JPS6312897A - 真空用ル−ツブロワ−のオイルレス軸封機構 - Google Patents
真空用ル−ツブロワ−のオイルレス軸封機構Info
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- JPS6312897A JPS6312897A JP61153430A JP15343086A JPS6312897A JP S6312897 A JPS6312897 A JP S6312897A JP 61153430 A JP61153430 A JP 61153430A JP 15343086 A JP15343086 A JP 15343086A JP S6312897 A JPS6312897 A JP S6312897A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は真空用ルーツブロワーのオイルレス軸封機構に
関し、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ツつ化エ
チレンaim系シールリング、第2ラビリンスシール装
置の順次配置による相乗シール効果によりロータシャフ
トに高度の真空度に酎えるシールを施し、中型、大型真
空用ルーツブロワ−の軸封オイルレス化に理想的に対処
できる利用分野を持つものである。
関し、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ツつ化エ
チレンaim系シールリング、第2ラビリンスシール装
置の順次配置による相乗シール効果によりロータシャフ
トに高度の真空度に酎えるシールを施し、中型、大型真
空用ルーツブロワ−の軸封オイルレス化に理想的に対処
できる利用分野を持つものである。
(従来の技術)
従来、真空用ルーツブロワーにおいて、小型の場合は第
4図のようにロータシャフトを駆動するモータMをビル
トインし、そのモータMと真空プロワ−外殻にとを完全
に密封し大気がロータシャフトから真空圧のケーシング
内部に流入する(漏れる)のを阻止することができるが
、中型、大形の真空用ルーツブロワーにおいてモータに
概ね15に−を使用しなければならない場合、該モータ
のビルトイン化がコスト高或は製作難となるため、その
実現は不可能とされ、ロータシャ7Fをハウジングの外
部に突出して■ベルト等により駆動する方式になってい
る。この場合第51図に示すように、ケーシングaのル
ーツロータbから突出するロータシャ7icにラビリン
スシールdを設け、ハウジングeに第1オイルシールf
1ベアリング9、第2オイルシールhを配置し、第2、
第1オイルシール間に軸封油Oを封入するとか、或は第
6図に示すようにロータシャ7)Cにラビリンスシール
dを設け、ハウジングeとロータシャ7)C開にメカニ
カルシールiを設(す、さらにハウジングe側にベアリ
ング9とオイルシールjの取付けを施し、オイルシール
jとメカニカルシールlの間に軸封オイル0を封入して
軸封する機構を使用するのが通常である。
4図のようにロータシャフトを駆動するモータMをビル
トインし、そのモータMと真空プロワ−外殻にとを完全
に密封し大気がロータシャフトから真空圧のケーシング
内部に流入する(漏れる)のを阻止することができるが
、中型、大形の真空用ルーツブロワーにおいてモータに
概ね15に−を使用しなければならない場合、該モータ
のビルトイン化がコスト高或は製作難となるため、その
実現は不可能とされ、ロータシャ7Fをハウジングの外
部に突出して■ベルト等により駆動する方式になってい
る。この場合第51図に示すように、ケーシングaのル
ーツロータbから突出するロータシャ7icにラビリン
スシールdを設け、ハウジングeに第1オイルシールf
1ベアリング9、第2オイルシールhを配置し、第2、
第1オイルシール間に軸封油Oを封入するとか、或は第
6図に示すようにロータシャ7)Cにラビリンスシール
dを設け、ハウジングeとロータシャ7)C開にメカニ
カルシールiを設(す、さらにハウジングe側にベアリ
ング9とオイルシールjの取付けを施し、オイルシール
jとメカニカルシールlの間に軸封オイル0を封入して
軸封する機構を使用するのが通常である。
しかるに軸封部で少しでも軸封オイルOの洩れがあって
