JPS6311070A - 圧電アクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は圧電素子を利用した変位素子と該変位素子の
駆動体に接触させた移動体とからなり、前記圧電素子に
駆動信号を印加する圧電アクチュエータに関する。

（従来の技術） 近年、圧電素子の撮動または撮動エネルギを動力源とし
た各種のアクチュエータが開発されており、主として直
進運動や回転運動を行なうものなどがある。たとえば第
２１図に示すのは直進運動を行なう圧電アクチュエータ
を示したものであるが、圧電素子８１．８２をレール８
３に固着し、該レール８３上に加圧接触させたスライダ
ー８４を摺動させようとするものである。この装匠にお
いて圧電素子８１を駆動するとレール８３には進行波８
５が発生し、レール８３上を矢符号へ方向に伝搬してい
く。この時レール８３上の質点は第２２図に示す原理図
の如く進行波８５が進む方向に逆らうような楕円運動８
６を行なうので、レール８３に加圧接触しているスライ
ダー８４は摩擦力によって推推力を得てレール８３上を
摺動するものである。

また第２３図に分解図、第２４図に組立図を示すような
回転運動を行なう圧電アクチュエータも原理は前記第２
２図に示したと同様であるが、圧電素子９１ａ、９１ｂ
、９１ｃ、９１ｄに各９０度ずつ位相を変えた電圧を印
加することによってリング９２上に進行波を発生させ、
ロータ９３を回転させるものである。しかしながら、前
述のようなアクチュエータでは直進運動を行なうものと
回転運動を行なうものとはその使用する圧電素子の構造
が全く異なっており、直進および回転の２つの運動を同
じ構造では行ない得ない問題点があった。また直進運動
を行なう圧電アクチュエータは特に大形となり、そのた
め用途は主として工作機械などの大形マシンのみに利用
されているだけなので、小形化、軽は化が切望されてい
た。

（発明が解決しようとする問題点） 上記した如〈従来の圧電アクチュエータでは小形・軽ｊ
化・直進運動と回転運動とを同じ構造で行なうことがで
きないなどの欠点があったそこで本発明は上記の欠点を
除去し、圧電アクチュエータの高速化・推力の増大およ
び間欠運動などが可能な圧電アクチュエータを提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するだめの手段） 本発明の圧電アクチュエータは駆動体の両端面または外
面に２個以上の圧電素子を固定した構成からなり、該圧
電素子を対向位置または均等な角度をもって、または該
圧電素子の一方を前記駆動体の一端面または一外面に固
定し、該一方の圧電素子と対称の位置に同じ軸をもって
異なる角度で他方の圧電素子を固定した変位素子を用い
該変位素子の前記駆動体に７クチユエータの移動体を接
触せしめ、前記圧電素子に駆動信号を印加することによ
って、動作するものである。

（作用） 本発明の圧電アクチュエータにおいて、変位素子の圧電
素子に駆動信号を印加することによって、駆動体を上下
、斜め１円、楕円などの運動をさせ、該駆動体に接した
移動体を直線または円運動、およびこれらの往復運動や
間欠運動をさせることができる。そしてこれらの各運動
によって得られる圧電アクチュエータの出力は、従来に
比し高速化および推力増大化を図ることができる。

（実施例） 実施例１ 第１図に示すように円柱体からなる駆動体１の両端面に
互いに直行させて振動片２，３を取付け、または一体に
形成し、該撮動片２．３にそれぞれ圧電素子４．５を固
定し、変位索子６とする。該圧電素子４にＶ＝Ｖｏｓｉ
ｎ　（１）ｔを印加し、圧電素子５には前記圧電索子４
に印加した信号に対し９０°の位相差をもつＶ＝Ｖ。

ＣＯＳω【を印加すると、駆動体１の重心は第２図に示
すように円軌道を描く変化を生ずる。図中点線で示した
ものは振動片２，３の位置関係を示してあり、中心のＡ
点は無信号時の駆動体１の重心位置を表し、黒丸はωｔ
の多値での駆動体１の重心の偏心位置を表したものであ
る。

このような変位素子６を複数個、たとえば第３図の如く
２個を同じ位ｒｉ関係に並べて振動片２゜３の両端を固
定し、前記の如く圧電素子４に■＝Ｖ　　ｓｉｎωｔを
、また圧電素子５にＶ＝Ｖ。

