JPS63104392A - レ−ザガス交換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はレーザ発振器内部のレーザガスの交換時間の
短縮を図るレーザガス交換装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般にレーザ発振器内のレーザガスが劣化し、定格出力
のレーザ発振が不可能となった時のレーザガス交換方法
としては第４図に示す如く、発振器内のガスを真空ポン
プにより排気した上、ガスを決められた比率、圧力にな
るように発振器に供給し、指定した圧力でバルブを閉じ
る。

又、ガスの交換方法はレーザの機種により異なり、発振
器の容量の大きいものでは、一定期間レーザ発振を停止
し、各々のガスＣＧＣＤ　、　Ｎｅ、Ｈｅ）順々に決め
た圧力になるまで供給し、決められたガス比率と圧力を
得る。発振器の容量の小さいものでは、ガス供給量も少
ないので供給時間も短時間でガス交換ができるので、少
量の補給と上配回様の供給方法がとられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

以上のように従来のレーザガス交換方法においては、レ
ーザガスが劣化し定格出力のレーザ発振出力が得られな
くなると、レーザカス交換の為一時発振動作を停止した
上で発振器内部を数Ｔａｒｔまで真空引きを行ない、そ
の後、定格圧力で新しいカスを封入する方法を採用して
いるので、レーザガス交換時には一定時間発振動作を停
止せざるを得ないと行った欠点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、レーザ発振器稼動中にレーザカス交換が可能
となると共に、レーザガス交換時間の短縮が図れるレー
ザガス交換装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るレーザガス交換装置は、レーザ発振出力
か定格値以下に低下したか否かを判定する手段と、低下
判定毎に誘導体電極間の電力をＬ昇し発振出力の定格値
を保持する手段と、定格値保持動作継続時に誘電体電極
間の放電電力がクランプ電力設定値に達したか否かを判
定する手段と、クランプ電力判定時に、誘電体電極間電
力を定格電力まで降下させつつ、レーザガス給排バルブ
を制御しながら、発振器内のガス圧力が一足となるよう
ガス交換を行なう手段を設けたものである。

〔作用〕

以上のようにこの発明によるレードガス交換装置によれ
ば、レーザガスの劣化によってレーザ出力が定格出力値
より低下した場合は、誘電体電極間の放電電力を上昇す
ることで定格出力値を保持し、又定格出力値を保持する
為放電電力が規定のクランプ電力まで上昇した場合には
、放電電力を定格電力まで戻すと同時にレーザカス排気
弁と、レーザガス供給弁を夫々開閉制御しながら、ガス
圧力が一定となるまでカス交換を行なうことでレーザ発
振器稼動中にガス交換が行なえると共に、部分的なガス
交換である為ガス交換時間の短縮化が図れる。

〔実施例〕

第１図はこの発明のレーザガス交換装置の一実施例を示
す全体構成図である０図において（１）はレーザ発振器
本体であり、発振されたレーザ光（１ａ）の一部は出力
検出器（１ｂ）により検出されレーザ発振出力値が検出
される。（２）はレーザ出力値とレーザ出力決定値との
偏差よりレーザ出力低下を判定するレーザ出力低下判定
手段、（３）はレーザ出力低下を補正する為、誘電体電
極間の放Ｔｉ、電力を上昇させる放電電力制御手段、（
４）は放電電力上昇出力予め設定されたクランプ電力に
達したか否かを判定するクランプ電力判定手段、（５）
はクランプ電力に判定時まではレーザ出力値保持用の放
電電力上昇出力を誘電体電極間へ出力すると共に、クラ
ンプ電力判定時には、放電電力を定格電力値に下降させ
ると同時に、レーザガス交換信号を出力する定格出力保
持手段、（６）はレーザガス交換信号に基づきガス排気
用の真空ポンプの電磁弁（７）と、交換ガス供給ボンベ
の電磁弁（８）へ夫々ガス給排信号を送出するガス給排
弁制御手段、（９）は交換ガスによる発振器内部の定格
圧力を検出し定格出力保持手段（５）へガス交換停止信
号を送出するガス圧力検出手段である。

