JPS63113347A - フォトメータおよび光測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、光源と；検出器と；すなくとも１つのチョ
ッパデスクを備える光チョッパと；共に前記検出器に対
向する複数の第１の端部と、共に光源に対向する複数の
第２の端部と、被測定対象物がその間に配置される複数
の第３の端部を有する光伝導手段と：を有するフォトメ
ータ（光測計）に関する。

フォトメータは光の透過、あるいは光の反射を測定する
ために広く用いられる。フィトメータは。

例えば、ガラスあるいはそれに類するもののシートの上
に設けられるコーティングの厚さを測定するために応用
される。これらのコーティングは非常に薄く、光の波長
の大きさの単位であり、測定が囚Ｈなものである。

（従来技術およびその問題点） 照明システムと、センサシステムと、分光システムを有
するマルチチャネルプロセス分光計が知られている。こ
のセンサシステムは第１光導電フアイバにより照明シス
テムに接続されており、第２光伝導フアイバは分光シス
テムに接続されてりる（ＤＥ−ＰＳ　　３４０３３７２
）。第１光伝導フアイバからの光はセンサシステム内に
配置された試料を通り、試料を通った光は第２光導電フ
アイバに受けられ、伝達される。しかし、この分光計は
チョッパを有せず、単一光線型の装置であり、連続的な
測定相（状態）を有する。

また、ＤＤ−ＰＳ　　２１６３２３に開示されるような
４つの異なる波長用の電気機械式光チョッパが知られて
いる。このチョッパでは、フィルタを通過した光が光伝
導ケーブルにより測定対象に導かれる。このチョッパ、
は基準相と昭相を生成するのに適当でない。

ＥＤＥ−２６３１７７０に開示されるような比色計が知
られている。この比測色計は可視光の光を放射するラン
プと、その光を試料に導く光伝導デバイスを有する。し
かし、この比色計は、チョッパを有しない、単一光線式
の装置である。この装置でのフィルターホイル−は単に
測定波長を変更するために用いられている。

また、ＤＥ−Ｏ８３４０６６４５に開示されたようなス
ペクトルフォトメータシステムも知られている。このス
ペクトルフォトメータシステムは、光透過物質、光反射
５ＩＪ質、光放射物質の光特性を光波長との関係で測定
するためのシステムであり、特に、真空容器内の基板上
の薄りコーティングの形成過程での光特性の変化を測定
する。このスペクトルフォトメータシステムはスペスト
ル分離システムとシリーズの測定セルを備える。このス
ペクトルフォトメータシステムは多点測定とそれぞれ独
立に複数の被測定物を測定することと、高速評価システ
ムをテストすることを可能にすることを０指している。

この目的を達成するため、各測定ポイントにグラスファ
イバケープが結合され、これらのグラスファイバケーブ
ルは直接に近接して設けられ、互いに平行とされている
。１つの物体は２つのグラスファイバアの端部の間に配
置される。１つのグラスファイバ伝導体は光源に接続さ
れ、他のグラスファイバ伝導体は評価システムに接続さ
れる。しかし、このスペクトルフォトメータシステムに
はグラスファイバが用いられており、チョッパ原理に基
いたシステムではなく、いわゆるチョッパレス単一光線
方式の装置である。

グラスファイバに関連して用いられるマスクは測定のポ
イントをずらすためにのみ使用可能で、測定相、基準相
、暗相を作成するためのものではない。

光伝導ファイバはＤＥ−Ｏ８２６３０６４５に開示され
たフォトメータ分析器にも用いられている。しかし、こ
の分析システムは、測定相と暗相を有するチョップされ
た単一ビームシステムを用いる。測定基準は第２検出器
により測定相と同時に生成される。

３相チヨツパを有する２光線方式のフォトメータも知ら
れている（ｔＪｓＰ　　４．３０５，６６３）。しかし
、この２ビームフオトメータは光伝導システムを有して
いない。

最後に、光伝導素子を有するプッシュプルフォトメータ
ーも知られている。このフォトメータでは、試料からの
光と比較の基準又は基準光線が光電セルに交互に高速に
導かれる（ＤＥ−ＰＳ　７１８，４３４）。

