JPS63127864A - 微細放電電極研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、放電加工により微細穴（ノズル、アパーチャ
等）を加工するのに用いるための微細放電電極を形成す
る微細放電電極研削装置に関するものである。

従来の技術 従来、微細穴の放電加工においては、特開昭５７−３３
９２号、同５７−１３８５４５号、同５７−１８９７２
６号、同５９−５９３２２号公報などに記載されている
ように高精度な電極回転機構、微小放電技術により直径
１０ミクロン程度の非常に高精度な加工を実現している
。

従来、上記放電加工に用いる微細放電電極を形成するに
は、放電回路を放電穴加工の場合とは逆極性とし、電極
を成形ブロックやワイヤなどに対して放電ギャップを存
して回転させることにより加工している。そして上記放
電加工により形成する穴の形状が円形である。

発明が解決しようとする問題点 上記のように従来においては、電極を回転させながら径
方向の放電加工を行うので、放電時に成形ブロックなど
との溶着が起きず、面あらさが良い等の利点があり、直
径１０ミクロンの微細な放電電極の成形が容易である。

しかしながら、深穴加工や非円形微細穴形状加工に用い
る非円形断面形状の微細放電電極の成形は困難である。

すなわち、非円形断面形状の微細放電電極を放電加工に
より成形するには電極を回転させることができないので
、放電時に成形ブロックなどとの溶着が生じるため、加
工が困難となる。

そこで、本発明は、円形断面形状の微細放電電極は勿論
のこと、非円形断面形状の微細放電電極を高精度に形成
することができるようにした微細放電電極研削装置を提
供しようとするものである。

問題点を解決するだめの手段 そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、微細放電電極を保持するマンドレルと、このマン
ドレルを支持するＶ字状軸受と、このＶ字状軸受を上記
マンドレル及び微細放電電極の軸方向に微小送りする微
小送り装置と、上記微細放電電極を軸と直角方向より保
持する電極保持部材と、上記微細放電電極の軸と平行に
回転軸を有し、上記電極保持部材に保持された微細放電
電極を研削するための回転砥石と、この回転砥石を回転
軸と直角方向に微小送りする微小送シ装置及び回転砥石
を回転させる駆動手段と、上記微細放電電極を観察する
手段とを備えたものである。

作用 上記技術的手段による作用は次のようになる。

すなわち、微細放電電極、マンドレル及びマンドレルを
支持したＶ字状軸受を微小送り装置によシ微小送シし、
回転砥石を駆動手段により回転させながら微小送り装置
により微小送りし、回転砥石により電極保持部材に保持
された微細放電電極の研削を行うので、非円形の断面形
状の微細放電電極を加工できる。また上記のようにマン
ドレルをＶ字状軸受で支持しているので、回転させるこ
とが可能であり、真円度の良い微細放電電極も形成する
ことができる。そして回転砥石により電極に加わる加工
力は上記のように電極保持部材により受けるので、微細
放電電極の曲がシなどを生じさせるおそれはない。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図及び第２図は本発明の一実施例における微細放電
電極研削装置を示し、第１図は斜視図、第２図はその■
矢視図である。第１図に示すように微細放電電極（以下
、単に電極と称す）１はマンドレル２の先端に保持され
ている。このマンドレル２は放電穴加工の際、回転駆動
される回転軸となる。マンドレル２はＶ字状軸受に水平
に保持され、取外し可能な固定部材４によりＶ字状軸受
３に固定される。またマンドレル２は必要に応じて駆動
手段（図示省略）により回転される。例えハマンドレル
２にプーリが取付けられ、このプーリとモータの出力軸
上に取付けられたプーリとにベルトが掛けられる。Ｖ字
状軸受３はＸ軸方向の微小送り装置５に支持されている
。この微小送り装置５は基台６上に固定台７が固定され
、固定台７上で可動台８がＸ軸方向に微小送り可能に支
持され、可動台８が固定台７に対し、ねじ９などの駆動
手段によりＸ軸方向に微小送りされる。この可動台８上
に上記Ｖ字状軸受３が取付けられている。従って可動台
８と共にＶ字状軸受３、マンドレル２及び電極１がその
軸方向に微小送シされる。