次に上記構成に係るレーザガス交換装置の動作を第２図
及び第３図を参照して説明する。第２図は前記各手段か
ら構成されるレーザ出力制御手段（１−１）とレーザ発
振器（１）との関係を示したシステム構成図、第３図は
レーザガス交換動作説明図の線図である。

レーザ発振器（１）にょるレーザ発振出力は常時出力検
出器（１ｂ）により検出され、その検出値はレーザ出力
制御装置（１−１）へフィードバックされる。レーザ出
力制御装置（１−１）では出方検出値と定出力設定値と
の偏差より、レーザ出力がレーザガス劣化によってい低
下していないか否かを判定し、劣化判定時には第３図に
示す如く誘電体電極間の放電電極を上昇させ定格出方を
保持する。このように、レーザガス劣化に伴なうレーザ
出力の低下は、放電電力をある程度まで上昇することで
補償される。

しかしながら、放電電力が予め設定されたクランプ電力
まで上昇した場合はレーザ出力の低下補償をレーザガス
の交換によって行なう。このレーザガスの交換方法とし
てはレーザ発振器（１）のガス排気口と真空ポンプ（１
０）を継ぐ排気用電磁弁（８）ヘレーザ出力制御装置（
１−１）より開放信号を送出すると共に、交換用ガスの
ボンベ（１１）とレーザ発振器（１）のガス供給口を継
ぐ供給用電磁弁（３）へ開放信号を送出しながらガス交
換を行なう。そして、レーザ発振器（１）内のガス圧力
が一定なるまで行なわれる。このガス交換時においては
、新しいガス供給量と共に放電電力を定格電力に至るま
で降下させて行きレーザ発振出力を定格出力に保持する
ものである。

ガス交換は、設定された時間で行なってもよいし、また
放電電力が任意に定めた定格値になるまで行ってもよい
。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、レーザガス劣化による
レーザ出力低下時には、レーザ発振器の誘電体電極間の
電力を上昇してレーザ出力低下を補償すると共に、誘電
体電極間の電力上昇値を保持しながらレーザ発振器の交
換を行なってレーザ出力回復を行なう為、レーザ発振器
稼動時にレーザガス交換が可能となると共に、部分的な
ガス交換である為特定のガス交換時間は不要となるので
レーザ発振器の使用効率は極めて向上する効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図この発明のレーザガス交換装置の一実施例を示す
全体構成図、７ｐＩｚ図はレーザガス交換装置のシステ
ム構成図、第３図は交換動作説明用の線図、７５４図は
レーザガスの給排動作を説明する説明図である。 図において、 （１）はレーザ発振器、（１ａ）はレーザ光、（１ｂ）
は出力検出器、 （１−１）はレーザ出力制御装置、 （２）はレーザ出力低下判定手段、 （３）は放電電力制御手段、 （４）はクランプ電力判定手段、 （５）は定格出力保持手段、 （６）はガス給排弁制御手段、 （７）はガス排気用の電磁弁、 （８）はガス供給用の電磁弁、 （９）はガス圧力検出手段である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 予め設定された定格レーザ出力値とレーザ出力検出手段
   によって検出されたレーザ出力検出値との偏差量よりレ
   ーザ出力低下を判定するレーザ出力低下判定手段と、上
   記偏差量に応じて誘電体電極間の放電電力を上昇させる
   放電電力制御手段と、該放電電力が予め設定したクラン
   プ電力に達したか否かを判定するクランプ電力判定手段
   と、クランプ電力無判定時にはレーザ出力が定格出力を
   保持し得る値まで放電電力を誘電体電極へ供給すると共
   に、クランプ電力判定時には放電電力制御信号を放電電
   力制御手段へ出力すると同時にレーザガス交換信号を出
   力する定格出力保持手段と、上記レーザガス交換信号に
   基きガス供給及び排気弁を夫々制御するガス給排弁制御
   手段と、定格レーザガス圧力検出時に該ガス給排弁制御
   手段へガス交換停止信号を送出するガス圧力検出手段を
   備えたことを特徴とするレーザガス交換装置。