この装置では、光導電素子との間のギャップに穴の列を
有する穴開デスクに互りに２つの光ビームを導入するた
め、そのデスクの動く方向にｒｌＡ整可能な光伝導シス
テムが穴聞きデスクと光伝導素子にそれぞれ面している
光入口面、出力面を有している。この周知のブシュプル
フォトメータにおいては、光入力面と光出力面の幅は穴
開きデスクの穴の幅と等しい。一方、光を内部に導き、
あるいは外部に出す光伝導素子の断面は穴開きデスクの
穴の断面より大きい。さらに、チョッピングポイントで
の基準光線の断面は調整可能な光伝導システムの断面に
、例えば絞りにより、適合されている。

有しない２相チヨツパであり、チョッパデスクは光源と
光伝導システムの間に配置されていない。

このようなフォトメータは、特に、フォトメータと光伝
導体のカップリングに大きな光損失が生じるという欠点
を有する。

（発明の目的） この発明は上記実情に鑑みてなされたもので、この発明
の目的は光損失が少な０フオトメータを提供することで
ある。

［発明の構成１ この発明の目的は、光伝導システムのギャップに光源を
配置することにより達成された。この光導電システムの
一端は測定対象物に対向しており、その他端は検出器叫
対向しており、そしてチョッパデスクが少なくともある
時間導入されつる。

［発明の効５１Ｉ この発明の効果は次の点にある。チョッパにより、測定
相、基準相、暗相が生成可能であり、この３つの異なる
相が順番にあられれる。さらに、真空コーテング装置に
ぴいπ、高長時間安定性を有して、光測定器による測定
を行うことが可能である。３相チヨツパと共に光伝導体
を使用することにより、２光線原理が１つの装置で達成
される。

測定光と基準光が同一の検出器で測定されるので、光源
ドリフト、検出器ドリフトが補償される。

この発明のフォトメータは光源（４１）と、検出器（２
３）と、少なくとも１つのチョッパデスク＜２９．３１
）を有する光チョッパを備える。

このフォトメータは、　前記検出器（２３）に共に対向
する複数の第１の端部と、前記光源（４１）に共に対向
する複数の第２の端部（１７，１８）と、その間に被測
定対象物（６）が配置される複数の第３の端部（１１，
１２）、を有する複数の光伝導デバイス（１３，１４，
１９）と；を備える。一端（１１）が被測定対象（６）
に対向する１つの前記光伝導デバイス（１３）と、一端
が前記検出器に対向する他の１つの前記光伝導デバイス
（１９）はギャップを形成しており、前記ギャップ内に
前記光源（４１）が配置され、前記ギャップ内に前記チ
ョッノム慎り（２９，３１）の少なくとも１つが少なく
ともある時間導入される。

（発明の実施例） この発明に係るフォトメータ（光測計）の基本構成は第
１図に示される。このフォトメータ１は測定チャンバー
２に接続され、測定コンバータ３、信号処理装置（シグ
ナルプロセッサー）４を備える。測定チャンバー２は、
例えば、コーテング装置の真空チャンバーであり、テス
トグラス６あるい（よ他の基板の上に堆積する金属然気
又は金属酸化物の蒸気を放出する蒸発源５を備える。こ
のテストグラス６は測定チャンバ２０２つの間ロア、８
の間に配置される。間ロア、８にはそれぞれレンズ９．
１０が設けられている。測定チャンバ２の外部で、レン
ズ９．１０から僅かに離れた位置に光伝導体群１１．１
２の端部が位置される。光伝導体群１１．１２はフレキ
シブル金属チューブ１３．１４に包まれている。金属チ
ューブ１３内の光伝導体群はチョッパシステム１５に導
かれる。

このチョッパシステム１５は２つの壁１７．１８を有す
るチョッパチャ；ブ＜−１６と一方のｇ１１７内に導か
れた金属チューブ１３に包まれた光導電体群の第２の端
部からなる。他方、基準光伝導体群１９が他方の壁１８
に挿入され、群カップラー２０に導かれる。群カップラ
ー２０には、金属チューブ１４内の光伝導体群にも接続
されている。

群カップラー２０は分光計２２に接続されている。

分光計２２には検出器２３が接続されている。分光計２
２内の回折格子あるいは干渉フィルターを駆動するため
のステンピングモータ２４が設けられる。このステツピ
イングモータ２４は信号処理装置４内の電力増幅器２５
により制御される。この電力増幅器２５は、プロセッシ
ング（処理）システム２６により制御される。プロセッ
シングシステム２６は、検出器２３の信号をトランスフ
ォーマ−２７を介して受ける。このプロセッシングシス
テム２６にはストラッドリング光検出器（デスク２９を
またいで設けられた光検出器）４２からの情報がライン
２８を介して供給される。この情報はチョッパーデスク
２９の回転の状態を示ず。