ＣＯＳω【を印加すると、２個の変位素子６は駆動体１
の重心がともに反時計方向に移動するから、該駆動体１
に接した移動体７は矢符＠Ｂ力方向移動する。このよう
に同じ位置関係にある変位素子６を使用したものである
から駆動体１の回転運動も同一であり、したがって駆動
体１上に接した移動体７は、変位索子６の駆動体１が描
く円運動の頂点において移動するものであるから、移動
体７は正確には、間欠直進運動によりＢ方向に進むもの
である。そして移動体７に接する変位素子６数を増すこ
とにより、移動体７を進行方向に進める推力が増す特徴
がある。

なＪ３、前該実施例における圧″電索子５の分極方向を
変えるか、または圧電索子５に印加する電圧を圧電索子
４に印加する電圧に対し一９０度の位相差を持たせると
、駆動体１の重心はＯｔｉ記第２図とは逆に時計方向の
円＠道を描き、これを用いた圧電７クチユエータでは移
動体７が第３図に示すＣ方向に進行することとなる。つ
まり、Ｃ方向に移動体７を進行させる具体的な一手段と
して、前記のようにＶ＝Ｖｏｓｉｎωｔを印加した圧電
素子にＶ＝ＶｏｃｏｓωｔをまたＶ　＝　Ｖ　ＯＣＯ５
ωｔを印加したものにＶ＝Ｖ。

ｓｉｎωｔを印加すればよい。このようなり方向とＣ方
向への動きを切換えることにより往復運動とすることも
できる。また第４図の如く変位素子６を１個以上用い、
補助ローラー８を用いたアクチュエータも考えられる。

実施例２ 前記第１図に示した変位素子６の圧電素子４゜５の分極
方向を逆にし、圧電索子４にＶ＝Ｖ。

ｓｉｎωｔ、５にＶ＝Ｖｏｃｏｓωｔなル’ｉＭＰｉヲ
印加すると、駆動体１の重心は第２図と同じ円軌道を持
つ運動を行なうが、始点位置が１８０度異むらものとな
る。このように円軌道の始点を１８０度変えることは、
圧電索子４にＶ＝−Ｖｏｓｉｎ　ωｔ　、　５にＶ＝−
Ｖｏｃｏｓ　ωｔなる電圧を印加しても可能である。

このような変位索子６を用いて第２図に示した円軌道運
動を行なう変位素子と、前記の如くこれとは始点位置が
１８０度異むら円軌道運動を行なう変位素子とを複数個
使用し、該変位素子に移動体を接触させ、実施例１で述
べた間欠運動の停止間隔をなくすことができる。たとえ
ば第２図に示した円軌道運動を行なう第１図に示す変位
素子６と、これと始点位置が１８０度異むら変位素子、
たとえば第１図に示した圧電素子４．５の分極方向を逆
にし、圧電素子４にＶ−Ｖｏｓｉｎ　ωｔ　、　５にＶ
＝ＶｏＣＯ３ωｔを印加した変位素子１６とを、たとえ
ば交互に２藺ずつ交互に計４個用いた圧電アクチュエー
タの構成図を第５図に示ず。すなわち、第１図に示すよ
うな変位素子６と、これとは始点位■が１８０度異むら
変位素子１６とを交互に２個ずつ配した構成からなり、
まず２個の変位素子６の駆動体１が移動体１７に接し、
該変位素子６の回転運動によりＤ方向に移動するが、こ
の移動は変位素子６の円軌道運動が始点から１８０度の
点に達するまで連続して行なわれる。この変位素子６の
円軌道運動が始点から１８０度に達すると、移動体１７
から離れるが、同時に他の変位素子１６が移動体１７に
接して移動体１７をＤ方向に進行させることになる。し
たがって移動体１７は移動体１７が停止することなく連
続的に進行することとなる。なお変位素子６．１６にお
（プる黒丸は駆動体１の重心の始点位置を示し、点線は
駆動体１．１１が実線で示した時の位置に比べ１８０度
進んだときの駆動体１．１１の位置を示す。

この実施例では変位素子６．１６を４個用いた圧電アク
チュエータを構成した場合について述べたが、複数個の
変位素子６．１６を適宜な対として、まず始めの対の素
子に■−■０３ｉｎω［とＶ＝Ｖｏｃｏｓω【なる電圧
を印加し、その他の変位素子には順次適宜な位相のずれ
を有する電圧を印加することによって変位素子を次々と
移動体に接触せしめ移動体を進行させることもでき、こ
れによればより連続的な移動体の動きを得ることができ
る。