電極１はその軸と直角方向より電極保持部材１０のＶ字
状の溝１１に保持される（第２図参照）。電極保持部材
１０は調節装置１２に支持されている。この調節装置１
２は基台６上に固定台１３が固定され、固定台１３上で
可動台１４が電極１の軸と直角方向（Ｙ軸方向）に微小
送り可能に支持され、可動台１４が固定台１３に対し、
ねじ１５などの駆動手段によりＹ軸方向に微小送りされ
る。この可動台１４上に電極保持部材１０が取付けられ
ている。従って可動台１４と共に電極保持部材１０が微
小送シされ、電極１の径の大小に適応される。電極１の
軸と平行に回転軸を有する回転砥石１６の軸１６ａが軸
受１７に支持され、軸受１７は回転砥石１６０回転軸と
直角方向（Ｙ軸方向）の微小送シ装置１８に支持されて
いる。この微小送り装置１８は基台６上に固定台１９が
固定され、固定台１９上で可動台２０がＹ軸方向に微小
送シ可能に支持され、可動台２０が固定台１９に対し、
ねじなどの駆動手段（図示省略）によりＹ軸方向に微小
送りされる。この可動台２０上に上記軸受１７が取付け
られている。また可動台２０上にはモータ２１が支持さ
れ、モータ２１の出力軸上にプーリ２２が取付けられ、
このプーリ２２と上記回転砥石１６の軸１６ａの後方突
出端部上に取付けられたプーリ２３とにベルト２４が掛
けられ、モータ２１の駆動によりプーリ２２ベルト２４
及びプーリ２３を介して軸１６ａ及び回転砥石１６が回
転される。そして可動台２０と共に軸受１７、回転砥石
１６及びモータ２１などがＹ軸方向に微小送りされる。

上記微小送り装置５の可動台８には支持部材２５が取付
けられ、この支持部材２５には回転砥石１６に対し、電
極保持部材１０の反対側でドレッサ２６が取付けられ、
このドレッサ２６によシ回転砥石１６がドレッシングさ
れる。電極１の上方には顕微鏡２７が配置され、この顕
微鏡２７により電極１の研削加工前のセツティングから
加工プロセスが観察される。

次に上記実施例の加工動作について説明する。

マンドレル２に電極１を固定する。電極１に振れがある
場合には、マンドレル２をＶ字状軸受３に支持し、電極
１を回転砥石１６と電極保持部材１０の間に挿入し、微
小送り装置１８の作動により回転砥石１６を第２図に示
すように電極１に接するように移動させ、回転砥石１６
をモータ２１の駆動により回転させると共に、マンドレ
ル２及び電極１を駆動手段により回転させながら微小送
り装置５の作動により微小送りすることにより電極１の
研削加工を行う。この研削加工は切り込み量が加工量（
放電加工では一致しない）と一致するので、容易に所望
の外径に形成することができる。

電極１が所望の外径に形成され、振れが除去されると、
マンドレル２を固定部材４によりＶ字状軸受３に固定す
る。そして上記のように回転砥石１６を回転させながら
微小送シ装置１８の作動により所望量、切り込むことに
より第３図（ａ）、　（ｂ）に示すように断面三日月状
に形成することができる。これら電極１の外径の研削、
部分的な研削のいずれの場合においても、回転砥石１６
の切り込む方向に対向して電極保持部材１０によシミ極
１を支持しているので、電極１の曲がりが生じない。従
って数１０ミクロンの直径の高精度な微細な電極１の形
成が可能となる。

なお、回転砥石１６を　直方向に移動させるように構成
すれば、ストレートな端面の加工が可能となり、より複
雑な形状に形成することができる。

このような異形断面の電極１を用いることにより丸穴以
外の異形穴放電加工をも可能となる。またマンドレル２
及び電極１を回転させながら回転砥石１６により研削す
ることにより円形断面の電極１を高精度に形成すること
ができる。

発明の効果 以上述べたように本発明によれば、微細放電電極、マン
ドレル及びマンドレルを支持したＶ字状軸受を微小送り
装置により微小送りし、回転砥石を駆動手段により回転
させながら微小送り装置により微小送りするようにし、
回転砥石により電極保持部材に保持された微細放電電極
の研削を行うので、真円度の良い円形断面形状の電極の
みならず、非円形の断面形状の電極を高精度に形成する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の一実施例における微細放電
電極研削装置を示し、第１図は全体斜視図、第２図はそ
の■矢視図、第３図（ａ）、　（ｂ）は本発明の微細放
電電極成形装置により形成された電極の一例を示し、同
図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は拡大端面図である。 １・・・電極、２・・・マンドレル、３・・・Ｖ字状軸
受、５・・・微小送り装置、１０・・・電極保持部材、
１２・・・調節装置、１６・・・回転砥石、１８・・・
微小送シ装置、２６・・・ドレｙす、２７・・・顕微鏡
。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男ほか１名第２Ｆ
Ｍ 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 微細放電電極を保持するマンドレルと、このマンドレル
   を支持するＶ字状軸受と、このＶ字状軸受を上記マンド
   レル及び微細放電電極を軸方向に微小送りする微小送り
   装置と、上記微細放電電極を軸と直角方向より保持する
   電極保持部材と、上記微細放電電極の軸と平行に回転軸
   を有し、上記電極保持部材に保持された微細放電電極を
   研削するための回転砥石と、この回転砥石を回転軸と直
   角方向に微小送りする微小送り装置及び回転砥石を回転
   させる駆動手段と、上記微細放電電極を観察する手段と
   を備えたことを特徴とする微細放電電極研削装置。