JPS6312922Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はビデオヘツド用フエライトウエハー等
の小さなワークを研磨するに先立つて、該ワーク
を研磨用治具にロー付け固定するためにワークを
該治具に押圧するワーク取付補助装置に関する。

ビデオヘツド用フエライトウエハーに対する研
磨はウエハーの反りをなくし、厚みを揃える意味
で重要である。

従来この研磨に先立つて、ウエハーを研磨用治
具に固定するには、作業者が加圧棒でウエハーを
治具に押圧しつつウエハーの外周を治具にロー付
けしていた。

上記方法ではウエハーに対する押え力が一定せ
ず、押え力が不十分であると治具とウエハーとの
間のクリアランスが適切に保たれず、又、一方の
手でウエハーの押圧、他方の手でロー付けを行な
わねばならず、作業性が悪い問題があつた。

本考案はウエハーの押圧をシリンダー装置で行
なうことにより作業者はロー付けに集中出来、前
記問題を解決することを目的とする。

本考案は回転テーブル１上に該テーブルの回転
とは無関係に回転自由に治具受台２を配備し、テ
ーブル１上には更に治具受台２の回転中心から外
れた偏心位置の上方に押圧装置５を配備してい
る。

押圧装置５はシリンダ装置５１のピストンロツ
ド５２に支持部材６１を介して複数の加圧棒６３
を配備し、該加圧棒６３をバネ６４で常時下向き
付勢している。

治具受台２に研磨用治具２１を着脱可能に取付
け、シリンダ装置５１を作動すれば加圧棒６３が
ウエハーを一定の力で治具２１に押圧し、作業者
はロー付けに集中出来る。

テーブル１を回転すればロー付け箇所に対する
作業者側からの死角はなくなるから、能率的に作
業が行なえる。

以下図面に示す実施例に基づき、本考案を具体
的に説明する。

本考案のワーク取付補助装置はビデオヘツド用
フエライトウエハーＷを研磨用治具２１にロー付
けするための装置として開発されたが、フエライ
トウエハーに限定されることはなく、ウエハーに
類する様な板状の小さな物品（以下ワーク）を研
磨用治具に固定するための補助装置として使用出
来るのは勿論である。

実施例のワーク７は矩形状である。

ワーク取付補助装置は基台１０上にスラストベ
アリング１１を介して回転テーブル１を設け、該
テーブル１上には該テーブルの回転中心から偏心
した位置にスラストベアリング１２を介して円形
の治具受台２を配備している。

治具受台２には上面が平坦な円形の研磨用治具
２１が受台２と同心に着脱可能に配備されてい
る。

受台２にはクランプ装置３が連繋され、実施例
のクランプ装置３はテーブル１上にピストンロツ
ド３２を受台２の回転中心側に向けて配備し、該
ピストンロツド３２の先端にゴム製の押え部材３
３を取り付けたものであつて、ピストンロツド３
２の突き出しで押え部材３３が受台２の外周を押
圧してクランプする。

回転テーブル１には逆Ｌ字状のスタンド４を介
して押圧装置５が取り付けられている。

スタンド４の横杆４２はクランプネジ４３によ
つて縦杆４１に高さ位置調節可能に取付けられ、
先端を研磨用治具２１の上方に位置させている。

スタンドの横杆４２の先端部には前記研磨用治
具２１の回転中心から外れた偏心位置との対向位
置に押圧装置５が配備されている。

押圧装置５は横杆４２上にピストンロツド５２
を下向きにして配備したエアシリンダ装置５１
と、該シリンダ装置５１に着脱可能に連繋した押
圧ユニツト６とで構成される。

押圧ユニツト６は、前記ワーク７に対応して矩
形状に形成された支持部材６１と該部材に摺動可
能に嵌まつた複数の加圧棒６３と加圧棒６３の下
部に嵌まつた付勢板６５と、加圧棒６３を下向き
に付勢するバネ６４とで構成される。

支持部材６１は中心部がネジ結合等の方法でピ
ストンロツド５２に着脱可能に取付けられ、外周
部には長辺及び短辺に沿う線上に８つの貫通孔６
２が開設され、各孔６２に加圧棒６３を上下方向
に摺動可能に嵌めている。

各加圧棒６３の下部に支持部材６１と同様にし
て外周に８つの貫通孔６７を開設した付勢板６５
が摺動自由に嵌められる。

加圧棒６３には更に支持部材６１と付勢板６５
との間に圧縮コイルバネ６４が嵌められ棒６３の
両端側には抜止め用の止め輪６６が装着されてい
る。

次に上記ワーク取付補助装置の使用法を説明す
る。

押圧装置５の真下位置に対応して治具２１にワ
ーク７を載せ、押圧装置５のシリンダ装置５１を
作動させると共にクランプ装置３を利かせ治具２
１を回転テーブル１上に固定する。

