JPS63127556A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPS63127556A JPS63127556A JP61273445A JP27344586A JPS63127556A JP S63127556 A JPS63127556 A JP S63127556A JP 61273445 A JP61273445 A JP 61273445A JP 27344586 A JP27344586 A JP 27344586A JP S63127556 A JPS63127556 A JP S63127556A
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- lead
- chip
- frame
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、フォトダイオード、フォトトランジスタある
いはCCD illl素像など光信号を入力とする受光
素子を含む半導体装置の製造方法に関する。
いはCCD illl素像など光信号を入力とする受光
素子を含む半導体装置の製造方法に関する。
光信号を入力とする半導体素子を含む半導体装置は、受
光窓を有する容器内に収容しなければならない、このよ
うな半導体装置を量産的に製造するために、受光素子あ
るいは受光素子を含むICのチップをリードフレームの
マウント部上に固定する。従来は、このリードフレーム
をセラミック板上に固着し、このセラミック板にチップ
を囲んで絶縁枠体を、例えばガラスを用いて接着し、受
光窓としてのガラス板を枠体に固定する構造がとられて
いた。
光窓を有する容器内に収容しなければならない、このよ
うな半導体装置を量産的に製造するために、受光素子あ
るいは受光素子を含むICのチップをリードフレームの
マウント部上に固定する。従来は、このリードフレーム
をセラミック板上に固着し、このセラミック板にチップ
を囲んで絶縁枠体を、例えばガラスを用いて接着し、受
光窓としてのガラス板を枠体に固定する構造がとられて
いた。
このような構造をもつ半導体装置の組立ては、リードフ
レームおよび枠体を1個ずつセラミック板に固定しなけ
ればならず量産性に欠けること、あるいはセラミック基
板が高価であるなどの欠点があった。
レームおよび枠体を1個ずつセラミック板に固定しなけ
ればならず量産性に欠けること、あるいはセラミック基
板が高価であるなどの欠点があった。
本発明の目的は、上述の欠点をのぞき、安価な材料を用
いて量産性の得られる製造方法を提供することにある。
いて量産性の得られる製造方法を提供することにある。
本発明は、多連式リードフレームをリード部の少なくと
も両端部およびマウント部の少なくとも一面を露出させ
て枠体および底板からなる樹脂体中に埋込んだのち、リ
ードフレームのマウント部にチップを固着し、そのチッ
プの端子とリード部の一端部とをR線により接続し、さ
らに枠体に透明な蓋体の周縁部を固着し、次いでリード
フレームを切断1分割するものとする。
も両端部およびマウント部の少なくとも一面を露出させ
て枠体および底板からなる樹脂体中に埋込んだのち、リ
ードフレームのマウント部にチップを固着し、そのチッ
プの端子とリード部の一端部とをR線により接続し、さ
らに枠体に透明な蓋体の周縁部を固着し、次いでリード
フレームを切断1分割するものとする。
上記の方法においては、量産的に多連式リードフレーム
の分割前の状態で容器の形成、チップの固着、接続、蓋
体の取付けができる。
の分割前の状態で容器の形成、チップの固着、接続、蓋
体の取付けができる。
以下第1図および第2図を引用して本発明の一実施例に
ついて説明する0図においてマウント部11、リード部
12および連結部13からなる金属リードフレームlは
多数連結されており、それを連結したままで金型に入れ
、トランスファモールド法により樹脂よりなる底板21
および枠体22を有する容器2の底板にマウント部11
.リード部12および連結部13の一部が上面を露出し
て埋込まれるように成形する9次いで、リードフレーム
1のマウント部11に接着剤4を塗り、受光素子を含む
ICチップ3をダイボンディングし、接着剤を硬化する
。
ついて説明する0図においてマウント部11、リード部
12および連結部13からなる金属リードフレームlは
多数連結されており、それを連結したままで金型に入れ
、トランスファモールド法により樹脂よりなる底板21
および枠体22を有する容器2の底板にマウント部11
.リード部12および連結部13の一部が上面を露出し
て埋込まれるように成形する9次いで、リードフレーム
1のマウント部11に接着剤4を塗り、受光素子を含む
ICチップ3をダイボンディングし、接着剤を硬化する
。
次に、ICチップ3の端子とリードフレームlのリード
部12の容器内端部とを導&II5のボンディングによ
り接続する。さらに、透明カバー6の周縁部を接着剤4
により枠体22に固定する。このあと、リードフレーム
1を切断し、半導体装置を1個毎に分離する。
部12の容器内端部とを導&II5のボンディングによ
り接続する。さらに、透明カバー6の周縁部を接着剤4
により枠体22に固定する。このあと、リードフレーム
1を切断し、半導体装置を1個毎に分離する。
本発明によれば、リードフレームを連結した状態のまま
で樹脂容器中への埋込、受光素子を含むチップの固着、
チップとリードとの接続、透明窓の固定の各工程を終え
たのちリードフレームを切断することにより、多数の半
導体装置の組立てがまとめて実施できるため、量産的で
あり、組立コストが低減され、またセラミック板などの
高価な材料も不要で材料コストも低くなるので、安価に
個別受光素子あるいは受光素子を集積したrcを受光窓
を有する容器内に収容した半導体装置を製造することが
可能となる。
で樹脂容器中への埋込、受光素子を含むチップの固着、
チップとリードとの接続、透明窓の固定の各工程を終え
たのちリードフレームを切断することにより、多数の半
導体装置の組立てがまとめて実施できるため、量産的で
あり、組立コストが低減され、またセラミック板などの
高価な材料も不要で材料コストも低くなるので、安価に
個別受光素子あるいは受光素子を集積したrcを受光窓
を有する容器内に収容した半導体装置を製造することが
可能となる。
第1図は本発明の一実施例による半導体装置の断面図、
第2図はその平面図である。 l:リードフレーム、11:マウント部、12:リード
部、13:連結部、2:容器、21:底板、22:枠体
、3:rCチップ、5:導線。 111図 第2図
第2図はその平面図である。 l:リードフレーム、11:マウント部、12:リード
部、13:連結部、2:容器、21:底板、22:枠体
、3:rCチップ、5:導線。 111図 第2図
Claims (1)
- 1)受光素子を含む半導体装置の製造方法において、多
連式リードフレームをリード部の少なくとも両端部およ
びマウント部の少なくとも一面を露出させて枠体および
底板からなる樹脂体中に埋込んだのち、前記リードフレ
ームの各マウント部にチップを固着し、該チップの端子
と前記リードフレーム部のリード部の一端部とを導線に
より接続し、さらに前記枠体に透明な蓋体の周縁部を固
着し、次いでリードフレームを切断、分割することを特
徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61273445A JPS63127556A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61273445A JPS63127556A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63127556A true JPS63127556A (ja) | 1988-05-31 |
Family
ID=17528008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61273445A Pending JPS63127556A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63127556A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5852047A (en) * | 1994-01-28 | 1998-12-22 | Cal International Limited | Pharmaceutical product comprising a salicylate of an esterifiable ace-inhibitor |
US6274927B1 (en) * | 1999-06-03 | 2001-08-14 | Amkor Technology, Inc. | Plastic package for an optical integrated circuit device and method of making |
US6660562B2 (en) * | 2001-12-03 | 2003-12-09 | Azimuth Industrial Co., Inc. | Method and apparatus for a lead-frame air-cavity package |
US7566587B2 (en) | 2001-12-03 | 2009-07-28 | Azimuth Industrial Co., Inc. | Method and apparatus for packaging electronic components |
JP2015195330A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-11-05 | 京セラ株式会社 | 光学装置用カバー部材および光学装置 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP61273445A patent/JPS63127556A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5852047A (en) * | 1994-01-28 | 1998-12-22 | Cal International Limited | Pharmaceutical product comprising a salicylate of an esterifiable ace-inhibitor |
US6274927B1 (en) * | 1999-06-03 | 2001-08-14 | Amkor Technology, Inc. | Plastic package for an optical integrated circuit device and method of making |
US6420204B2 (en) | 1999-06-03 | 2002-07-16 | Amkor Technology, Inc. | Method of making a plastic package for an optical integrated circuit device |
US6660562B2 (en) * | 2001-12-03 | 2003-12-09 | Azimuth Industrial Co., Inc. | Method and apparatus for a lead-frame air-cavity package |
US7566587B2 (en) | 2001-12-03 | 2009-07-28 | Azimuth Industrial Co., Inc. | Method and apparatus for packaging electronic components |
JP2015195330A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-11-05 | 京セラ株式会社 | 光学装置用カバー部材および光学装置 |
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