JPS63122999A - 軟ｘ線取出し窓 - Google Patents
軟ｘ線取出し窓Info
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- JPS63122999A JPS63122999A JP27132586A JP27132586A JPS63122999A JP S63122999 A JPS63122999 A JP S63122999A JP 27132586 A JP27132586 A JP 27132586A JP 27132586 A JP27132586 A JP 27132586A JP S63122999 A JPS63122999 A JP S63122999A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は軟Ｘ線取出し窓の構造に関する。
軟Ｘ線領域では雰囲気によるＸ線の減衰を避けるために
Ｘ線の通路は超高真空にすることが望ましい。一方、軟
Ｘ線分光の分光器やＸ線リソグラフィの露光機などの機
器類は大気中に設置することが取扱い上便利である。そ
こで従来、超高真空容器の一部に軟Ｘ線取出し窓を設け
、そのＸ線透過窓材としては、原子量が小さいことから
広い波長範囲にわたってＸ線の透過性に優れた金属ベリ
リウムの清浄な箔が広く用いられている。
Ｘ線の通路は超高真空にすることが望ましい。一方、軟
Ｘ線分光の分光器やＸ線リソグラフィの露光機などの機
器類は大気中に設置することが取扱い上便利である。そ
こで従来、超高真空容器の一部に軟Ｘ線取出し窓を設け
、そのＸ線透過窓材としては、原子量が小さいことから
広い波長範囲にわたってＸ線の透過性に優れた金属ベリ
リウムの清浄な箔が広く用いられている。
しかしながら、前述の如く軟Ｘ線取出し窓材は超高真空
と大気または減圧雰囲気とを遮蔽する機能が要求される
ために、真空封止の観点から厚い箔を用いざるを得す、
吸収を受けやすい軟Ｘ線の透過性に劣り、加えて、雰囲
気気体分子とベリリウム表面とのＸ線誘起化学反応によ
るベリリウム窓材の破壊を防ぐ目的でベリリウムの大気
圧側に用いられた置換した不活性気体（主にヘリウム）
による軟Ｘ線吸収、および不活性気体室と大気とを隔て
るポリイミドなどの有機膜窓による軟Ｘ線吸収に基づき
透過性が悪化するという欠点があった。
と大気または減圧雰囲気とを遮蔽する機能が要求される
ために、真空封止の観点から厚い箔を用いざるを得す、
吸収を受けやすい軟Ｘ線の透過性に劣り、加えて、雰囲
気気体分子とベリリウム表面とのＸ線誘起化学反応によ
るベリリウム窓材の破壊を防ぐ目的でベリリウムの大気
圧側に用いられた置換した不活性気体（主にヘリウム）
による軟Ｘ線吸収、および不活性気体室と大気とを隔て
るポリイミドなどの有機膜窓による軟Ｘ線吸収に基づき
透過性が悪化するという欠点があった。
さらに、Ｘ線トポグラフィやＸ線リソグラフィでは広い
分析領域や露光領域が望まれるのでＸ線取出し窓も大面
積のものが必要になるが、窓面積が大きいほど、ベリリ
ウム箔自身の欠陥やＸ線誘起反応で生じたピンホールに
よって窓部で真空漏れが起きる確率が大きい。したがっ
て従来はやむなく軟Ｘ線透過能を犠牲にしてベリリウム
箔の厚みを増すことでこれを防がねばならなかった。
分析領域や露光領域が望まれるのでＸ線取出し窓も大面
積のものが必要になるが、窓面積が大きいほど、ベリリ
ウム箔自身の欠陥やＸ線誘起反応で生じたピンホールに
よって窓部で真空漏れが起きる確率が大きい。したがっ
て従来はやむなく軟Ｘ線透過能を犠牲にしてベリリウム
箔の厚みを増すことでこれを防がねばならなかった。
本発明の目的は軟Ｘ線透過能が高く、かつ窓部の大面積
化に際しても透過能の低下が起きない軟Ｘ線取出し窓の
構造を提供することにある。
化に際しても透過能の低下が起きない軟Ｘ線取出し窓の
