JP2001328040A - 内面加工方法及び内面加工用工具 - Google Patents

内面加工方法及び内面加工用工具

Info

Publication number
JP2001328040A
JP2001328040A JP2000149850A JP2000149850A JP2001328040A JP 2001328040 A JP2001328040 A JP 2001328040A JP 2000149850 A JP2000149850 A JP 2000149850A JP 2000149850 A JP2000149850 A JP 2000149850A JP 2001328040 A JP2001328040 A JP 2001328040A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
peripheral surface
inner peripheral
cutting
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000149850A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4132577B2 (ja
Inventor
Soichi Tatsushige
聡一 辰重
Tatsutoshi Mizuma
竜俊 水馬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Original Assignee
Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Advanced Technologies Co Ltd filed Critical Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Priority to JP2000149850A priority Critical patent/JP4132577B2/ja
Publication of JP2001328040A publication Critical patent/JP2001328040A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4132577B2 publication Critical patent/JP4132577B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 互いに材質の異なる複数のワーク内周面を簡
単な設備で効率良く高精度で加工する。 【解決手段】 第1の内周面24と、それよりも硬度が
低くて粘着性の高い第2の内周面29とをもつワーク2
0の両内周面24,29を加工するための方法及び工具
T。工具Tは単一の工具軸46を有し、その先端側に砥
石車50と切削用バイト47とが固定される。この工具
Tを回転させ、かつ、ワーク20を主軸に保持して回転
させながら、前記砥石車50を内周面24に接触させて
研削加工する工程と、切削用バイト47を内周面29に
接触させて切削加工する工程とを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、円筒状内周面をも
つワークの当該内周面を加工するための方法及び工具に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ワークの円筒状内周面を切削加工
する手段として、次のようなものが知られている。
【0003】A)内面切削加工:工具軸の端部に切削加
工用のバイトを固定し、当該工具軸を高速回転させなが
らワーク内周面に接触させ、かつ、切削送りすることに
より、当該内周面を切削加工する(例えば特開平10−
156610号公報参照)。
【0004】B)研削加工:砥石車が固定された砥石軸
を高速回転させながら当該砥石車の外周面をワーク内周
面に接触させ、当該内周面を研削加工する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ワークの中には、互い
に材質の異なる内周面をもつものが存在する。その一例
を図5に示す。図示のワーク20は、車両の自動変速機
に設けられる遊星歯車装置のサンギアであり、その本体
が例えば炭素鋼といった比較的硬質の鉄鋼材料により一
体に形成され、その外周面に歯22が形成されている。
このワーク20の内周面のうち、前半部の内周面24は
前記本体の材質がそのまま露出し、この内周面24の内
側に図略のクラッチが固定されるように当該内周面24
の内径が設定されている。一方、後半部の内周面26の
内側には銅合金やホワイトメタル(鉛系軸受合金)とい
った非鉄金属材料からなる筒状の軸受28が圧入等の手
段で固定され、この軸受28の内側に前記自動変速機の
入力軸が相対回転可能に挿入されるようになっている。
【0006】このようなワーク20において、前記鉄鋼
材料からなる内周面24及び非鉄金属からなる軸受28
の内周面29の双方を前記A)の切削加工で加工しよう