押圧装置５のピストンロツド５２の加圧力はバ
ネ６４を介して加圧棒６３に伝わり、該棒がワー
ク７を抑えるからエアー圧によるピストンロツド
の突出し衝撃はバネ６４で緩和され、ワークに割
れや傷付きが生じることを防止出来る。

又、加圧棒６３はワーク７の外周に沿つて配列
されているから、外周部を均等に押圧することが
出来、治具２１とワーク７との間のクリアランス
を0.2μ以下に抑えることが出来る。

各加圧棒６３の下部は１つの付勢板６５に嵌ま
つているから加圧時に棒６３どうしの間隔が拡が
つたり或は狭まつたりする虞れはない。

上記の様にしてワーク７を加圧棒で抑えた状態
で、第３図に矢印，で示す様にワーク７の一
方の短辺７１と作業者（図示せず）から見て手前
側の長辺７２とを夫々治具２１にロー付けする。
ロー付け用のワツクスは軟下点が70℃程度のもの
が望ましい。

ワーク７は外周部が均等に押圧されているから
ロー付け部分の反対側が反り上がることはない。

次に加圧棒６３でワーク７を押えた侭回転テー
ブル１を第５図の如く約90度回転させ、その状態
で第４図に矢印，で示す様にワーク７の残り
の２辺を治具２１にロー付けする。

この様にテーブル１を回転させることにより、
作業者が定位置に居ても押圧装置５が邪魔になつ
てワークロー付けの際に死角が生じることはな
い。

上記手順で１つのワーク７を治具２１へ固定す
る作業は終了するから、テーブル１を元位置に戻
しクランプ装置３を解放して、治具２１を１ピツ
チずらし、再びクランプ装置３を利かせて次のワ
ーク７ａを前記手順と同様にしてロー付け作業を
進めれば可い。

治具２１に所定数のワークを固定し終えれば治
具２１を受台２から外して研磨装置のテーブル
（図示せず）に載せ研磨をすれば可い。

ワーク７の大きさが変わるときは、ユニツト６
をワーク７の大きさに合う様に設計したものと交
換すれば可い。

尚、本考案の実施に際して押圧装置５の内、付
勢板６５を省略してバネの下端を加圧棒の下部の
止め輪で支えても可い。

この場合、各加圧棒６３は完全に独立して加圧
作用をなすから、ワーク７の厚みにバラつきがあ
つても問題はない。

本考案は上記の如く、シリンダ装置のピストン
の押圧力をバネを介して複数の加圧棒６３に伝
え、該棒でワーク７を押圧するから、ピストンロ
ツド５２の突き出し衝撃は緩和されワークを損傷
することはない。

又、複数の加圧棒でワーク７を略均等に押圧出
来るから反りが生ずる虞れはない。

又、ワークを押圧した侭テーブル１を回転させ
ることが出来るからロー付け作業時に押圧装置が
邪魔になつて作業時に死角が出来ることはなく、
楽な姿勢で能率的にロー付け作業が行なえる等、
幾多の優れた効果を有す。

尚、本考案は上記構成に限定されることはなく
実用新案登録請求の範囲に記載の技術範囲内で
種々の変形が可能であるのは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は補助装置の正面図、第２図は同上の平
面図、第３図、第４図はロー付け順序の説明図、
第５図はテーブルを90度回転させた平面図であ
る。 １……回転テーブル、２……治具受台、５……
押圧装置、６……押圧ユニツト、６３……加圧
棒、６４……バネ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基台１０に枢支された回転テーブル１と、該回
   転テーブル１上の偏心位置に回転自由に配備され
   た治具受台２と、回転テーブル１に立設され該回
   転テーブルと一体に回動するスタンド４と、該ス
   タンド４上に配備され治具受台２の回転中心から
   外れた偏心位置の上方に位置して複数の加圧棒６
   ３を下向きに押圧する押圧装置５と、治具受台２
   を回転テーブル１へ着脱可能にロツクするクラン
   プ装置３とで構成され、該押圧装置５は、シリン
   ダ装置５１のピストンロツド５２に取り付けられ
   た支持部材６１に複数の加圧棒６３が上下方向に
   摺動可能に嵌まり且つ各加圧棒６３はバネ６４に
   て常時下向きに付勢され、加圧棒６３は研磨すべ
   きワークの外周に沿う様に配列されている研磨用
   治具へのワーク取付補助装置。