このチョッパーデスク２９はシャフト３０に！３！置さ
れる。このシャフト３０には、第２のチョッパーデスク
３１も載置されている。２つのチョッパーデスク２９と
３１は互いにスペーサ３２．３３により離間されてシャ
フト３０に取付けられている。シャフト３０の両端はベ
アリング３４．３５に軸受されており、シャフト３０の
一端３６はドライブシャフト３８により駆動されるドラ
イブベルト３７に噛合わされている。このドライブシャ
フト３８はモータ制御ユニット４０により駆動されるモ
ータ３９に連結されている。２つのチョッパデスク２９
．３１の間に、基準部に光を投射し、他の時間に測定部
に光を投射するランプ４１が設【プられている。

第１図に示されるシステムにより、テストグラス６の上
に堆積された層の絶対的６反射あるいは絶対的な透過が
高い長時間安定性を有して測定可能となる。これはチョ
ッパデスク２９．３１により、測定相、基準相、昭相が
生成されることにより達成される。測定相と明相は異な
る時間に発生するので、２つの相は同一の検出器２３に
より測定でき、分光計２２の同一の波長において測定可
能である。測定相は金属チューブ１３内の光伝導体群と
チョッパデスク３１により決定される。−方、基準相は
金属チューブ１９内の光伝導体群とチョッパデスク２９
により決定される。

測定相の間、金属チューブ１３内の光伝導体群を介して
、ランプ４１からの光の一部はレンズ９に尊かれる。導
かれた光はレンズ９からテストグラス６とレンズ１０を
通って金属チューブ１４内のファイバー群１２に進み、
さらに、群カップラー２０内に進み、そこから、分光計
２２に進む。

分光計２２内で、入力光の所定の波長帯がフィルタを介
して出力され、検出器２３に供給される。

検出器２３は光信号を電気信号に変換し、電気信号をト
ランスフォーマ−２７に送る。トランスフォーマ−２７
は電気信号をプロセッシングシステム２６に適当に適合
させた後、プロセッシングシステム２６に送る。

基準相の間、ランプ４１の光はチョッパデスク２９によ
り開放されて、金属チューブ１９内の光伝導体群に与え
られる。その光は群カップラー２０を介して、測定相の
場合と同様に、分光計２２に至り、分光計２２から検出
器２３、トランスフォー７２７を介してプロセッサ２６
に与えられる。

このようにして、ランプ４１の光は、第１の相では、グ
ラスプレート６に堆積されたコーテングにより弱められ
て検出器２３に与えられる。一方、第２の相では、ラン
プ４１からの弱められていない光が検出器２３に与えら
れる。

場合によっては、分光器２２を省略することも可能であ
る。しかし、光の透過、あるいは、光の反射と光の波長
との関係を決定することが重要な場合には、分光器ある
いは同様な他の散乱素子は省略不可能である。

測定相と明相の両方の相で同じランプ４１と同じ検出器
２３が用いられるので、ランプ４１及び／又は検出器の
老化現象あるいは温度によるドリフトは両方の相に等し
く影響を与える。従って、誤差が補償される。

明相は外光による誤差及び２又、は電気増幅器のドリフ
トの結果による誤差を補償するために用いられる。従っ
て、測定相と明相の差と、基準相と明相の差が、評価さ
れる。そのようにして求められた測定値と基準値との比
が、グラスプレート６に堆積されたコーテングの正確な
反射と透過の測定値である。

分光計２２の使用（よ、特に、成長しつつある光コーテ
ングの厚さを測定する時、即ち、特定の波長での光の強
さが特定の関数に従う場合に有効である。

第２図はチョッパデスク２９．３１の第１の配置を示し
ている。チョッパデスク２９は外周部分に好ましくは総
計約１２０度の切り欠きを有している。グラスファイバ
群の端部４４はチョッパデスク２９の後ろに破線で示さ
れる。チョッパデスク３１は同様に外周部分に１２０度
の切り欠きを有する。この切り欠きは符号４５で示され
る部分に位置する。この配置では、基準光は遮られ、測
定光は開放される。

笛３図はチョッパデスク２９と３１の第２の轟ご置を示
している。チョッパデスク２９の切り欠きは符号４６で
示され、チョッパデスク３１の切り欠きは符号４７で示
される。この位置では、測定光は遮られ、基準光は開放
される。