とすると、内周面24が硬すぎるためにバイトの摩耗が
早くてバイトの交換を頻繁に行わねばならず、場合によ
っては折損等が生じるおそれがある。一方、前記両内周
面をB)の研削加工で加工しようとすると、軸受28の
材料である非鉄金属合金が軟らかくて粘着性が高いため
に砥石が目詰まりしやすく、また、砥粒による切削痕が
著しくて当該切削痕の周囲の盛り上がりにより表面精度
が低下する不都合がある。
【0007】従って、前記従来方法を用いて両内周面2
4,29を良好に加工するには、まずボーリング盤にワ
ーク20をセットしてその軸受28の内周面29を切削
加工した後、当該ワーク20をボーリング盤から取り外
して今度は内面研削盤にセットし、ここで内周面24を
研削加工するという手順を踏まなければならず、きわめ
て作業効率が悪い。また、2つの工作機械に加えて、両
機械の間に設置されるワーク搬送装置を具備しなければ
ならず、設備も大掛かりとなる。さらに、両内周面をそ
れぞれ別の工作機械で加工するために、両内周面24,
29間で高い同心度が得られにくいという欠点もある。
【0008】本発明は、このような事情に鑑み、互いに
材質の異なるワーク内周面を簡単な設備で効率良く高精
度で加工できる内面加工方法及び内面加工用工具を提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段として、本発明は、第1の材料からなる円筒状の
第1の内周面と、前記第1の材料よりも硬度が低くて粘
着性の高い第2の材料からなる円筒状の第2の内周面と
をもつワークの両内周面を加工するための方法であっ
て、単一の工具軸に当該工具軸から径方向に突出する状
態で砥石車と切削用チップとを軸方向に相互位置をずら
して固定しておき、前記ワークを主軸先端に保持したま
ま、当該主軸及び前記工具軸を回転させながら前記第1
の内周面に前記砥石車の外周面を接触させて当該第1の
内周面を研削加工する研削工程と、前記主軸及び前記工
具軸を回転させながら前記第2の内周面に前記切削工具
を接触させて当該第2の内周面を切削加工する切削工程
とを行うものである。
【0010】この方法によれば、主軸からワークを外す
ことなく、単一の工作機械及び工具を用いて、比較的硬
くて粘着性の低い第1の内周面と比較的軟らかくて粘着
性の高い第2の内周面とを、それぞれ研削、切削によっ
て精度良く加工することができる。
【0011】本発明は、例えば、鉄鋼材料からなる本体
を有し、この本体の内周面の一部に前記鉄鋼材料よりも
硬度が低くて粘着性の高い非鉄金属合金からなる筒状の
軸受が固定されたワークの加工に特に好適である。この
ワークに対しては、前記軸受の内周面を前記切削工程に
より切削加工し、当該軸受が固定されている部分以外の
前記本体が露出している内周面を前記研削工程により研
削加工することで、各内周面を精度良く加工することが
できる。
【0012】また本発明は、互いに材質の異なる内周面
をもつワークの当該内周面を加工するための工具であっ
て、単一の工具軸に、当該工具軸から径方向外側に突出
する状態で切削用バイトが固定されるとともに、この切
削用バイトから軸方向に外れた位置に砥石車が固定され
ている内面加工用工具である。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態を図1
〜図3に基づいて説明する。この実施の形態は、前記図
5に示したワーク20を加工するものである。
【0014】図1は、本発明方法を実施するための工作
機械の一例を示したものである。この工作機械は、ベッ
ド10を備え、このベッド10上にワーク駆動装置12
及び工具駆動装置14が相対向する状態で配設されてい
る。
【0015】ワーク駆動装置12は、主軸台15を備
え、この主軸台15に図略の主軸がZ軸方向(図1の左
右方向)に延びる状態で回転可能に支持されている。こ
の主軸の後端(図1では左端)には主軸駆動モータ16
が連結され、前端(同図右端)には前記図5に示したワ
ーク20を把持するチャック18が設けられている。そ
して、このワーク20の本体が前記チャック18に把持
された状態で主軸駆動モータ16が作動することによ
り、図略の主軸と一体にワーク20がその中心軸Xw
(図3参照)回りに回転駆動されるようになっている。
【0016】工具駆動装置14は、固定台30を備え、
この固定台30はベッド10上に固定されている。固定
台30上には、X軸テーブル32が前記主軸と直交する
X軸方向(図1では上下方向)にスライド可能に設置さ
れ、このX軸テーブル32はX軸駆動モータ34及び図
略の送りねじ機構によってX軸方向にスライド駆動され
るようになっている。
【0017】X軸テーブル32上には、Z軸テーブル3
6が前記主軸と平行なZ軸方向(図1では左右方向)に
スライド可能に設置され、このZ軸テーブル36はZ軸
駆動モータ38及び図略の送りねじ機構によってZ軸方
向にスライド駆動されるようになっている。そして、こ
のZ軸テーブル36上に工具支持台40が設けられてい
る。
【0018】この工具支持台40には、スピンドルが回
転可能に支持され、このスピンドルも前記主軸と同様に