構造を提供することにある。
本発明は大気圧あるいは減圧の空気または不活性気体’
？ｉ！Ｉｎ’ｌ気に接する軟Ｘ線透過窓材の面に、薄肉
の一様な厚みの超高真空用気体漏れ封止塗布膜を有する
ことを特徴とする軟Ｘ線取出し窓である。
？ｉ！Ｉｎ’ｌ気に接する軟Ｘ線透過窓材の面に、薄肉
の一様な厚みの超高真空用気体漏れ封止塗布膜を有する
ことを特徴とする軟Ｘ線取出し窓である。
現在、超高真空用の気体漏れ封止剤が複数種類市販され
ている。これらはシリコーン樹脂などを主成分とした液
体で、本来の用途には刷毛塗りまたは噴霧によって気体
漏れ封止被膜を形成するものである。この被膜は蒸気圧
が極めて低く、４５０℃程度の高温まで変質せず、かつ
最大４×１０−″Ｑ／ｓ程度の真空漏れを封止する能力
を有するものである。
ている。これらはシリコーン樹脂などを主成分とした液
体で、本来の用途には刷毛塗りまたは噴霧によって気体
漏れ封止被膜を形成するものである。この被膜は蒸気圧
が極めて低く、４５０℃程度の高温まで変質せず、かつ
最大４×１０−″Ｑ／ｓ程度の真空漏れを封止する能力
を有するものである。
本発明では、この封止剤が液状であることを利用して清
浄な金属ベリリウム箔の超高真空に接しない面、すなわ
ち、大気圧または減圧の空気、不活性雰囲気に接する面
に一様な厚みの薄い封止被膜を形成したものである。こ
の処理により窓材として金属ベリリウムのみを用いた場
合に比べてピンホールの存在あるいは発生による真空漏
れの懸念が払拭され、ベリリウム箔の厚さをそれだけ薄
くすることができる。さらに、高圧力側のベリリウム表
面が当該被膜で覆われるので、雰囲気気体とのＸ線化学
反応によるベリリウムの劣化を防止でき、従来用いてい
た不活性気体室および有機膜窓が不要となる。これら二
つの効果はいずれも軟Ｘ線透過能の改善をもたらし、さ
らに後者は軟Ｘ線取出し窓周辺の構造の著しい簡素化を
もたらす。
浄な金属ベリリウム箔の超高真空に接しない面、すなわ
ち、大気圧または減圧の空気、不活性雰囲気に接する面
に一様な厚みの薄い封止被膜を形成したものである。こ
の処理により窓材として金属ベリリウムのみを用いた場
合に比べてピンホールの存在あるいは発生による真空漏
れの懸念が払拭され、ベリリウム箔の厚さをそれだけ薄
くすることができる。さらに、高圧力側のベリリウム表
面が当該被膜で覆われるので、雰囲気気体とのＸ線化学
反応によるベリリウムの劣化を防止でき、従来用いてい
た不活性気体室および有機膜窓が不要となる。これら二
つの効果はいずれも軟Ｘ線透過能の改善をもたらし、さ
らに後者は軟Ｘ線取出し窓周辺の構造の著しい簡素化を
もたらす。
以下に本発明の実施例を図によって説明する。
第１図は本発明による軟Ｘ線透過窓を用いた〇−リング
シール軟Ｘ線取出し窓材Ａの実施例である０図中１は金
属ベリリウム箔、２はその表面に形成された超高真空用
気体漏れ封止塗布膜である。
シール軟Ｘ線取出し窓材Ａの実施例である０図中１は金
属ベリリウム箔、２はその表面に形成された超高真空用
気体漏れ封止塗布膜である。
該膜２の形成例を第２図に示す。まず、有機溶媒で脱脂
洗浄した直径４０ｎｍ、厚さ２５．の円形の金属ベリリ
ウム箔１を真空吸着用の排気溝３を有する回転塗布器の
載物台４に載せて真空吸着し、超高真空用気体漏れ封止
液５を箔の中心に滴下したのち載物台とともに高速回転
させて一様な薄膜状に塗布する。不活性気体中で一週間
はど乾燥固化させると第１図のＸ線透過窓材Ａとなる。
洗浄した直径４０ｎｍ、厚さ２５．の円形の金属ベリリ
ウム箔１を真空吸着用の排気溝３を有する回転塗布器の
載物台４に載せて真空吸着し、超高真空用気体漏れ封止
液５を箔の中心に滴下したのち載物台とともに高速回転
させて一様な薄膜状に塗布する。不活性気体中で一週間
はど乾燥固化させると第１図のＸ線透過窓材Ａとなる。