第４図はチョッパデスク２９と３１の第３の配置を示す
。チョッパデスク２９の切り欠きは符号４８で示される
部分であり、チョッパデスク３１の切り欠きは符号４９
で示される部分である。この場合、測定光と基準光は共
にブロックされる。

即ち、明相である。

第５図は第２．３．４図に示されるチョッパシステムの
斜視図である。ここでは、金属チューブ１３．１９の端
部、ランプ４１、チョッパデスク２９．３１が示されて
いる０２つのチョッパデスク２９．３１は好ましくは、
１２０度の切り欠きを有し、切り欠きは相対的に互いに
オーバーラツプしないように配置されているので、ラン
プ４１の光が端部４４からもチューブ１９内の光伝導体
群からもブロックされる相が達成される。

第６図は光伝導グラスファ・・ネバ群を含む２つのフレ
キシブル金属チューブ１９．１４を備える群カップラー
２０変形例を示す。

金属チューブ１４．１９の端部は円柱状の接続ターミナ
ル５０．５１に接続されている。

第７図は端部に円柱状の接続ターミナル５２．５３が設
けられている金属チューブ１３を示す。

第８図は第６．７図に示される接続ターミナル５１．５
２に対応する接続ターミナルを示す。これらの接続ター
ミナル５Ｌ　５２では、グラスファイバー群ｌＬ１２の
端部は円形である。

第９図は第６．７図に示される接続ターミナル５０１５
３に対応Ｊる接続ターミナルを示す。第６．７図の接続
ターミナル５０，５３は全く同一である必要はない。し
かし、結果として、両者は第９図に示される例に代表さ
れるように類似している。グラスファイバ群４４は、好
ましくは長方形の形状を有する。長方形の形状をしてい
ることは、しばしば、ランプの出力光と光伝導体の連結
−に有利である。もし、ハロゲンランプが用いられた場
合、光伝導体群の断面はラグンブのフィラメントの断面
に適合される。

第１０図は群カップラー２０を示す。群カップラー２０
は、金属チューブ１９内の光伝導ファイバ群５８の端部
が配置される長方形のスロット５７が設けられる。光伝
導ファイバ群５８の各端上に群の半分５９．６０が配置
される。この群の半分５９．６０は第６図に示されるよ
うに、接続ターミナル５１から導かれる。第１０図は光
り伝導ファイバ群５８が光を放ち、光フアイバ群の半分
５９．６０は光を放っていない場合を示す。第１１図は
第１０図と異なり、光フアイバ群の半分５９．６０が光
を放ち、肛５８が光を放っていない場合を示している。

第１０図は従って、基準相を示し、第１１図は測定相を
示している。

第１２．１３図は２つの光伝導体群を示している。各光
伝導体群は４つの部分的な群６１．６２．６３．６４と
６５．６６．６７．６８に分割されており、交互に配置
されてりる。第１２図では、部分的な群６１〜６４は光
を放ち、部分的な群６５〜６８は光を放っていない。Ｗ
ｌ、３図は第１２図と反対の場合を示す。２つの光伝導
体群は共にスロット５７を満たしている。

第１４図は、時間との関係で光強度■を示している。こ
の場合の光強度Ｉは検出器２３により検出された強度で
ある。時刻ｔＱと時刻ｔ１の間では、この例では、最大
の振幅を有している基準信号１　ｒｅｆが検出される。

その後、即ち、時刻ｔ１と時刻ｔ２の間では、プレート
６に堆積された物質により弱められた測定信号ＩＨｅβ
が検出される。

時刻ｔ２かう時刻し３の間は明相が示される、従って、
測定される全ての光は余剰の光強度Ｉ　Ｒｅ５ｔである
。この余剰の光は例えば蒸発源５からの湿れ光である。

シリコン素子等からなる検出器２３により出力される電
圧信号は、それを予め数学的に計節されたＩ／１Ｅｔｈ
線と比較するために、および、１ｒｅｆ１１　Ｈｅｆｉ
　、　Ｉ　ＲｅＳの最適の増幅度を自動釣にセット可能
にするために、デジタル化される。デジタル化における
電圧−周波数コンバータの使用により、高解像度（高苗
度の分析）が達成さ、籠る。