Z軸方向に延びている。このスピンドルの後端(図1で
は右端)には工具駆動モータ44が連結され、前端(同
図左端)には工具把持部42が設けられている。そし
て、この工具把持部42に本発明にかかる内面加工用工
具Tが着脱可能に把持されるようになっている。
【0019】図2に示すように、内面加工用工具Tは、
単一の工具軸46を備え、その後端側が前記工具把持部
42に把持される一方、前端側に切削用バイト47及び
砥石車50が固定されるようになっている。
【0020】詳しくは、前記工具軸46の先端側に他の
部分よりも小径の砥石装着部46aが形成され、さらに
その外側に前記砥石装着部46aよりもさらに小径の先
端軸部46bが形成されており、この先端軸部46bの
先端面の一部に先端側かつ径方向外側に向く傾斜面46
dが形成されている。そして、この傾斜面46dに当該
傾斜面46dの法線方向に切削用バイト(図例では剣バ
イト)47が立設され、その先端の切削刃48が工具軸
46の先端側でかつ径方向外側を向いた状態となってい
る。
【0021】砥石車50は、中央に貫通穴をもつリング
状をなし、当該貫通穴の前側部周囲には前方に開口する
凹部50aが形成されている。一方、工具軸46におい
ては、その砥石装着部46aの前方部分(すなわち小径
軸46bのつけ根部分)に雄ねじ46cが刻まれてお
り、前記砥石装着部46aの外側に前記砥石車50が嵌
合された状態で、前記雄ねじ46cにナット51を螺合
し、凹部50aの奥側へ締め付けることにより、このナ
ット51と砥石装着部46aの後端側段部との間に砥石
車50が挟み込まれるようになっている。
【0022】なお、前記工具軸46の中心軸Xtから切
削用バイト47の先端(切削刃)48までの径方向寸法
は、前記図5に示したワーク20における軸受29の内
径の半分(内側半径)よりも小さい寸法に設定され、前
記砥石車50の外径(ドレスする前の新品の状態での外
径)は前記ワーク20の内周面24の内径よりも小さい
寸法に設定されている。
【0023】一方、前記ワーク駆動装置12側には、図
1に示すようなアーム52を介してドレス用工具54が
支持されている。アーム52は、前記ワーク駆動装置1
2側から工具駆動装置14側に延び、かつ、その先端か
ら径方向内側に延びる平面視略L字状をなし、その先端
面に内向きに前記ドレス用工具54が固定されている。
このドレス用工具54は、前記砥石車50の整形を行う
ためのもので、周知のドレス用ダイヤモンド等が適用可
能である。
【0024】次に、この工作機械を用いた内面加工方法
を説明する。
【0025】 初期段階ではワーク20からスピンド
ルを後退させ、ワーク20の中心軸とスピンドルの中心
軸とをほぼ合致させておく。そして、主軸前端のチャッ
ク18にワーク20を、スピンドル前端の工具把持部4
2に内面加工用工具Tの工具軸46を、それぞれ装着す
る。
【0026】 ワーク20及びスピンドルをそれぞれ
について設定された目標回転数で各々回転駆動し、か
つ、Z軸駆動モータ38によって内面加工用工具先端の
切削用バイト48をワーク20における軸受28の直前
位置まで早送りする。なお、この時のワーク20の回転
の向きとスピンドルの回転の向き(図3(a)矢印)と
は同じでもよいし、逆でもよい。
【0027】 X軸駆動モータ34によりスピンドル
をX軸方向に静かに移動させ(切込み送り)、バイト先
端の切削刃48をワーク20の軸受内周面29に接触す
るような径方向位置に位置決めする。そして、Z軸駆動
モータ38によってバイト47を図3(a)の矢印方向
に所定の送り速度で切削送りする。この動作により、ワ
ーク中心軸Xwと工具中心軸Xtとが所定量e(図3
(a))だけ偏心した状態で、軸受内周面29の切削加
工を行うことができる。
【0028】 切削加工終了後、ワーク20をチャッ
ク18に装着したままの状態で、一旦工具中心軸Xtを
ワーク中心軸Xwにほぼ合致する位置まで戻し、次い
で、内面加工用工具Tをさらに前進させてその砥石車5
0をワーク内周面24の内側に位置させる。そして、ス
ピンドル回転数を予め設定された研削用回転数に切換え
た後、今度は砥石車50の外周面を内周面24に内側か
ら接触させて当該内周面の研削加工を行う(図3
(b))。このとき、砥石車50を工具軸46と一体に
オシレートする(軸方向に微振動させる)ことにより、
面精度をさらに高めることが可能である。
【0029】 加工終了後、スピンドル及びその先端
の内面加工用工具Tを初期位置に戻し、主軸及びスピン
ドルの回転駆動を停止して、ワーク20の取替えを行
う。
【0030】 前記研削加工により砥石車50が摩耗
した場合、あるいは形状が崩れた場合には、X軸駆動モ
ータ34及びZ軸駆動モータ38を駆使して砥石車50
をドレス用工具54に接触させ、そのドレスを行う。ド
レス後は、そのドレス量と同じ量だけ研削加工時におけ
る砥石の切込み量を増加方向に補正する。また、切削刃
48についても、その摩耗量と同じ量だけ切削加工時に
おけるバイト47の切込み量を増加方向に補正する。こ
の補正は、経験値に基づき、所定個数のワークを加工す
るたびに所定の補正量を切込み量に増加させるようなも