真空のケーシングaに流入すると、運転停止時などに該
オイルが真空側に逆流するため、食品、薬品等のオイル
汚染を薬忌とする用途においてはトラブルが起こるので
、軸封オイルを全(使用しないオイルレス真空ルーツブ
ロワ−が要望されている。
真空のケーシングaに流入すると、運転停止時などに該
オイルが真空側に逆流するため、食品、薬品等のオイル
汚染を薬忌とする用途においてはトラブルが起こるので
、軸封オイルを全(使用しないオイルレス真空ルーツブ
ロワ−が要望されている。
W&5.6図に戻って軸封オイルを使用する真空用ルー
ツブロワーについて解説するに、ラビリンスシールは殆
ど設けられているもので、第5図においては第1オイル
シールfと軸封オイルOにより大気を進入不能にシール
し、第2オイルシールhによって前記のシールの相乗効
果を発揮するが、軸封オイル0はロータシャ7)Cの振
動を及びケーシングa内の真空により徐々にケーシング
a内へのオイル洩れを生じ、軸封オイルOの減少による
ベアリング9の潤滑不能のトラブルとか、軸封オイルO
のケーシングa内への流入によるトラブルの発生が多く
、早ければ数ケ月で!!81オイルシールfを交換する
必要を生じ、そのための分解修理費の出資が多く、しか
も修理期間中の使用停止による稼動損失が大きくなる。
ツブロワーについて解説するに、ラビリンスシールは殆
ど設けられているもので、第5図においては第1オイル
シールfと軸封オイルOにより大気を進入不能にシール
し、第2オイルシールhによって前記のシールの相乗効
果を発揮するが、軸封オイル0はロータシャ7)Cの振
動を及びケーシングa内の真空により徐々にケーシング
a内へのオイル洩れを生じ、軸封オイルOの減少による
ベアリング9の潤滑不能のトラブルとか、軸封オイルO
のケーシングa内への流入によるトラブルの発生が多く
、早ければ数ケ月で!!81オイルシールfを交換する
必要を生じ、そのための分解修理費の出資が多く、しか
も修理期間中の使用停止による稼動損失が大きくなる。
また第6図の構成でメカニカルシールiは水のような粘
性の低い液体に対して良好なシール効果が得られるが、
軸封オイル0のような粘性が高く、しかも炭素分子を含
む液体が使用されるとき、メカニカルシールiの摺動面
に炭化物が生成付着し、又は粘性物が付着して隙間を生
じさせ、それが自然に排除されるまで軸封オイル0がケ
ーシングaの方向に一時的に流出するため、軸封オイル
の消耗が劇しく、その他の軸封オイル使用タイプの軸封
装置においても軸封オイルのケーシング内への流入が避
けられてはいない。
性の低い液体に対して良好なシール効果が得られるが、
軸封オイル0のような粘性が高く、しかも炭素分子を含
む液体が使用されるとき、メカニカルシールiの摺動面
に炭化物が生成付着し、又は粘性物が付着して隙間を生
じさせ、それが自然に排除されるまで軸封オイル0がケ
ーシングaの方向に一時的に流出するため、軸封オイル
の消耗が劇しく、その他の軸封オイル使用タイプの軸封
装置においても軸封オイルのケーシング内への流入が避
けられてはいない。
(発明が解決しようとする問題点)
従来の、軸封オイルの使用を以てロータシャフトを軸封
する真空用ルーツブロワーは、一段式、多段式のものが
知られているが、食品、薬品その他のオイル逆流な薬忌
とする用途に使用する場合は、オイルレスを絶対の条件
としている。また、多少のオイル漏れを可とする用途に
使用するときも、前記のような修理待ち、軸封オイルの
一時的な漏れ等を防ぐためにも、オイルレスとした方が
結果が良い。しかしながら、オイルレスによれば外気が
真空圧のケーシングに流入して真空能率を害し、特に真
空用ルーツブロワーにより真空圧の処理を施し、さらに
高級真空機構により1〜0.ITorr付近までの高真
空処理を行うような場合、オイルレスでしかも高い真空
度を得られるようにしなければ真空用ルーツブロワ−の
使用価値が低下するが、在米の真空用ルーツブロワ−に
おいて、オイルレス構成にした信頼性の高い軸封機構は
な+11゜ 本発明は、かかる信頼性の低いオイルレス真空用ルーツ
ブロワーについて、高度の真空度に耐える軸封機構を開
発することを目的とするものである。
する真空用ルーツブロワーは、一段式、多段式のものが