このように本発明では、複数個の変位水子を用い、該変
位素子の圧電索子に適宜位相の１１．ｊなる電圧を印加
することによって、移動体を３！！！続的に移動させる
ことができる。

実施例３ 第６図に示すように球体からなる駆動体２１の両端に同
じ軸をもって９０度ずらして、すなわち直行させて振動
片２２．２３をそれぞれ取付け、または一体として形成
し、該振動片２２゜２３の両面に圧電素子２４．２５，
２６．２７を固定して変位索子２８を作成した。前記圧
電素子２４．２５，２６．２７に同じ信号、たとえばＶ
＝Ｖｏｓｉｎω［で駆動すると駆動体２１の重心は第７
図のように各振動片２２．２３の位置に対し４５度の角
度差を有する斜め方向の運動を行なう。なお点線は振動
片２２．２３の位置関係を示し、実線は変位索子２８の
駆動体２１の重心の移動方向を示したものである。この
ような変位素子２８を用いた圧電アクチュエータの構成
図を第８図にポリ。なお２９は駆動体２１上に接触させ
た移動体である。この第８図では変位素子２８を５個用
いた例を示したものであるが、変位素子２８ｂ、２８ｄ
に取付りた圧電素子２４，２５．２６．２７の分極方向
は変位素子２８ａ、２８ｃ、２８ｅの分極方向とは逆方
向である。このような変位素子２８の圧電素子２４．２
５，２６．２７に同一信号で駆動すると、駆動体２１は
斜め方向への運動を行うが、５個の変位素子２８のうち
、２８ａ。

２８Ｇ、２８ｅが斜め上方への運動を開始すると、２８
ｂ、２８ｄは斜め下方への運動を行ない、これらがとも
に中心に帰ったのちは２８ａ。

２８ｃ、２８ｅは斜め下方へ、２８ｂ、２８ｄは斜め上
方への運動を行なうが、中心点を介して互いに１８０度
ずれた動きを行なうものである。したがって、たとえば
当初変位素子２８ａ。

２８Ｃ，２８ｅの駆動体２１が移動体２９に接して、こ
れをＥ方向へ移動せしめたのら中心に戻ると、次いで変
位素子２８ｂ、２８ｄの駆動体２１が中心から斜め上方
に運動をして前記移動体２９をざらにＥ方向へ移動させ
るものである。この動作の繰返しによって移動体２９を
Ｆ方向へ連続的に移動させることかできる。また変位素
子２８の数を増して推力を向上ざ眩ることができる事は
言うまでもないことである。そして該実施例では変位素
子２８ａ、２８Ｃ。

２８ｅと２８ｂ、２８ｄの分極方向を逆にした場合につ
いて述べたが、それぞれＶ＝Ｖ□ｓｉｎωｔおよび’Ｊ
　−’ｄ　ｏ　ｓｉｎωｔを印加しても同効である。さ
らに第５図において振動片２２および２３に圧電素子２
４．２５および２６゜２７の各２個ずつ取付けた例を示
したが、各１個ずつ取付けてもよい。

実施例４ 第９図に示すように四角柱体からなる駆動体３１の両端
に、同じ位置関係で振動片３２゜３３をそれぞれ取付け
、または一体として形成し、該振動片３２．３３に圧電
素子３４．３５を固定して変位素子３６を作製した。こ
こで圧電素子３４．３５には積層型のものを用いている
。この変位素子３６を用いたアクチュエータの構成図を
第１０図に示すが、例えば４個の変位素子３６ａ〜３６
ｄのうち３６ｂ、３６（ｌは３６ａ、３６Ｇに対し９０
度回転させて、すなわち直角な位置関係になるようにす
る。このようなアクチュエータにおいては圧電素子３４
゜３５に同一信号を印加することにより、駆動体３１は
圧電素子３４．３５面に対し垂直方向の振動を行なうか
ら、第１０図において変位素子３６ａと３６０は駆動体
３１が上下方向に振動し、変位素子３６ｂと３６ｄは駆
動体３１が左右方向に振動する。したがって変位索子３
６ａと３６ｃが振動によって上方に移動したとぎ、３６
ｂと３６６は左（または右）方向に移動しでも移動体３
７は３６ａ、３６Ｃに接していて動かず、３６８．３６
Ｃが下方に移動すると、移動体３７は３６ｂ、３６ｄに
接するので左（または右）方向に移動することとなる。