このＸ線透過窓材Ａを用いて製作した軟Ｘ線取出し窓の
構成を第３図に、また組立完成後の断面図を第４図に示
す。第３図、第４図において、裏面にコンフラツト・エ
ツジ６を有する超高真空用ステンレス鋼フランジ７に設
けた０−リング引込み防止枠８の外周に１５０℃までの
加熱焼出しに対して耐性を有するフッ素ゴム（パイトン
）の０−リング９をはめ込み、その上にＸ線透過窓材Ａ
を、その気体漏れ封止被膜２が０−リング９の反対側に
なるように載せ、内側締付は枠１０をはさみ、その外面
にあてがった外側締付は枠１１を締付はボルト１３及び
ワッシャ１２を用いてフランジ７に締付ける。締付は枠
を２個用いるのは、締付は時にベリリウム箔１に加わる
力を平均化して箔１の破損やシワを防ぐためである。
構成を第３図に、また組立完成後の断面図を第４図に示
す。第３図、第４図において、裏面にコンフラツト・エ
ツジ６を有する超高真空用ステンレス鋼フランジ７に設
けた０−リング引込み防止枠８の外周に１５０℃までの
加熱焼出しに対して耐性を有するフッ素ゴム（パイトン
）の０−リング９をはめ込み、その上にＸ線透過窓材Ａ
を、その気体漏れ封止被膜２が０−リング９の反対側に
なるように載せ、内側締付は枠１０をはさみ、その外面
にあてがった外側締付は枠１１を締付はボルト１３及び
ワッシャ１２を用いてフランジ７に締付ける。締付は枠
を２個用いるのは、締付は時にベリリウム箔１に加わる
力を平均化して箔１の破損やシワを防ぐためである。
以上実施例にあげた４０ａｍ径の金属ベリリウム箔を用
いる場合を例にとると、金属ベリリウム箔のみをＸ線透
過窓とする従来の構造では箔の厚みが４０、以上でなけ
れば真空漏れのために超高真空気密が保持できなかった
。しかし、本発明によれば金属ベリリウム部の厚みは２
５．でよい。その結果、Ｘ線透過率はｅｘｐ［（４０−
２５）・μ（λ）］倍に増大する。
いる場合を例にとると、金属ベリリウム箔のみをＸ線透
過窓とする従来の構造では箔の厚みが４０、以上でなけ
れば真空漏れのために超高真空気密が保持できなかった
。しかし、本発明によれば金属ベリリウム部の厚みは２
５．でよい。その結果、Ｘ線透過率はｅｘｐ［（４０−
２５）・μ（λ）］倍に増大する。
ただしμ（λ）は波長λにおける金属ベリリウムの線吸
収係数（単位１７ｐ）である。本発明の場合には超高真
空用気体漏れ封止剤の層におけるＸ線吸収を考慮せねば
ならないが、一方、従来の構造で必須であった不活性気
体室と有機膜窓は不要になる。気体漏れ封止剤層は薄い
ので、これによるＸ線の減衰は従来構造の有機膜窓によ
るものよりも小さい。
収係数（単位１７ｐ）である。本発明の場合には超高真
空用気体漏れ封止剤の層におけるＸ線吸収を考慮せねば
ならないが、一方、従来の構造で必須であった不活性気
体室と有機膜窓は不要になる。気体漏れ封止剤層は薄い
ので、これによるＸ線の減衰は従来構造の有機膜窓によ
るものよりも小さい。
以上のように本発明によれば高いＸ線透過能をもつうえ
に窓周辺の構成が著しく簡素化された軟Ｘ線取出し窓が
得られる。また、従来例では不活性気体室の不活性気体
による置換が不十分な場合にベリリウム箔の劣化が認め
られたが、本発明の構造では箔の劣化がなく、軟ｘｉ取
出し窓の長寿命化と特性の安定化が達成できる効果を有
するものである。
に窓周辺の構成が著しく簡素化された軟Ｘ線取出し窓が
得られる。また、従来例では不活性気体室の不活性気体
による置換が不十分な場合にベリリウム箔の劣化が認め
られたが、本発明の構造では箔の劣化がなく、軟ｘｉ取
出し窓の長寿命化と特性の安定化が達成できる効果を有
するものである。
第１図は本発明による軟Ｘｌｉ！透過窓の構造を示す図
、第２図はその製作方法の一例を示す図、第３図は本発
明による軟Ｘ線透過窓を用いた０−リングシール軟Ｘ線
取出し窓の一例の構成を示す図。 第４図は第３図の軟Ｘ線取出し窓の組立完成後の断面図
