2 (ja) 液化天然ガスの寒冷を利用した永久ガスの液化方法
CN215412752U (zh) 一种双塔低温精馏制取高纯氮气装置
JPS63129291A (ja) 高純度窒素ガス製造装置
AU705278B2 (en) Process and installation for the production of oxygen by cryogenic distillation
CN219347032U (zh) 高纯甲烷生产装置
JPH0789014B2 (ja) 空気分離装置における外部冷熱源利用方法
CN108007068A (zh) 一种lng冷能利用的热集成精馏空分系统
JP3082092B2 (ja) 酸素の精製方法及び装置
CN209116371U (zh) 一种低能耗稳定供气的系统
JP2020076514A (ja) 窒素ガス製造装置
CN218993826U (zh) 一种医用中心制氧系统
CN222993338U (zh) 一种利用液体冷能小型化的单高氮生产装置
JPS59215577A (ja) 転炉ガスからｃｏガスを回収する方法
JPS58150786A (ja) 空気分離装置における外部冷熱源利用方法
CN109297043B (zh) 一种低能耗稳定供气的方法及系统
CN108120226A (zh) 通过低温精馏从空气中生产高纯氮和氧气的方法及设备
KR880000075B1 (ko) 공기분리 방법
JPS6244190B2 (ja)
JPS61285373A (ja) 冷熱利用空気深冷分離方法
JPH01121678A (ja) 空気液化分離方法及びその装置
JPH0413631B2 (ja)