JP2006525467A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 互いに密封的に連結され且つ間にロータ部品を収容するキャビティを形成する、少なくとも２つのステータ部品を有する真空ポンプ内で使用される静的シール装置の保護のためのシール組立体であって、
   これら２つのステータ部品間において前記キャビティへの外気の流れ及び前記キャビティからのプロセスガスの流れを阻止するように、前記２つのステータ部品間に係合されたＯリングシールと、
   前記Ｏリングシールの平面内で前記ステータ部品のうちの少なくとも１つに設けられ、前記Ｏリングシールと使用中プロセスガスが通るキャビティとの間に配置された流体チャネルと、を有し、
   該流体チャネルは、使用中、回送すべきバリヤ流体の経路を形成するとともに、前記バリヤ流体の外部源に連結可能な入口と、前記キャビティと流体連通している出口とを有する、
   シール組立体。
2. 前記Ｏリングシールがエラストマー材料で作られている、請求項１記載のシール組立体。
3. 前記Ｏリングシールは、流体チャネル内に設けられている、請求項１又は２に記載のシール組立体。
4. 前記流体チャネルは、使用中、キャビティに向かうバリヤ流体の漏れを促進するように流体チャネルとキャビティとを連通する側方チャネルを更に含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のシール組立体。
5. 真空ポンプであって、
   複数のステータ部品を有し、各対の前記ステータ部品が、これらのステータ部品間にキャビティを形成するように互いに対して位置決めされ、前記キャビティを、使用中、プロセスガスが通る、複数のステータ部品と、
   隣接した前記ステータ部品間に設けられた請求項１〜４のいずれか一項に記載のシール組立体と、を有する、
   真空ポンプ。