この動作をくり返すことにより移動体３７は左（または
右）方向に連続的に移動することとなる。

実施例５ 第１１図に正面図、第１２図に側断面図を示すように前
記第１図および第２図に示した円軌道運動を行なう変位
素子６を用い、該変位素子６を移動体４７に固定し、移
動体４７が台４８上を移動する実施例について述べる。

たとえば４個の変位素子６の各２個６ａ、６ｃと６ｂ。

６ｄとを円軌道運動の始点が１８０度異なるよう、互い
の分極方向を逆にするか、またはたとえば変位素子６ａ
、６Ｃの圧電素子４，５に対しＶ＝Ｖ　　ｓｉｎωｔお
よびＶ＝■ｏＣＯ８ωｔを印加し６ｂ、６ｄにはＶ　−
Ｖ　ｇ　Ｓｌｎ　ωＣＢ　、Ｊ：びＶ＝−ＶＯＣＯ３ω
［を印加する。このように円軌道運動の始点が１８０度
５′シなるようにした変位素子６を移動体４７に固定し
、該変位素子６を台４８に載置する。このような変位素
子６に電圧を印加し駆動させると、該変位素子６は１８
０度の差をもって駆動し、台４８上を自走する。

このようなアクチュエータはこの実施例に用いた円軌道
運動を行なう変位索子６にかぎらず、上下や第６図およ
び第７図に示した斜め方向の運動を行なう圧電素子２８
、あるいは楕円運動を行なう圧電素子などでも同様な動
作を得ることができる。

また第１３図に示すように前記第４図の例と同様、変位
索子６をたとえば１個以上用い、これを移動体５０に固
定し、該変位素子６とともに補助ローラー４９を用いた
ものも考えられる。

実施例６ 第１４図に正面図、第１５図に底面図を示すアクチュエ
ータは台上を任意な方向に移動できるものである。この
アクチュエータの構成は、たとえば第１図に示した変位
索子６を視数個移動体５７に取付Ｇノる。該移動体５７
はその中間に変位素子の取付部５８を形成してあり、移
動体５７の両端部５９．６０との間に変位素子６を取付
けるものである。なお６１は台である。

このような構成において移動体５７を直線的に移動させ
るには、各変位素子６ａ〜６ｈを同一な方向に同一な運
動、たとえば円軌道運動を行なわせればよい。変位素子
６ａ〜６ｄに円軌道運動させ、他の変位素子６０〜６ｈ
に前記６ａ〜６ｄとは逆の円軌道運動をさせることによ
り、移動体５７の重心を軸とした回転連動を（ツること
ができる。さらにどちらか一方の変位素子群６ａ〜６ｄ
または６ｅ〜６ｈに他方の変位素子群より高い駆動電圧
を印加すると、高い駆動電圧を印加された変位素子群が
、より大ぎな移動を行なうため曲りながら移動すること
となる。

この事采を利用し、印加する駆動電圧をコントロールす
ることにより移動体５７を右または左に曲げながら進め
ることができる。

このような移動体が曲るような移動は、前記のような変
位素子群６ａ〜６ｄまたは６ｅ〜６ｈを駆動する信号の
位相差を使の変位素子群と変えても可能である。すなわ
ち、変位素子群６ａ〜６ｄに９０度位相差を有する信号
で駆動し円軌道運動をさせる。この時変位素子６ａ。

６Ｃに対し６ｂ、６ｄは始点が１８０度ずれている。そ
して変位素子６０〜６ｈは９０度以外の位相差で駆動さ
せ、楕円軌道運動を行わせるが、この時、変位素子５ｅ
、６０に対し、６ｆ。

６ｈの始点は１８０度ずれている。この実施例のように
右側と左側に位置する変位素子の駆動条件（駆動電圧、
信号の位相差）を変えることによりアクチュエータは直
線以外の移動を行なう。ざらに、このような動きは変位
素子の振動片の取付は位置を変えることによっても可能
である。

実施例７ 第１６図に回転運動を得ることができる圧電アクチュエ
ータを示す。すなわち円柱体からなる駆動体６１の両端
面に圧゛眉素子６２．６３を有するｆｌ動片６４．６５
を固定する。このような変位素子６６２個の間にシャフ
ト６７を配し圧電素子６２にＶ　＝　Ｖ　ｏ　ｓ　ｉ　
ｎωｔ、６３にＶ＝ＶｏＣＯ３ω【なる信号を印加し駆
動させると、シャフト６７は矢符号Ｆ方向に回転する。