知られているが、食品、薬品その他のオイル逆流な薬忌
とする用途に使用する場合は、オイルレスを絶対の条件
としている。また、多少のオイル漏れを可とする用途に
使用するときも、前記のような修理待ち、軸封オイルの
一時的な漏れ等を防ぐためにも、オイルレスとした方が
結果が良い。しかしながら、オイルレスによれば外気が
真空圧のケーシングに流入して真空能率を害し、特に真
空用ルーツブロワーにより真空圧の処理を施し、さらに
高級真空機構により1〜0.ITorr付近までの高真
空処理を行うような場合、オイルレスでしかも高い真空
度を得られるようにしなければ真空用ルーツブロワ−の
使用価値が低下するが、在米の真空用ルーツブロワ−に
おいて、オイルレス構成にした信頼性の高い軸封機構は
な+11゜ 本発明は、かかる信頼性の低いオイルレス真空用ルーツ
ブロワーについて、高度の真空度に耐える軸封機構を開
発することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段)
前項の目的を達成できる軸封機構を、軸封オイルを全く
使用しないで達成することは至極困難であった0本発明
者はテストにテストを重ねる試行錯誤を繰返してようや
く前項の目的を達成する発明を完成できたもので、ハウ
ジングとロータシャフトとの間に第1、第2ラビリンス
装置を設け、該第1、第2ラビリンス装置の間にオイル
シールと、四ふつ化エチレン樹脂系シールリングとをロ
ータシャフトにほぼ接触させてハウジングに順次に取付
け、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ふつ化エチ
レン樹脂系シールリング、第2ラビリンスシール装置の
順次配置による相乗シール効果によりロータシャ7Fに
高度の真空度に耐えるシールを施すことを特徴とする真
空用ルーツブロワ−のオイルレス軸封機構に係るもので
ある。
使用しないで達成することは至極困難であった0本発明
者はテストにテストを重ねる試行錯誤を繰返してようや
く前項の目的を達成する発明を完成できたもので、ハウ
ジングとロータシャフトとの間に第1、第2ラビリンス
装置を設け、該第1、第2ラビリンス装置の間にオイル
シールと、四ふつ化エチレン樹脂系シールリングとをロ
ータシャフトにほぼ接触させてハウジングに順次に取付
け、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ふつ化エチ
レン樹脂系シールリング、第2ラビリンスシール装置の
順次配置による相乗シール効果によりロータシャ7Fに
高度の真空度に耐えるシールを施すことを特徴とする真
空用ルーツブロワ−のオイルレス軸封機構に係るもので
ある。
本発明の好適な実施例を次に説明する。
(実施例)
第1図において、1はケーシング、2はハウジングで、
ケーシング1には公知の一対のルーツロータ7を嵌め、
一方のルーツロータのロータシャフト8をハウジング2
に通す。ハウジング2には軸孔3に続けてシール装置孔
4、ラビリンス板取付は孔5、ベアリング嵌着孔6を順
次に設け、前記ロータシャフト8の軸孔3を通る部分に
ラビリ ・レス9を形成し、ロータシャフト8と軸孔3
の内周との間のクリアランスを0.15m111〜0.
20fflI11程度にした第1ラビリンス装置13を
設け、ラビリンス板取付は孔5の壁部にラビリンス板1
oを固定し、該ラビリンス板10にラビリンス11を形
成し、ロータシャフト8の周りとの間ニ0.15mm
−0,20v+a程度のクリアランスを保持する第2ラ
ビリンス装置14を設け、ベアリング嵌着孔6に内径輪
によりロータシャフト8を支持するベアリング12を装
着し、第1、第2ラビリンス装置13.14の間のシー
ル装着孔6に2個のオイルシール15.15の取付けと
、−個の四ふり化エチレン樹脂シールリング17の取付
とを施す。
ケーシング1には公知の一対のルーツロータ7を嵌め、
一方のルーツロータのロータシャフト8をハウジング2
に通す。ハウジング2には軸孔3に続けてシール装置孔
4、ラビリンス板取付は孔5、ベアリング嵌着孔6を順
次に設け、前記ロータシャフト8の軸孔3を通る部分に
ラビリ ・レス9を形成し、ロータシャフト8と軸孔3
の内周との間のクリアランスを0.15m111〜0.