第１５図番よ測定増幅器２７のブロックダイアグラムを
示す。測定増幅器２７は検出器２３の出力信号を、その
電圧に対応づる周波数信号に変換する。検出器２３の出
力は第１前置増幅器１００に接続される。第１前置増幅
器１００の出力は第２前置増幅器１０１の入力端に接続
される。第２前置増幅器１０１の出力は電圧−周波数変
換器１０２に供給される。電圧−周波数変換器１０２は
第２前置増幅器１０１の出力電圧を、その大きさに比例
する周波数信号に変換する。従って、電圧−周波数変換
器１０２の出力では、測定された大きさに対応する周波
数の信号が出力されている。

増幅器１００と増幅器１０１の接続点１０３から信号が
取り出され、電圧−周波数変換器１０４に供給され、周
波数比例信号に変換される。増幅器１００．１０１の増
幅率はそれぞれライン１０５．１０６を介して、プロセ
ッサ２６により設定可能である。

ブロック２１は、例えば、行きすぎ吊（オーバ−シュー
ト）を補償するためゐ、０．、＠、出力する回路である
。

第１６図は３相のためのロックイン増幅器のブロックダ
イアグラムである。このロックイン増幅器はプロセッシ
ングユニット２６の一部でもよい。

ロックイン増幅器はフェイズロックドループ（ＰＬｍ）
回路１０７を備える。ＰＬＬ回路１０７は光チョッパの
光検出器４２からトリガ信号を受ける。ＰＬＬ回路１０
７は４つの出力１０９．１１０．１１１．１１２を有し
、出力１０９は基準相で、出力１１０は測定相で、出力
１１１は明相である。出力１１２はチョッパ相の終了を
示す。ＰＬＬ回路１０７の出力は、出力１１０．１１１
がカウンタ１１３、に接続され、出力１０９．１１０が
カウンタ１１４に接続され、出力１１２がカウンタ１１
５に接続される。カウンタ１１３は測定相でカウントア
ツプし、明相でカウントダウンする。カウンタ１１４は
基準相でカウントアツプし、明相でカウントダウンする
。カウンタ１１５はチョッパの回転をカウントする。

カウンタ１１３のクロック＜６−ｈ）入力端１１６は電
圧−周波数変換器１０２の出力信号を受ける。カウンタ
１１３の読込み（ＲＥＡＤ＞入力は共通部分を介してマ
イクロプロセッサ１１８に接続されている。測定相と明
相の期間、マイクロプロセッサ１１８とカウンタ１１３
の間でチャネル１１９を介して情報の交換が行われる。

強度信号がカウンタ１１４のＣＬ大入力ライン１２０を
介して供給される。それは、ダークカレント基準信号、
即ち、電圧−周波数コンバータ１０４の出力信号に対応
する。プロセッサ１１８からの信号はライン１２１を介
してカウンタ１１４のＲＥＡＤ入力に供給される。また
、カウンタ１１４はチャネル１２２によりチャネル１１
９に接続される。カウンタ１１５がチャネル１２３によ
り、チャネル１２２と１１９に接続される。測定される
べきチョッパサイックルの数がチャネル１２３を介して
プログラムされる。カウンタ１１５の因込み（ＷＲＩＴ
Ｅ・）入力１２４はプロセッサ１１８に接続される。カ
ウンタ１１３．１１４のリセット入力１２６，１２７に
は４．カウンタ１１５の入力１２５から供給される。ア
ベレージングコンダクタ１２８はカウンタ１１５の出力
をプロセッサ１１８に接続し、事前にプログラムされた
期間が終了したことを示す。

第１７図はフォトメータプレートのブロック回路全体の
ダイアグラムである。フォトメータプレートは図示され
ないコンピュータ回路に接続チャネル１３０により接続
されたＲＡＭ／ＥＰＲＯＭメモリとマイクロプロセッサ
１１８を有する。符号１３１は１６図の構成に大質的に
対応する３相ロックイン増幅器を示す。３相ロックイン
増幅器１３１は、３人力１１６．１２０．２８を有し、
１出力１０５．１０６を有する。この出力１０５．１０
６は増幅率のための信号を含む。

ステッパーモータコントローラ１３６は１人力１３７と
パワー増幅器２５に導かれる２出力１３８．１３９を有
する。入力１３７には、分光計２２内の光検出器からの
信号が供給される。この光検出器の信号は分光計２２の
波長の自動校正を可能とする。モータの（回転）周波数
のための信号がコントローラ１３６からライン１３８に
出力さ　・れる。このモータの回転の検知はライン１３
９を介して成される。