また第１７図には円柱体からなる駆動体６１をたとえば
４個用いてシ１１フト６７を回転させる場合の実施例を
示すが、駆動体６１の数を増すほど大ぎいトルクを得る
ことができる。

実施例８ 第１８図に前記実施例７に用いた変位素子６６を用いて
大径のシャフト６８を回転させる場合を示す。円筒形の
大径シトフト６８の内径面に接して変位素子６６を必要
数配した場合の実施例である。この場合も前記第１６図
に示した場合と同様変位素子６６の数を増１ｆｆｉと大
きい１〜ルクを得ることができる。

実施例９ 第１９図に移動体７１の両面に対向するように変位素子
７２．７３を同一軸に複数組配したアクチュエータを示
す。変位素子７２．７３は実施例７で示したものと同様
に円柱体の駆動体７４．７５からなり、と６に円軌道運
動を行なうものである。この場合、移動体７１の上に位
置する変位索子７２とその下に位置する変位索子７３と
の運動方向は逆の関係を成しており、変位素子７２の駆
動体７４が最下点に位置する時、変位素子７３の駆動体
７５が最上点に位置するようになっており、この時、駆
動体７４゜７５が移ｅ体７１をちょうどはさむような形
になり、駆動体７４．７５の円運動により移動体７１が
送り出される。これら複数組並べた変位素子７２．７３
の位相を合せ、すべて同じ運動をさせる事により、移動
体７１は、ある周期（駆動体の回転周期）で間欠的に移
動する。一方、複数組並べた変位素子７２．７３の各粗
間の位相をずらして、駆動する事により移動体７１は、
連続的な移動を行なう。この駆動方法の一例としては、
８組（合計１６個）の変位素子７２．７３を用いた場合
、始めの組の変１ひ素子７２．７３の各変位素子の各圧
電素子にＶ＝Ｖ　　ｓｉｎ　ωｔ　、　Ｖ＝Ｖｏｃｏｓ
　ωｔで駆動し、次の組の変位素子については、４５度
の位相差を持たせた信号Ｖ＝Ｖｏｓｉｎ　　（ωｔ＋４
５°）。

Ｖ＝ＶｏＣＯ５（ω【＋４５°）その次の組の変位素子
にはさらに４５度の位相差を持たせた■＝Ｖｏｓｉｎ　
　（ｃｏｔ　＋９０°）　、　Ｖ＝Ｖｏｃｏｓ（ωｊ＋
９０’）を印加し、以下順次４５度の位相差を持たせて
駆動すればよい。

この実施例では移動体７１は板状のものとして述べたが
、たとえばベルトコンベアのベルトやキ１７タピラーの
如く環状のものを用いてらよい。

実施例１０ 第１９図には変位素子を移動体の両面に対するように配
した例を示したが、第２０図に示すように、各変位素子
７６．７７を移動体７１をはさむように配してもよい。

前記実施例と同様に移動体７１の上に位置する変位素子
７６と下に位置する変位素子７７とは互いに逆方向に円
軌道運動を行なわせる。すると移動体７１は駆動体７８
．７９より推進力を得て移動する。本実施例では、変位
素子７６．７７が円軌道運動を行なう場合について述べ
たが、これら変位素子７６．７７は円ｖ１通運動以外の
楕円軌道運動でも、第７図に示したような斜め方向の運
動を行なう変位素子でもよい。この事は、実施例９に関
しても同じ事が言える。そして前記実施例９と同様移動
体をベルトコンベアのベルトやキャタピラ−の如く環状
のものを用いてもよい。

以上述べた実施例では駆動体の形状として円柱体、四角
柱体１球体などを用いた例について述べたが、多角柱体
やこれらの中空体、またはこれらの輪状体などからなる
ものを用いてもよい。そして、圧電素子は圧電セラミッ
クに限らず、電歪セラミック、高分子圧電体、またはこ
れらの組合せからなる複合材料からなる圧電材　１料を
用いてもよい。

なお、圧電素子には正弦波信号を印加し変位素子を駆動
した場合についてのみ説明したが、変位素子を駆動する
場合、つまり圧電素子に印加する信号は、正弦波信号に
限らず三角波１台形波、方形波などの交流信号でもよく
さらにはパルス信号でもよい。また、実施例１〜４およ
び９〜１０においては、移動体として板状の剛体を用い
た概念からなるものについて述べたが、紙、フィルム、
布、皮革などやこれらの加工品あるいは特に移動体を設
けず、変位素子上に直接移送する物体を載せて搬送する
場合の物体も移動体の概念に含まれる。