20fflI11程度にした第1ラビリンス装置13を
設け、ラビリンス板取付は孔5の壁部にラビリンス板1
oを固定し、該ラビリンス板10にラビリンス11を形
成し、ロータシャフト8の周りとの間ニ0.15mm
−0,20v+a程度のクリアランスを保持する第2ラ
ビリンス装置14を設け、ベアリング嵌着孔6に内径輪
によりロータシャフト8を支持するベアリング12を装
着し、第1、第2ラビリンス装置13.14の間のシー
ル装着孔6に2個のオイルシール15.15の取付けと
、−個の四ふり化エチレン樹脂シールリング17の取付
とを施す。
オイルシール15.15は、図面に示すように取付部1
8と脚19とをL形断面を以て形成し、脚19の先端に
ロータシャフト8に対応する■形突起20を設けたもの
で、四ふつ化エチレン樹脂系シールリング17はオイル
シール15.15と同形か、或はY形断面のリング形に
形成したものを使用する。
8と脚19とをL形断面を以て形成し、脚19の先端に
ロータシャフト8に対応する■形突起20を設けたもの
で、四ふつ化エチレン樹脂系シールリング17はオイル
シール15.15と同形か、或はY形断面のリング形に
形成したものを使用する。
オイルシール15.15は前記した構成のものを使用す
るとき、二個を並べた■形突起20.20によって、ラ
ビリンス形状21を呈してオイルシールのシール作用を
一層高める。22はハウジング2に設けた大気連通孔で
ある。
るとき、二個を並べた■形突起20.20によって、ラ
ビリンス形状21を呈してオイルシールのシール作用を
一層高める。22はハウジング2に設けた大気連通孔で
ある。
(作用)
本発明の第1ラビリンス装置13、オイルール15、四
ふっ化エチレン樹脂系シールリング17、第2ラビリン
ス装置14は個々が軸封装置として公知であるが、第1
ラビリンス装置13、オイルシール15、四ふつ化エチ
レーン樹脂系シールリング17、第2ラビリンス装置1
4の順次配置による本発明は、この順次配置によって相
乗的なオイルレスシール効果を発揮させ得る。
ふっ化エチレン樹脂系シールリング17、第2ラビリン
ス装置14は個々が軸封装置として公知であるが、第1
ラビリンス装置13、オイルシール15、四ふつ化エチ
レーン樹脂系シールリング17、第2ラビリンス装置1
4の順次配置による本発明は、この順次配置によって相
乗的なオイルレスシール効果を発揮させ得る。
これを実験によって証明するため、PIS1ラビリンス
装置をAとし、オイルシール(1個)をBとし、四五つ
化エチレン樹脂系シールリングをCとし、第2ラビリン
ス装置をDとし、(イ)Aのみの配置、(ロ)A、Bの
みの順次の配置、(ハ)A、B、Cのみの順次の配置、
(ニ)A、B、Dのみの順次配置、(ホ)A、B、C,
Dの順次配置(本発明)について 。
装置をAとし、オイルシール(1個)をBとし、四五つ
化エチレン樹脂系シールリングをCとし、第2ラビリン
ス装置をDとし、(イ)Aのみの配置、(ロ)A、Bの
みの順次の配置、(ハ)A、B、Cのみの順次の配置、
(ニ)A、B、Dのみの順次配置、(ホ)A、B、C,
Dの順次配置(本発明)について 。
得た実験成績は次表の通りであった。
実験は、第2図に示すように、前記した三種の軸封装置
■〜■を夫々に備える真空用ルーツブロワ−R−、、R
−、を二段接続とし、第3図に示すように第一段のルー
ツブロワーR−、のノ)ウノング2の軸孔3に漏れテス
トの風量計23の先端管を装入し、風量計23を外部に
設置して、目In24により外気のケーシング1内への
漏れを計測したもので、漏れ量Il/win、までを可
とした6表中の数字は毎分の漏れ量をリットル単位で示
したもので、「0」数字は、前記の可とした漏れ量を含
むものである。
■〜■を夫々に備える真空用ルーツブロワ−R−、、R
−、を二段接続とし、第3図に示すように第一段のルー
ツブロワーR−、のノ)ウノング2の軸孔3に漏れテス
トの風量計23の先端管を装入し、風量計23を外部に
設置して、目In24により外気のケーシング1内への
漏れを計測したもので、漏れ量Il/win、までを可
とした6表中の数字は毎分の漏れ量をリットル単位で示
したもので、「0」数字は、前記の可とした漏れ量を含
むものである。
なお、本実験に供用した真空用ルーツブロワ−R−、、
R−2は何れもロータシャフト外径80φl、モータは
第一段R−、→5 Kil!、第2段7.5に−とした
同−磯を(1)〜(V)に使用した。
R−2は何れもロータシャフト外径80φl、モータは
第一段R−、→5 Kil!、第2段7.5に−とした
同−磯を(1)〜(V)に使用した。
前記の実験の成績によれば、
(1)は460Torr(300Hg/mm)で軸封作
用を失った。
用を失った。
(II)は380Torr(400Hg/sm)までに
軸封作用を失なった。
軸封作用を失なった。
(III)は260Torr(500Hg/mm)まで
軸封作用に酎えるが、160Torrで軸封作用を失っ
た。
軸封作用に酎えるが、160Torrで軸封作用を失っ
た。
(IV)は160Torr(600Hg/mm)と可な
りの軸封作用に耐えるが、四ふっ化エチレン樹脂系シー
ルリング17を欠くため、オイルシールのリップ部分の
安定が悪く、初期摩耗によって耐久性が不良であると共
に、本発明の50Torrの理想の軸封作用に耐え得な
い。
りの軸封作用に耐えるが、四ふっ化エチレン樹脂系シー
ルリング17を欠くため、オイルシールのリップ部分の
安定が悪く、初期摩耗によって耐久性が不良であると共
に、本発明の50Torrの理想の軸封作用に耐え得な
い。
(V)は本発明であって、表によっても60Torr(
