JPS63119242U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63119242U JPS63119242U JP998287U JP998287U JPS63119242U JP S63119242 U JPS63119242 U JP S63119242U JP 998287 U JP998287 U JP 998287U JP 998287 U JP998287 U JP 998287U JP S63119242 U JPS63119242 U JP S63119242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sheet
- sensitive adhesive
- cover
- sheet assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第1図a,bは、この考案の一実施例を示す粘
着シート処理装置の主要部の概略構成を示す平面
図及び側面図、第2図は従来の粘着処理装置の概
略を説明するための図である。 図中、10:シート組立体、14:処理台、2
2:搬送アーム、22a:N2ガス供給口。
着シート処理装置の主要部の概略構成を示す平面
図及び側面図、第2図は従来の粘着処理装置の概
略を説明するための図である。 図中、10:シート組立体、14:処理台、2
2:搬送アーム、22a:N2ガス供給口。
Claims (1)
- 光を透過する材質からなり紫外線感応型粘着剤
が塗布されたシートに半導体ウエハが粘着された
シート組立体を光照射部に載置して、短波長の可
視光から紫外光にまたがる範囲の光を照射する粘
着シート処理装置において、前記シート組立体の
搬送機構と一体にこのシート組立体を覆うカバー
を設け、このカバー内に不活性ガスを供給する手
段を具備したことを特徴とする粘着シート処理装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP998287U JPS63119242U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP998287U JPS63119242U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63119242U true JPS63119242U (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=30795816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP998287U Pending JPS63119242U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63119242U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0241437U (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-22 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6129633A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Hitachi Ltd | 移送装置 |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP998287U patent/JPS63119242U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6129633A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Hitachi Ltd | 移送装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0241437U (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS63119242U (ja) | ||
JPS63119243U (ja) | ||
JPH0367442U (ja) | ||
JPS62287639A (ja) | 薄板回路基板における感圧性粘着テ−プの貼着方法 | |
JPS6450433U (ja) | ||
JPS55128817A (en) | Device for bonding piece on tape | |
JPS62194739U (ja) | ||
JPS6420734U (ja) | ||
JPS63756U (ja) | ||
JPS62194741U (ja) | ||
JPS63159836U (ja) | ||
JPS6464772A (en) | Tacky sheet for polishing | |
JP2568755Y2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JPS612613A (ja) | 板材供給方法 | |
JPH01112040U (ja) | ||
JPH0241437U (ja) | ||
JPH01112042U (ja) | ||
JPS6397231U (ja) | ||
JPS6439630U (ja) | ||
JPH0270427U (ja) | ||
JPH044757U (ja) | ||
JPS61127633U (ja) | ||
JPS62163937U (ja) | ||
JPS6179679U (ja) | ||
JPS6322621U (ja) |