［発明の効果］ この発明によれば、直進運動１回転運動またはこれらと
類似した種々の運動１間欠運動などを得ることかできる
とともに、運動速度などを制御できる圧電アクチュエー
タを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第２０図は本発明の実施例を示したもので第１
図は変位素子を示す斜視図、第２図は第１図に示した変
位素子振動片の位置と駆動体の重心位置の変化を示す軌
跡図、第３図は第１図に示した変位素子を利用した圧電
アクチュエータの構成図、第４図は同じく他の実施例に
なる直進形圧電アクチュエータの構成図、第５図は直進
形圧電アクチュエータの他の実施例の構成図、第６図は
球体からなる駆動体を有する変位素子を示す斜視図、第
７図は第６図に示した変位素子の振動片の位置関係と駆
動体の運動方向を示す軌跡図、第８図は第６図に示した
変位素子を用いた圧電アクチュエータの構成図、第９図
は四角柱体からなる駆動体を有する変位素子を示す斜視
図、第１０図は第９図に示した変位素子を用いた直進形
圧電アクチュエータを示す構成図、第１１図は自走形圧
電アクチュエータを示す正面図、第１２図は同じく側断
面図、第１３図は自走形圧電アクチュエータの他の実施
例を示す正面図、第１４図は直進９回転１曲進を行なう
圧電アクチュエータを示す正面図、第１５図は同じく底
面図、第１６図はシ１１フトを回転させる圧電アクチュ
エータを示す斜視図、第１７図はシャフトを回転させる
圧電アクチュエータの他の実施例の構成を示す正面図、
第１８図は円筒形の大径シャフトを回転させる圧電アク
チュエータの構成を示す正面図、第１９図は移動体の両
面に変位素子を配した圧電アクチュエータを示す構成図
、第２０図は移動体の両面に変位素子を配した圧電アク
チュエータの他の実施例をポリ構成図、第２１図〜第２
４図は従来例を示し第２１図は直進形圧電アクチュエー
タを示す構成図、第２２図は圧電アクチュエータの原理
を示す構成図、第２３図は回転形圧電アクチュエータを
示す分解図、第２４図は同じく組立図である。 １・・・・・・駆動体　　　　　　２．３・・・・・・
振動片４．５・・・・・・圧電索子　　　６・・・・・
・変位素子７・・・・・・移動体 特　　許　　出　　願　　人 マルコン電子株式会社 変位素子の斜視図 第１図 変位素子の軌跡図 第２図 圧電アクチュエータの構成図 第３図 直進形圧電アクチュエータの溝成図 第　　４　　図 Ｏぐ＝ 直進形圧電アクチュエータの 他の実施例の構成図 第５図 球体からなる駆動体を有する変位素子の斜視同第　　６
　　図 第７図 圧電アクチュエータの構成図 第　　８　　図 四角柱体からなる駆動体を有する変位素子の斜視同第　
　９　　図 直線形圧電アクチュエータの構成図 第１０図 自走形圧電アクチュエータの正面図 第１１図 自走形圧電アクチュエータの側断面図 第１２図 自走形圧電アクチュエータの他の実施例の正面同第　　
１３　　図 血道１回転９曲進を行う圧電アクチュエータの正面同第
　　１４　　図 直進１回転９曲進を行う圧電アクアュエータの底面同第
　　１５　　図 第１６図 シャフトを回転させる圧電アクチュエータの他の実ＩＪ
ｌ！例の正面図 第１７図 圧電アクチュエータの構成図 第　　１８　　図 圧電アクチュエータの構成図 第　　１９　　図 移動体の両面に変位素子を配した圧電アクチュエータの
他の実施例の構成図 第　　２０　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）円柱体、多角柱体、球体、またはこれらの中空体
   、あるいはこれらの輪状体などからなる駆動体の両端面
   または外面に２個以上の圧電素子を固定した構成からな
   り、該圧電素子を対向位置または均等な角度をもつて取
   付けるか、または前記圧電素子の一方を前記駆動体の一
   端面または一外面に固定し、該一方の圧電素子と対称の
   位置に同じ軸をもつて異なる角度で他方の圧電素子を固
   定した変位素子と、該変位素子の前記駆動体に接触した
   移動体または該変位素子と一体化した移動体とからなり
   、前記圧電素子に駆動信号を印加することを特徴とする
   圧電アクチュエータ。