700Hir/mm)の軸封作用に耐え、50Torr
の理想の軸封作用まで可能である。 30Torrでは
限界を越える。
700Hir/mm)の軸封作用に耐え、50Torr
の理想の軸封作用まで可能である。 30Torrでは
限界を越える。
本発明は、前記した成績表によっても明きらかな軸封作
用をもち、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ふつ
化エチレン樹脂系シールリングにより防止し、第22ビ
リンス装置は前記シールリングの変形を防止する作用を
生じ、軸封作用の耐久性を増進する。
用をもち、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ふつ
化エチレン樹脂系シールリングにより防止し、第22ビ
リンス装置は前記シールリングの変形を防止する作用を
生じ、軸封作用の耐久性を増進する。
本発明の構成は、気体加圧用のルーツブロワーにも適要
できる。その場合にはケーシングから軸封を破って外気
1こ圧縮機構が漏れるから、それに対応する形状のオイ
ルシール、及び四ふつ化エチレン樹脂系シールリングを
進用しなければならな+11゜ (効果) 本発明は、ハウジングとロータシャフトとの間に第1、
第2ラビリンス装置を設け、該第1、第2ラビリンス装
置の間にオイルシールと、四ふつ化エチレン樹脂系シー
ルリングとをロータシャフトにほぼ接触させてハウジン
グに順次に取付け、だ第1ラビリンス装置、オイルシー
ル、四ふつ化エチレン樹脂系シールリング、第2ラビリ
ンス装置の順次配置による相乗シール効果によりロータ
シャ7Fに高度の真空度に耐えるシールを施す構成によ
り、オイルシールの摩耗を四ふり化エチレン樹脂系シー
ルリングにより防ぎ、該リングの変形を第2ラビリンス
装置によって防止する相乗軸封作用により、かかる順次
配列の構成をもだな−1組合わせからなる構成の軸封装
置に比し真空用ルーツブロワ−のロータシャフト軸封作
用を顕著に高める効果をもつ。
できる。その場合にはケーシングから軸封を破って外気
1こ圧縮機構が漏れるから、それに対応する形状のオイ
ルシール、及び四ふつ化エチレン樹脂系シールリングを
進用しなければならな+11゜ (効果) 本発明は、ハウジングとロータシャフトとの間に第1、
第2ラビリンス装置を設け、該第1、第2ラビリンス装
置の間にオイルシールと、四ふつ化エチレン樹脂系シー
ルリングとをロータシャフトにほぼ接触させてハウジン
グに順次に取付け、だ第1ラビリンス装置、オイルシー
ル、四ふつ化エチレン樹脂系シールリング、第2ラビリ
ンス装置の順次配置による相乗シール効果によりロータ
シャ7Fに高度の真空度に耐えるシールを施す構成によ
り、オイルシールの摩耗を四ふり化エチレン樹脂系シー
ルリングにより防ぎ、該リングの変形を第2ラビリンス
装置によって防止する相乗軸封作用により、かかる順次
配列の構成をもだな−1組合わせからなる構成の軸封装
置に比し真空用ルーツブロワ−のロータシャフト軸封作
用を顕著に高める効果をもつ。
第1図は本発明を例示した縦断正面図、第2図は真空用
ルーツブロワ−の二段配列の説明図、第3図は試験装置
の概要を示した側面図、第4図は小型真空用ルーツロー
タのモータビルトイン構造の側面図、第5.6図は軸封
オイル充填の軸封装置の一例を夫々に示した側面図であ
る。 1→ケーシング 2→ハウジング 3→袖孔8→ロータ
シヤフト 12→ベアリング13→第1ラビリンス装置 14→ラビリンス装置 15.15→オイルシール 17→四ふつ化エチレン樹脂系シールリング出願人 株
式会社 7 ン し ッ ト第1図 第2図 第3図 第4図 手続補正書 昭和61年10月23日 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名 称 株式会社 アンレット 4、代理人 6、補正の対象 明細書 7、補正の内容 別紙の通り 特願昭61−153430 補正の内容 1、 明細書第11頁第12行に「オイルール」とある
を 「オイルシール」 と訂正する。 2、 明細書第14頁の表を次ぎの通り訂正する。 3、明細書第15頁第5行に[30TorrJとあるを
rl X 10−”TorrJ と訂正する。 4、明細書第16頁第10行に「だ第1ラビリンス装置
」とあるを 「第1ラビリンス装置」 と訂正する。 以 上
ルーツブロワ−の二段配列の説明図、第3図は試験装置
の概要を示した側面図、第4図は小型真空用ルーツロー
タのモータビルトイン構造の側面図、第5.6図は軸封
オイル充填の軸封装置の一例を夫々に示した側面図であ
る。 1→ケーシング 2→ハウジング 3→袖孔8→ロータ
シヤフト 12→ベアリング13→第1ラビリンス装置 14→ラビリンス装置 15.15→オイルシール 17→四ふつ化エチレン樹脂系シールリング出願人 株
式会社 7 ン し ッ ト第1図 第2図 第3図 第4図 手続補正書 昭和61年10月23日 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名 称 株式会社 アンレット 4、代理人 6、補正の対象 明細書 7、補正の内容 別紙の通り 特願昭61−153430 補正の内容 1、 明細書第11頁第12行に「オイルール」とある
を 「オイルシール」 と訂正する。 2、 明細書第14頁の表を次ぎの通り訂正する。 3、明細書第15頁第5行に[30TorrJとあるを
rl X 10−”TorrJ と訂正する。 4、明細書第16頁第10行に「だ第1ラビリンス装置