のでもよいし、加工後のワーク内径を測定してその測定
値と目標寸法との差分から補正値を算出するようにして
もよい。
【0031】以上の方法によれば、ワーク20の内周面
のうち、その本体材料である鉄鋼材料が露出している内
周面24、すなわち、比較的硬度が高くて粘着性の低い
第1の内周面については、これに砥石車50の外周面を
接触させることにより、当該内周面を精度良く研削加工
することができる一方、非鉄金属合金からなる軸受内周
面29、すなわち、比較的硬度が低くて粘着性の高い第
2の内周面については、これに切削用バイト47の切削
刃48を接触させることにより、当該内周面29を精度
良く切削加工することができる。
【0032】しかも、前記切削加工及び研削加工は、チ
ャック18及び工具把持部42にそれぞれワーク20及
び内面加工用工具Tを把持したまま、単一の工作機械で
行うことができるので、簡単な設備でしかも効率良く両
加工が実行でき、かつ、両内周面24,29について高
い同心度を得ることができる。
【0033】また、内周面24,29の内径が異なった
ワークであっても、内径に応じて切削時及び研削時にお
ける、ワーク中心軸Xwと工具中心軸Xtとの偏心量e
を変えるのみで両内周面24,29の加工を、工具を交
換することなく行うことができる。
【0034】さらに、切削刃48の摩耗や砥石車50の
摩耗・ドレスによって切削刃48の径方向突出寸法や砥
石車50の外径が変化しても、これに応じて切込み量を
補正するだけで、高い加工精度を維持できる利点もあ
る。
【0035】この第1の実施の形態では、ワーク20の
本体に形成された2つの内周面24,26のうち、小径
側の内周面26の内側に軸受28が固定されたものを示
したが、第2の実施の形態として図4(a)(b)に示
すように、大径側の内周面24に軸受28が固定された
場合(すなわち小径側の内周面26が第1の内周面であ
る場合)についても、本発明を適用することが可能であ
る。
【0036】この場合は、例えば同図に示すように、工
具軸46の先端側に小径軸部46eを形成し、さらにそ
の先端側にさらに小径の砥石装着部46aを形成してこ
の砥石装着部46aの外側に小径の砥石車50を固定す
る一方、前記小径軸部46eよりも後側の大径軸部分に
前記第1の実施の形態と同様の傾斜面46dを形成し、
これに切削用バイト47を固定するようにすればよい。
この場合も、工具軸46の中心から切削刃48までの径
方向寸法を軸受28の内径の半分(内側半径)よりも小
さく設定し、砥石車50の外径をワーク内周面26の内
径の半分よりも小さく設定しておくことが、より好まし
い。
【0037】その他、本発明は例えば次のような実施形
態をとることも可能である。
【0038】・本発明では切削用バイト47の具体的な
形状を問わず、図示のような剣バイトの他、曲がりバイ
ト、片刃バイト、穴ぐりバイト、クランプバイトなど、
種々の切削用バイトが適用可能である。
【0039】・本発明にかかるワーク内周面の材質は前
記のものに限らず、研削加工に適した第1の材料からな
る第1の内周面(すなわち比較的硬度が高くて粘着性の
低い内周面)と、切削加工に適した第2の材料からなる
第2の内周面(すなわち比較的硬度が低くて粘着性の高
い内周面)とを併せもつワークの加工について広く本発
明を適用できる。例えば、前記第2の材料としては、前
記銅合金や鉛合金、あるいはアルミニウム合金といった
非鉄金属材料の他、カーボン等の非金属材料であっても
本発明の適用が可能である。
【0040】ワークの種類についても、前記のような自
動変速機のサンギアにかかわらず、互いに材質の異なる
複数の内周面をもつワークに本発明を広く適用すること
ができる。
【0041】・前記実施形態では、切削工程を行ってか
ら研削工程を行うようにしているが、その順序は問わ
ず、研削工程を行ってから切削工程を行うようにしても
よい。
【0042】
【発明の効果】以上のように本発明は、単一の工具軸に
砥石車と切削用バイトとを固定しておき、第1の内周面
及びそれよりも硬度が低くて粘着性の高い第2の内周面
をもつワークを主軸に保持したまま、その第1の内周面
を前記砥石車で、第2の内周面を前記切削用バイトでそ
れぞれ加工するようにしたものであるので、互いに材質
の異なる両内周面を簡単な設備で効率良く高精度で加工
することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態にかかる内面加工方
法を実施するための工作機械を示す平面図である。
【図2】前記第1の実施の形態にかかる内面加工用工具
の要部を示す断面正面図である。
【図3】(a)は前記第1の実施の形態にかかる切削工
程を示す断面正面図、(b)は研削工程を示す断面正面
図である。
【図4】(a)は第2の実施の形態にかかる切削工程を
示す断面正面図、(b)は研削工程を示す断面正面図で
ある。
【図5】第1の内周面と第2の内周面とを併せもつワー
クの一例を示す断面正面図である。
【符号の説明】
20 ワーク 24,26 本体部分が露出したワーク内周面 28 軸受 29 軸受内周面 46 工具軸 47 切削用バイト 50 砥石車 T 内面加工用工具

