JP2020076514A - 窒素ガス製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、半導体製造工場では近年窒素のみならずアルゴンガスの需要も増加している。通常、アルゴンガスは消費地から離れた場所に設置される空気分離装置により製造され、液化されたのちに、消費地にタンクローリ等により輸送され、消費地に設置された蒸発器等でガス化されて供給されている。
このため、たとえば特許文献1では、窒素ガス製造装置において精留塔のプロセス流体に外部から液体窒素を供給し、その寒冷を用いてプロセスの熱バランスを確保する方法が開示されている。
しかし、この方法では窒素以外の成分を精留塔に供給することはできない。精留塔で精留された窒素と、外部から供給された窒素以外の成分とが混合されてしまい、製品として窒素ガスが供給できなくなるためである。
本発明に係る窒素ガス製造装置は、
深冷分離法により窒素ガスを製造する装置であって、
原料空気を冷却する主熱交換器と、
冷却された前記原料空気を精留する精留塔と、
前記精留塔の上に配置される1または2以上の凝縮器と、
前記1または2以上の凝縮器の低温側から導出されるガスの少なくとも一部を、リサイクル空気として圧縮する低温圧縮機と、
前記主熱交換器に冷熱を供給するための冷熱源である低温液化ガスを貯留する低温液化ガス貯槽と、を有する。
前記低温圧縮機から導出される圧縮リサイクル空気は、前記主熱交換器の中間部に導入され、前記低温液化ガス貯槽から導出される低温液化ガスは、前記主熱交換器の低温端に導入される。
このように断熱圧縮されたリサイクル空気の熱を利用することにより、低温液化ガスの蒸発のために主熱交換器に導入される原料空気の量を低減させることが可能となる。
さらに、断熱圧縮されたリサイクル空気は、主熱交換器内で冷却され、再度精留塔に導入されることから、精留塔内の蒸気流を増加させることが可能となる。精留塔内の蒸気流の増加により、製品窒素の回収量を増加させることができる。
本発明に係る窒素ガス製造装置は、
前記1または2以上の凝縮器の低温側から導出されるガスの少なくとも一部を、前記主熱交換器を経由させた後に膨張させるための膨張タービンをさらに有し、前記膨張タービンの軸端は、前記低温圧縮機の軸端に接続されてもよい。
ここで、凝縮器の低温側から導出されるガスの少なくとも一部は、低温圧縮機へ導入されたのちに主熱交換器の中間部に導入され、前記主熱交換器において冷却されたのちに精留塔へ導入される。
凝縮器の低温端から導出されるガスのうち、低温圧縮機へ導入されないガスは、主熱交換器の冷端側に導入され。主熱交換器内部でのその寒冷を放出した後に膨張タービンへ導入され、膨張冷却される。膨張タービンにおいて膨張冷却されたガスは、再度主熱交換器に導入され、原料空気および/またはリサイクル空気との熱交換を行って寒冷を放出した後に、主熱交換器の温端側から排出される。
本発明に係る窒素ガス製造装置は、凝縮器が、前記精留塔の上部に配置される第2凝縮器と、前記第2凝縮器の上部または側部に配置される第1凝縮器とから構成されることもできる。
第1凝縮器の低温側から導出されるガスは低温圧縮機に導入され、第2凝縮器の低温側から導出されるガスは主熱交換器を経由させたのちに前記膨張タービンに導入される。
本発明に係る窒素ガス製造装置において、低温液化ガスは沸点がー100℃以下の流体であれば特に限定されず、たとえば液化アルゴンであってもよい。
低温液化ガスが液化アルゴンである場合には、液化アルゴンは主熱交換器において蒸発され、アルゴンガスとして消費地に供給することが可能となる。
実施形態1の窒素ガス製造装置について、図1を参照し説明する。
実施形態1に係る窒素ガス製造装置100は、深冷分離法により原料となる空気から窒素ガスを製造する装置である。
窒素ガス製造装置100は、原料空気を冷却する主熱交換器1と、冷却された原料空気を精留する精留塔2と、精留塔2の上に配置される凝縮器3と、凝縮器3の低温側から導出されるガスの少なくとも一部を、リサイクル空気として圧縮する低温圧縮機8と、主熱交換器1に冷熱を供給するための冷熱源である低温液化ガスを貯留する低温液化ガス貯槽11と、を有する。
実施例1では1つの凝縮器3のみを示すが、凝縮器を複数備えることもできる。
主熱交換器1内部では、原料空気と、後述する製品の窒素ガス、リサイクル空気、および低温液化ガスとが熱交換を行う。これにより、原料空気はその液化点近くまで冷却される。原料空気の温度は例えば、主熱交換器1導入時には20℃であり、例えば―170℃からー155℃にまで主熱交換器1で冷却される。
精留塔2の理論段数は30段から80段であり、例えば50段とすることができる。精留塔2の運転圧力範囲は例えば7barA〜15barAであり、運転圧力は例えば9barAとすることができる。
精留塔2の塔頂部から製品窒素ガスが取り出される。