」とあるを 「第1ラビリンス装置」 と訂正する。 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一方のロータシャフトをハウジングの外部に突出してV
ベルト等により駆動する真空用ルーツブロワーに於いて
、 ハウジングとロータシャフトとの間に第1、第2ラビリ
ンス装置を設け、該第1、第2ラビリンス装置の間にオ
イルシールと、四ふつ化エチレン樹脂系シールリングと
をロータシャフトにほぼ接触させてハウジングに順次に
取付け、第1ラビリンス装置、オイルシール、四ふつ化
エチレン樹脂系シールリング、第2ラビリンスシール装
置の順次配置による相乗シール効果によりロータシャフ
トに高度の真空度に耐えるシールを施すことを特徴とす
る真空用ルーツブロワーのオイルレス軸封機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61153430A JPS6312897A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 真空用ル−ツブロワ−のオイルレス軸封機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61153430A JPS6312897A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 真空用ル−ツブロワ−のオイルレス軸封機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6312897A true JPS6312897A (ja) | 1988-01-20 |
Family
ID=15562344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61153430A Pending JPS6312897A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 真空用ル−ツブロワ−のオイルレス軸封機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6312897A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6720070B2 (en) | 2000-04-28 | 2004-04-13 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Hydrophilic polyester fiber and hydrophilic nonwoven fabric using the same and their production |
JP2011117359A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | 圧縮装置 |
CN106640654A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-05-10 | 江阴华西节能技术有限公司 | 一种罗茨真空泵密封结构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5870083A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-26 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | ル−ツブロワ− |
JPS618490A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | エンジン駆動形回転式圧縮機 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP61153430A patent/JPS6312897A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5870083A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-26 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | ル−ツブロワ− |
JPS618490A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | エンジン駆動形回転式圧縮機 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6720070B2 (en) | 2000-04-28 | 2004-04-13 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Hydrophilic polyester fiber and hydrophilic nonwoven fabric using the same and their production |
JP2011117359A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | 圧縮装置 |
CN106640654A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-05-10 | 江阴华西节能技术有限公司 | 一种罗茨真空泵密封结构 |
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