符号１４０は正面プレートキーボードを挿入するために
、チャネル１４１を介して情報が並列に入力可能なシス
テムを示す。類似のシステムがチャネル１４３を介して
の情報のシリアル入力のために設けられる。最後に、符
号１４４は記録装置にライン１４５を介して接続される
記録出力を示している。全てのシステム１３１．１３６
．１４０．１４２．１４４はチャネルによりマイクロプ
ロセッサ１１８に接続される。

第１８図は、３相ロックイン増幅器のタイムダイアグラ
ムを示す。ダイアグラムＡは光検出器（第１図の２８．
４２）のトリガを構成している。

ダイアグラムＢは基準相のパルス（第１６図の１０９）
を示している。ダイアグラムＣは測定相のパルス（第１
６図の１１１）を示づ゛。ダイアグラムＤは明相のパル
ス（第１６図の１１０）を示す。

グイアゲラムＥはチョッパ相の終了゛を示すパルス（第
１６図の１１２）を示している。ダイアグラムＦ　Ｇ、
を基準信号のカウンタ状態を示す。ダイアグラムＧは測
定信号のカウンタ状態を示す。ダイアグラムＨは測定サ
イクルの終了を意味するパルスを示す。ダイアグラム１
はカウンタリセットパルスを示す。

この発明は上記実施例に限定されず、種々の変更、変形
が可能である。本願は発明の精神、及びスコープの範囲
内で、その変更、変形のすべてをカバーする。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るフォトメータの一実施例を示す
図、第２図は第１の位置でのチョッパシステムの図、第
３図は第２の位置での第２図のチョッパシステムの図、
第４図は第３の位置での第２図のチョッパシステムの図
、第５図は第２図から第４図に示されるチョッパシステ
ムの斜視図、第６図は２枝を有する光伝導システムを示
し、１つの枝は被測定対象の光を受け、他の枝は基準（
光）信号を含む、第７図は一端が被測定対象を照らし、
他端がチミップされた光信号を受ける被覆された伝導体
を示す図、第８図は円形のファイバ群を有する光伝導体
の第１の端部を示し、このファイバ群は物体に投射され
る光を受け、その物体から来る光を放出する、第９図は
矩形の光伝導ファイバ群を有する第８図の光伝導体の第
２の端部を示す、第１０図蕎よ中央の群が光を放ってい
る矩形の断面を有する光伝導ファイバ群の組合りせを示
す図、第１１図は２つの外側の群が光を放ってりる光伝
導ファイバ群の組合わせを示す図、第１２図は小さい群
に分割され、交互に配置された２つの光伝導ファイバ群
を示し、一方の光伝導ファイバ群の小さい群が光を放っ
ている状態を示す図、第１３図は第１２図に示される２
つの光伝導ファイバ群を示し、他方の光伝導ファイバ群
の小さい群が光を放っている状態を示す図、第１４図は
時間に対する光強度を示すグラフ、第１５図は測定増幅
器のブロック回路図、第１６図はデジタル同期位相整流
器のブロック回路図、第１７図は異なる接続を有するマ
イクロブロセ、ツサの全体のブロック回路図、第１８図
は３相のためのデジタル同期位相整流器のタイミングを
示すグラフである。 １・・・フォトメータ、２・・・測定チャンバー、３・
・・測定コンバータ、４・・・信号処理装置、５・・・
蒸発源、６・・・テストグラス、７．８・・・間口、９
．１０・・・レンズ、１７．１２．１９．５８・・・光
伝導体群、１３．１４．１９・・・フレキシブル金属チ
コーブ、１５・・・チョッパシステム、１６・・・チコ
ツパチャンバ、１７．１８・・・壁、２０・・・群カッ
プラー、２２・・・分光計、２３．４２・・・検出器、
２４．３９・・・モータ、２５・・・電力増幅器、２６
・・・プロセッシングシステム、２７・・・トランスフ
４−マー、２８．１０５．１０６・・・ライン、２９．
３１・・・デスク、３０・・・シャフト、３２．３３・
・・スペーサ、３４．３５・・・ベアリング、３６・・
・シャフトの一端、３７・・・ドライブベルト、３８・
・・ドライブシャフト、４０・・・モータ制御ユニット
、４１・・・ランプ、４４・・・グラスファイバ群の端
部、４５〜４９・・・切り欠き、５０〜５２・・・接続
ターミナル、５７・・・スロット、５９．６０．６１〜
６８・・・分割された光伝導体群、１００．１０１・・
・増幅器、１０２．１０４・・・電圧−周波数変換器、
１０３・・・接続点、１０５．１０７・・・ＰＬＬ回路
、１１３〜１１５・・・カウンタ、１１８・・・マイク
ロプロセッサ、１１９．１２２．１２３．１３０．１３
９．１４１．１４６〜１５０・・・チャネル。 出願人代ｆｆ！ＩＫ、弁理土鈴江武彦 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、５ Ｆ［Ｇ、１０　　　　　　　　　ＦＩＧ、１１ＦＩＧ、
１４ ＦＩＧ、１５