である。 １・・・金属ベリリウム箔、２・・・金属ベリリウム箔
の表面に形成した超高真空用気体漏れ封止塗布膜、Ａ・
・・窓材、３・・・真空吸着用排気溝、４・・・回転塗
布器の載物台、５・・・超高真空用気体漏れ封止液、６
・・・コンフラツト・エツジ、７・・・超高真空用ステ
ンレス鋼フランジ、８・・・０−リング引込防止枠、９
・・・フッ素ゴム０−リング、１０・・・内側締付は枠
、１１・・・外側締付は枠、１２・・・ワッシャ、１３
・・・締付はボルト
、第２図はその製作方法の一例を示す図、第３図は本発
明による軟Ｘ線透過窓を用いた０−リングシール軟Ｘ線
取出し窓の一例の構成を示す図。 第４図は第３図の軟Ｘ線取出し窓の組立完成後の断面図
である。 １・・・金属ベリリウム箔、２・・・金属ベリリウム箔
の表面に形成した超高真空用気体漏れ封止塗布膜、Ａ・
・・窓材、３・・・真空吸着用排気溝、４・・・回転塗
布器の載物台、５・・・超高真空用気体漏れ封止液、６
・・・コンフラツト・エツジ、７・・・超高真空用ステ
ンレス鋼フランジ、８・・・０−リング引込防止枠、９
・・・フッ素ゴム０−リング、１０・・・内側締付は枠
、１１・・・外側締付は枠、１２・・・ワッシャ、１３
・・・締付はボルト
Claims (1)
- （１）大気圧、あるいは減圧の空気または不活性気体雰
囲気に接する軟Ｘ線透過窓材の面に、一様な厚みの薄肉
の超高真空用気体漏れ封止塗布膜を有することを特徴と
する軟Ｘ線取出し窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27132586A JPS63122999A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 軟ｘ線取出し窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27132586A JPS63122999A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 軟ｘ線取出し窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63122999A true JPS63122999A (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=17498478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27132586A Pending JPS63122999A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 軟ｘ線取出し窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63122999A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02272400A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | Nec Corp | 軟ｘ線取出し窓 |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP27132586A patent/JPS63122999A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02272400A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | Nec Corp | 軟ｘ線取出し窓 |
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