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の材料からなる円筒状の第1の内周
    面と、前記第1の材料よりも硬度が低くて粘着性の高い
    第2の材料からなる円筒状の第2の内周面とをもつワー
    クの両内周面を加工するための方法であって、単一の工
    具軸に当該工具軸から径方向に突出する状態で砥石車と
    切削用チップとを軸方向に相互位置をずらして固定して
    おき、前記ワークを主軸先端に保持したまま、当該主軸
    及び前記工具軸を回転させながら前記第1の内周面に前
    記砥石車の外周面を接触させて当該第1の内周面を研削
    加工する研削工程と、前記主軸及び前記工具軸を回転さ
    せながら前記第2の内周面に前記切削工具を接触させて
    当該第2の内周面を切削加工する切削工程とを行うこと
    を特徴とする内面加工方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の内面加工方法において、
    前記ワークは、鉄鋼材料からなる本体を有し、この本体
    の内周面の一部に前記鉄鋼材料よりも硬度が低くて粘着
    性の高い非鉄金属合金からなる筒状の軸受が固定された
    ものであり、この軸受の内周面を前記切削工程により切
    削加工し、当該軸受が固定されている部分以外の前記本
    体が露出している内周面を前記研削工程により研削加工
    することを特徴とする内面加工方法。
  3. 【請求項3】 互いに材質の異なる内周面をもつワーク
    の当該内周面を加工するための工具であって、単一の工
    具軸に、当該工具軸から径方向外側に突出する状態で切
    削用バイトが固定されるとともに、この切削用バイトか
    ら軸方向に外れた位置に砥石車が固定されていることを
    特徴とする内面加工用工具。
JP2000149850A 2000-05-22 2000-05-22 内面加工方法 Expired - Fee Related JP4132577B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000149850A JP4132577B2 (ja) 2000-05-22 2000-05-22 内面加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000149850A JP4132577B2 (ja) 2000-05-22 2000-05-22 内面加工方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001328040A true JP2001328040A (ja) 2001-11-27
JP4132577B2 JP4132577B2 (ja) 2008-08-13