精留塔2では、原料空気が酸素富化液と窒素ガスに分離され、酸素富化液は精留塔2の塔底部に貯留される。貯留された酸素富化液は、酸素富化液導入配管29により凝縮器容器4に導入される。
凝縮器3では、精留塔2で分離された窒素ガスが凝縮され、液体窒素となり、精留塔2を下降しながら精留塔2の底部から上昇するガス成分と接触する。
リサイクル空気の精留塔2への導入位置32は、原料空気の導入位置31と同じか、または下方である。
低温圧縮機8へ導入されない凝縮器ガスは、排ガスライン25により主熱交換器1の冷端側へと導入され、主熱交換器1内部で寒冷を放出したのちに、主熱交換器1の温端側から排出され、廃棄される。
低温液化ガス貯槽11に貯留された液化ガスは、低温液化ガスライン33により主熱交換器1に導入され、原料空気およびリサイクル空気との熱交換を行って寒冷を放出することにより気化する。気化した低温液化ガスは、ガス状態で消費地において使用される。
液化アルゴンの液化温度は、大気圧下では−186℃である。一方、主熱交換器1に導入されるリサイクル空気および原料空気の温度は液化アルゴンの液化温度よりも高い。このため、リサイクル空気と、液化アルゴンの熱交換によってアルゴンが気化される。これにより、液化アルゴンの気化に利用される原料空気の熱量を低減させることができ、原料空気の過度な液化を抑制することが可能となる。
また、蒸発器ガスの一部をリサイクル空気として再度精留塔2において精留することにより、窒素の回収率を高めることが可能となる。
実施形態2の窒素ガス製造装置101について、図2を参照し説明する。実施形態1の窒素ガス製造装置と同じ符号の要素は同じ機能を有するので、その説明を省略する。
ここで、膨張タービン7の軸端と、低温圧縮機8の軸端とが接続されることにより、凝縮器ガスが膨張タービンにおいて膨張することによって得られる動力を、低温圧縮機の動力として使用する。これにより、窒素ガス製造装置のエネルギー効率を高めることが可能となる。
実施形態3の窒素ガス製造装置102について、図3を参照し説明する。実施形態1、2の窒素ガス製造装置と同じ符号の要素は同じ機能を有するので、その説明を省略する。
第1凝縮器31の低温側(すなわち、第1凝縮器容器41の上部)から導出されるガスは、低温圧縮機8に導入される。
第2凝縮器32の低温側(すなわち、第2凝縮器容器42の上部)から導出されるガスは、膨張タービン7に導入される。
別実施形態として、第2凝縮器の側部に第1凝縮器が配置されるように構成されてもよい。
実施形態1にかかる窒素製造装置102(図3に示す)を用いて、原料として窒素75.6重量%を有し、温度40℃、圧力8.4barAを有する、水分と炭酸ガスが除かれた空気を1224kg/hr使用した場合の、各部における圧力(barA)、温度(℃)、流量(kg/h)、主熱交換器1における熱収支等をシミュレーションにより実証した。
精留塔2の底部に貯留された、酸素富化液は、減圧された後に温度−174℃で第一凝縮器31に導入され、精留塔2の頂部のガスと熱交換されることによって、蒸発される。蒸発された凝縮器ガス(蒸発された酸素富化液および凝縮されなかった精留塔2の頂部由来のガスを含む)は、低温圧縮機8によって圧縮され、主熱交喚器1で冷却された後、精留塔2に供給される。第一凝縮器31によって濃縮された酸素富化液は、減圧された後に温度―175℃で第二凝縮器32に導入され、精留塔2の頂部のガスと熱交換されることによって、蒸発される。第二凝縮器32で蒸発された凝縮器ガスは廃ガスとして主熱交換器1で寒冷を放出した後、膨張タービン7によって膨張され、再度主熱交喚器1で寒冷を放出した後に排出される。膨張タービン7は低温圧縮機8と連結され、ガスの膨張によって生じた動力は低温圧縮機8の動力として利用される。
低温液化ガス貯槽11に貯留される液化アルゴンは、14.6kg/h、−180℃、9.4barAで主熱交喚器1の冷端側に導入され、蒸発され、加温された後に主熱交換器1の温端側からアルゴンガスとして供給される。製品窒素ガスは、727kg/hの流量で精留塔2の頂部から−173℃の温度で導出され、主熱交喚器1で寒冷を放出した後に回収される。
液化ガスの寒冷を活用することによって、膨張タービン7によって寒冷を発生させる必要がなくなることから、連結される低温圧縮機8の処理量を増大させ、精留塔2に供給し得る総原料空気量が増大させることが可能となり、窒素回収量を増大させることが可能となった。
また、図4に主熱交換器1における予熱複合線と受熱複合線を示す。図4に実線で示す予熱複合線は、高温流体(すなわち、主熱交換器1に導入される原料空気やリサイクル空気)の、熱交換器内流路の任意の点において計測された各流体の加重平均温度と熱流量の総和を示す。図4に点線で示す受熱複合線は低温流体(すなわち、主熱交換器に導入される液体アルゴンや廃ガス)の、熱交換器内流路の任意の点において計測された各流体の加重平均温度と熱流量の総和を示す。予熱複合線と受熱複合線とは、全温度領域において近接しており、特に主熱交喚器の温端部において計測された高温、低温流体の各々の加重平均温度と熱流量の総和を示す点において、ピンチポイントと同程度の近接が見られることから、有効に寒冷を活用していることがわかる。
検討の結果、水分、炭酸ガスが除去された圧縮原料空気は、8.4barAの圧力、40℃の温度の圧力で主熱交喚器1へ導入される。主熱交喚器1で冷却された原料空気は、―168℃の温度で精留塔2へ導入され、精留される。精留塔2の運転圧力は8.2barAである。
精留塔2の底部に貯留された、酸素富化液は、減圧された後に温度−177℃で凝縮器3に導入され、精留塔2の頂部のガスと熱交換されることによって、蒸発される。蒸発された凝縮器ガスは、主熱交喚器1で寒冷を放出した後に排出される。
液化窒素貯槽12に貯留される液体窒素は、22.5kg/h、−173℃、8.2barAで精留塔2の頂部に導入される。製品窒素ガスは、543kg/hの流量で精留塔2の頂部から−173℃の温度で導出され、主熱交喚器1で寒冷を放出した後に回収される。
。この構成によれば、外部から液体窒素を供給して、プロセスバランスを維持することができる。
しかし、図6は、図5に示すような構成において、主熱交喚器1で低温液化ガスを蒸発させた場合の熱複合線を示すが、全熱流量領域に渡って広い流体間温度差が見られ、実施例1と比べて有効に寒冷を活用しているとは言えず、また製品窒素ガス量も減少しているため、非効率的である。
精留塔2の底部に貯留された、酸素富化液は、減圧された後に温度−177℃で凝縮器3に導入され、精留塔2の頂部のガスと熱交換されることによって、蒸発される。蒸発された凝縮器ガスは、主熱交喚器1で寒冷を放出した後に排出される。
低温液化ガス貯槽11に貯留される液化アルゴンは、35.7kg/h、−180℃、9.4barAで精留塔2の頂部に導入される。製品窒素ガスは、513kg/hの流量で精留塔2の頂部から−173℃の温度で導出され、主熱交喚器1で寒冷を放出した後に回収される。
この構成によれば、製品窒素および製品アルゴンを供給しつつ、プロセスバランスを維持することができる。しかし、図8は、図7示すような構成において、主熱交喚器1で低温液化ガスを蒸発させた場合の熱複合線を示すが、特に主熱交喚器の温端部において計測された高温、低温流体の各々の加重平均温度と熱流量の総和を示す点において、ピンチポイント(−170℃付近)より大きな乖離が見られ、比較例1と比べて有効に寒冷を利用しているとは言えず、また製品窒素ガス量も減少しているため、非効率的である。
2. 精留塔
3. 凝縮器
4. 凝縮器容器
7. 膨張タービン
8. 低温圧縮機
11.低温液化ガス貯槽
23. 凝縮器ガス導出配管
25. 排ガスライン
29. 酸素富化液導入配管
33. 低温液化ガスライン
Claims (4)
- 深冷分離法により窒素ガスを製造する装置であって、
原料空気を冷却する主熱交換器と、
冷却された前記原料空気を精留する精留塔と、
前記精留塔の上部に配置される1または2以上の凝縮器と、
前記1または2以上の凝縮器の低温側から導出されるガスの少なくとも一部を、リサイクル空気として圧縮する低温圧縮機と、
前記主熱交換器に冷熱を供給するための冷熱源である低温液化ガスを貯留する低温液化ガス貯槽と、を有し、
前記低温圧縮機から導出される圧縮リサイクル空気は、前記主熱交換器の中間部に導入され、
前記低温液化ガス貯槽から導出される低温液化ガスは、前記主熱交換器の低温端に導入される、窒素ガス製造装置。 - 前記1または2以上の凝縮器の低温側から導出されるガスの少なくとも一部を、前記主熱交換器を経由させた後に膨張させるための膨張タービンをさらに有し、
前記膨張タービンの軸端は、前記低温圧縮機の軸端に接続される、請求項1に記載の窒素ガス製造装置。 - 前記凝縮器が、前記精留塔の上部に配置される第2凝縮器と、前記第2凝縮器の上部または側部に配置される第1凝縮器とから構成され、
前記第1凝縮器の低温側から導出されるガスは、前記低温圧縮機に導入され、
前記第2凝縮器の低温側から導出されるガスは、前記主熱交換器を経由させたのちに前記膨張タービンに導入される、
請求項1または請求項2に記載の窒素ガス製造装置。 - 前記低温液化ガスは、液化アルゴンである、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の窒素ガス製造装置。
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JP7385800B1 (ja) | 2023-03-29 | 2023-11-24 | レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 低温装置用熱交換器制御システムおよびその方法、そのシステムを備える空気分離装置 |
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