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源（４１）と； 検出器（２３）と； 少なくとも１つのチョッパデスク（２９、３１）を有す
   る光チョッパ（１５）と； 前記検出器（２３）に共に対向する複数の第１の端部と
   、前記光源（４１）に共に対向する複数の第２の端部（
   １７、１８）と、その間に被測定対象物（６）が配置さ
   れる複数の第３の端部（１１、１２）、を有する複数の
   光伝導デバイス（１３、１４、１９）と；を備え、 一端（１１）が被測定対象（６）に対向する１つの前記
   光伝導デバイス（１３）と、一端が前記検出器に対向す
   る他の１つの前記光伝導デバイス（１９）はギャップを
   形成しており、前記ギャップ内に前記光源（４１）が配
   置され、前記ギャップ内に前記チョッパデスク（２９、
   ３１）の少なくとも１つが少なくともある時間導入され
   る事を特徴とするフォトメータ。
2. （２）前記フォトメータは２つのチョッパデスクを有し
   、前記光源は前記２つのチョッパデスクの間に配置され
   ている事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォ
   トメータ。
3. （３）各前記チョッパデスクは１２０度の切り欠きを有
   する事を特徴とする特許請求の範囲第２項記載のフォト
   メータ。
4. （４）前記チョッパデスクの前記切り欠きはオーバーラ
   ップしないように形成されている事を特徴とする特許請
   求の範囲第３項記載のフォトメータ。
5. （５）前記フォトメータは測定波長を決定し、測定信号
   と基準信号を前記検出器に供給する散乱手段を備える事
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォトメータ
   。
6. （６）前記散乱素子を駆動するためのドライバを備える
   事を特徴とする特許請求の範囲第５項記載のフォトメー
   タ。
7. （７）前記チョッパデスクを駆動するためのモータと前
   記モータを制御するための制御手段を備える事を特徴と
   する特許請求の範囲第２項記載のフォトメータ。
8. （８）前記検出器の出力信号を評価するためのプロセッ
   サを備える事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   フォトメータ。
9. （９）前記ドライバは所望の測定波長に応じて制御され
   る事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォトメ
   ータ。
10. （１０）前記光伝導デバイスは光伝導ファイバ群を備え
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォト
    メータ。
11. （１１）２つの光伝導ファイバ群はその総表面面積が分
    光器の入力ギャップに適合するように空間的にに束ねら
    れた端部を有する事を特徴とする特許請求の範囲第１０
    項記載のフォトメータ。
12. （１２）物体の光の透過の度合を測定するために、前記
    光伝導デバイスの２つの端部を繋ぐ直線上に被測定物体
    が配置される事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    のフォトメータ。
13. （１３）被測定対象物の光の反射の度合を測定するため
    に、一方の前記光デバイスの前記一端は前記被測定対象
    物から光が反射される位置に配置されている事を特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載のフォトメータ。
14. （１４）一方の前記光伝導ファイバ群の一端は、他方の
    前記光伝導ファイバ群の２つの半分に分割されている端
    部の間に配置されている事を特徴とする特許請求の範囲
    第１１項記載のフォトメータ。
15. （１５）一方の前記光伝導ファイバ群の一端は複数の部
    分的な群に分割されており、その端部は他方の前記光伝
    導ファイバ群の部分的な群の間に配置されている事を特
    徴とする特許請求の範囲第１１項記載のフォトメータ。
16. （１６）前記検出器の出力信号をデジタル化する手段を
    備える事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォ
    トメータ。
17. （１７）測定相と基準相と暗相を検出するカウンタを備
    える事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォト
    メータ。
18. （１８）測定値を記憶するメモリと前記メモリに記憶さ
    れた測定値と比較するために前記検出器は測定値を展開
    する事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフォト
    メータ。