Family

ID=18655643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000149850A Expired - Fee Related JP4132577B2 (ja) 2000-05-22 2000-05-22 内面加工方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4132577B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005089987A1 (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Citizen Watch Co. Ltd. ワーク主軸を備えた工作機械及びその素材加工方法
JP2009034783A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Denso Corp 内面研削パターン設定装置、内面研削装置、内面研削パターン設定方法、内面研削方法及びプログラム

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106078375B (zh) * 2016-08-11 2018-01-09 朱政 废旧钢管内衬塑料层自动磨削清理装置
CN111408952B (zh) * 2020-05-29 2021-06-18 吉林大学 一种环形工件铣磨测混合加工机床及其控制方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005089987A1 (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Citizen Watch Co. Ltd. ワーク主軸を備えた工作機械及びその素材加工方法
JP2009034783A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Denso Corp 内面研削パターン設定装置、内面研削装置、内面研削パターン設定方法、内面研削方法及びプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JP4132577B2 (ja) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20050038009A (ko) 길이 방향 보어홀을 포함하는 회전 대칭인 기계 부품의내외면을 연삭하는 방법 및 장치
JPH11254231A (ja) 被加工材の端面円周角部の面取り加工装置
JP3551796B2 (ja) 回転工具およびその回転工具を使用した逆テーパ孔の加工方法
CN108127128A (zh) 一种薄壁齿圈外圆面精车方法
JP4132577B2 (ja) 内面加工方法
KR100987153B1 (ko) 다중 편심 지그
JPH11239909A (ja) バリ取り方法及びバリ取り装置
JP2005118981A (ja) 円形研削を行う方法及び装置
JP2007260880A (ja) 砥石車のツルーイング方法及び研削盤
JP2002172449A (ja) ダンパープーリのゴム組付け面の加工方法とそのための旋盤
JP2006326783A (ja) 研削盤
JP2019188488A (ja) ポリゴンカッタユニット及び工作機械
JP2008012617A (ja) 並立する被加工材間の被加工孔開口縁の面取り加工方法
JP3240263U (ja) 金属管加工装置
JPH0919857A (ja) スライシング装置により切り出されるウェハの面取り方法及び装置並びに面取り用砥石
JPS591140A (ja) 同心加工機
JP2001179582A (ja) 円形薄板のエッジ研削装置およびエッジ研削方法
JPS63237810A (ja) 旋削ブロ−チ盤
JP2001219351A (ja) ダイス研磨機
JP2000061751A (ja) ワークの加工方法
JPS5924911A (ja) 切断方法及びその装置
JPS63256323A (ja) 精密切削方法
JP2013049098A (ja) ドリル研磨装置及びその部品並びにドリル
JPH04240061A (ja) 小径穴の内面加工方法およびその装置
JPH0994707A (ja) 内径加工用バイトホルダ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040513

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080108

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080508

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080602

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees