JPS63125901A - 赤外用反射防止膜 - Google Patents
赤外用反射防止膜Info
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- JPS63125901A JPS63125901A JP61272489A JP27248986A JPS63125901A JP S63125901 A JPS63125901 A JP S63125901A JP 61272489 A JP61272489 A JP 61272489A JP 27248986 A JP27248986 A JP 27248986A JP S63125901 A JPS63125901 A JP S63125901A
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- film
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- optical
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- film thickness
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- Pending
Links
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- WBFMCDAQUDITAS-UHFFFAOYSA-N arsenic triselenide Chemical compound [Se]=[As][Se][As]=[Se] WBFMCDAQUDITAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
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- PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M thallium(i) bromide Chemical compound [Tl]Br PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 4
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、炭酸ガスレーザメスの光伝送など赤外レーザ
用の光ファイバや赤外用窓材等に用いられる臭化タリュ
ウムとよう化タリュウムの固溶体（Ｋ ＲＳ −５＞よ
り成る光学部品の反射防止膜に関するものである。
用の光ファイバや赤外用窓材等に用いられる臭化タリュ
ウムとよう化タリュウムの固溶体（Ｋ ＲＳ −５＞よ
り成る光学部品の反射防止膜に関するものである。
従来の技術
臭化タリュウムとよう化タリュウムの固溶体く以下ＫＲ
３−５と称する）は、屈折率が２．３７あるため光学的
反射損失は２８．４％と大きい。この反射損失を減らし
透過効率を上げるために、反射防止膜を形成する必要が
ある。
３−５と称する）は、屈折率が２．３７あるため光学的
反射損失は２８．４％と大きい。この反射損失を減らし
透過効率を上げるために、反射防止膜を形成する必要が
ある。
ＫＨ２−５をコアとする光ファイバの場合、反射防止膜
はその入出射端に形成される。その為、炭酸ガスレーザ
光のエネルギ伝送に用いる場合、反射防止膜はレーザ入
射レンズの焦点付近で使用され、そのエネルギ密度は約
５０ＫＷ７ｃｍ２（５０Ｗ入射）と高い。従来このよう
な高いエネルギに耐える実用的な反射防止膜は存在しな
かった。
はその入出射端に形成される。その為、炭酸ガスレーザ
光のエネルギ伝送に用いる場合、反射防止膜はレーザ入
射レンズの焦点付近で使用され、そのエネルギ密度は約
５０ＫＷ７ｃｍ２（５０Ｗ入射）と高い。従来このよう
な高いエネルギに耐える実用的な反射防止膜は存在しな
かった。
本発明者らは、特にＫＨ２−５光フアイバ用として既に
、第一層が三セレン化二ひ素、第二層が塩化カリュウム
、第三層が三七レン化二ひ素より成る三層構造の反射防
止膜（以下Ａｓ２５ｅｓ／ＫＣ１／ＡＳ２Ｓｅｓ）を示
している。
、第一層が三セレン化二ひ素、第二層が塩化カリュウム
、第三層が三七レン化二ひ素より成る三層構造の反射防
止膜（以下Ａｓ２５ｅｓ／ＫＣ１／ＡＳ２Ｓｅｓ）を示
している。
第１図は、その反射防止膜の構造図を示す。ＫＨ２−５
フアイバ１上に三セレン化二ひ素（Ａｓ２５ｅｓ）２、
塩化カリュウム（ＫＣＩ）３．三セレン化二ひ素（Ａｓ
２Ｓｅ３）４が形成されている。この反射防止膜で１面
当りの反射損失が１％以下になることを確認している。
フアイバ１上に三セレン化二ひ素（Ａｓ２５ｅｓ）２、
塩化カリュウム（ＫＣＩ）３．三セレン化二ひ素（Ａｓ
２Ｓｅ３）４が形成されている。この反射防止膜で１面
当りの反射損失が１％以下になることを確認している。
この反射防止膜構成の特徴は、光吸収率が０．０１％以
下と小さいので、レーザ照射時の光エネルギの吸収によ
る発熱が低く、例えばＫＨ２−５ファイバ端面の場合５
０Ｗのレーザ入射で８０Ｃ以下に抑えることが出来る。
下と小さいので、レーザ照射時の光エネルギの吸収によ
る発熱が低く、例えばＫＨ２−５ファイバ端面の場合５
０Ｗのレーザ入射で８０Ｃ以下に抑えることが出来る。
発明が解決しようとする問題点
一般的に、塩化カリュウムは潮解性のある物質で、湿気
に侵されやすい。
に侵されやすい。
また、三セレン化二ひ素は非晶質で湿気に強い性質があ
り、従って、第三層４は第二層３に対し湿気からの保護
する役割を有している。
り、従って、第三層４は第二層３に対し湿気からの保護
する役割を有している。
しかし、第三層は光学的構成上、膜厚が約０．２５μｍ
と薄（、形成時に膜内にピンホールが出来易い。このピ
ンホールが発生した状態で１、大気中などの湿気のある
雰囲気で使用すると、湿気は、ピンホールを通して第二
層の塩化カリュウムを侵す。塩化カリュウムは、湿気を
含むと光の吸収率が増加し、レーザ照射時は発熱、引い
ては膜の熱的劣、化で光学的性質をも損なう事になる。
と薄（、形成時に膜内にピンホールが出来易い。このピ
ンホールが発生した状態で１、大気中などの湿気のある
雰囲気で使用すると、湿気は、ピンホールを通して第二
層の塩化カリュウムを侵す。塩化カリュウムは、湿気を
含むと光の吸収率が増加し、レーザ照射時は発熱、引い
ては膜の熱的劣、化で光学的性質をも損なう事になる。
問題点を解決するための手段
光学的膜厚２．５〜３．０μｍの三セレン化二ひ素膜よ
りなる第一層と、光学的膜厚１．２〜１．５μｍの塩化
カリュウム膜よりなる第二層と、光学的膜厚０゜７〜１
．０μｍの三七レン化二ひ素膜よりなる第三層とを備え
た赤外用反射防止膜を構成する。
りなる第一層と、光学的膜厚１．２〜１．５μｍの塩化
カリュウム膜よりなる第二層と、光学的膜厚０゜７〜１
．０μｍの三七レン化二ひ素膜よりなる第三層とを備え
た赤外用反射防止膜を構成する。
作用
上記の構成によれば、第三層の三セレン化二ひ素の膜厚
を、反射損を最小にする最適膜厚条件の範囲外での第三
層の膜厚最大値に対しｔ ｏ ｏ −１５０ｑ＝増加さ
せ、そして、第三層の膜厚増加に従い、光学的特性が最
適になるように第二層及び第一層が設定される。
を、反射損を最小にする最適膜厚条件の範囲外での第三
層の膜厚最大値に対しｔ ｏ ｏ −１５０ｑ＝増加さ
せ、そして、第三層の膜厚増加に従い、光学的特性が最
適になるように第二層及び第一層が設定される。
従って、反射損失について実用上問題のない範囲で、第
三層の膜厚を増加させて膜内のピンホールの発生を防ぎ
、第二層の塩化カリュウム層を湿度から十分保護する事
が出来、大気中においても何等特別な妨湿手段を取らな
（でも良い。
三層の膜厚を増加させて膜内のピンホールの発生を防ぎ
、第二層の塩化カリュウム層を湿度から十分保護する事
が出来、大気中においても何等特別な妨湿手段を取らな
（でも良い。
実施例
本発明の一実施例における赤外用反射防止膜の基本的な
構成は、第１図の従来例と同様であるので説明を省略す
る。本発明においては、各層の膜厚が限定される。
構成は、第１図の従来例と同様であるので説明を省略す
る。本発明においては、各層の膜厚が限定される。
第３図は、Ａｓ２５ｅｓ／ＫＣＬ／Ａｓ２５ｅａの反射
防止膜構成で、反射損失が最小（０）となる膜厚条件を
示す。
防止膜構成で、反射損失が最小（０）となる膜厚条件を
示す。
第三層のＡｓ２Ｓｅ３の膜厚が厚いほど保護膜としての
効果が望める。Ａｓ２Ｓｅ３膜その先学膜厚の最大値は
０．７３μｍで、そして、実際の膜厚は約０．２６μｍ
となる。
効果が望める。Ａｓ２Ｓｅ３膜その先学膜厚の最大値は
０．７３μｍで、そして、実際の膜厚は約０．２６μｍ
となる。
第２図 は、第三層の膜厚を、第３図で示した膜厚最大
値よりさらに増加させる場合の反射損失の変化について
示す。破線２は、第３図で示した三層の膜厚構成から第
三層のみ膜厚を増加させた場合である。仮に反射損失の
増加の限度を３％とすると、光路長は０．８８μｍとな
る。実線１は、第一層及び第二層の膜厚も共に変化させ
た場合で、同様に反射損失が３％になる光路長は１．０
３μｍである。
値よりさらに増加させる場合の反射損失の変化について
示す。破線２は、第３図で示した三層の膜厚構成から第
三層のみ膜厚を増加させた場合である。仮に反射損失の
増加の限度を３％とすると、光路長は０．８８μｍとな
る。実線１は、第一層及び第二層の膜厚も共に変化させ
た場合で、同様に反射損失が３％になる光路長は１．０
３μｍである。
第４図は、Ａ Ｓ ２ Ｓ ｅ ３／ Ｋ Ｃｌ ／
Ａ ｓ ２ Ｓ ｅ ３膜の温度約６０％における損傷
しきい値の時間的変化調べた実験結果を示す。第３図で
示した第三層の膜厚最大値より膜厚が小さいと明らかに
損傷しきい値の低下が見られるが、膜厚が増加すると損
傷しきい値は短期間では変化しなかった。
Ａ ｓ ２ Ｓ ｅ ３膜の温度約６０％における損傷
しきい値の時間的変化調べた実験結果を示す。第３図で
示した第三層の膜厚最大値より膜厚が小さいと明らかに
損傷しきい値の低下が見られるが、膜厚が増加すると損
傷しきい値は短期間では変化しなかった。
発明の効果
本発明によれば、反射防止膜の耐湿性を従来より大幅に
改善し、密閉構造や加熱装置等特別な防止湿対策を必要
とせず簡便で、信頼性が高（、低コストの反射防止膜付
き光学部品を提供することができる。
改善し、密閉構造や加熱装置等特別な防止湿対策を必要
とせず簡便で、信頼性が高（、低コストの反射防止膜付
き光学部品を提供することができる。
第１図は、本発明の一実施例における赤外用反射防止膜
の構成を示す断面図、第２図は、三層反射防止膜の第三
層の膜厚と反射損失の関係を示すグラフ、第３図は、反
射損失がＯになる膜厚構成の条件を示すグラフ、第４図
は、第三層、膜の膜厚と損傷しきい値の関係を示すグラ
フである。 ■・・・ＫＲ３−５フアイバ、２，４・・・三セレン化
二ひ素、３・・・塩化カリュウム。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名第１図 第２図 ０７ ρ８ ｔ）、９
ｔ、。 ′２ ３ ℃ ） 区 双針娑°睦艮 第４図 脚間（吠と）
の構成を示す断面図、第２図は、三層反射防止膜の第三
層の膜厚と反射損失の関係を示すグラフ、第３図は、反
射損失がＯになる膜厚構成の条件を示すグラフ、第４図
は、第三層、膜の膜厚と損傷しきい値の関係を示すグラ
フである。 ■・・・ＫＲ３−５フアイバ、２，４・・・三セレン化
二ひ素、３・・・塩化カリュウム。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名第１図 第２図 ０７ ρ８ ｔ）、９
ｔ、。 ′２ ３ ℃ ） 区 双針娑°睦艮 第４図 脚間（吠と）
Claims (1)
- （１）臭化タリュウムとよう化タリュウムの固溶体より
成る赤外光学部品の反射防止膜として用いられ、前記赤
外光学部品よりなる基板上に形成された、光学的膜厚２
．５〜３．０μｍの三セレン化二ひ素膜よりなる第一層
と、光学的膜厚１．２〜１．５μｍの塩化カリュウム膜
よりなる第二層と、光学的膜厚０．７〜１．０μｍの三
セレン化二ひ素膜よりなる第三層とを備えた事を特徴と
する赤外用反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272489A JPS63125901A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 赤外用反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272489A JPS63125901A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 赤外用反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63125901A true JPS63125901A (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=17514632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61272489A Pending JPS63125901A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 赤外用反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63125901A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009527338A (ja) * | 2006-02-24 | 2009-07-30 | エム．エム．アンド アール．プロダクツ，インコーポレイティド | 回転自在シリンダ付きヘヤースタイリング用具 |
| US8342191B2 (en) | 2006-02-24 | 2013-01-01 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US20150047667A1 (en) * | 2012-03-22 | 2015-02-19 | Seb S.A. | Hairstyling Appliance |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP61272489A patent/JPS63125901A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009527338A (ja) * | 2006-02-24 | 2009-07-30 | エム．エム．アンド アール．プロダクツ，インコーポレイティド | 回転自在シリンダ付きヘヤースタイリング用具 |
| JP4741682B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-08-03 | エム．エム．アンド アール．プロダクツ，インコーポレイティド | 回転自在シリンダ付きヘヤースタイリング用具 |
| US8342191B2 (en) | 2006-02-24 | 2013-01-01 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US8360076B2 (en) | 2006-02-24 | 2013-01-29 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US8567416B2 (en) * | 2006-02-24 | 2013-10-29 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US9107485B2 (en) | 2006-02-24 | 2015-08-18 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US9259069B2 (en) | 2006-02-24 | 2016-02-16 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US9521891B2 (en) | 2006-02-24 | 2016-12-20 | Mm&R Products, Inc. | Hair styling tool with rotatable cylinder |
| US10092076B2 (en) * | 2012-03-20 | 2018-10-09 | Seb S.A. | Hairstyling appliance |
| US20150047667A1 (en) * | 2012-03-22 | 2015-02-19 | Seb S.A. | Hairstyling Appliance |
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