CN114593059A - 一种干式真空泵的定子部件 - Google Patents
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Abstract
本发明属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的定子部件，包括内部设有转子安装腔的定子部件本体，定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面上分别设有内层环槽和外层环槽，内层环槽中安装有内层密封件，外层环槽中安装有外层密封件；定子部件本体上还设置有直接连通外接气源和转子安装腔内部的排气侧孔口处的配气通道。本发明采用双层密封件的结构有效延长了整体密封结构的使用寿命，增强了干式真空泵的可靠性；通过配气通道的设置，可直接将清洗气体通入到泵内，减少清洗气体流导损耗的同时有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。
Description
技术领域
本发明属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的定子部件。
背景技术
目前的多级干式真空泵，每一腔通常由两个分开加工的定子部件以及位于在其间的空腔内的转子部件形成；在两个定子部件之间设有单层O型圈密封结构进行密封，用于防止工艺气体从泵中泄漏到外部，同时也可屏蔽外界的气体进入到泵内。然而，由于工艺气体通常具有较强的腐蚀性，定子部件上安装的单层O型圈容易被腐蚀且需要经常更换，这样即影响了O型圈密封的可靠性，又提高了每次停机维护的成本。
另外，在真空泵使用后，需要向多级干式真空泵内通入清洗气体。但目前真空泵的定子部件的结构不便于通入清洗气体，清洗气体流导损耗较大，且真空泵级间可凝性气体的排出效果较差。
发明内容
针对上述现有定子部件密封性较低与不方便通入清洗气体的问题，本发明的目的在于提供一种干式真空泵的定子部件。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种干式真空泵的定子部件，包括内部设有转子安装腔的定子部件本体，所述定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面上分别设有内层环槽和外层环槽，所述内层环槽设置在所述部件接触面上所述转子安装腔开口的外周，所述外层环槽设置在所述部件接触面上所述外层环槽的外周，所述内层环槽中安装有内层密封件，所述外层环槽中安装有外层密封件；
所述定子部件本体上设置有直接连通外接气源和所述转子安装腔内部的排气侧孔口处的配气通道。
所述配气通道为直线孔道。
所述配气通道与外接气源的连接入口处设有螺纹，所述配气通道通过螺纹与外接气源的接口连接。
本发明的优点与积极效果为：
1.本发明采用双层密封件的结构有效延长了整体密封结构的使用寿命，增强了干式真空泵的可靠性；
2.本发明通过配气通道的设置，可直接将清洗气体通入到泵内，减少清洗气体流导损耗的同时有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中：1-部件接触面、2-转子安装腔、3-外层环槽、4-外层密封件、5-内层环槽、6-内层密封件、7-配气通道、8-排气侧孔口。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明作进一步详述。
一种干式真空泵的定子部件，包括内部设有转子安装腔2的定子部件本体，定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面1上分别设有内层环槽5和外层环槽3，内层环槽5设置在部件接触面1上转子安装腔2开口的外周，外层环槽3设置在部件接触面1上外层环槽5的外周，内层环槽5中安装有内层密封件6，外层环槽3中安装有外层密封件4。内层密封件6与外层密封件4可采用现有技术的弹性密封材料或有密封性能的密封胶制成，本实施例中内层密封件6与外层密封件4均为O型密封圈；内层密封件6与外层密封件4设置在两个连接的定子部件本体之间，起到防止定子部件本体内部的流体从定子部件本体连接处流到部件外的作用，靠近转子安装腔2的内层密封件6可屏蔽定子部件本体内流体与靠近外部的外层密封件4接触，增强整体密封作用。
定子部件本体上设置有直接连通外接气源和转子安装腔2内部的排气侧孔口8处的配气通道7，配气通道7为直线孔道，可尽量减少清洗气体流导损耗，配气通道7与外接气源的连接入口处设有螺纹，配气通道7通过螺纹与外接气源的接口连接，本实施例中配气通道7与外接气源的连接入口处设有NPT锥管螺纹，配气通道7与外接气源通过NPT卡套的连接方式连接。清理气体由外接气源通过配气通道7输入到排气侧孔口8处，通常向泵内供应的清洗气体选择成在给定条件下不起化学反应的气体，例如氮气，这种冲洗气体用于稀释泵内的工艺气体，以防止工艺气体腐蚀或者以其他方式导致其在转子和转子间或转子和定子间形成沉积物，并因此影响间隙，导致泵的可靠性下降。在本发明中，清洗气体直接通过配气通道7进入到泵内排气侧孔口8处与工艺气体混合，这种清洗气体通常以较高的压力进入转子安装腔2，因此不会以不适当的阻力流入转子安装腔2，而且有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。
工作原理：
清理气体由外接气源通过配气通道7输入到排气侧孔口8处，稀释工艺气体并携带工艺气体及副产物排出。内层密封件6实现了常规的密封功能。工艺气体在定子部件本体内泄漏到内层密封件6处后大部分工艺气体被屏蔽在此处。工艺气体不与内层环槽5之外的部分接触，使得工艺气体与外层密封件4的触及量减至最小，提高了双层密封件整体密封结构的使用寿命。
Claims (3)
1.一种干式真空泵的定子部件，包括内部设有转子安装腔(2)的定子部件本体，其特征在于：所述定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面(1)上分别设有内层环槽(5)和外层环槽(3)，所述内层环槽(5)设置在所述部件接触面(1)上所述转子安装腔(2)开口的外周，所述外层环槽(3)设置在所述部件接触面(1)上所述外层环槽(5)的外周，所述内层环槽(5)中安装有内层密封件(6)，所述外层环槽(3)中安装有外层密封件(4)；
所述定子部件本体上设置有直接连通外接气源和所述转子安装腔(2)内部的排气侧孔口(8)处的配气通道(7)。
2.根据权利要求1所述的干式真空泵的定子部件，其特征在于：所述配气通道(7)为直线孔道。
3.根据权利要求1所述的干式真空泵的定子部件，其特征在于：所述配气通道(7)与外接气源的连接入口处设有螺纹，所述配气通道(7)通过螺纹与外接气源的接口连接。
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